JP2011242338A - 試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】既存のテストヘッドを有効に活用して、設備投資額を小さくする。
【解決手段】複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験する少なくとも１つの試験ボードを内部に保持する複数のテストヘッドと、複数のテストヘッドの上面に載置され複数のテストヘッドのそれぞれに個別に取り付けられる接続部と、複数の被試験デバイスを搭載して接続部上に載置されるＤＵＴボードと、を備え、複数のテストヘッドのそれぞれは、接続部が取り付けられた状態で側面から試験ボードを取付けおよび取外しが可能とされる試験装置を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、試験装置に関する。

半導体装置を試験する試験装置は、一般に、複数個の被試験デバイスを並行して試験する。試験装置において、並行して試験可能な被試験デバイスの数は、被試験デバイスを搭載するテストヘッドの大きさにより制限される。従って、並行して試験可能な被試験デバイスを増やすには、テストヘッドを大きくしなければならない。
特許文献１ 米国特許第７３８５３８５号明細書
特許文献２ 日本国特許第４３６５２１３号明細書

しかし、テストヘッドを大きくするには、新たに大型のテストヘッドを購入しなくてはならなかった。この場合、既存のテストヘッドを使用できなくなり、設備投資額が大きくなってしまう。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験する少なくとも１つの試験ボードを内部に保持する複数のテストヘッドと、前記複数のテストヘッドの上面に載置され前記複数のテストヘッドのそれぞれに個別に取り付けられる接続部と、前記複数の被試験デバイスを搭載して前記接続部上に載置されるＤＵＴボードと、を備え、前記複数のテストヘッドのそれぞれは、前記接続部が取り付けられた状態で側面から前記試験ボードを取付けおよび取外しが可能とされる試験装置を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態に係る試験装置１０の外観の第１例を示す。 ハンドラ装置１００および本実施形態に係るテストヘッド２０および接続部２２を示す。 本実施形態に係る試験装置１０の外観の第２例を示す。 本実施形態に係る試験装置１０の外観の第３例を示す。 本実施形態に係るテストヘッド２０の内部に1つの試験ボード３０を挿入している状態を示す。 本実施形態に係るテストヘッド２０の内部に1つの試験ボード３０を装着した状態を示す。 試験ボード３０が内部に挿入され、装着用部材４４の一端５２が下げられた状態における、本実施形態に係るテストヘッド２０の部分的な構成を示す。 試験ボード３０が内部に挿入され、装着用部材４４の一端５２が上げられた状態における、本実施形態に係るテストヘッド２０の部分的な構成を示す。 図８のＸ１−Ｘ２線の断面を示す。 試験ボード３０が内部に挿入されておらず、装着用部材４４の一端５２が下げられた状態における、本実施形態に係るテストヘッド２０の部分的な構成を示す。 試験ボード３０が内部に挿入されておらず、装着用部材４４の一端５２が上げられた状態における、本実施形態に係るテストヘッド２０の部分的な構成を示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の外観の第１例を示す。試験装置１０は、複数の被試験デバイスを並行して試験する。試験装置１０は、複数のテストヘッド２０と、１つの接続部２２と、ＤＵＴボード２４と、複数の連結部２６と、制御部２８とを備える。

複数のテストヘッド２０のそれぞれは、被試験デバイスを試験する少なくとも１つの試験ボード３０を内部に保持する。試験ボード３０は、被試験デバイスと信号を授受して、被試験デバイスの良否を判定する。

複数のテストヘッド２０のそれぞれは、外観形状が互いに同一の直方体である。複数のテストヘッド２０は、一つの側面３２同士が互いに接続するように並べて配置される。なお、テストヘッド２０同士は、互いに機械的に固定がされない。

ここで、テストヘッド２０の上面とは、被試験デバイスが搭載される面の側をいう。また、テストヘッド２０の側面３２とは、上面に対して垂直な面をいう。なお、試験をする場合において、テストヘッド２０の上面が天井側に向いて配置されなくてもよい。

接続部２２は、並べて配置された複数のテストヘッド２０の上面に載置され、複数のテストヘッド２０のそれぞれに個別に取り付けられる。接続部２２は、一例として、並べて配置された複数のテストヘッド２０における上面の全体以上の大きさを有するボード状の部材である。接続部２２は、複数のテストヘッド２０のそれぞれが内部に保持する複数の試験ボード３０のそれぞれと、対応する被試験デバイスとを電気的に接続する。

