JP2011237508A - パターン形成方法 - Google Patents
パターン形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011237508A JP2011237508A JP2010107032A JP2010107032A JP2011237508A JP 2011237508 A JP2011237508 A JP 2011237508A JP 2010107032 A JP2010107032 A JP 2010107032A JP 2010107032 A JP2010107032 A JP 2010107032A JP 2011237508 A JP2011237508 A JP 2011237508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive composition
- ring
- light
- formula
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
【解決手段】光及び/又は熱によって可逆的に開環−閉環する環を有する基本骨格に修飾基が導入されてフォトクロミズムを示すフォトクロミック化合物を含む感光性組成物を用いたパターン形成方法であって、基本骨格は、式I
【化1】
で示される構造を有し、開環を行う開環波長光を感光性組成物に照射し、該感光性組成物を物質移動させるものである。
【選択図】図1
Description
一方、アゾベンゼンをフォトクロミック化合物として用いた感光性組成物において、マトリックス(高分子化合物)を含むと物質移動の抵抗となるため、マトリックスを用いずにアゾベンゼン単体を感光性組成物として用いることが報告されている(非特許文献1)。
従って、本発明の目的は、可視域に吸収を持たずに均一光でもパターンが消去されず、光照射によって現像を経ずにパターン形成が可能で、かつガラス転移温度以上に加熱することでパターンを消去可能な、パターン形成方法を提供することにある。
パターン形成後の前記感光性組成物が可視領域に吸収を有する場合に、前記閉環波長光を照射してもよい。
本発明で用いる感光性組成物は、光及び/又は熱によって可逆的に開環−閉環する環を有する基本骨格に修飾基が導入され、作動温度でフォトクロミズムを示すフォトクロミック化合物を80質量%以上含む。フォトクロミズムとは、光によって単一化学種が2つの安定な状態間に可逆的に変換されることをいう。
上記フォトクロミック化合物の基本骨格は、式I
フォトクロミズムを示す作動温度としては、例えば室温が挙げられる。
修飾基としては、単環基、多環基、又は架橋環基が挙げられる。これら環式基の環の数が増加する程、フォトクロミック化合物のガラス転移温度が向上する。フォトクロミック化合物のガラス転移温度以上の温度では、フォトクロミック化合物がもとの位置に流動するため一旦形成されたパターンが消失する。このため、フォトクロミック化合物のガラス転移温度が高いほど、生成したパターンの形状が安定して保持される。但し、修飾基の環の数が増加し、フォトクロミック化合物のガラス転移温度が高いほど、パターンの生成速度が低下する。これは、閉環反応の速度が高くなるためと考えられる。
パターン形成速度とのバランスを考えると、環の数が多すぎるのは好ましくなく、環の数が1〜3個程度が望ましい。
上記環式基として、炭素環置換基(シクロヘキサン、ベンゼンなど)の他、複素環置換基(ピロール、イミダゾール、ピラゾール、フラン、オキサゾール、イソオキサゾール、チオフェン、チアゾール、イソチアゾール、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピラジン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピランなど)を用いることもできる。又、環式基としては、一つの環からなる構造だけでなく、2つ以上の環が接続された基(ビフェニル、ジフェニルアミンなど)を用いることもできる。
また、基本骨格の一部を鎖状置換基で修飾するとガラス転移温度を微調整することができる。
本発明に用いる感光性組成物は、上記フォトクロミック化合物を80質量%以上含むことが好ましい。感光性組成物中のフォトクロミック化合物の含有量が80質量%未満であると、パターン(レリーフ)の形成効率が減少したり、感光性組成物が相分離することがある。ここで、パターン形成効率が大幅に減少すると、パターンを形成するために相当量の露光エネルギーが必要になるため、結果としてフォトクロミック化合物の分解が生じてしまう。感光性組成物中のフォトクロミック化合物の含有量が90質量%以上であることがより好ましく、フォトクロミック化合物が100質量%であってもよい。
感光性組成物中のフォトクロミック化合物以外の成分としては、酸化防止剤、蛍光増白剤、光安定剤等の各種添加剤が挙げられる。また必要に応じ、感光性組成物の形状保持や塗工を容易にするために少量の高分子結着剤を用いることもできる。高分子結着剤として、具体的には、例えばポリアルキルメタクリレート、ポリアルキルアクリレート、ポリスチレン、アモルファスポリオレフィン、ポリビニルアルキラール等を用いることができる。これらの結着剤を上記フォトクロミック化合物と混合し、さらに適宜所定の溶剤や添加剤等を配合して感光性組成物を得ることができる。
