JP2011233632A - 粘着シート及び電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粘着剤層3を形成する粘着剤が(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)と紫外線重合性成分(B)と光重合開始剤(C)と硬化剤(D)を含有したものであり、(A)が2−エチルへキシルアクリレート90〜99%と水酸基含有(メタ)アクリレート10〜1%を含んで重量平均分子量が20〜70万であり、(B)がアクリロイル基を10個以上有する多官能ウレタン(メタ)アクリレートと多官能(メタ)アクリレートであり、(C)が水酸基を有し、(D)が3個以上のイソシアネート基を有するものであり、(D)のイソシアネート基mol量/((A)+(C)の水酸基mol量)=0.6〜1.2である粘着シート1。
【選択図】図1
Description
ダイアタッチフィルム一体型シートは、粘着シートとダイアタッチフィルムを一体化した粘着シートである。
2 基材フィルム
3 粘着剤層
4 ダイアタッチフィルム
5 シリコンウエハ
51 ダイチップ
6 リングフレーム
7 ダイシングブレード
71 切り込み
8 リードフレーム
本明細書において、部及び%は、特に記載がない限り質量基準とする。本明細書において(メタ)アクリロイル基とはアクリロイル基及びメタアクリロイル基の総称である。本明細書において(メタ)アクリル酸とはアクリル酸及びメタクリル酸の総称である。
図1乃至図4は、本発明の粘着シートの使用方法を模式的に示した断面図である。
本実施形態の粘着シートは、図1に示すように、基材フィルム2と、基材フィルム2の一方の面に積層した粘着剤層3と、粘着剤層3の露出面に積層されたダイアタッチフィルム4を備えた粘着シート1である。
粘着剤層を形成する粘着剤は、(メタ)アクリル酸エステル重合体、紫外線重合性成分、光重合開始剤、及び、硬化剤を含有したものである。
粘着シート1は、図1に示すように、基材フィルム2と、基材フィルム2上に塗布された上述の粘着剤で形成された粘着剤層3と、粘着剤層3に積層されたダイアタッチフィルム4で形成されたものである。
粘着シートに用いられるダイアタッチフィルムは、接着剤をフィルム状に成形したものである。ダイアタッチフィルムの具体的な組成物としては、アクリル酸エステル共重合体、ポリアミド、ポリエチレン、ポリスルホン、エポキシ、ポリイミド、ポリアミド酸、シリコーン、フェノール、ゴム、フッ素ゴム及びフッ素樹脂の単体又はこれらの混合物、共重合体及び積層体があり、組成物としてはチップとチップの接着信頼性の面からアクリル酸エステル共重合体を含むことが好ましい。この組成物には、光重合開始剤、帯電防止剤、架橋剤、架橋促進剤、フィラーなどを添加してもよい。
他の発明である電子部品の製造方法について、図を参照しつつ、詳細に説明する。
この発明は、上述の粘着シートのうちのいずれかの粘着シート1のダイアタッチフィルム4の表面にシリコンウエハ5を貼り合わせる貼合工程と、貼合工程後のシリコンウエハ5のダイシングを行うダイシング工程と、ダイシング工程後にシリコンウエハ5及びダイアタッチフィルム4とを併せて粘着剤層3からピックアップするピックアップ工程を有する電子部品の製造方法である。
貼合工程は、上述の粘着シートのうちのいずれかの粘着シート1のダイアタッチフィルム4の表面にシリコンウエハ5を貼り合わせる工程であり、具体的には、シリコンウエハ5を粘着シート1に貼付けて固定し、粘着シート1をリングフレーム6に固定する工程である。図1に、貼合工程後の状態を示す。
ダイシング工程は、貼合工程後のシリコンウエハ5のダイシングを行う工程であり、ダイシング工程後の状態を図2に示す。ダイシングにあっては、ダイシングブレード7でシリコンウエハ5をダイシングする。図2の符号71は、切れ込みである。
ピックアップ工程は、ダイシング工程後にシリコンウエハ5及びダイアタッチフィルム4とを併せて粘着剤層3からピックアップする工程であり、ピックアップ工程の際の状態を図3に示す。また、図4に、ピックアップ工程後のダイチップ51の状態を示す。ピックアップ工程は、具体的には、次の工程である。
本発明の電子部品の製造方法は、シリコンウエハを対象としたが、他のウエハ、例えガリウムナイトライドウエハ、炭化ケイ素ウエハ、サファイアウエハを用いてもよい。
実施例に係る粘着剤、粘着シート、及び粘着シートなどの各種実験材料は下記の処方で製造した。
(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)−1: 2−エチルヘキシルアクリレート95%、2−ヒドロキシエチルアクリレート3%、酢酸ビニル2%、重量平均分子量20万の共重合体からなり、溶液重合により得られる自社重合品。
(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)−2:2−エチルヘキシルアクリレート95%、2−ヒドロキシエチルアクリレート3%、酢酸ビニル2%、重量平均分子量60万の共重合体からなり、溶液重合により得られる市販品(綜研化学社製、製品名SKダイン1496)。
