JP2011501448A5

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Publication number: JP2011501448A5
Application number: JP2010530321A
Authority: JP
Filing date: 2008-10-21
Publication date: 2011-12-08
Anticipated expiration: 2028-10-21

Claims

結像光学系（７）の非掩蔽ミラー（Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１からＭ４；Ｍ１からＭ６）間の光路における結像光線（１５）が、物体平面（５）と平行に及び／又は像平面（９）と平行に配置された離間した平面の間の少なくとも１つの多重通過領域（６１；６２，６３；６７，６８，６９）を数回通過し、結像光学系（７）が、少なくとも１つの瞳平面（１７，２３；６６，１７，２３；７６，７７，７８，１７）を含む、物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する複数のミラー（Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ１０）を有する結像光学系（７）であって、
全ての瞳平面（１７，２３；６６，１７，２３；７６，７７，７８，１７）が、非掩蔽ミラー（Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１からＭ４；Ｍ１からＭ６）間の多重通過領域（６１；６２，６３；６７，６８，６９）の外側に配置され、
前記多重通過領域（６１；６２，６３；６７，６８，６９）の外側の前記少なくとも１つの瞳平面（１７，２３；６６，１７，２３；７６，７７，７８，１７）の配置は、前記多重通過領域（６１；６２，６３；６７，６８，６９）の外側の前記少なくとも１つの瞳平面（１７，２３；６６，１７，２３；７６，７７，７８，１７）が、前記多重通過領域（６１；６２，６３；６７，６８，６９）の境界を定める前記複数のミラー（Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ１０）の反射面と一致しないようなものである、
ことを特徴とする結像光学系（７）。
前記物体視野（４）は、
互いに平行に距離（ＹＳ）だけ変位した同じ半径（Ｒ）を有する２つの漸変円（２７，２８）と、
両方の漸変円（２７，２８）の２つの端部をそれぞれ接続する２つの境界線（２９，３０）と、
によって境界が定められた円弧視野の形状を有し、
前記円弧視野（４）は、７５°よりも大きい方位角（α）を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の結像光学系。
物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する複数のミラー（Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ１０）を有し、該物体視野（４）が、互いに平行に距離（ＹＳ）だけ変位した同じ半径（Ｒ）を有する２つの漸変円（２７，２８）と、両方の漸変円（２７，２８）の２つの端部をそれぞれ接続する２つの境界線（２９，３０）とによって境界が定められた円弧視野の形状を有する反射結像光学系（７）であって、
円弧視野（４）の方位角（α）が、７５°よりも大きい、
ことを特徴とする反射結像光学系（７）。
物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する複数のミラー（Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ１０）を有する結像光学系（７）であって、
光軸（１８）を含み、
視野平面（５）とその直ぐ下流に配置された瞳平面（１７；６６）との間、
第１の瞳平面（６６）とその直ぐ下流に配置された第２の瞳平面（１７）との間、
という種類のうちの一方の結像光学系の境界平面の間に空間的に配置された少なくとも１つの非掩蔽ミラー群（１９；６４，６５；７２から７５）を含む、
ことを特徴とする結像光学系（７）。
中心物体視野点から進行し、かつ結像光学系（７）の前記瞳平面（１７；６６）における瞳の中心を通過する主光線（１６）が、それが、
前記光軸（１８）が位置し、かつ
中心物体視野点から前記光軸（１８）への法線（２６）が垂直である、
主分離平面（２５）を貫通しないように、結像光学系（７）の前記少なくとも１つの非掩蔽ミラー群（１９；６４，６５；７２から７５）のミラー（Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１からＭ４；Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３からＭ６）間の子午断面を進行する、
ことを特徴とする請求項４に記載の結像光学系。
中心瞳掩蔽、言い換えれば、結像光線（１５）が結像光線（１５）の通過が可能な別の領域によって囲まれた瞳平面（１７）の領域を通過することを許さない配列を特徴とする請求項５に記載の結像光学系。
前記物体視野（４）及び前記像視野（８）は、前記光軸（１８）から距離を置いて配置されることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の結像光学系。
非掩蔽ミラー（Ｍ１，Ｍ２）間の前記光路では、結像光線（１５）が、前記物体平面（５）と平行に及び／又は前記像平面（９）と平行に配置された離間した平面の間の少なくとも１つの多重通過領域（６１）を数回通過し、
前記子午断面では、前記結像光線は、前記多重通過領域（６１）の境界を定めるこれらの平面の間で前記主分離平面（２５）を通過しない、
ことを特徴とする請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の結像光学系。
７５°よりも大きい前記円弧視野（４）の方位角（α）を特徴とする請求項５から請求項８のいずれか１項に記載の結像光学系。
物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する複数のミラー（Ｍ１からＭ６）を有し、少なくとも２つ（Ｍ１，Ｍ２）が非掩蔽のものである少なくとも４つのミラー（Ｍ１からＭ６）を含む結像光学系であって、
非掩蔽ミラーの１つ（Ｍ２）が、球面ミラーである、
ことを特徴とする結像光学系。
７５°よりも大きい前記円弧視野（４）の方位角（α）を特徴とする請求項１０に記載の結像光学系。
各場合に結像光路に１つの瞳平面（６６；７６から７８）がその間に配置されるいくつかの非掩蔽ミラー群（６４，６５；７２から７５）を特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の結像光学系。
結像光（３）を通過させる貫通開口部（２０）を有する少なくとも１つの掩蔽ミラー（Ｍ３からＭ６；Ｍ５からＭ８；Ｍ７からＭ１０）を特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の結像光学系。
少なくとも３つのミラー、好ましくは、正確に４つのミラー（Ｍ３からＭ６）が掩蔽された正確に６つのミラー（Ｍ１からＭ６）を含むことを特徴とする請求項１３に記載の結像光学系。
少なくとも３つのミラー、好ましくは、正確に４つのミラー（Ｍ５からＭ８）が掩蔽された正確に８つのミラー（Ｍ１からＭ８）を含むことを特徴とする請求項１４に記載の結像光学系。
少なくとも３つのミラー、好ましくは、正確に４つのミラー（Ｍ７からＭ１０）が掩蔽された正確に１０個のミラー（Ｍ１からＭ１０）を含むことを特徴とする請求項１４に記載の結像光学系。
請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載の結像光学系（１７）と、
照明及び結像光（３）のための光源（２）と、
前記照明光（３）を前記結像光学系（７）の物体視野（４）まで誘導するための照明光学系（６）と、
を含むことを特徴とするイクロリソグラフィ投影露光装置。
照明光（３）を生成するための前記光源（２）は、５と３０ｎｍの間の波長を用いて構成されることを特徴とする請求項１７に記載の投影露光装置。
微細構造構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１０）及びウェーハ（１１）を準備する方法段階と、
請求項１７又は請求項１８のいずれか１項に記載の投影露光装置を用いて、前記レチクル（１０）上の構造を前記ウェーハ（１１）の感光層上に投影する方法段階と、
前記ウェーハ（１１）上に微細構造を生成する方法段階と、
を有することを特徴とする方法。
請求項１９に記載の方法によって生成された微細構造構成要素。