そして、上記感光性組成物を成膜し、フォトクロミック化合物の開環を行う開環波長光を感光性組成物に照射すると、例えば上記したように暗部の感光性組成物が物質移動して、パターン形成をすることができる。
例えば、上記式Xの化合物を用いる場合、開環を行うUV光を照射する。照射光は、例えば所定のパターンのフォトマスクを介して照射することができる。
上記式Xの化合物を用いた場合について説明すると、開環化合物は青色を呈している。そして、パターン形成のために開環波長光を照射した結果、感光性組成物中のフォトクロミック化合物は、開環化合物と閉環化合物とを一定の割合で含む。このため、パターン形成後の感光性組成物は青色を呈する(紫外可視領域に吸収スペクトルを有する)ことになる。
なお、上記したように、開環体が多い部分とそうでない部分の空間的な分布が生じることで物質移動が生じるので、閉環波長光や開環波長光を照射しても形成されたパターンが元に戻ることはない。
そして、本発明に用いる感光性組成物を用いてパターン形成後、上記した可視吸収を減少させれば、例えば波長プログラマブル有機DFB(分布帰還型)レーザ素子に好適に適用可能である。つまり、DFBレーザの共振器内部に設けた周期的回折格子を本発明に用いる感光性組成物を用いてパターン形成する場合、パターン形成後に可視吸収を減少(又は消失)させることにより、可視領域に発振周波数を持つレーザ素子の特性を大幅に向上させることができる。例えば、上記式Xの化合物を用いた場合、可視吸収スペクトルを消失させることによって、可視光波長を発振するレーザ素子の特性が向上される。
さらに、本発明に用いる感光性組成物は光照射によって全体として物質移動するので、物質移動させたい対象物のキャリア(搬送物)としても適用可能である。この場合、対象物を感光性組成物中に配合すればよく、光照射後に焼成等によって感光性組成物を焼失させてもよい。[TU1]
式VII〜Xに示すフォトクロミズムを示すフォトクロミック化合物(スピロオキサジン誘導体)を準備した。以下、式VII〜Xの順に符号SO2〜SO5で表す。又、比較として、修飾基を導入しないスピロオキサジン(式VIに相当;符号SO1で表す)を準備した。なお、SO1とSO4は市販品(シグマ−アルドリッチ社製)を精製せずにそのまま使用した。SO2、SO3、SO5は、以下のようにして合成した。合成のスキームを以下に示す。
20 ml二つ口ナス型フラスコにスピナーを入れ、上記SO1を99.4 mg (0.303 mmol, 1.00 eq.)、クロロホルム1.7 mlを順に加え、還流を10分行った。20 ml ナシ型フラスコにスピナーとN-bromosuccinimide (NBS)65.5 mg (0.368 mmol, 1.21 eq.)、クロロホルム4 mlを順に加えた。このNBSのクロロホルム溶液をカヌーラで20 ml二つ口ナス型フラスコに滴下し、還流を1時間行った。その後、赤色の浮遊物を吸引ろ過で除去した後、純水で3回洗浄し無水硫酸ナトリウムでクロロホルム層の水分を除いた。吸引ろ過で硫酸ナトリウムを除去後ロータリーエバポレーターで溶媒を除去し、デシケーター内で完全に溶媒を除去した。ここにろ過済みエタノールを50℃で加熱しながら3 ml加えると、白黄色の固体が沈殿してきたのでこの沈殿物をメンブランフィルターでろ過、回収し、Br-SOを77.8 mg (0.191 mmol) 収率63 %で得た。この化合物を1H NMR、IR、LRMSで同定し、Br-SOであることを確認した。
1H NMR (300MHz, CDCl3, TMS) ?/ppm ; 1.32 (3H, s), 1.36 (3H, s), 2.73 (3H, s), 6.44 (1H, d, J/Hz = 8.1), 7.00 (1H, d, J/Hz = 8.9), 7.16 (1H, d, J/Hz = 1.9), 7.30 (1H, dd, J/Hz = 8.1, 1.9), 7.42 (1H, m), 7.58 (1H, m), 7.68 (1H, d, J/Hz = 8.9), 7.72 (1H, s), 7.75 (1H, d, J/Hz = 8.1), 8.55 (1H, d, J/Hz = 8.6)
IR (ATR: diamond prism, neat)ν/cm-1 = 2962, 2871, 1593, 1509, 1480, 1459, 1427, 1412, 1393, 1347, 1290, 1270, 1249, 1190
LRMS (EI, 70 eV) m/z (rel intensity), 408 ((M+2)+, 100), 406 (M+, 100), 393 (((M+2)-CH3)+, 64), 391 ((M-CH3)+, 63), 239 (((M+2)-C11H7NO)+, 72), 237 ((M-C11H7NO)+, 72).
