JP2011251306A - 偏光方位角調整装置およびレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入射してくるレーザ光2のP波偏光成分P1を透過させるとともに、レーザ光2のS波偏光成分S1を反射する偏光子14と、偏光子14で反射されたレーザ光のS波偏光成分S1を反射して光路の下流側へ導く反射ミラー15,15と、を有するとともにP波偏光成分P1を吸収し且つS波偏光成分S1を光路の下流側へ出射する光学ユニットを備え、光学ユニットは、光学ユニットへのレーザ光の入射光軸と光学ユニットからのレーザ光の出射光軸とが同軸であり且つ光学ユニットを入射光軸を中心として回転させた場合に入射光軸および出射光軸の光軸方向が維持されるように、偏光子14と反射ミラー15,15とが配置されている。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置の概略構成を示す図である。レーザ加工装置100は、偏光ビームスプリッタ7によって1つのレーザ光2を2つのレーザ光8A,8Bに分光し、2つのレーザ光8A,8Bをそれぞれ独立に走査することによって、2つの被加工物13A,13Bを同時に穴あけ加工する装置である。本実施の形態のレーザ加工装置100には、偏光ビームスプリッタ7よりも光路上流に偏光子と反射ミラー(反射光学素子)とを含んで構成される偏光方位角調整装置30(偏光方位角を調整するための手段)が配置されている。そして、偏光方位角調整装置30の偏光子で反射したS波偏光成分(後述のS波偏光成分S1)を光路下流へ導くことで、レーザ光2を偏光ビームスプリッタ7に導いている。
2,8A,8B レーザ光
2a〜2c,9A,9B 偏光方位角
4 マスク
6 反射ミラー
7 偏光ビームスプリッタ
12A,12B XYテーブル
13A,13B 被加工物
14 偏光子
15 反射ミラー
16 ダンパ
30,31 偏光方位角調整装置
35 筐体
100 レーザ加工装置
Claims (4)
- 入射してくるレーザ光のP波偏光成分を透過させるとともに、前記レーザ光のS波偏光成分を反射する偏光子と、
前記偏光子で反射された前記レーザ光のS波偏光成分を反射して光路の下流側へ導く少なくとも2つの反射光学素子と、
を有するとともに前記P波偏光成分を吸収し且つ前記S波偏光成分を光路の下流側へ出射する光学ユニットを備え、
前記光学ユニットは、前記光学ユニットへの前記レーザ光の入射光軸と前記光学ユニットからの前記レーザ光の出射光軸とが同軸であり且つ前記光学ユニットを前記入射光軸を中心として回転させた場合に前記入射光軸および前記出射光軸の光軸方向が維持されるように、前記偏光子と前記反射光学素子とが配置されていることを特徴とする偏光方位角調整装置。 - レーザ光を出射して被加工物をレーザ加工するレーザ加工装置において、
前記レーザ光を出射する光源から前記被加工物までの光路上に、前記レーザ光の偏光方位角を調整するするとともに前記P波偏光成分を吸収し且つ前記S波偏光成分を光路の下流側へ出射する光学ユニットを備え、
前記光学ユニットは、
入射してくるレーザ光のP波偏光成分を透過させるとともに、前記レーザ光のS波偏光成分を反射する偏光子と、
前記偏光子で反射された前記レーザ光のS波偏光成分を反射して光路の下流側へ導く少なくとも2つの反射光学素子と、
を有するとともに、
前記光学ユニットへの前記レーザ光の入射光軸と前記光学ユニットからの前記レーザ光の出射光軸とが同軸であり且つ前記光学ユニットを前記入射光軸を中心として回転させた場合に前記入射光軸および前記出射光軸の光軸方向が維持されるように、前記偏光子と前記反射光学素子とが配置されていることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記光学ユニットから前記被加工物までの光路上に、前記レーザ光を2つのレーザ光に分光する分光部をさらに有し、
前記光学ユニットは、前記光学ユニットから出射するレーザ光の偏向角度が、前記分光部に対して45°の偏光方位角となるように、前記入射光軸を中心として回転させられることを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工装置。 - 入射してくるレーザ光のP波偏光成分を透過させるとともに、前記レーザ光のS波偏光成分を反射する偏光子と、
前記偏光子を透過した前記レーザ光のP波偏光成分を反射して光路の下流側へ導く少なくとも2つの反射光学素子と、
を有するとともに前記S波偏光成分を吸収し且つ前記P波偏光成分を光路の下流側へ出射する光学ユニットを備え、
前記光学ユニットは、前記光学ユニットへの前記レーザ光の入射光軸と前記光学ユニットからの前記レーザ光の出射光軸とが同軸であり且つ前記光学ユニットを前記入射光軸を中心として回転させた場合に前記入射光軸および前記出射光軸の光軸方向が維持されるように、前記偏光子と前記反射光学素子とが配置されていることを特徴とする偏光方位角調整装置。
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