ＤＵＴボード２４は、接続部２２上に載置される。ＤＵＴボード２４は、試験において複数の被試験デバイスを搭載する。本例においては、試験装置１０は、複数のテストヘッド２０のそれぞれに対応した複数のＤＵＴボード２４を備える。

複数の連結部２６は、接続部２２と複数のテストヘッド２０のそれぞれと連結する。複数の連結部２６のそれぞれは、一例として、接続部２２の上側から挿入され、接続部２２を貫通して対応するテストヘッド２０にネジ止めされるボルトである。

制御部２８は、複数のテストヘッド２０のそれぞれ内の試験ボード３０とネットワークを介して接続される。そして、制御部２８は、複数の試験ボード３０のそれぞれによる試験を制御する。

このような試験装置１０において、複数のテストヘッド２０のそれぞれは、接続部２２が取り付けられた状態で側面３２から試験ボード３０を取付けおよび取外しが可能とされる。複数のテストヘッド２０のそれぞれは、一例として、接続部２２が取り付けられた状態で、側面３２を形成する板が取り外し可能となっている。そして、複数のテストヘッド２０のそれぞれは、側面３２を形成する板を取り外したことにより形成された開口を介して、試験ボード３０を内部へ挿入し、または、内部から試験ボード３０を取り出すことができる。

以上のような試験装置１０によれば、複数のテストヘッド２０が1つの接続部２２により連結される。従って、試験装置１０は、既存のテストヘッド２０を用いて並行に試験可能な被試験デバイスの数を増やすことができる。これにより、試験装置１０によれば、既存設備を有効に活用して、設備投資額を小さくすることができる。

図２は、ハンドラ装置１００および本実施形態に係るテストヘッド２０および接続部２２を示す。接続部２２が取り付けられた状態の複数のテストヘッド２０は、一例として、ハンドラ装置１００により被試験デバイスが搭載される。ここで、接続部２２が取り付けられた状態の複数のテストヘッド２０は、試験に先立って、ハンドラ装置１００が被試験デバイスを接続部２２上に搬送できる位置に移動される。この場合、接続部２２が取り付けられた状態の複数のテストヘッド２０は、接続部２２を保持して移動される。

例えば、図２に示されるように、ハンドラ装置１００は、接続部２２の両辺を把持して、接続部２２が取り付けられた状態の複数のテストヘッド２０を、被試験デバイスを接続部２２上に搬送できる位置に移動させる。これにより、ハンドラ装置１００は、複数のテストヘッド２０同士が互いに固定されていなくても、複数のテストヘッド２０をまとめて移動することができる。

図３は、本実施形態に係る試験装置１０の外観の第２例を示す。図４は、本実施形態に係る試験装置１０の外観の第３例を示す。

試験装置１０は、２つのテストヘッド２０に限らず、３以上のテストヘッド２０を備えてもよい。また、試験装置１０は、上面が同一の方向を向いていれば、複数のテストヘッド２０をどのように配置してもよい。

例えば、試験装置１０は、図３に示されるように、４つのテストヘッド２０を２列、２行に配置してもよい。また、例えば、試験装置１０は、図４に示されるように、４つのテストヘッド２０を１列に並べて配置してもよい。また、例えば、試験装置１０は、図４に示されるように、複数のテストヘッド２０を天井に対して垂直方向に配置してもよい。

このように、試験装置１０は、複数のテストヘッド２０の数および配置を自在に設定することができる。これにより、試験装置１０によれば、複数のテストヘッド２０をハンドラ装置１００の仕様等に適した大きさに組み合わせることができる。

図５は、本実施形態に係るテストヘッド２０の内部に1つの試験ボード３０を挿入している状態を示す。図６は、本実施形態に係るテストヘッド２０の内部に１つの試験ボード３０を装着した状態を示す。

テストヘッド２０は、筐体４２と、少なくとも１つ装着用部材４４とを備える。

筐体４２は、中空の直方体であって、試験ボード３０の挿抜用の開口４６が１つの側面３２に形成される。開口４６は、試験においては、板等により塞がれる。開口４６は、一例として、試験ボード３０の取り付けおよび取り外しにおいて板が外されることにより、筐体４２の一つの側面３２に形成される。これにより、筐体４２は、試験ボード３０を側面３２から内部に挿入させ、または、側面３２から試験ボード３０を抜き出すことができる。

