JP2011249026A - 酸化物超電導線材用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくともニッケルを含有する基体表面に、クロムまたはクロムを主成分とした合金からなるメッキ層を形成する工程と、前記メッキ層が形成された基体に対して酸素を有する雰囲気中で熱処理を行う熱処理工程とを有する酸化物超電導線材用基板の製造方法。
【選択図】図1
Description
(1)少なくともニッケルを含有する基体表面に、クロムまたはクロムを主成分とした合金からなるメッキ層を形成する工程(メッキ層形成工程)と、
(2)メッキ層が形成された基体に対して酸素雰囲気中で熱処理を行う熱処理工程(酸化処理工程)
を有する。
ここで、基体1として少なくともニッケルを含有する材料は、ハステロイ(商品名)、インコネル(商品名)、ヘインズアロイ(商品名)、MCアロイ(商品名)、モネル(商品名)、ユディメット(商品名)、ナイモニック(商品名)、ルネ(商品名)、ステンレス鋼、及びインコロイ(商品名)を用いることができる。
本発明の実施形態によれば、少なくともニッケルを含有する基体1表面に、クロムまたはクロムを主成分とした合金からなるメッキ層2を形成する工程すればよい。
本発明の実施形態としてより好ましくは、次に記載するように、メッキ層2を形成する前の基体1表面を研磨する工程を有しているとよい。
少なくともニッケルを含有する基体1表面の少なくとも一方の面に対して、鏡面研磨を行う。研磨方法としては、機械研磨、電解研磨、化学研磨、それら組み合わせた研磨を採用すること出来る。
ウム、酸化クロム、酸化ジルコニウム、酸化鉄などが望ましく、またその溶液(研磨液)
は水や界面活性剤や油類や有機溶剤やそれらの混合液、あるいは水に蟻酸や酢酸や硝酸な
どの酸、あるいは水に水酸化ナトリウムなどのアルカリを混合した溶液であればよいが、
特に石けん水が望ましい。
酸、蟻酸、酢酸、塩酸、フッ酸、クロム酸、過酸化水素、シュウ酸、テトラリン酸、氷酢
酸などの液体あるいはその混合溶液で、さらにその混合溶液に飽和アルコールやスルホン
酸類などの促進剤を混合した溶液が望ましい。
研磨溶液(スラリー)を用いる。
次いで、基体1表面(片面又は両面)に湿式メッキによるクロムまたはクロム合金からなるメッキ層2が施される。なお、メッキは無光沢メッキでも光沢メッキでもよく、必ずしも湿式メッキに限られず、乾式メッキ法も適用することが出来る。また、スパッタ法で、例えばクロムを数nmの厚みに成膜した後、湿式メッキ法で、例えばクロム合金を数μmの厚さに積層してもよい。或いは、乾式メッキ法、湿式メッキでそれぞれ複数層を構成することも可能である。
基体1上に形成されたメッキ層2を、基体1に含まれるニッケルの表面拡散および表面酸化が原因でおこる剥離を防止するための酸化クロム層とするために、酸化処理を行う。
この酸化クロム層は、酸化クロム(Cr2O3)のみからなる層であることが考えられる。或いはスピネル型のNiCr2O4、FeCr2O4の形で存在することも考えられる。この式は理想的な平衡状態としての組成であり、実際には原子比は整数比とならず、NiCr2O4の場合、組成は、例えば、Ni1.2Cr1.8O3.9又は(NiO)1.2(CrO1.5)1.8となる。
でCrの量w(原子%)は最大である。
酸化クロム層の上に、超電導層4を成膜するための中間層3を形成することが出来る。この場合、中間層3を、Y2O3又はGd2Zr2O7を含むものとすることが出来る。
中間層3の上に、超電導層4を形成する。このとき、超電導層4は、RE系超電導材料であればよい。ここで、REは希土類元素であり、Y、Nd、S m 、E u 、G d 、D y 、H o 、E r 、T m 、Y b 、L u から選ばれる1種類または2種類以上の元素からなる超電導材料である。例えば、YBCOからなる超電導材料をMOCVD法によって、成膜すればよい。
次に、メッキ法を用いて、厚さ10nm〜250nmのCr膜を成膜し、メッキ層を形成した。このとき用いたメッキ法は、電解メッキであり、無水クロム酸250g/l、硫酸2.5g/l、浴温50〜55℃、電流密度15〜60A/dm2のサージェント浴を用いた。なお、メッキ層の表面平坦性をあげるために線材の搬送速度を60m/hとした。
その後、500℃、1気圧の酸素雰囲気下で20分〜60分間の熱処理を施して厚さ30nm〜200nmのCr2O3からなる酸化クロム層を成膜し、酸化物超電導線材用基板を得た。このときの、酸化クロム層の表面粗度Raは10nm以下であった。
層間剥離の確認は、オージェ電子分光分析によって、得られた酸化物超電導線材の表面を観察することによって行った。なお、得られた酸化物超電導線材の表面の観察は、得られた酸化物超電導線材に曲げひずみを加えない状態と、酸化物超電導線材をコイルに巻きつけた状態で曲げひずみを加えた状態とで行った。
オージェ電子分光分析は、PHISICAL ELECTRONICS社製のPHI−660型走査型オージェ電子分光装置を用いて行った。電子銃の加速電圧は10kVとし、資料電流が500nAの条件で測定した。
このとき、剥離およびフクレが全く無いという状態を○、剥離は無いがフクレがあるという状態を△、剥離を生じているという状態を×とした。
ε=(t/D)×100・・・・・・(1)
ここで各記号は以下を示す。
ε(%) :曲げひずみ
t(mm):酸化物超電導線材厚み
D(mm):コイルの巻内径
2 メッキ層
3 中間層
4 超電導層
Claims (4)
- 少なくともニッケルを含有する基体表面に、クロムまたはクロムを主成分とした合金からなるメッキ層を形成する工程と、
前記メッキ層が形成された基体に対して酸素を有する雰囲気中で熱処理を行う熱処理工程と
を有する酸化物超電導線材用基板の製造方法。 - 前記メッキ層の厚さが50nm以上200nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導線材用基板の製造方法。
- 前記熱処理工程が、300℃以上550℃以下で行われることを特徴とする請求項1又は2に記載の酸化物超電導線材用基板の製造方法。
- 前記メッキ層を形成する工程の前に、前記基体に対して研磨を行う工程を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の酸化物超電導線材用基板の製造方法。
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