m.p. 178~181 oC
microwave用の10~20 mlバイアルにスピナーを入れ、上記Br-SOを200 mg (0.491 mmol, 1.00 eq.)、diphenylamineを100.2 mg (0.592 mmol, 1.21 eq.)、palladium (II) acetateを11.3 mg (0.0503 mmol, 0.10 eq.)、tri-t-butylphosphineを12.1 mg (0.0598 mmol, 0.12 eq.)、sodium tert-butoxideを143.5 mg (1.493 mmol, 3.04 eq.)、トルエンを15 ml加えた。バイアルに栓をしてマイクロウェーブ反応装置でマイクロ波を照射し、温度120℃、内圧0 barで15分間反応させた。その後ロータリーエバポレーターでトルエンを除去した。クロロホルムを加えた溶液を水で3回洗浄後、無水硫酸ナトリウムでクロロホルム層の水分を除いた。吸引ろ過で硫酸ナトリウムを除去後ロータリーエバポレーターで溶媒を除去し、残存物をフラッシュカラムクロマトグラフィー (3 % AcOEt/Hex) で分離し、SO2を186.4 mg (0.376 mmol) 収率77 %で得た。この化合物を1H NMR、IR、LRMSで同定し、SO2であることを確認した。
1H NMR (300MHz, CDCl3, TMS) ?/ppm ; 1.26 (3H, s), 1.33 (3H, s), 2.76 (3H, s), 6.49 (1H, d, J/Hz = 8.1), 6.90-6.98 (4H, m), 7.06-7.10 (5H, m), 7.19-7.26 (4H, m), 7.40 (1H, t, J/Hz = 7.5), 7.58 (1H, t, J/Hz = 7.5), 7.69 (1H, d, J/Hz = 8.9), 7.74 (1H, s), 7.75 (1H, d, J/Hz = 8.1)
IR (ATR: diamond prism, neat) ν/cm-1 = 2959, 2924, 1725, 1587, 1486, 1460, 1388, 1363, 1308, 1273, 1250, 1171, 1137, 1119, 1078, 1036, 1011, 979, 950, 917, 879, 836, 816, 778, 750, 697, 654, 624, 593, 560
LRMS (EI, 70 eV) m/z (rel intensity), 495 (M+, 100), 480 ((M-CH3)+, 27), 326 ((M-C11H7NO)+, 43)
m.p. 187~191 oC
microwave用の2~5 mlバイアルにスピナーを入れ、Br-SOを70.0 mg (0.172 mmol, 1.00 eq.)、di-p-tolylamineを39.7 mg (0.201 mmol, 1.17 eq.)、palladium (II) acetateを4.1 mg (0.0183 mmol, 0.11 eq.)、tri-t-butylphosphineを4.0 mg (0.0198 mmol, 0.12 eq.)、sodium tert-butoxideを53.1 mg (0.553 mmol, 3.22 eq.)、トルエンを5.0 ml加えた。バイアルに栓をしてマイクロウェーブ反応装置でマイクロ波を照射し、温度120℃、内圧0 barで10分間反応させた。その後ロータリーエバポレーターでトルエンを除去した。クロロホルムを加えた溶液を水で3回洗浄後、無水硫酸ナトリウムでクロロホルム層の水分を除いた。吸引ろ過で硫酸ナトリウムを除去後ロータリーエバポレーターで溶媒を除去し、残存物をフラッシュカラムクロマトグラフィー (3 % AcOEt/Hex)で分離し、SO3を82.2 mg (0.157 mmol) 収率91 %で得た。この化合物を1H NMR、IR、LRMSで同定し、SO3であることを確認した。
1H NMR (300MHz, CDCl3, TMS) ?/ppm ; 1.26 (3H, s), 1.33 (3H, s), 2.30 (6H, s), 2.75 (3H, s), 6.45 (1H, d, J/Hz = 8.1), 6.89-6.98 (6H, m), 7.02-7.09 (5H, m), 7.37-7.42 (1H, tm, J/Hz = 7.4), 7.55-7.58 (1H, tm, J/Hz = 7.4), 7.69 (1H, d, J/Hz = 8.9), 7.73 (1H, s), 7.76 (1H, d, J/Hz = 8.1), 8.55 (1H, d, J/Hz = 7.9)
IR (ATR: diamond prism, neat) ν/cm-1 = 2925, 2868, 1606, 1593, 1505, 1485, 1460, 1385, 1352, 1313, 1269, 1248, 1169, 1111, 1080, 1034, 1000, 956, 880, 811, 748, 710, 690, 631, 579, 563
LRMS (EI, 70 eV) m/z (rel intensity), 523 (M+, 100), 508 ((M-CH3)+, 58), 354 ((M-C11H7NO)+, 39)