筐体４２は、試験において、試験ボード３０の上辺３４を上面４８に向けた状態で試験ボード３０を内部に保持する。試験ボード３０は、被試験デバイスとの間で信号を授受するためのボード側コネクタ３８を上辺３４に有する。筐体４２は、上面４８における、試験ボード３０が予め定められた位置に移動された場合にボード側コネクタ３８と対向する位置にテストヘッド側コネクタ５０を有する。

このような筐体４２は、試験ボード３０が上辺３４を上面４８に向けた状態で、上面４８に装着されることにより、上面４８に設けられたテストヘッド側コネクタ５０が、試験ボード３０の上辺３４に設けられたボード側コネクタ３８に電気的に接続する。そして、テストヘッド側コネクタ５０は、筐体４２の上部に載置される接続部２２と電気的に接続している。従って、試験ボード３０は、試験において、被試験デバイスとの間で信号を授受することができる。

装着用部材４４は、試験ボード３０を筐体４２の内部に挿入する場合において、試験ボード３０の下辺３６を開口４６から、筐体４２の内部における予め定められた位置までガイドする。そして、装着用部材４４は、筐体４２の内部における予め定められた位置まで挿入された状態の試験ボード３０の下辺３６に対して上側への力を加えて、試験ボード３０を筐体４２に装着させる。より具体的には、装着用部材４４は、試験ボード３０における上辺３４に設けられたボード側コネクタ３８を、筐体４２の上面４８に設けられたテストヘッド側コネクタ５０に装着させる。

また、装着用部材４４は、筐体４２に装着させた状態の試験ボード３０に対して下側への力を加えて、試験ボード３０を筐体４２から離脱させる。より具体的には、装着用部材４４は、試験ボード３０における上辺３４に設けられたボード側コネクタ３８を、筐体４２の上面４８に設けられたテストヘッド側コネクタ５０から離脱させる。

装着用部材４４は、一例として、略棒状の部材である。装着用部材４４は、一端５２が開口４６から筐体４２の外部に露出している。さらに、装着用部材４４は、筐体４２の下面５８から予め定められた高さまでの間で上下移動が可能に筐体４２に取り付けられる。

装着用部材４４は、一例として、他端５４が開口４６とは反対側の面（奥面５６）に取り付けられる。この場合、装着用部材４４の他端５４は、筐体４２の下面５８から予め定められた高さの位置に取り付けられる。また、装着用部材４４の他端５４は、一例として、一端５２が奥面５６の取り付け位置（即ち、筐体４２の下面５８から予め定められた高さの位置）を中心に回転可能に、奥面５６に取り付けられる。

このような装着用部材４４は、図６に示されるように、試験ボード３０が開口４６から筐体４２の内部まで挿入されて予め定められた位置に配置された状態で、一端５２が上方向に押し上げられる。一端５２は、一例として、てこ１１０により上方向に押し上げられる。

装着用部材４４は、一端５２が上方向に押し上げられると、試験ボード３０の下辺３６に突き当たり、試験ボード３０の下辺３６に上側の力を加える。これにより、装着用部材４４は、試験ボード３０の下辺３６を予め定められた高さまで押し上げることができる。

そして、装着用部材４４は、試験ボード３０の下辺３６を予め定められた高さまで押し上げることにより、試験ボード３０におけるボード側コネクタ３８を筐体４２の上面４８のテストヘッド側コネクタ５０に装着させることができる。このように、装着用部材４４は、試験ボード３０の下辺３６に対して上側への力を加えて試験ボード３０を筐体４２に装着させることができる。

また、装着用部材４４は、試験ボード３０の下辺３６が予め定められた高さに位置する状態から、一端５２が下方向に引き下げられる。一端５２は、一例として、てこ１１０により下方向に引き下げられる。

装着用部材４４は、一端５２が下方向に引き下げられると、試験ボード３０の下辺３６に形成された爪等に引っかかり、試験ボード３０の下辺３６に下側の力を加える。これにより、装着用部材４４は、試験ボード３０の下辺３６を予め定められた高さから引き下げることができる。

そして、装着用部材４４は、試験ボード３０の下辺３６を予め定められた高さから引き下げることにより、試験ボード３０におけるボード側コネクタ３８を筐体４２の上面４８のテストヘッド側コネクタ５０から離脱させることができる。このように、装着用部材４４は、試験ボード３０の下辺３６に対して下側への力を加えて試験ボード３０を筐体４２から離脱させることができる。

