JP2011224874A - インクジェット記録ヘッドの検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査に要する測定プロセスを短縮する。
【解決手段】記録ヘッドの吐出口から液滴を吐出させる際の電気熱変換体に印加する駆動電圧の仮の電圧値及び仮の印加時間を設定する（Ｓ３）。Ｓ３で設定した仮の電圧値及び仮の印加時間で電気熱変換体に駆動電圧を印加して発生させた吐出エネルギーにより吐出口から液滴を吐出させ、記録媒体に着弾位置検査パターンを形成する（Ｓ５）。仮の電圧値及び仮の印加時間の少なくとも一方を変更して、電気熱変換体に駆動電圧を印加して発生させた吐出エネルギーにより吐出口から液滴を吐出させ、記録媒体に吐出エネルギー測定パターンを形成する（Ｓ６）。着弾位置検査パターン及び吐出エネルギー測定パターンを撮像する（Ｓ８，Ｓ９）。着弾位置の良否の判定を行うと共に、許容範囲内の吐出エネルギー測定パターンを判定する（Ｓ１０）。判定結果に基づき駆動電圧の電圧値及び印加時間を設定する（Ｓ１１）。
【選択図】図６

Description

本発明は、インク等の液滴を吐出させて画像を形成するインクジェット記録ヘッドの検査方法であって、紙やフイルム等の記録媒体に所定の検査パターンを形成させ、この検査パターンからヘッド特性を評価するインクジェット記録ヘッドの検査方法に関する。

インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、記録時に騒音がほとんど生じず、高速な記録と様々な記録媒体に対する記録が可能であるという特徴を有している。このようなことから、インクジェット記録装置は、プリンタ、複写機、ファクシミリ、ワードプロセッサ等の記録機構を担う装置として広く採用されている。

このようなインクジェット記録装置に搭載される記録ヘッドにおける代表的なインク吐出方式としては、発熱抵抗体を有する電気熱変換体によってインクを加熱し、膜沸騰の作用により液滴を吐出させるものが知られている。この電気熱変換体を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換体が記録液室内に設けられ、これに記録信号である電気パルスを印加して発熱させることによりインクに熱エネルギーを与るよう構成されている。そのときのインクの相変化により生じるインクの発泡時（沸騰時）の気泡圧力を利用して、微小な吐出口からインク液滴を吐出させて記録媒体に対し記録を行うものである。電気熱変換体を用いたインクジェット記録ヘッドは、一般に、液滴を吐出するための吐出口と、この吐出口にインクを供給するインク流路とを有している。また、インクジェット記録ヘッドは、インクタンクとインクジェット記録ヘッド部が着脱可能であるタンク交換形態のものや、インクジェット記録ヘッド部とインクを内包するインクタンク容器が一体となったインクジェット記録ヘッドの形態のものなどがある。

上述したインクジェット記録ヘッドでは、印字される記録媒体の位置を評価するため、製造工程において、製造されたインクジェット記録ヘッドによる着弾位置を計測することで、インクジェット記録ヘッドの評価を行っている（特許文献１参照）。一方、液滴を吐出するためには、電気熱変換体による吐出エネルギーの印加量を制御する必要がある。そのため、インク液滴の着弾位置を計測する前に、インク液滴を吐出する際に電気熱変換体に印加する駆動電圧（吐出エネルギー）を測定する工程も必要となる。駆動電圧を算出する方法としては、駆動電圧の電圧値及び印加時間の少なくとも一方を徐々に変化させながら印字し、印字された検査パターンを計測することで、最適な吐出エネルギーとなる駆動電圧を算出することができる。

特開平４−３３６２７３号公報

しかしながら、上記従来の記録ヘッドの検査方法では、まず、電気熱変換体により液滴を吐出する際の吐出エネルギー調整のために検査パターンを印字して検査パターンを計測し、その計測結果に基づいて最適な吐出エネルギーとなる駆動電圧を特定している。その後、前工程で特定した最適な吐出エネルギーとなる駆動電圧を印加することで、再び検査パターンの印字を行って検査パターンを計測し、着弾位置の判定を行っている。即ち、印字、計測、判定の工程を２回繰り返すこととなり、検査に要する測定プロセスが長くなっていた。

