JP2011244488A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パッケージ12の内部において収容された圧電振動片26を有する圧電デバイスであって、前記圧電振動片26を前記パッケージ12の前記内部において支持する複数の支持部材38を備え、前記複数の支持部材38は、前記圧電振動片26を挟む位置に配置され、前記圧電振動片26が、前記複数の支持部材38を介して前記パッケージ12の互いに対向する内面により挟持されて、支持されてなる。
【選択図】図1
Description
上記構成により、圧電振動片はフリップチップボンディングによりパッケージのベース側に形成された貫通電極と強固に接続できる。よって適用例3の効果に加えて圧電振動片とパッケージのベース側との接着面積を減らし、寄生容量の発生を抑制できる。
これにより、ICを備えた圧電デバイスの小型化を実現しつつ耐衝撃性を向上させることができる。
外部電極24は実装機器側の電極(不図示)に接続され、パッケージ12内の圧電振動片26を発振させる発振回路(不図示)と接続するものである。
こうして形成された圧電振動子90は、厚みすべり振動片72をパッケージ12に接続してパッケージ12内を真空封止する際に、樹脂コアバンプ92から厚みすべり振動片72の周波数特性等に影響を与えるガスが発生することがない。また圧着により厚みすべり振動片72をパッケージ12に接続するため、通常用いられる厚みすべり振動片72をパッケージに接着する接着剤の硬化のための工程は必要がないため工程数を減らすことがき、また接着剤を用いないので接着剤のアライメント性の影響はなく、圧電振動子90の歩留まり上げ、コストダウンを図ることができる。
Claims (8)
- パッケージの内部において収容された圧電振動片を有する圧電デバイスであって、
前記圧電振動片を前記パッケージの前記内部において支持する複数の支持部材を備え、 前記複数の支持部材は、前記圧電振動片を挟む位置に配置され、
前記圧電振動片が、前記複数の支持部材を介して前記パッケージの互いに対向する内面により挟持されて、支持されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスであって、
前記圧電振動片は、前記圧電振動片の励振電極と接続された引き出し電極が形成され、 前記引き出し電極は、ワイヤを介して前記パッケージの前記内面に形成された電極に接続されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスであって、
前記パッケージは、ベース部と蓋部とを接合することにより形成され、
前記圧電振動片の前記ベース部に対向する面には、前記圧電振動片の励振電極と接続された引き出し電極が形成され、
前記複数の支持部材は、前記圧電振動片の一方の面の前記引き出し電極上と、前記圧電振動片の他方の面の前記引き出し電極に平面視して重なる位置とに設けられ、
前記圧電振動片が前記複数の支持部材を介して前記ベース部の内面と前記蓋部の内面との間に挟持されて、前記圧電振動片が支持され、
前記複数の支持部材のうち前記圧電振動片と前記ベース部との間に配置された第1支持部材は、前記複数の支持部材のうち前記圧電振動片と前記蓋部との間に配置された第2支持部材より硬度の低い導電材により形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項3に記載の圧電デバイスであって、
前記第1支持部材は金バンプであることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスであって、
前記圧電振動片には、前記圧電振動片の励振電極と接続する一対の引き出し電極が形成され、
前記支持部材は、導電材で形成されて前記各引き出し電極上に設けられ、
前記各引き出し電極は、前記支持部材を介して前記パッケージに形成された電極と電気的に接続されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項5に記載の圧電デバイスであって、
前記パッケージは、ベース部と蓋部とを接合することにより形成され、
前記複数の支持部材は、樹脂の表面を金属メッキして構成される樹脂コアバンプでそれぞれ形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスであって、
前記パッケージは、ベース部と蓋部とを接合することによって形成され、
前記ベース部は、ICであり、
前記ICに形成された回路と、前記圧電振動片とが電気的に接続されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスであって、
前記パッケージは、ベース部と蓋部とを接合することにより形成され、
前記ベース部は、前記パッケージの外側に能動面を向けたICであり、
前記ICを貫通し、前記能動面に形成された回路とその非能動面とを接続可能な貫通電極が、前記ICに形成され、
前記非能動面に露出した前記貫通電極が前記圧電振動片に電気的に接続されていることを特徴とする圧電デバイス。
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