JP2011259391A - 不平衡平衡変換器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】不平衡平衡変換器は、一対の伝送線路14、15を有する平衡伝送線路と、不平衡伝送線路13と、前記一対の伝送線路の4つの端部のうち隣り合う2つ端部に接続され、前記一対の伝送線路から垂直に形成された2つの引き出し伝送線路19、20とを有し、前記2つの引き出し伝送線路の一方は、当該一方の伝送線路の外周面のうち他方の引き出し伝送線路に対向する面である第1の電極面19aを有し、前記2つの引き出し伝送線路の他方は、当該他方の伝送線路の外周面のうち前記一方の引き出し伝送線路に対向する面である第2の電極面20aを有し、前記第1の電極面と前記第2に電極面は容量素子を構成する。
【選択図】図1A
Description
本実施の形態におけるバラン(不平衡平衡変換器)は、平衡信号の入力または出力用であり長手方向に隣り合って配置される一対の伝送線路を有する平衡伝送線路と、不平衡信号の出力または入力用であり前記平衡伝送線路に平行に対向するように形成される不平衡伝送線路と、前記一対の伝送線路の4つの端部のうち隣り合う2つの端部に接続され、前記一対の伝送線路から垂直に(前記不平衡伝送線路と対向する側とは逆側に)形成された2つの引き出し伝送線路とを有する。
次に、本発明の第一の実施形態の変形例に係るバランについて説明する。図1Bは、変形例に係るバラン構造の斜視図である。図2Bは、変形例に係るバラン構造のz方向から見た平面図である。図3Bは、変形例に係るバラン構造のy方向から見た側面図である。
以下、本発明の第二の実施形態に係るバランについて添付の図面を参照して説明する。
第二の実施の形態の変形例の斜視図を図10に、z方向から見た平面図を図11に示す。図10、11において図6、7の構造と同じ構成要素には同一の符号を付すことにより、説明を省略する。不平衡伝送線路13を構成する伝送線路12に追加した伝送線路25に対して、同一平面内の配線層127aにて伝送線路26を、誘電体を介して重なり領域31をキャパシタとして形成するように配置する。同じように、伝送線路14に追加した伝送線路27に対して、同一平面内の配線層127bに伝送線路28を、誘電体層を介してキャパシタ32を形成するように配置する。さらに、伝送線路15に追加した伝送線路29に対して、同一平面内の配線層127aに伝送線路30を、誘電体層を介して重なり領域33をキャパシタ33として形成するように配置する。
以下、本発明の第三の実施形態に係るバランについて添付の図面を参照して説明する。
以下、本発明の第四の実施形態に係るバランについて添付の図面を参照して説明する。
11 コンタクトビア
13 不平衡伝送線路
16 マーチャントバランコア部
17、18 重なり領域
19、20 x方向に延在する伝送線路
19a、46a、49a 第1の電極面
20a、47a、50a 第2の電極面
21 シングル入出力端
22a、22b 差動入出力端
23 キャパシタ
24 グランドプレーン
25、26、27、28、29、30、34、35 伝送線路
31、32、33、36 重なり領域
41 不平衡伝送線路
42、43 平衡伝送線路
44 接続線路とコンタクトビア
45 接続線路
46、47、49、50 伝送線路
48、51 重なり領域キャパシタ
81 第1のナノコンポジット膜
82 第2のナノコンポジット膜
100 マーチャントバラン構成
101 不平衡伝送線路
102 第一の平衡伝送線路
103 第二の平衡伝送線路
104 シングル入出力端
105a、105b 差動入出力端
106 半導体基板上の誘電体層
107a、107b、107c キャパシタ
110 従来のバラン構造
111 マーチャントバランコア部
112a、112b 接続配線
120 Si半導体基板
121 Si内層プロセス内誘電体層
122 Si内層プロセス内配線層
123 Si内層プロセス内パッシベーション膜
124 Si内層プロセス内部回路
125 Si内層プロセス部
126a、126b 厚膜再配線プロセス誘電体層
127a、127b 厚膜再配線プロセス配線層
128 コンタクトビア
129 厚膜再配線プロセス部
130 Siプロセス内配線とコンタクトビア
200 ラットレース
Claims (8)
- 不平衡平衡変換器であって、
平衡信号の入力または出力用であり長手方向に隣り合って配置される一対の伝送線路を有する平衡伝送線路と、
不平衡信号の出力または入力用であり前記平衡伝送線路に平行に対向するように形成される不平衡伝送線路と、
前記一対の伝送線路の4つの端部のうち隣り合う2つ端部に接続され、前記一対の伝送線路から垂直に形成された2つの引き出し伝送線路と
を有し、
前記2つの引き出し伝送線路の一方は、当該一方の伝送線路の外周面のうち他方の引き出し伝送線路に対向する面である第1の電極面を有し、
前記2つの引き出し伝送線路の他方は、当該他方の伝送線路の外周面のうち前記一方の引き出し伝送線路に対向する面である第2の電極面を有し、
前記第1の電極面と前記第2に電極面は容量素子を構成する
不平衡平衡変換器 - 請求項1に記載の不平衡平衡変換器であって、
シリコン半導体基板と、
前記シリコン半導体基板上方に形成された第1の誘電体層と、
前記第1の誘電体層上方に形成された第1の配線層と、
前記第1の配線層上方に形成された保護層と、
前記保護層上方に形成された第2の誘電体層と、
前記第2の誘電体層内に形成された複数の配線層とを有し、
前記平衡伝送線路、前記不平衡伝送線路および前記2つの引き出し伝送線路は、前記複数の配線層に形成される
不平衡平衡変換器。 - 請求項1または2に記載の不平衡平衡変換器であって、
前記不平衡伝送線路は、
第1の配線層に形成され第1の方向(y方向)に延在する第1の伝送線路と、
前記第1の配線層と接しない第2の配線層に形成され第1の方向に延在する第二の伝送線路と、
前記第1の伝送線路の前記第1の方向とは逆方向側の第1の端部と前記第2の伝送線路の前記第1の方向側の第2の端部とが積層方向で重なる領域を有し、当該領域において前記第1の端部と前記第2の端部とを電気的に接続するビアとを有し、
前記平衡伝送線路は、
前記一対の伝送線路の一方であって、前記第1の配線層に形成され前記第1の方向に延在する第3の伝送線路と、
前記一対の伝送線路の他方であって、前記第2の配線層に形成され前記第1の方向に延在する第4の伝送線路とを有し、
前記2つの引き出し伝送線路の前記一方は、前記第3の伝送線路の前記第1の方向とは逆方向側の第3の端部から、前記第1の方向および前記積層方向に広がる平面と垂直な第2の方向に延在する第5の伝送線路であり、
前記2つの引き出し伝送線路の前記他方は、前記第4の伝送線路の前記第1の方向側の第4の端部から、前記第2の方向に延在する第6の伝送線路であり、
前記第1の伝送線路の両端のうち前記第1の端部と異なる端部、および、前記第2の伝送線路の両端のうち前記第2の端部と異なる端部の一方は接地され、他方は不平衡信号の入力または出力用であり、
前記第3の伝送線路の両端のうち前記第3の端部と異なる端部は接地され、
前記第4の伝送線路の両端のうち前記第4の端部と異なる端部は接地され、
前記第5伝送線路および第6伝送線路は、平衡信号の出力または入力用であり、
前記第5の伝送線路は、前記第5の伝送線路の外周面のうち前記第6の伝送線路に対向する面である前記第1の電極面を有し、
前記第6の伝送線路は、前記第6の伝送線路の外周面のうち前記第5の伝送線路に対向する面である前記第2電極面を有する
不平衡平衡変換器。 - 請求項3に記載の不平衡平衡変換器であって、さらに、
前記第1の伝送線路の両端のうち前記第1の端部と異なる端部、および、前記第2の伝送線路の両端のうち前記第2の端部と異なる端部の前記一方に対向する第1の接地電極と、
前記第3の伝送線路の両端のうち前記第3の端部と異なる端部に対向する第2の接地電極と、
前記第4の伝送線路の両端のうち前記第4の端部と異なる端部に対向する第3の接地電極と
を備え、
前記第1の伝送線路の両端のうち前記第1の端部と異なる端部、および、前記第2の伝送線路の両端のうち前記第2の端部と異なる端部の前記一方は、前記第1の接地電極を介して接地され、
前記第3の伝送線路の両端のうち前記第3の端部と異なる端部は、前記第2の接地電極を介して接地され、
前記第4の伝送線路の両端のうち前記第4の端部と異なる端部は、前記第3の接地電極を介して接地される
不平衡平衡変換器。 - 請求項3または4に記載の不平衡平衡変換器であって、さらに、
前記第1の伝送線路の両端のうち前記第1の端部と異なる端部、および、前記第2の伝送線路の両端のうち前記第2の端部と異なる端部の前記他方に対して、誘電体層を介して対向する第4の接地電極を備える
不平衡平衡変換器。 - 請求項1から5の何れか1項に記載の不平衡平衡変換器であって、
前記不平衡変換器は、さらに、前記第1の電極面と前記第2の電極面に挟まれた第1のナノコンポジット膜81を備え、
前記第1のナノコンポジット膜は、第1の材料からなる粒子が分散された第2の材料から構成され、
前記第1の材料からなる粒子の粒径は、1nm以上かつ200nm以下であり、
前記第1の材料の比誘電率および誘電損失は、前記第2の材料よりも大きい
不平衡平衡変換器。 - 請求項6に記載の不平衡平衡変換器であって、
前記不平衡変換器は、さらに、前記不平衡伝送線路と前記平衡伝送線路とに挟まれた第2のナノコンポジット膜82を備え、
前記第2のナノコンポジット膜は、前記第1の材料からなる粒子が分散された前記第2の材料から構成される
不平衡平衡変換器。 - 請求項7に記載の不平衡平衡変換器であって、
前記第1の材料は、チタン酸ストロンチウムおよびチタン酸バリウムストロンチウムの何れかを含み、
前記第2の材料は、ベンゾシクロブテン、ポリイミド、ポリテトラフルオロエチレン、およびポリフェニレンオキシドの何れかを含む
不平衡平衡変換器。
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