そこで、本発明は、検査に要する測定プロセスを短縮することができるインクジェット記録ヘッドの検査方法を提供することを目的とするものである。

本発明は、インクを加熱して吐出口から液滴を吐出させる電気熱変換体を複数有し、吐出された液滴で記録媒体に印字を行うインクジェット記録ヘッドの検査方法において、前記吐出口から液滴を吐出させる際の前記電気熱変換体に印加する駆動電圧の仮の電圧値及び仮の印加時間を設定する仮設定工程と、前記仮設定工程で設定した前記仮の電圧値及び前記仮の印加時間で前記電気熱変換体に前記駆動電圧を印加して発生させた吐出エネルギーにより前記吐出口から液滴を吐出させ、記録媒体に第１の検査パターンを形成すると共に、前記仮の電圧値及び前記仮の印加時間の少なくとも一方を変更して、前記電気熱変換体に前記駆動電圧を印加して発生させた吐出エネルギーにより前記吐出口から液滴を吐出させ、記録媒体に複数の第２の検査パターンを形成する検査パターン形成工程と、前記検査パターン形成工程で記録媒体に形成された前記第１の検査パターン及び前記複数の第２の検査パターンを撮像する撮像工程と、前記撮像工程で撮像された前記第１の検査パターンの撮像情報に基づいて液滴の着弾位置の良否の判定を行うと共に、前記撮像工程で撮像された前記複数の第２の検査パターンの撮像情報から許容範囲内の第２の検査パターンを判定する判定工程と、前記駆動電圧を、前記判定工程により判定された前記第２の検査パターンを形成するのに必要な電圧値及び印加時間に設定する設定工程と、を備えたことを特徴とするものである。

本発明によれば、駆動電圧の仮の電圧値及び仮の印加時間を決めて検査パターン形成工程で第１及び第２の検査パターンを形成し、撮像工程で両検査パターンを撮像し、判定工程で両検査パターンの判定を行う。したがって、液滴の着弾位置の検査と吐出エネルギーの検査を同一のプロセスで行うことができるので、検査を２回のプロセスに分けて行うよりも、検査に要する測定プロセスを短縮することができる。

本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの検査装置の概略構成を示す説明図であり、（ａ）は、検査装置の平面図、（ｂ）は、検査装置の側面図である。 検査装置の制御系の構成を示す制御ブロック図である。 インクジェット記録ヘッドを説明するための斜視図であり、（ａ）は、インクジェット記録ヘッドを電気熱変換体基板側から見た斜視図、（ｂ）は、インクジェット記録ヘッドをインクタンク側から見た斜視図である。 ３色のインクを吐出するインクジェット記録ヘッドの電気熱変換体基板を示す模式図である。 インクジェット記録ヘッドの各電気熱変換体及びトランジスタの概略接続構成を示す電気回路図である。 インクジェット記録ヘッドを検査する各検査工程を示すフローチャートである。 電気熱変換体の駆動電気回路の概略を示す回路図である。 電気熱変換体に流れる電流波形を示す図であり、（ａ）は、電気熱変換体にコンデンサを接続した状態を示す電流波形図、（ｂ）は、電気熱変換体にコンデンサを接続していない状態を示す電流波形図である。 着弾位置検査パターンを示す模式図である。 各吐出エネルギー測定パターンを示す模式図である。 第２実施形態におけるインクジェット記録ヘッドを検査する各検査工程を示すフローチャートである。 インクジェット記録ヘッドにより形成される各検査パターンを示す模式図であり、（ａ）は、配線抵抗検査パターン、着弾位置検査パターン及び吐出エネルギー測定パターンを示す図、（ｂ）は、配線抵抗検査パターンを拡大した図である。 配線抵抗検査パターンの判定動作を説明するための図であり、（ａ）は、配線抵抗検査パターンの画像をＣＣＤカメラで取り込んだ画像と、それを５０％基準の閾値で２値化したときの画像とを比較した図である。（ｂ）は、２値化した画像の画素数と印字状態の関係を表したグラフである。

