JP2011232294A - 温度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】温度センサ100は、熱源から輻射される赤外線を吸収して発熱する赤外線吸収膜20と、赤外線吸収膜20の熱量を検知することにより熱源の温度に対応した電気信号を出力する感温素子10と、感温素子10から電気信号を出力するためのリードパターン31,32と、赤外線吸収膜20に分布する熱量を感温素子10に集熱するための集熱パターン40とを備える。
【選択図】図1
Description
11,12…電極
20…赤外線吸収膜
31,32…リードパターン
40…集熱パターン
50…集熱範囲
100,200,300,400,500,600,700…温度センサ
Claims (6)
- 熱源から輻射される赤外線を吸収して発熱する赤外線吸収膜と、
前記赤外線吸収膜の熱量を検知することにより前記熱源の温度に対応した電気信号を出力する感温素子と、
前記赤外線吸収膜に分布する熱量を前記感温素子に集熱するための集熱パターンと、
を備える温度センサ。 - 請求項1に記載の温度センサであって、
前記集熱パターンは、前記感温素子を起点として前記赤外線吸収膜の面内に放射状に形成されている、温度センサ。 - 請求項1に記載の温度センサであって、
前記感温素子は、前記電気信号を出力するためのリードパターンに接続する電極を更に備え、
前記集熱パターンは、前記電極を起点として前記赤外線吸収膜の面内に放射状に形成されている、温度センサ。 - 請求項3に記載の温度センサであって、
前記リードパターンと前記集熱パターンとは同一の成膜工程で形成される、温度センサ。 - 請求項3に記載の温度センサであって、
前記リードパターンと前記集熱パターンとは異なる材質から成る、温度センサ。 - 熱源から輻射される赤外線を吸収して発熱する赤外線吸収膜と、
前記赤外線吸収膜の熱量を検知することにより前記熱源の温度に対応した電気信号を出力する直列接続された複数の感温素子と、
前記赤外線吸収膜に分布する熱量を前記複数の感温素子に集熱する集熱パターンと、を備え、
前記集熱パターンは、前記複数の感温素子間の接続点を起点として前記赤外線吸収膜の面内に放射状に形成されている、温度センサ。
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