さらに、装着用部材４４は、図６に示されるように、固定部材６０を有する。固定部材６０は、装着用部材４４における一端５２を、試験ボード３０の下辺３６が予め定められた高さまで押し上げられた状態で固定する。固定部材６０は、一例として、装着用部材４４における一端５２と筐体４２の下面５８との間に挿入されて、試験ボード３０が下側に下がらないように保持する。これにより、装着用部材４４は、試験中において、ボード側コネクタ３８がテストヘッド側コネクタ５０から脱落しないように、試験ボード３０を保持することができる。

以上のような試験装置１０は、テストヘッド２０の上部に接続部２２が載置されている状態で、テストヘッド２０の内部の試験ボード３０の挿抜をすることができる。これにより、試験装置１０によれば、テストヘッド２０から接続部２２を取り外さずに、容易に試験ボード３０を交換させることができる。

図７から図１１は、本実施形態に係るテストヘッド２０の部分的な構成の一例を示す。より詳しくは、図７は、試験ボード３０が挿入され、装着用部材４４が下げられた状態におけるテストヘッド２０の部分的な構成を示す。図８は、試験ボード３０が挿入され、装着用部材４４が上げられた状態におけるテストヘッド２０の部分的な構成を示す。図９は、図８のＸ１−Ｘ２線の断面を示す。図１０は、試験ボード３０が挿入されておらず、装着用部材４４が下げられた状態におけるテストヘッド２０の部分的な構成を示す。図１１は、試験ボード３０が挿入されておらず、装着用部材４４が上げられた状態におけるテストヘッド２０の部分的な構成を示す。

試験ボード３０の上辺３４には、ボード側コネクタ３８が設けられている。筐体４２の上面４８におけるボード側コネクタ３８に対応した位置には、テストヘッド側コネクタ５０が設けられている。ボード側コネクタ３８は、試験ボード３０が装着用部材４４により押し上げられたことに応じて、対応するテストヘッド側コネクタ５０に装着する。このようなボード側コネクタ３８およびテストヘッド側コネクタ５０は、試験ボード３０とテストヘッド２０の上部に載置される接続部２２とを電気的に接続することができる。

また、試験ボード３０の上辺３４には、位置決めピン６２が設けられている。筐体４２の上面４８における位置決めピン６２に対応した位置には、位置決め穴６４が設けられている。位置決めピン６２は、試験ボード３０が装着用部材４４により押し上げられたことに応じて、対応する位置決め穴６４の内部に挿入する。このような位置決めピン６２および位置決め穴６４は、試験ボード３０が装着用部材４４により押し上げられたときに、試験ボード３０の上辺３４が予め定められた位置に移動するようにガイドして、ボード側コネクタ３８を対応するテストヘッド側コネクタ５０に確実に装着させることができる。

また、筐体４２の上面４８には、図９に示されるように、上側ガイド部６６が設けられている。上側ガイド部６６は、試験ボード３０の上辺３４の近傍において試験ボード３０の両表面を挟み込むように支持する。このような上側ガイド部６６は、試験ボード３０が装着用部材４４により押し上げられたとき、および、試験ボード３０が開口４６から筐体４２の内部に挿入されたときにおいて、試験ボード３０の上辺３４が予め定められた位置に移動するようにガイドすることができる。

装着用部材４４は、ボード支持部７０と、レバー部７２とを有する。ボード支持部７０は、試験ボード３０の下辺３６を開口４６から予め定められた位置までガイドするとともに、試験ボード３０の下辺３６を下側から支持する。レバー部７２は、ボード支持部７０を支持するとともに、筐体４２の外部から与えられる力によりボード支持部７０を押し上げる。また、レバー部７２は、予め定められた高さまで押し上げたボード支持部７０を、筐体４２の外部から与えられる力により引き下げる。

ボード支持部７０は、一例として、２つの内板７６と、複数の中間部材７８とを含む。

２つの内板７６のそれぞれは、略長尺状の薄板であって互いに同一形状である。２つの内板７６は、予め定められた間隔で、互いの平面が平行となるように配置される。２つの内板７６は、筐体４２内の下面５８側であって、長辺に沿った方向の一端が開口４６側に、他端が奥面５６に突き当たる位置に配置される。さらに、２つの内板７６は、互いの平面が筐体４２の上下方向（即ち、筐体４２の下面５８から上面４８へと向かう方向またはその逆方向）に対して平行となるように配置される。

複数の中間部材７８のそれぞれは、２つの内板７６における対向する平面の間に配置され、２つの内板７６を連結する。複数の中間部材７８のそれぞれは、２つの内板７６を、試験ボード３０における下辺３６部分の厚さよりも少なくとも広い間隔で平行に固定する。複数の中間部材７８のうち一部は、２つの内板７６における上側の辺の近傍に配置される。

２つの内板７６のそれぞれの平面には、長辺に沿った方向に並んだ複数の孔８０が形成されている。本例においては、２つの内板７６のそれぞれは、奥面５６側に形成された第１の孔８０−１と、略中間位置に形成された第２の孔８０−２と、開口４６側に形成された第３の孔８０−３とを有する。

また、試験ボード３０における下辺３６には、当該試験ボード３０を下側に引き下げるための係合爪９２が形成されている。また、ボード支持部７０における２つの内板７６のそれぞれの上側の辺には、試験ボード３０が筐体４２内の予め定められた位置まで挿入された場合において、試験ボード３０の下辺に形成された係合爪９２に係合する係合ピン９０が設けられている。

このようなボード支持部７０は、２つの内板７６における上側の辺の近傍に配置された中間部材７８により、筐体４２の内部に挿入された試験ボード３０の下辺３６を、下側から、下面５８および上面４８に対して平行に支持することができる。また、このようなボード支持部７０は、２つの内板７６における上側の辺の近傍部分および中間部材７８により、溝が形成される。ボード支持部７０は、この溝により、試験ボード３０の下辺３６を開口４６から予め定められた位置までガイドすることができる。

レバー部７２は、２つの外板８２と、複数の連結ピン８６と、ずれ防止部８８と、固定部材６０とを含む。

２つの外板８２のそれぞれは、略長尺状であって互いに同一形状である。２つの外板８２は、ボード支持部７０を挟んで支持する。より具体的には、２つの外板８２は、平行に配置された２つの内板７６を挟んで支持する。

２つの外板８２は、長辺に沿った方向の一端５２が開口４６から筐体４２の外部に露出し、他端５４が開口４６とは反対側の奥面５６に取り付けられる。２つの外板８２の他端５４は、一端５２が上下方向に移動可能に奥面５６に取り付けられる。２つの外板８２は、一例として、他端５４が軸８４により奥面５６における筐体４２の下面５８から予め定められた高さの位置に取り付けられる。そして、２つの外板８２は、軸８４を支点として回転することにより一端５２が上下に動作する。

複数の連結ピン８６のそれぞれは、ボード支持部７０に形成された複数の孔８０のそれぞれを貫通して、２つの外板８２を連結する。本例においては、レバー部７２は、第１の孔８０−１を貫通する第１の８６−１と、第２の孔８０−２を貫通する第２の８６−２と、第３の孔８０−３を貫通する第３の８６−３とを有する。

ここで、外板８２の一端５２が上方向に移動した場合、複数の連結ピン８６のうち一部の連結ピン８６が、対応する孔８０の上部に突き当たる。これにより、レバー部７２は、筐体４２の外部からの力により一端５２が上方向に移動すると、これにともなってボード支持部７０を上方向に移動させることができる。

また、外板８２の一端５２が下方向に移動した場合、複数の連結ピン８６のうち一部の連結ピン８６が、対応する孔８０の下部に突き当たる。これにより、レバー部７２は、筐体４２の外部からの力により一端５２が下方向に移動すると、これにともなってボード支持部７０を下方向に移動させることができる。

ずれ防止部８８は、下面５８に設けられ、ボード支持部７０における開口４６側の端部が筐体４２の外側にずれないように規制する。これにより、ずれ防止部８８および奥面５６は、ボード支持部７０における長辺に沿った方向の端部間を挟み込むことができる。従って、ずれ防止部８８および奥面５６は、ボード支持部７０を平行に保った状態で上下に移動させることができる。

固定部材６０は、外板８２の一端５２が上方向に予め定められた位置まで移動した状態において、一端５２と下面５８との間に挿入される。これにより、固定部材６０は、外板８２を予め定められた高さにおいて略平行に保持することができる。また、固定部材６０は、一端５２が予め定められた位置から下方向に移動する場合には、一端５２と下面５８との間から取り外される。固定部材６０は、一例として、一端が折り込み可能に外板８２に取り付けられ、外板８２を平行な状態で固定する場合には、外板８２に対して直角に折り込まれる部材である。

このようなレバー部７２は、外板８２における一端５２が、上方向に移動可能となっている。レバー部７２は、一端５２が上方向に移動すると、ボード支持部７０を共に上方向に移動させることができる。また、この場合において、ボード支持部７０は、ずれ防止部８８および奥面５６により平行な状態で上方向に移動する。

また、このようなレバー部７２は、外板８２における一端５２が、予め定められた高さから下方向に移動可能となっている。レバー部７２は、一端５２が下方向に移動するとボード支持部７０を共に下方向に移動させることができる。また、この場合において、ボード支持部７０は、ずれ防止部８８および奥面５６により平行な状態で下方向に移動する。

以上のようなボード支持部７０およびレバー部７２を有する装着用部材４４は、次のような動作をする。まず、装着用部材４４の一端５２が筐体４２の下面５８に接している状態において、ユーザの手により試験ボード３０が筐体４２の内部に挿入される。この場合において、試験ボード３０の下辺をボード支持部７０に形成された溝に沿って挿入することにより、試験ボード３０は、装着用部材４４により筐体４２内の予め定められた位置までガイドされる。

続いて、試験ボード３０が筐体４２の予め定められた位置まで挿入された状態において、装着用部材４４におけるレバー部７２の一端５２がてこ１１０等により上方向に押し上げられる。レバー部７２における一端５２が上方向に押し上げられると、複数の連結ピン８６のうち一部の連結ピン８６が孔８０の上部に突き当たり、ボード支持部７０を上方向に移動させる。そして、ボード支持部７０は、上方向に移動することにより、試験ボード３０の下辺３６を予め定められた高さまで押し上げることができる。これにより、試験ボード３０における上辺３４に設けられたボード側コネクタ３８は、筐体４２の上面４８に設けられたテストヘッド側コネクタ５０に装着する。このように装着用部材４４は、試験ボード３０を筐体４２の内部に装着させることができる。

また、試験ボード３０が筐体４２に装着されている状態において、装着用部材４４におけるレバー部７２の一端５２がてこ１１０等により下方向に引き下げられる。レバー部７２における一端５２が下方向に引き下げられると、複数の連結ピン８６のうち一部の連結ピン８６が孔８０の下部に突き当たり、ボード支持部７０を下方向に移動させる。ボード支持部７０は、下方向に移動すると、係合ピン９０が、試験ボード３０の下辺３６に形成された係合爪９２に係合して、試験ボード３０を下方向に引き下げる。試験ボード３０は、下方向に引き下げられると、ボード側コネクタ３８がテストヘッド側コネクタ５０から離脱する。

そして、装着用部材４４の一端５２が筐体４２の下面５８に接している状態まで引き下げられると、ユーザの手により試験ボード３０が筐体４２の内部から取り出される。このように、装着用部材４４は、筐体４２に装着された試験ボード３０を取り出し可能とすることができる。

なお、試験ボード３０は、一例として、筐体４２に挿入された状態における開口４６側の横辺に、この横辺を補強する横辺補強部９６が形成されていてもよい。横辺補強部９６は、ユーザが試験ボード３０を筐体４２の内部に挿入する場合において、試験ボード３０を容易にユーザに保持させることができる。

また、試験ボード３０は、一例として、下辺３６にこの下辺３６を補強する下辺補強部９８が形成されていてもよい。下辺補強部９８は、筐体４２が試験ボード３０を押し上げる場合において、比較的に強い力を試験ボード３０に加えて、ボード側コネクタ３８とテストヘッド側コネクタ５０とを確実に装着させることができる。

また、テストヘッド２０は、試験ボード３０が筐体４２に装着された状態において、試験ボード３０が開口４６から外部へと脱落しないように規制する脱落防止部９４を更に備えてもよい。脱落防止部９４は、一例として、筐体４２の上面４８における開口４６の近傍に、ヒンジ等を介して取り付けられる。そして、脱落防止部９４は、試験ボード３０が筐体４２に装着された状態において、試験ボード３０が筐体４２の外部に脱落しないようにネジ止めがされる。また、脱落防止部９４は、試験ボード３０を着脱する場合において、ネジが外される。

