JP5435448B2 - 超電導線材用テープ状基材、その製造方法、及び超電導線材 - Google Patents
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Description
無配向金属基材の表面特性は、表面粗さRaが数nmであることが求められる。この評価はAFM(原子間力顕微鏡)によって測定されるが、その測定範囲は10μm角から100μm角の範囲内の表面測定で定義される。このため、無配向金属基材の表層に内在する欠陥や、表面に点在する欠陥を直接的に観察できず、表面品質全体を保証することは不可能である。更に、これらの欠陥は目視確認可能な形状及び大きさではなく、光学機器での確認も感度設定等と品質判定の再現性に課題が多い。
Y系などの酸化物超電導線で超電導特性の高いものを製造するには、基板表面に中間層としてのGd−Zr酸化物層や、CeO2などの酸化物層をエピタキシャル成長することが要求される。このとき、無配向金属基材の表層に内包する欠陥が点在すると、超電導層までの結晶成長が阻害され、局部的な欠陥点が存在し、臨界電流値特性の低下の問題が生ずる。
従来の製造方法では、無配向金属基材の欠陥位置の特定や、超電導性能に及ぼす影響が正確に把握できず、超電導線材となってはじめて欠陥が確認され、超電導線材の歩留を低下させるという問題があった。このことは、低コストの超電導線材を製造する上で大きな課題であった。
前記テープ状基材の表面は、研磨が施され、前記金属メッキ層表面は、少なくとも鏡面仕上げ圧延及びテンションアニール熱処理が施され、前記金属メッキ層の表面粗さRaが10nm以下であることを特徴とする超電導線材用テープ状基材を提供する。
前記金属メッキ層の表面の仕上げ圧延工程は、前記金属メッキ層の表面粗さRaを10nm以下にする超電導線材用テープ状基材の製造方法を提供する。
(素材直接研磨+湿式Niメッキ法+冷間圧延+鏡面圧延仕上げ+TA熱処理)
厚さ0.3mm×幅75mm×長さ350mのハステロイ(商標:Ni−16Cr−15.6Mo−6Fe−4W−2Co)からなる金属テープ(BA材:表面粗さRa50〜100μm)の両面を機械研磨により表面粗さRaが30nm程度になるように改質し、その研磨面の片面に無光沢のNiメッキを3μmの厚さに形成して、複合基板とした。
以上のようにして得たテープ基材に、IBAD法を用い、Gd−Zr酸化物中間層(GZO)を約1μmの厚さに成膜し、更に、その上にPLD(パルスレーザデポジション)法にてCeO2酸化物中間層を約400nmの厚さに形成した。
(素材冷間圧延+BA熱処理+素材研磨+冷間圧延+湿式Niメッキ法+冷間圧延+鏡面圧延仕上げ+TA熱処理)
ハステロイ(商標:Ni−16Cr−15.6Mo−6Fe−4W−2Co)からなる素材0.5mmt×75mm幅×210m(BA材:表面粗さRa50〜100μm)を、0.3mmの板厚に冷間圧延し、基材の展延性(伸び)を回復させる熱処理(BA処理:光揮焼鈍)を施し、機械研磨を行うことにより、両面の表面粗さRaを30nm程度になるように改質し、更に、ロール径Φ15mmの12段圧延機にて、0.2mmの板厚に圧延し、非配向金属素材表面を圧延加工表面に改質した。
以上のようにして得たテープ基材に、IBAD法を用い、Gd−Zr酸化物中間層(GZO)を約1μmの厚さに成膜し、更に、その上にPLD法にてCeO2酸化物中間層を約500nmの厚さに形成した。
(素材直接研磨+湿式Niメッキ法+冷間圧延+鏡面圧延仕上げ+TA熱処理)
厚さ0.3mm×幅75mm×長さ350mのハステロイ(商標:Ni−16Cr−15.6Mo−6Fe−4W−2Co)からなる金属テープ(BA材:表面粗さRa50〜100μm)の両面を機械研磨により表面粗さRaが30nm程度になるように改質し、その研磨面の片面に無光沢のNiメッキを2μmの厚さに形成して、複合基板とした。