microwave用の2~5 mlバイアルにスピナーを入れ、Br-SOを155.1 mg (0.381 mmol, 1.00 eq.)、dihydroxyphenylboraneを54.9 mg (0.450 mmol, 1.18 eq.)、tetrakis(triphenylphosphine)palladium(0)を48.1 mg (0.0416 mmol, 0.11 eq.)、sodium carbonateを125.2 mg (1.181 mmol, 3.10 eq.)、THFを4.0 ml、水を1.0 ml加えた。バイアルに栓をしてマイクロウェーブ反応装置でマイクロ波を照射し、温度130℃、内圧5 barで10分間反応させた。反応後の溶液にクロロホルムを加えて水で3回洗浄後、無水硫酸ナトリウムでクロロホルム層の水分を除いた。吸引ろ過で硫酸ナトリウムを除去後ロータリーエバポレーターで溶媒を除去し、残存物をフラッシュカラムクロマトグラフィー (3 % AcOEt/Hex) で分離し、SO5を67.6 mg (0.167 mmol) 収率44 %で得た。この化合物を1H NMR、IR、LRMSで同定し、SO5であることを確認した。
1H NMR (300MHz, CDCl3, TMS) ?/ppm ; 1.40 (3H, s), 1.41 (3H, s), 2.81 (3H, s), 6.65 (1H, d, J/Hz = 8.1), 7.05 (1H, d, J/Hz = 8.9), 7.27-7.33 (2H, m), 7.38-7.48 (4H, m), 7.56-7.61 (3H, m), 7.68 (1H, d, J/Hz = 8.9), 7.76 (1H, d, J/Hz = 7.7), 7.77 (1H, s), 8.56 (1H, d, J/Hz = 7.3)
IR (ATR: diamond prism, neat) ν/cm-1 = 2967, 2818, 1609, 1592, 1506, 1480, 1457, 1428, 1385, 1351, 1333, 1315, 1268, 1245, 1209, 1195, 1170, 1148, 1139, 1112, 1080, 1033, 1019, 980, 960, 890, 863, 836, 815,796, 779, 764, 749, 699, 680, 645, 583, 560
LRMS (EI, 70 eV) m/z (rel intensity), 404 (M+, 100), 389 ((M-CH3)+, 56), 235 ((M-C11H7NO)+, 61), 220 ((M-C12H10NO)+, 18)
m.p. 205~207 oC
溶剤(クロロホルム)に上記各フォトクロミック化合物(スピロオキサジン誘導体SO1〜SO5)を1.11質量%添加して感光性組成物を製造した。上記各フォトクロミック化合物は、350nm近傍のUV光を照射すると開環し、600nm近傍の可視光を照射すると閉環する。また、暗所に放置しても室温程度の熱により閉環する。又、上記各フォトクロミック化合物は、開環化合物が青色を呈し、閉環化合物は無色透明である。
平坦なガラス基板上に、上記感光性組成物をスピンコートし、溶剤を蒸発させて膜厚120nmの薄膜を作製した。
上記膜を室温下、暗所にて数十日間静置して薄膜を光学顕微鏡で観察し、薄膜が白濁化(結晶化)するまでの期間で薄膜の安定性を評価した。薄膜が結晶化するまでの期間が長いほど薄膜の安定性に優れる。
SO4の薄膜にフォトマスク(光透過部のライン幅2.5 μmのスリット状の格子)を密着させ、窒素雰囲気下60℃にて紫外LEDを用いて365nm(強度12mW/cm2)の光を30分間照射した。
得られたパターンの形状を、原子間力顕微鏡によって測定した。測定結果を図1に示す
図1から明らかなように、上記フォトマスクを用いて光照射を行った結果、ラインと同等な幅を有し、高低差140nmの尾根構造が形成された。
各フォトクロミック化合物からなる薄膜に紫外光(365 nm)を照射し続けながら吸収スペクトル変化を測定した。この際、光定常状態の時の吸収極大波長における吸光度と比較し、吸光度の減少度合を測定することで光耐久性の測定を行った。なお、SO1〜SO5の光定常状態の時の吸収極大波長は、それぞれ612,635,641,598,622 nmであった。
具体的に、吸収極大波長において光照射前 (時間 0 ) の吸光度をA0、ある時間 t における吸光度をAt、PSSの時の吸光度をAPSSとした際に、?At / ?APSS = 0.8 (?At = At - A0, ?APSS = APSS - A0)となるのに要する照射エネルギー (J cm-2) を光耐久性と定義した。空気雰囲気下と窒素雰囲気下でそれぞれ測定を行った。
示差走査熱量計(セイコー電子工業社製の型番DSC6100)を用い、上記各フォトクロミック化合物(スピロオキサジン誘導体SO1〜SO5)のガラス転移温度の測定を行った。
各フォトクロミック化合物からなる薄膜に、周期5 ?mの格子マスクを介して紫外光(365 nm)を照射時間を変えて照射し、パターン形成を行った。各光照射時間と、得られた凹凸パターンの高低差とをプロットし、その傾きをパターン形成速度と定義した。なお、照射光の強度をそれぞれ12mW/cm2、60mW/cm2として測定を別個に行った。
各フォトクロミック化合物からなる薄膜に、周期5 ?mの格子マスクを介して紫外光(365 nm)を照射し、凹凸の高低差が50nmのパターン形成を行った。続いて形成したパターンを各フォトクロミック化合物のガラス転移温度以上に加熱することでパターンの消去(凹凸の高低差が0nm)を行った。このパターン形成と消去をくり返し、パターン形成の繰返し回数を測定した。