(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)−3:2−エチルヘキシルアクリレート95%、2−ヒドロキシエチルアクリレート3%、酢酸ビニル2%、重量平均分子量70万の共重合体からなり、溶液重合により得られる自社重合品。
(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)−4:2−エチルヘキシルアクリレート95%、2−ヒドロキシエチルアクリレート5%、重量平均分子量60万の共重合体からなり、溶液重合により得られる自社重合品。
(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)−5:2−エチルヘキシルアクリレート95%、2−ヒドロキシエチルアクリレート3%、酢酸ビニル2%、重量平均分子量10万の共重合体からなり、溶液重合により得られる自社重合品。
(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)−6:2−エチルヘキシルアクリレート95%、2−ヒドロキシエチルアクリレート3%、酢酸ビニル2%、重量平均分子量100万の共重合体からなり、溶液重合により得られる自社重合品。
(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)−7:2−エチルヘキシルアクリレート80%、2−ヒドロキシエチルアクリレート18%、酢酸ビニル2%、重量平均分子量60万の共重合体からなり、溶液重合により得られる自社重合品。
(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)−8:2−エチルヘキシルアクリレート100%、重量平均分子量60万の共重合体からなり、溶液重合により得られる自社重合品。
紫外線重合性成分(B)−1:ポリ(プロピレンオキサイド)ジオールの末端にイソホロンジイソシアネートの三量体を反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更にジペタエリスリトールペンタアクリレートを反応させてなる末端アクリレートオリゴマであって、アクリレート官能基数15個のウレタンアクリレート60%とジペンタエリスリトールヘキサアクリレート40%から成る市販品。
紫外線重合性成分(B)−2:ポリ(プロピレンオキサイド)ジオールの末端にイソホロンジイソシアネートの三量体を反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更にジペタエリスリトールペンタアクリレートを反応させてなる末端アクリレートオリゴマであって、アクリレート官能基数15個のウレタンアクリレート80%とジペンタエリスリトールヘキサアクリレート20%から成る市販品。
紫外線重合性成分(B)−3:ポリ(プロピレンオキサイド)ジオールの末端にイソホロンジイソシアネートの三量体を反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更にジペタエリスリトールペンタアクリレートを反応させてなる末端アクリレートオリゴマであって、アクリレート官能基数15個のウレタンアクリレート55%とジペンタエリスリトールヘキサアクリレート45%から成る市販品(根上工業社製、製品名UN−3320HS)。
紫外線重合性成分(B)−4:ポリ(プロピレンオキサイド)ジオールの末端にヘキサメチレンジイソシアネートを反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更にジペタエリスリトールペンタアクリレートを反応させてなる末端アクリレートオリゴマであって、アクリレート官能基数10個のウレタンアクリレート80%とジペンタエリスリトールヘキサアクリレート20%から成る市販品(根上工業社製、製品名UN−904M)。
紫外線重合性成分(B)−5:ポリ(プロピレンオキサイド)ジオールの末端にイソホロンジイソシアネートの三量体を反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更にジペタエリスリトールペンタアクリレートを反応させてなる末端アクリレートオリゴマであって、アクリレート官能基数15個のウレタンアクリレート40%とジペンタエリスリトールヘキサアクリレート60%から成る市販品。
紫外線重合性成分(B)−6:ポリ(プロピレンオキサイド)ジオールの末端にイソホロンジイソシアネートの三量体を反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更にジペタエリスリトールペンタアクリレートを反応させてなる末端アクリレートオリゴマであって、アクリレート官能基数15個のウレタンアクリレート100%から成る市販品。
紫外線重合性成分(B)−7:ポリ(プロピレンオキサイド)ジオールの末端にイソホロンジイソシアネートの三量体を反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更にペタエリスリトールトリアクリレートを反応させてなる末端アクリレートオリゴマであって、アクリレート官能基数9個のウレタンアクリレート80%とペンタエリスリトールテトラアクリレート20%から成る市販品。
光重合開始剤(C)−1:2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]−フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン(チバ・ジャパン社製、製品名Irgacure127)
光重合開始剤(C)−2:1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン(チバ・ジャパン社製、製品名Irgacure184)。
光重合開始剤(C)−3:ベンジルジメチルケタール(チバ・ジャパン社製、製品名Irgacure651)。
硬化剤(D):トリレンジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体(日本ポリウレタン社製、製品名コロネートL−45E)。
ダイアタッチフィルム1:エポキシ系接着剤を主体とし、厚さ30μm
ダイアタッチフィルム2:アクリル系接着剤を主体とし、厚さ30μm
電子部品の製造には、ダミーの回路パターンを形成した直径8インチ×厚さ0.1mmのシリコンウエハを用いた。
粘着シートへの切り込み量は30μmとした。ダイシングは10mm×10mmのチップサイズで行った。
ダイシング装置はDISCO社製 DAD341を用いた。ダイシングブレードはDISCO社製NBC−ZH205O−27HEEEを用いた。
ダイシングブレード形状:外径55.56mm、刃幅35μm、内径19.05mm。
ダイシングブレード回転数:40,000rpm。
ダイシングブレード送り速度:80mm/秒。
切削水温度:25℃。
切削水量 :1.0L/分。
ニードルピン形状:250μmR
ニードルピンの数:5
ニードルピン突き上げ高さ:0.5mm
エキスパンド量 :8mm
1.ダイシング性:シリコンウエハを前記条件にてダイシング、ピックアップした後に、ダイシングラインを20ライン確認し、ダイアタッチフィルムの一部が付着している程度を目視で評価した。
◎(優):ダイアタッチフィルムがダイシングラインに残っていなかった。
○(良):ダイアタッチフィルムの一部がダイシングラインに1〜3本残っていた。
×(不可):ダイアタッチフィルムの一部がダイシングラインに4本以上残っていた。
◎(優):95%以上のチップがピックアップできた。
○(良):80%以上95%未満のチップがピックアップできた。
×(不可):80%未満のチップがピックアップできた。
◎(優):紫外線を照射した後、1週間保管後、及び4週間保管後に粘着シートを剥離したダイアタッチフィルムから光重合性開始剤由来のピークなし。
○(良):紫外線を照射した後、1週間保管後に粘着シートを剥離したダイアタッチフィルムから光重合性開始剤由来のピークなし。及び、紫外線を照射した後、4週間保管後に粘着シートを剥離したダイアタッチフィルムから光重合性開始剤由来のピークあり。
×(不可):紫外線を照射した後、1週間保管後、及び4週間保管後に粘着シートを剥離したダイアタッチフィルムから光重合性開始剤由来のピークあり。
Claims (5)
- 基材フィルムと、基材フィルムの一方の面に積層した粘着剤層と、粘着剤層の露出面に積層されたダイアタッチフィルムを備え、粘着剤層を形成する粘着剤が(メタ)アクリル酸エステル重合体(A)と紫外線重合性成分(B)と光重合開始剤(C)と硬化剤(D)を含有したものであり、(A)が2−エチルへキシルアクリレート90〜99%と水酸基含有(メタ)アクリレート10〜1%を含んで重量平均分子量が20〜70万であり、(B)がアクリロイル基を10個以上有する多官能ウレタン(メタ)アクリレートと多官能(メタ)アクリレートであり、(C)が水酸基を有し、(D)が3個以上のイソシアネート基を有するものであり、(D)のイソシアネート基mol量/((A)+(C)の水酸基mol量)=0.6〜1.2である粘着シート。
- 光重合開始剤(C)が水酸基を2個以上有する請求項1に記載の粘着シート。
- 紫外線重合性成分(B)が多官能ウレタン(メタ)アクリレート50〜90%以上と多官能(メタ)アクリレート50〜10%以下である請求項1乃至2に記載の粘着シート。
- ダイアタッチフィルムを構成する組成物がエポキシ樹脂を有する請求項1乃至3に記載の粘着シート。
- 請求項1乃至4のいずれか一項記載の粘着シートのダイアタッチフィルム表面にシリコンウエハを貼り合わせる貼合工程と、貼合工程後のシリコンウエハのダイシングを行うダイシング工程と、ダイシング工程後にシリコンウエハ及びダイアタッチフィルムとを併せて粘着剤層からピックアップするピックアップ工程を有する電子部品の製造方法。
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