以下、本発明を実施するための形態を図面を参照しながら詳細に説明する。

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの検査装置の概略構成を示す説明図である。図１（ａ）は、検査装置の平面図、図１（ｂ）は、検査装置の側面図である。検査装置１００は、上下方向の軸線Ｏを中心として回転可能なロータリーインデックス１０５を備え、ロータリーインデックス１０５上には、４つのヘッド固定部１０１が周方向に等間隔（４５°間隔）に設けられている。検査対象のインクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」という）１０７は、ベルトコンベア１０６によって前工程から矢印方向に搬送され、不図示の移送機構によって位置Ｐ１のヘッド固定部１０１に挿入されてから、キャリッジ１０８によって固定される。そして、ロータリーインデックス１０５が右回りに４５°回転し、その記録ヘッド１０７に対し、位置Ｐ２にて吸引回復処理が施される。その吸引回復処理は、記録ヘッド１０７の吐出口から、画像の記録に寄与しないインクを吐出させて、インクの吐出状態を良好に維持するための処理である。

次に、ロータリーインデックス１０５が右回りに４５°回転し、吸引回復処理後の記録ヘッド１０７に、位置Ｐ３にてインク液滴を吐出させる。次に、ロータリーインデックス１０５が右回りに４５°回転し、位置Ｐ４において吐出後の記録ヘッド１０７の秤量を行う。最後に、ロータリーインデックス１０５が右回りに４５°回転し、秤量後の記録ヘッド１０７をベルトコンベア１０６上に戻して、次工程へ搬送する。

ここで、位置Ｐ３での印字良否判定は、記録ヘッド１０７からインク液滴をペーパーステージ１１２上の記録媒体（紙）に吐出させ、吐出されたインク液滴をペーパーステージ１１２上の記録媒体に着弾させて、印字検査のための検査パターンを形成する。その画像をＣＣＤカメラ（撮像手段）１１０で撮像し、取り込んだ撮像データの画像処理を行った後、演算処理を行って印字の良否判定を行うものである。ＣＣＤカメラ１１０の近傍には、画像処理用照明１０９が配置され、画像処理用照明１０９は、本実施例では、ＲＧＢそれぞれの波長を出力でき、耐久性や光量安定性も確保できるＬＥＤ照明を採用している。

図２は、検査装置の制御系の構成を示す制御ブロック図である。キャリッジ１０８は、記録ヘッド１０７を取り付けるためのものであり、コンタクトプローブユニット（図示なし）により記録ヘッド１０７とコンタクトを行っている。更にキャリッジ１０８には、ヘッドドライバ２０３より送られてきた印字信号を記録ヘッド１０７に合わせた信号に変換する印字信号変換基板２１２が接続される。

ＣＣＤカメラ１１０の近傍であって、記録媒体Ｓに光を照射する画像処理用照明１０９は照明電源２１６に接続されている。照明電源２１６は外部コントロール端子を有し、画像処理コントロール基板２０９からの制御によりＲＧＢそれぞれの光量をコントロールすることが可能である。

ペーパーステージ１１２上には記録媒体Ｓが設置され、記録媒体Ｓはバキューム等によりペーパーステージ１１２の表面上に密着している。ペーパーステージ１１２には、ステージ位置情報を取得する為のエンコーダ（不図示）が設けられている。このペーパーステージ１１２は、記録ヘッド１０７から矢印方向に吐出され記録媒体Ｓ上に着弾したインク液滴により形成される検査パターンが、正確にＣＣＤカメラ１１０の画角内に入るように、ステージコントローラ２１０により制御される。本第１実施形態では、記録媒体Ｓは、インク液滴が着弾した際、均一に吸収することが可能となるよう表面がコーティングされた記録媒体を使用している。