Claims (3)
- 光及び/又は熱によって可逆的に開環−閉環する環を有する基本骨格に修飾基が導入されてフォトクロミズムを示すフォトクロミック化合物を含む感光性組成物を用いたパターン形成方法であって、
前記基本骨格は、式I
前記開環を行う開環波長光を前記感光性組成物に照射し、該感光性組成物を物質移動させるパターン形成方法。 - 前記修飾基は、単環基、多環基、又は架橋環基である請求項1記載のパターン形成方法。
- パターン形成後の前記感光性組成物が可視領域に吸収を有する場合に、前記閉環波長光を照射する請求項1又は2記載のパターン形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010107032A JP5616117B2 (ja) | 2010-05-07 | 2010-05-07 | パターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010107032A JP5616117B2 (ja) | 2010-05-07 | 2010-05-07 | パターン形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011237508A true JP2011237508A (ja) | 2011-11-24 |
JP5616117B2 JP5616117B2 (ja) | 2014-10-29 |
Family
ID=45325574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010107032A Expired - Fee Related JP5616117B2 (ja) | 2010-05-07 | 2010-05-07 | パターン形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5616117B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016196441A (ja) * | 2015-04-06 | 2016-11-24 | Jsr株式会社 | 特定構造を有する化合物およびこれを含む感光性組成物 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000347346A (ja) * | 1999-06-03 | 2000-12-15 | Tokuyama Corp | クロメン化合物 |
JP2001335581A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-04 | Hodogaya Chem Co Ltd | スピロナフトオキサジン化合物および該化合物を使用した感光材料 |
JP2003082033A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-19 | Rikogaku Shinkokai | 光表面レリーフ形成用感光性材料および感光性薄膜、並びにその感光性材料を用いたレリーフ形成方法 |
WO2006095705A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | National University Corporation Yokohama National University | パターン形成方法 |
JP2010502699A (ja) * | 2006-09-06 | 2010-01-28 | エシロール アンテルナシオナル (コンパニー ジェネラレ ドプテイク) | フォトクロミック二色性染料としての3H−ナフト[2,1−b]ピランおよびこれを含む光学物品 |
-
2010
- 2010-05-07 JP JP2010107032A patent/JP5616117B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000347346A (ja) * | 1999-06-03 | 2000-12-15 | Tokuyama Corp | クロメン化合物 |
JP2001335581A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-04 | Hodogaya Chem Co Ltd | スピロナフトオキサジン化合物および該化合物を使用した感光材料 |
JP2003082033A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-19 | Rikogaku Shinkokai | 光表面レリーフ形成用感光性材料および感光性薄膜、並びにその感光性材料を用いたレリーフ形成方法 |
WO2006095705A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | National University Corporation Yokohama National University | パターン形成方法 |