以上のようなテストヘッド２０は、上部に接続部２２が載置されている状態で、内部の試験ボード３０の挿抜をすることができる。これにより、テストヘッド２０によれば、接続部２２を取り外さずに、容易に試験ボード３０を交換させることができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０ 試験装置、２０ テストヘッド、２２ 接続部、２４ ＤＵＴボード、２６ 連結部、２８ 制御部、３０ 試験ボード、３２ 側面、３４ 上辺、３６ 下辺、３８ ボード側コネクタ、４２ 筐体、４４ 装着用部材、４６ 開口、４８ 上面、５０ テストヘッド側コネクタ、５２ 一端、５４ 他端、５６ 奥面、５８ 下面、６０ 固定部材、６２ 位置決めピン、６４ 位置決め穴、６６ 上側ガイド部、７０ ボード支持部、７２ レバー部、７６ 内板、７８ 中間部材、８０ 孔、８２ 外板、８４ 軸、８６ 連結ピン、８８ ずれ防止部、９０ 係合ピン、９２ 係合爪、９４ 脱落防止部、９６ 横辺補強部、９８ 下辺補強部、１００ ハンドラ装置、１１０ てこ

Claims (12)

1. 複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   被試験デバイスを試験する少なくとも１つの試験ボードを内部に保持する複数のテストヘッドと、
   前記複数のテストヘッドの上面に載置され前記複数のテストヘッドのそれぞれに個別に取り付けられる接続部と、
   前記複数の被試験デバイスを搭載して前記接続部上に載置されるＤＵＴボードと、
   を備え、
   前記複数のテストヘッドのそれぞれは、前記接続部が取り付けられた状態で側面から前記試験ボードを取付けおよび取外しが可能とされる
   試験装置。
2. 前記複数のテストヘッドのそれぞれに対応して設けられた複数の前記ＤＵＴボードを備える
   請求項１に記載の試験装置。
3. 前記接続部は、前記複数のテストヘッドが内部に保持する前記少なくとも１つの試験ボードと、対応する前記ＤＵＴボードとを電気的に接続する
   請求項２に記載の試験装置。
4. 前記接続部と前記複数のテストヘッドのそれぞれと連結する複数の連結部を更に備える
   請求項１または３に記載の試験装置。
5. 前記試験ボードによる試験を制御する制御部を更に備える
   請求項１から４の何れかに記載の試験装置。
6. 前記複数のテストヘッドのそれぞれは、外形形状が同一である
   請求項１から５の何れかに記載の試験装置。
7. 前記接続部が取り付けられた状態の前記複数のテストヘッドは、前記接続部を保持して移動される
   請求項１から６の何れかに記載の試験装置。
8. 前記複数のテストヘッドのちの少なくとも１つのテストヘッドは、
   前記試験ボードの挿抜用の開口が１つの側面に形成され、前記試験ボードの上辺を前記上面に向けた状態で前記試験ボードを内部に保持する筐体と、
   前記試験ボードの下辺を前記開口から予め定められた位置までガイドし、前記試験ボードの前記下辺に対して上側への力を加えて前記試験ボードを前記筐体に装着させる装着用部材と、
   を有する請求項１から７の何れかに記載の試験装置。
9. 前記試験ボードは、前記被試験デバイスとの間で信号を授受するためのボード側コネクタを上辺に有し、
   前記筐体は、前記上面における、前記試験ボードが予め定められた位置に移動された場合に前記ボード側コネクタと対向する位置にテストヘッド側コネクタを有し、
   前記装着用部材は、前記試験ボードにおける前記ボード側コネクタを前記筐体の前記上面の前記テストヘッド側コネクタに装着させる
   請求項８に記載の試験装置。
10. 前記装着用部材は、
    前記試験ボードの前記下辺を前記開口から予め定められた位置までガイドするとともに、前記試験ボードの前記下辺を下側から支持するボード支持部と、
    前記ボード支持部を支持するとともに、前記筐体の外部から与えられる力により前記ボード支持部を押し上げるレバー部と、
    を有する
    請求項９に記載の試験装置。
11. 前記レバー部は、一端が前記開口から前記筐体の外部に露出しており、他端が前記開口とは反対側の面に前記一端が上下方向に移動可能に取り付けられる
    請求項１０に記載の試験装置。
12. 前記レバー部は、前記開口とは反対側の面における、前記筐体の下面から予め定められた高さの位置を中心として移動可能に設けられる
    請求項１１に記載の試験装置。

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