JP2011232163A5 - - Google Patents
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- 第１エネルギーのＸ線と該第１エネルギーと異なる第２エネルギーのＸ線とを発生するＸ線源からのＸ線束を被測定物に照射し、該被測定物を撮像するＸ線撮像装置であって、
前記被測定物を透過した前記Ｘ線束を減衰させる減衰素子と、
前記減衰素子を透過した前記Ｘ線束を検出する検出器と、を備え、
前記減衰素子は、前記Ｘ線束の入射位置に応じてＸ線減衰量が異なるように構成されており、
前記検出器は、前記第１エネルギーのＸ線と前記第２エネルギーのＸ線とを検出するように構成されていることを特徴とするＸ線撮像装置。 - 前記検出器は、前記第１エネルギーのＸ線強度と前記第２エネルギーのＸ線の強度とを区別して検出するエネルギー分解能を有することを特徴とする請求項１に記載のＸ線撮像装置。
- 前記検出器で検出した、前記第１エネルギーのＸ線の検出結果および前記第２エネルギーのＸ線の検出結果のいずれかに基づいて、前記被測定物による前記Ｘ線束の位置ずれを算出する算出手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線撮像装置。
- 前記検出器で検出した、前記第１エネルギーのＸ線の検出結果および前記第２エネルギーのＸ線の検出結果に基づいて、前記被測定物による前記Ｘ線束の位置ずれを算出する算出手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線撮像装置。
- 前記検出器で検出した、前記第１エネルギーのＸ線の検出結果および前記第２エネルギーのＸ線の検出結果のいずれかに基づいて、前記被測定物による前記Ｘ線束の位置ずれを算出する算出手段を備え、
前記算出手段による前記位置ずれの算出に用いるＸ線束のエネルギーを変更することで、前記位置ずれに対する感度を変化させることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線撮像装置。 - 前記検出器は、前記Ｘ線束のスペクトル分布を検出する分光器であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のＸ線撮像装置。
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