JP2010502699A (ja) * | 2006-09-06 | 2010-01-28 | エシロール アンテルナシオナル (コンパニー ジェネラレ ドプテイク) | フォトクロミック二色性染料としての3H−ナフト[2,1−b]ピランおよびこれを含む光学物品 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016196441A (ja) * | 2015-04-06 | 2016-11-24 | Jsr株式会社 | 特定構造を有する化合物およびこれを含む感光性組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5616117B2 (ja) | 2014-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4157227B2 (ja) | クロメン化合物 | |
JP4256985B2 (ja) | クロメン化合物 | |
Wu et al. | Visible light triggered aggregation-induced emission switching with a donor–acceptor Stenhouse adduct | |
Coelho et al. | Reversible trans–cis photoisomerization of new pyrrolidene heterocyclic imines | |
Utsumi et al. | Synthesis of a novel family of photochromic amorphous molecular materials based on dithienylethene, their photochromic properties and application for dual image formation | |
JP2000327676A (ja) | クロメン化合物 | |
JP2001011066A (ja) | クロメン化合物 | |
JP2000344761A (ja) | クロメン化合物 | |
CN113603667B (zh) | 高溶解性光致变色化合物及其制备方法 | |
Liu et al. | Photochromism of asymmetrical diarylethenes with a pyrimidine unit: synthesis and substituent effects | |
Kobatake et al. | The irreversible thermo-bleaching function of a photochromic diarylethene having trimethylsilyl groups | |
JP5616117B2 (ja) | パターン形成方法 | |
JP3390921B2 (ja) | 新規化合物及び該化合物を用いた光学的素子 | |
JP4814454B2 (ja) | フォトクロミック材料の製造方法 | |
Nagorny et al. | Stabilities of bis (thienyl) ethenes in polymethyl methacrylate (PMMA) coatings as absorbance modulation layers for nanoscale imaging | |
Jin et al. | Efficient One‐step Synthesis and Properties of Photochromic Diarylethenes Having an Indene Bridging Unit | |
JPWO2006095705A1 (ja) | パターン形成方法 | |
JPH03251587A (ja) | スピロオキサジン化合物及びその製造方法 | |
JPH04282378A (ja) | ジアリールエテン化合物 | |
WO2000053693A1 (fr) | Materiau organique subissant une transition de phase induite par la lumiere | |
JP6489461B2 (ja) | ペンタアリールビイミダゾール化合物および該化合物の製造方法 | |
Che et al. | Solid-state photochromic behavior of pyrazolone 4-phenylthiosemicarbazones | |
Sroda | The Synthesis and Development of Photo-Actuating Materials Using Organic Photochromes | |
JP5337927B2 (ja) | フォトクロミック化合物及び光可逆性発色組成物 | |
JPH04283595A (ja) | 遷移金属スピロベンゾピラン錯体、その製造方法及び該錯体からなるフォトクロミック材料 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140526 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140901 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140911 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5616117 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |