JP2011255296A - 液状樹脂の塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】噴霧ノズル52は液状樹脂供給源51と連通し下端面に液状樹脂流出口521aが開口する液状樹脂流通通路521と、液状樹脂流出通路521を囲繞して設けられ下端面に環状の空気流出口522aが開口する筒状の圧縮空気流通通路522と、筒状の圧縮空気流通通路522の上端部に連通するとともに圧縮空気供給手段54に連通された圧縮空気導入通路523とを具備し、筒状の圧縮空気流通通路522は上端から下端に向けて縮径してロート状に形成され、該環状の空気流出口522aが該液状樹脂流出口521aを囲繞して設けられており、圧縮空気導入通路523は筒状の圧縮空気流通通路522の壁面に対して接線方向に形成され、筒状の圧縮空気流通通路522に導入する圧縮空気を旋回せしめる。
【選択図】図2
Description
該噴霧ノズルは、該液状樹脂供給源と連通し下端面に液状樹脂流出口が開口する液状樹脂流通通路と、該液状樹脂流出通路を囲繞して設けられ下端面に環状の空気流出口が開口する筒状の圧縮空気流通通路と、該筒状の圧縮空気流通通路の上端部に連通するとともに該圧縮空気供給手段に連通された圧縮空気導入通路と、を具備し、
該筒状の圧縮空気流通通路は、上端から下端に向けて縮径してロート状に形成され、該環状の空気流出口が該液状樹脂流出口を囲繞して設けられており、
該圧縮空気導入通路は、該筒状の圧縮空気流通通路の壁面に対して接線方向に形成され、該筒状の圧縮空気流通通路に導入する圧縮空気を旋回せしめる、
ことを特徴とする液状樹脂の塗布装置。
図示の実施形態における液状樹脂の塗布装置は、上方が開放した矩形状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2の一側壁21には吸引口211が形成されており、該吸引口211に図示しない吸引手段に連通された吸引ダクト22が接続されている。また、装置ハウジング2の底壁には排出口(図示せず)が形成されており、該排出口にドレーンパイプ23が接続されている。装置ハウジング2内には、被加工物としての半導体ウエーハ等を保持する保持テーブル3および該保持テーブル3を回転駆動する電動モータ4が配設されている。
先ず、図5の(a)に示すように保持テーブル3の上面である保持面に被加工物としての半導体ウエーハWを載置する。この半導体ウエーハWは、裏面が研削されて所定の厚みに形成されており、表面に保護テープTが貼着された状態で保護テープT側が保持テーブル3に載置される。従って、半導体ウエーハWは、裏面が上側となる。このようにして、保持テーブル3上に載置された半導体ウエーハWは、図示しない吸引手段を作動することにより保持テーブル3に吸引保持される。保持テーブル3に半導体ウエーハWを吸引保持したならば、図5の(a)に示すように保持テーブル3を矢印Aで示す方向に例えば100rpmの回転速度で回転し、圧縮空気供給手段54を作動して例えば0.5Mpの圧縮空気を供給する。圧縮空気供給手段54によって供給された圧縮空気は、上述したように噴霧ノズル52の圧縮空気導入通路523から筒状の圧縮空気流通通路522に流入し、渦流となって環状の空気流出口522aから流速を速めて流出される。この結果、環状の空気流出口522aによって囲繞されている液状樹脂流出口521a部には、環状の空気流出口522aから旋回しながら高速で流出する圧縮空気に起因して均一な負圧が形成されるため、液状樹脂流出口521aから液状樹脂10が塊となることなく均一に流出し、渦流となって噴出する圧縮空気によって攪拌され微細なミスト10となって噴霧される。このようにして液状樹脂を噴霧するとともに、加工送り機構532の移動手段535のパルスモータ535aを正転駆動する。従って、上述したように噴霧ノズル52が装着された液状樹脂収容容器51を支持した容器ホルダ531に連結された支持部材533が図1および図5の(a)に示す待機位置から矢印Y1で示す方向に移動する。そして、容器ホルダ531に支持された液状樹脂収容容器51に装着された噴霧ノズル52の中心が保持テーブル3に保持された半導体ウエーハWの中心より10〜20mm手前の位置に達したら、移動手段535のパルスモータ535aを逆転駆動することにより、噴霧ノズル52を図1および図5の(a)に示す待機位置に戻し、図示しない圧縮空気供給手段からの圧縮空気の供給を停止して噴霧ノズル52からの液状樹脂の噴霧を停止する(液状樹脂塗布工程)。
3:保持テーブル
4:電動モータ
5:液状樹脂塗布機構
51:液状樹脂収容容器
52:噴霧ノズル
53:容器支持手段
531:容器ホルダ
532:加工送り機構
535:移動手段
54:圧縮空気供給手段
W:半導体ウエーハ
T:保護テープ
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持面を備えた保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物に液状樹脂を噴霧する噴霧ノズルと、該噴霧ノズルに液状樹脂を供給する液状樹脂供給源と、該噴霧ノズルに圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、を具備する液状樹脂の塗布装置において、
該噴霧ノズルは、該液状樹脂供給源と連通し下端面に液状樹脂流出口が開口する液状樹脂流通通路と、該液状樹脂流出通路を囲繞して設けられ下端面に環状の空気流出口が開口する筒状の圧縮空気流通通路と、該筒状の圧縮空気流通通路の上端部に連通するとともに該圧縮空気供給手段に連通された圧縮空気導入通路と、を具備し、
該筒状の圧縮空気流通通路は、上端から下端に向けて縮径してロート状に形成され、該環状の空気流出口が該液状樹脂流出口を囲繞して設けられており、
該圧縮空気導入通路は、該筒状の圧縮空気流通通路の壁面に対して接線方向に形成され、該筒状の圧縮空気流通通路に導入する圧縮空気を旋回せしめる、
ことを特徴とする液状樹脂の塗布装置。 - 該液状樹脂供給源は、ダイボンディング用の接着剤としての液状樹脂を供給する、請求項1記載の液状樹脂の塗布装置。
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