ＣＣＤカメラ１１０は、記録ヘッド１０７から吐出されたインク液滴により形成された検査パターンを撮像して画像を読み込むための撮像手段である。本第１実施形態では、ラインセンサ型ＣＣＤカメラを使用している。ラインセンサ型ＣＣＤを使用するメリットとしては、比較的安価ながら高い解像度を持ち、更に検査パターンの必要な部分のみを画像として取り込むことが可能な点である。これにより高解像度の画像でありながら容量の少ない画像データとなり処理速度の向上が行える。そして、ＣＣＤカメラ１１０よって得られた画像データは、画像処理コントロール基板２０９を介し画像処理ボード２０４に送られる。尚、ＣＣＤカメラ１１０は、画像処理ボード２０４の処理能力が十分に有り、高速に処理が行えるのであれば、エリアセンサ型ＣＣＤカメラを使用することも可能である。

制御用コンピュータ２０１は、ディスプレイ出力用のＶＧＡボード２０２を有し、ＶＧＡボード２０２を介して映像信号がモニタ２０７に出力される。また、制御用コンピュータ２０１は、ヘッドドライバ２０３、画像処理ボード２０４及びモーターコントロールボード２０５を有し、各制御を一括で行うことが可能である。更に、制御用コンピュータ２０１は、演算処理部２０６を有し、画像処理ボード２０４から取り込まれた画像データを高速に演算処理を行える。

次に、検査対象である記録ヘッド１０７の構成について説明する。図３は、記録ヘッド１０７の構成例を説明するための斜視図であり、本第１実施形態の記録ヘッド１０７は、外部との電気接続のために、フライングリード（空中配線）を有する電気配線部材３０５が備えられている。図３（ａ）は、記録ヘッド１０７を電気熱変換体基板３０３側から見た斜視図、図３（ｂ）は、記録ヘッド１０７をインクタンク３０６側から見た斜視図である。

記録ヘッド１０７は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して発生させるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いたものであり、その加熱によりインクを発泡させ、その発泡エネルギーを利用して吐出口からインクを吐出することができる。さらに、記録ヘッド１０７は、電気熱変換体とインク液滴の吐出口とが対向するように配置された、いわゆるサイドシュータ型のインクジェットプリントヘッドである。記録ヘッド１０７は、電気熱変換体を有する電気熱変換体基板３０３、フライングリードを有する電気配線部材３０５、インクタンク３０６及び蓋部材３０９、並びに不図示のフィルタ、インク吸収体及びシール部材から構成されている。

図４は、３色のインクを吐出する記録ヘッド１０７の電気熱変換体基板３０３を示す模式図である。電気熱変換体基板３０３には、インク液滴を吐出させる複数の吐出口５０２が形成されている。各吐出口５０２には、電気熱変換体（不図示）が配置され、インクを吐出させる機能を有している。本第１実施形態における電気熱変換体基板３０３には、シアン用インク吐出口配列５０３、マゼンタ用インク吐出口配列５０４、イエロー用インク吐出口配列５０５が形成されている。そして、各インク吐出口配列５０３，５０４，５０５において、複数の吐出口５０２が２列に整列して形成されている。

図５は、記録ヘッド１０７の各電気熱変換体Ｈｔ及びトランジスタＴｒの概略接続構成を示す電気回路図である。記録ヘッド１０７は、各吐出口５０２に対応して、電気熱変換体Ｈｔ（ヒーター）を複数有している。各電気熱変換体Ｈｔは、駆動電圧ＶＨとグランドＧＮＤ間に、スイッチング素子としてのトランジスタＴｒを介して並列に配置され、トランジスタＴｒのＯＮ／ＯＦＦにより、電気熱変換体Ｈｔへの通電／非通電が制御される。つまり、ゲート電圧ＶＨＴがトランジスタＴｒのゲートに印加されてトランジスタＴｒがＯＮ状態の場合には、電気熱変換体Ｈｔに駆動電圧ＶＨが印加され、電気熱変換体Ｈｔが通電状態となる。また、トランジスタＴｒがＯＦＦ状態の場合には、電気熱変換体Ｈｔが非通電状態となる。

次に、本発明の第１実施形態における記録ヘッド１０７の各検査工程について、詳細に説明する。本第１実施形態では、検査パターンとして、電気熱変換体Ｈｔにより吐出口５０２から吐出させた液滴の着弾位置を検査するための第１の検査パターンとしての着弾位置検査パターンを記録媒体Ｓに形成する。さらに検査パターンとして、電気熱変換体Ｈｔにより吐出口５０２から吐出させた液滴の吐出エネルギーを検査するための第２の検査パターンとしての吐出エネルギー測定パターンを記録媒体Ｓに形成する。図６に、記録ヘッド１０７を検査する各検査工程のフローチャートを示す。

まず、記録ヘッド１０７と検査装置１００に設けられたキャリッジ１０８との電気的接続の確認をするコンタクトチェックを行う（Ｓ１）。

次に、各検査パターンを吐出する前に、電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値を測定する（Ｓ２）。記録ヘッド１０７が検査装置１００に搭載された状態の電気回路を図７に示す。図７に示す電気回路において記録ヘッド１０７の電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値を測定する際には、図７に示す駆動電気回路４００において、検査装置１００のコンデンサＣを電気熱変換体Ｈｔに対して非接続状態とする。また、インク液滴を吐出する際には、駆動電気回路４００において、検査装置１００のコンデンサＣを電気熱変換体Ｈｔに対して並列に接続状態とする。このコンデンサＣは、実際に印字を行う際に、安定して電源供給するために、ＶＨ−ＧＮＤ間に接続される。

第１実施形態では、このコンデンサＣは２０００μＦとした。しかし、このコンデンサＣを接続した状態では、図８（ａ）に示すように、電流波形が鈍ってしまうため、本第１実施形態では、電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値を測定する際には、コンデンサＣを電気熱変換体Ｈｔに対して非接続状態とする。これにより、図８（ｂ）に示すように、電流波形が矩形波となり、正確な通電電流値を測定することが可能である。駆動電気回路４００におけるコンデンサＣの接続／非接続の切り替えは、フォトＭＯＳリレースイッチＳＷを用いて行う。

本第１実施形態では、５．０Ｖの駆動電圧、５．０μｓのパルスを電気熱変換体Ｈｔに印加して電流値を測定し（＝２０μＡ）、電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値（＝２５２Ω）を算出した。なお、電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値の測定方法としては、実際インクを吐出する際に使用する電気熱変換体Ｈｔを測定する以外に、予め電気熱変換体Ｈｔと同様の製法および条件にて作られた同一の電気熱変換体を測定する方法がある。

また、本第１実施形態の記録ヘッドの駆動は、６００ｄｐｉ解像度で駆動周波数１５ＫＨｚ、ＥＶＥＮ列８ブロック、ＯＤＤ列８ブロックの１６ブロック（複数のブロック）に分割された時分割駆動（ブロック間隔時間３．８μｓ）を行っている。このように複数の電気熱変換体Ｈｔがブロック単位に分割され、各ブロック毎に時分割駆動される。電気抵抗値を測定する電気熱変換体Ｈｔは、同一ブロック（＝８ｂｌｏｃｋ）で、８，４０，７２，１０４，１３６ｓｅｇｍｅｎｔである。Ｓ２では、同一ブロックにおける電気熱変換体Ｈｔの各電気抵抗値を求め、その平均抵抗値を算出し、以下、この平均抵抗値を電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値として用いる。

次に、インク液滴を吐出させるために電気熱変換体Ｈｔに印加する駆動電圧ＶＨを設定する吐出電圧設定を行う（Ｓ３）。このＳ３では、吐出口５０２から液滴を吐出させる際の電気熱変換体Ｈｔに印加する駆動電圧ＶＨの仮の電圧値及び仮の印加時間を設定する（仮設定工程）。具体的には、電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値を測定し、この測定により得られた電気抵抗値に基づいて駆動電圧ＶＨの仮の電圧値及び仮の印加時間を設定する。ここで、印加する駆動電圧ＶＨの電圧値、及び駆動電圧ＶＨの印加時間の積により、電気熱変換体Ｈｔによる液滴の吐出エネルギーが求まる。本第１実施形態では、駆動電圧ＶＨの電圧値は固定とし、印加時間を可変としている。したがって、本第１実施形態では、仮の電圧値をある値とし、測定により得られた電気抵抗値（平均抵抗値）に対応して、仮の印加時間を設定している。これにより、吐出口５０２からインク液滴を吐出させる仮の吐出エネルギーが決定される。

