JP2011520212A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 外側領域で支持部材に固定される超薄型シートの材料を具える物品を生成する方法であって、当該方法が：基板上に超薄型シートを提供するステップと；前記超薄型シートの前記外側領域が前記支持部材と前記基板との間に挟持され、かつ前記支持部材に接着されるように前記超薄型シートの前記外側領域上に前記支持部材を形成するステップと；前記物品を残すように前記基板を除去するステップと；を具え、
   前記超薄型シートが前記外側領域の内側に少なくとも１の領域（空き面積）を有し、前記超薄型シートがその他の材料によって覆われないことを特徴とする方法。
2. 請求項１に記載の方法において、前記領域、あるいはこのような領域の前記空き面積が少なくとも５００μｍ^２であることを特徴とする方法。
3. 請求項２に記載の方法において、前記領域、あるいはこのような領域の前記空き面積が少なくとも１，５００μｍ ^２ であることを特徴とする方法。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載の方法において、前記基板が気化によって除去されることを特徴とする方法。
5. 請求項１ないし３のいずれかに記載の方法において、前記基板が溶剤を用いるステップである溶解ステップによって除去されることを特徴とする方法。
6. 請求項５に記載の方法において、前記基板が剥離層と基層とを有し、前記剥離層及び前記基層がそれぞれ選択された溶剤に可溶性及び不溶性であり、前記剥離層が前記超薄型シートと接触することを特徴とする方法。
7. 請求項２又は３、及び請求項６に記載の方法において、前記空き面積が前記選択された溶剤に可溶な材料の一部によって遮蔽され、前記一部及び前記剥離層が同一動作で前記溶剤に溶解されるか、あるいは個別動作で異なる溶剤に溶解されることを特徴とする方法。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載の方法において、前記支持部材が前記超薄型シートの周りの前記基板の領域に、かつ前記超薄型シートの前記外側領域に形成されるが、前記超薄型シートの中央領域には形成されないことを特徴とする方法。
9. 請求項１ないし８のいずれかに記載の方法において、前記支持部材が前記超薄型シートの前記外側領域と接触するが、前記中央領域と接触しない下層と；当該下層上に形成される上層と；を具えることを特徴とする方法。
10. 外側領域で支持部材に固定される超薄型シートを具える物品であって、前記超薄型シートが前記外側領域の内側に少なくとも１の領域を有し、前記内側の領域がその他の材料で覆われないことを特徴とする物品。
11. 基板を一方の側面上に；及び、遮蔽領域を包囲する支持部材を他方の側面上に；有する超薄型シートを具える物品であって、前記超薄型シートの中央領域が前記遮蔽領域によって覆われ、前記超薄型シートの外側領域及び前記基板の外側領域が前記支持部材によって覆われ、前記支持部材及び前記遮蔽領域が除去可能であることを特徴とする物品。
12. 請求項１１に記載の物品において、前記遮蔽領域が溶剤又は気化によって除去可能であることを特徴とする物品。
13. 請求項１１又は１２に記載の物品を生成する方法であって、前記遮蔽領域が前記超薄型シート上に形成され、前記超薄型シートの前記外側領域が露出されたままで残され、担持部材が後に形成されて、前記遮蔽領域が形成材として作用することを特徴とする方法。
14. 物品を生成する方法であって、
    ａ）第１の溶剤に可溶な剥離層を、前記第１の溶剤に難溶又は不溶な基層の上に有する基板を提供するステップと、
    ｂ）前記基板の前記剥離層上に超薄型シートを置くステップと、
    ｃ）前記超薄型シートと前記剥離層の露出領域とを覆うために、第２の溶剤に可溶な第２の材料のイメージング層で中間物の前記物品を全体コーティングするステップであって、前記第２の溶剤に前記剥離層が難溶又は不溶であるステップと、
    ｄ）前記超薄型シートの周縁部のみを露出させるように、リソグラフィックイメージング及び展開により前記第２の溶剤で前記イメージング層の外側領域を除去し、前記超薄型シート上の前記第２の材料の中央領域を残すステップと、
    ｅ）支持材料の下層をステップｄ）の前記中間物の物品の上方領域に全体適用するステップと、
    ｆ）前記超薄型シートを露出するように、溶剤を用いて前記第２の材料の中央領域を除去するステップであって、前記周縁部のみが前記下層と接触するステップと、
    ｇ）前で露出された、前記超薄型シートの前記中央領域上に遮蔽領域を形成するステップであって、前記遮蔽領域が前記第１の材料、又は前記第１の溶剤に可溶な更なる材料であるステップと、
    ｈ）前記下層上に前記支持材料の残りを形成するステップと、
    ｉ）前記遮蔽領域と前記基板の前記剥離層を除去するために前記第１の溶剤を用いるステップであって、前記超薄型シートの空き面積を具え、除去された前記遮蔽領域の位置に対応し、支持部材によって前記周縁部で支持される物品を残すステップと、
    を具えることを特徴とする方法。
15. 物品を生成する方法であって、
    ａ）気化可能な剥離層を、基層の上に有する基板を提供するステップと、
    ｂ）前記基板の前記剥離層上に超薄型シートを置くステップと、
    ｃ）前記超薄型シートと前記剥離層の露出領域とを覆うために、溶剤に可溶な材料のイメージング層で中間物の前記物品を全体コーティングするステップであって、前記溶剤に前記剥離層が難溶又は不溶であるステップと、
    ｄ）前記超薄型シートの周縁部のみを露出させるように、リソグラフィックイメージング及び現像により前記溶剤で前記イメージング層の外側領域を除去し、前記超薄型シート上の前記別の材料の中央領域を残すステップと、
    ｅ）支持材料の下層をステップｄ）の前記中間物の物品の上方領域に全体適用するステップと
    ｆ）前記超薄型シートを露出するように、前記溶剤を用いて前記別の材料の中央領域を除去するステップであって、前記周縁部のみが前記下層と接触するステップと、
    ｇ）前で露出された、前記超薄型シートの前記中央領域上に遮蔽領域を形成するステップであって、前記遮蔽領域が溶剤に可溶であるか、あるいは気化可能な材料であるステップと、
    ｈ）前記下層上に前記支持材料の残りを形成するステップと、
    ｉ）前記遮蔽領域を溶剤で溶解するか、あるいは気化し、かつ前記基板の前記剥離層を気化するステップであって、前記超薄型シートの空き面積を具え、除去された前記遮蔽領域の位置に対応し、支持部材によって周縁部で支持される物品を残すステップと、
    を具えることを特徴とする方法。