以上のようにして得たテープ基材に、IBAD法を用い、Gd−Zr酸化物中間層(GZO)を約1μmの厚さに成膜し、更に、その上にPLD法にてCeO2酸化物中間層を約500nmの厚さに形成した。
Claims (14)
- テープ状基材と、このテープ状基材の片面または両面に形成された、厚さ0.1μm〜5μmの金属メッキ層とを具備し、
前記テープ状基材の表面は、研磨が施され、前記金属メッキ層表面は、少なくとも鏡面仕上げ圧延及びテンションアニール熱処理が施され、前記金属メッキ層の表面粗さRaが10nm以下であることを特徴とする超電導線材用テープ状基材。 - 前記金属メッキ層表面は、精密研磨が施されることにより、前記金属メッキ層の表面粗さRaが5nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の超電導線材用テープ状基材。
- 前記金属メッキ層が、Ni、W、Mo、V、Ag、Au、Cr、Cu、Sn、及びPからなる群から選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1に記載の超電導線材用テープ状基材。
- 前記テープ状基材は、1〜80原子%のW、Mo、Cr、V、Fe、Cu、Nb、Ta、Ti、Si、Al、B、及びCからなる群から選ばれる少なくとも1種を含むNi合金であることを特徴とする請求項1に記載の超電導線材用テープ状基材。
- 圧延によりテープ状基材を形成する工程と、前記テープ状基材表面を研磨する工程と、前記テープ状基材表面に金属メッキ層を形成する工程と、前記金属メッキ層の表面に鏡面仕上げ圧延を施す工程とを具備し、
前記金属メッキ層の表面の仕上げ圧延工程は、前記金属メッキ層の表面粗さRaを10nm以下にすることを特徴とする超電導線材用テープ状基材の製造方法。 - 前記鏡面仕上げ圧延の後に、平坦性を改善するための熱処理を施す工程を更に具備することを特徴とする請求項5に記載の超電導線材用テープ状基材の製造方法。
- 前記平坦性を改善するための熱処理は、前記テープ状基材を、アルゴンガスに対し0.5〜5vol.%の水素を含む混合ガス雰囲気中で、1kgf/mm2〜10kgf/mm2の張力を加えた状態で、750℃〜850℃で10秒以上保持することであることを特徴とする請求項6に記載の超電導線材用テープ状基材の製造方法。
- 前記金属メッキ層が、Ni、W、Mo、V、Ag、Au、Cr、Cu、Sn、及びPからなる群から選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項5に記載の超電導線材用テープ状基材の製造方法。
- 前記金属メッキ層は、湿式めっきにより0.1μm〜30μmの厚さに形成されることを特徴とする請求項5に記載の超電導線材用テープ状基材の製造方法。
- 前記テープ状基材は、1〜80原子%のW、Mo、Cr、V、Fe、Cu、Nb、Ta、Ti、Si、Al、B、及びCからなる群から選ばれる少なくとも1種を含むNi基合金であることを特徴とする請求項5に記載の超電導線材用テープ状基材の製造方法。
- 前記圧延によりテープ状基材を形成する工程は、圧延加工率50%〜80%の範囲内で行うことを特徴とする請求項5に記載の超電導線材用テープ状基材の製造方法。
- 前記圧延によりテープ状基材を形成する工程の前に、テープ状基材の表面を研磨する工程を更に具備することを特徴とする請求項5に記載の超電導線材用テープ状基材の製造方法。
- 前記鏡面仕上げ圧延を施す工程の後に、前記金属メッキ層の表面を精密研磨する工程を更に具備することを特徴とする請求項5に記載の超電導線材用テープ状基材の製造方法。
- 請求項1に記載の超電導線材用テープ状基材の表面に直接または中間層を介して超電導層を形成してなることを特徴とする超電導線材。
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