次に、記録媒体Ｓに各検査パターンを形成させるために、ペーパーステージ１１２を移動させる（ステージ移動Ｓ４）。ペーパーステージ１１２の移動スピードは記録ヘッド１０７の吐出特性により決定される。本第１実施形態では、２５ｉｎｃｈ／ｓｅｃで移動させている。

次に、Ｓ３で設定した仮の電圧値及び仮の印加時間で電気熱変換体Ｈｔに駆動電圧ＶＨを印加して発生させた吐出エネルギーにより吐出口５０２から液滴を吐出させ、記録媒体Ｓに第１の検査パターンとしての着弾位置検査パターンを形成（印字）する（Ｓ５）。この着弾位置検査パターンを形成する際には、図７に示す駆動電気回路４００における検査装置１００側のスイッチＳＷをＣＬＯＳＥ状態とし、電気熱変換体ＨｔにコンデンサＣを接続する。このコンデンサＣにより安定して電力の供給が可能となる。

図９は、インク液滴の着弾位置検査パターンＩ_１を模式的に表したものである。同配列内の吐出口５０２から吐出され記録媒体Ｓに着弾したインク液滴は、それぞれが重なり合わず、１つ１つが分離できるだけのスペースを設けて吐出されるパターンとなっている。

着弾位置検査パターンＩ_１の形成にインク液滴を吐出する際には、電気熱変換体Ｈｔの製造工程バラツキにより、印加する吐出エネルギーの適正値が異なるため、印加吐出エネルギーの適正値の設定が必要となる。なお、仮に吐出エネルギーが適正値に設定されない場合、インク液滴の飛翔状態が安定せず着弾位置に影響が発生する。また、仮に印加吐出エネルギーが少なすぎる場合には、電気熱変換体上のインクが発泡せず、吐出が行われない若しくは微量なものとなる。逆に、吐出エネルギーが大きすぎる場合には、電気熱変換体が異常昇温することでダメージを与えることや断線する可能性がある。そこで、本第１実施形態では適正印加電気エネルギーを上述した抵抗測定の抵抗値から算出を行う。印加電気エネルギーは、印加電圧値（若しくは電流値）と印加時間によって決定する。上述したようにＳ３で印加電圧値は固定としているため、本第１実施形態では印加時間を抵抗値測定の値により可変している。

即ち、本第１実施形態では、Ｓ３において設定した駆動電圧ＶＨの仮の電圧値及び仮の印加時間で電気熱変換体Ｈｔに駆動電圧ＶＨを印加して発生させた吐出エネルギーにより吐出口５０２から液滴を吐出させて印字する。例えば、駆動電圧ＶＨの仮の印加時間を０．９８μｓに設定し、記録媒体Ｓに印字する。

次にＳ３で設定した仮の電圧値及び仮の印加時間の少なくとも一方を変更して、電気熱変換体Ｈｔに駆動電圧ＶＨを印加して発生させた吐出エネルギーにより吐出口５０２から液滴を吐出させ、記録媒体Ｓに複数の吐出エネルギー測定パターンを形成する（Ｓ６）。以上のＳ５，Ｓ６のステップは、検査パターン形成工程に相当する。また、この吐出エネルギー測定パターンは、第２の検査パターンに相当する。そして、記録媒体Ｓには、異なる駆動電圧を印加して液滴を吐出させることで、濃度の異なる複数の吐出エネルギー測定パターンが形成される。Ｓ５，Ｓ６のステップは、連続して行われる。なお、本第１実施形態では、Ｓ５のステップに引き続いてＳ６のステップを実行したが、この順番に限るものではなく、Ｓ６のステップを先に行い、引き続いてＳ５のステップを実行してもよい。また、電気熱変換体Ｈｔに印加する駆動電圧により吐出される液滴の吐出エネルギーを測定する際には、検査装置１００側のスイッチＳＷはＣＬＯＳＥ状態で測定する。

電気熱変換体Ｈｔは、その製造工程バラツキにより印加する吐出エネルギーの適正値が異なる。仮に、印加吐出エネルギーが少なすぎる場合には、電気熱変換体上のインクが発泡せず、吐出が行われない若しくは微量なものとなる。逆に、吐出エネルギーが大きすぎる場合には、電気熱変換体が昇温することでダメージを与えることや断線する可能性がある。そこで、本第１実施形態では適正印加吐出エネルギーを上述した抵抗測定の抵抗値から算出を行う。印加吐出エネルギーは、印加電圧値（若しくは電流値）と印加時間によって決定する。上述したようにＳ３で印加電圧値は固定としているため、本第１実施形態では印加時間を抵抗値測定の値により可変している。

即ち、本第１実施形態では、複数の吐出エネルギー測定パターンを形成する際に、駆動電圧ＶＨの電圧値をＳ５における駆動電圧ＶＨの仮の電圧値と同一の値で一定とし、駆動電圧ＶＨの印加時間を変化させている。つまり、液滴の着弾位置を測定するための着弾位置検査パターンを形成させるための駆動電圧と、液滴を吐出するのに必要な吐出エネルギーを測定するための吐出エネルギー測定パターンを形成するための駆動電圧を同じ電圧値にしている。具体的には、印加時間を仮の印加時間から減少させて印字している。これにより、駆動電圧の電圧値の切替によるタクトロスを回避することができる。ステージの移動スピードはインクジェット記録ヘッドの吐出特性により決定される。

ここで、吐出エネルギーを測定する際に、電気熱変換体の製造工程バラツキから想定されるエネルギー設定範囲全てを測定すると多大な時間がかかる。そのため本第１実施形態では、上述したＳ２にて測定した電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値からエネルギー測定範囲を限定する。限定したエネルギー測定範囲の中で電気熱変換体Ｈｔに駆動電圧ＶＨを印加する印加時間をパターン毎に減少させながら吐出させ、吐出エネルギーを測定する。

図１０は、電気熱変換体Ｈｔに印加する駆動電圧により発生する吐出エネルギーを測定するための複数の吐出エネルギー測定パターンＩ_２−１，Ｉ_２−２，Ｉ_２−３，Ｉ_２−４，…を模式的に表したものである。同配列内の吐出口５０２から吐出され記録媒体Ｓに着弾したインク液滴は、それぞれが、重なり合わず、５ドット連続で吐出されるパターンとなっている。そして、Ｎｏ．２０の吐出エネルギー測定パターンＩ_２−１は、駆動電圧ＶＨの印加時間を０．９８μｓとした場合であって、Ｓ３で設定した仮の印加時間と同じである。Ｎｏ．１９の吐出エネルギー測定パターンＩ_２−２は、駆動電圧ＶＨの印加時間を０．０２μｓ減少させた０．９６μｓとした場合である。Ｎｏ．１８の吐出エネルギー測定パターンＩ_２−３は、駆動電圧ＶＨの印加時間を更に０．０２μｓ減少させた０．９４μｓとした場合である。Ｎｏ．１７の吐出エネルギー測定パターンＩ_２−４は、駆動電圧ＶＨの印加時間を更に０．０２μｓ減少させた０．９２μｓとした場合である。このような方法を繰り返し、９パターン（残りの５パターンは図示を省略）を記録媒体Ｓに印字する。このように、記録媒体Ｓには、複数パターンの吐出エネルギー測定パターンＩ_２−１，Ｉ_２−２，Ｉ_２−３，Ｉ_２−４，…が形成される。

次に、各検査パターンＩ_１，Ｉ_２−１，Ｉ_２−２，Ｉ_２−３，Ｉ_２−４，…が形成された記録媒体Ｓを載せたペーパーステージ１１２をＣＣＤカメラ１１０の測定エリアまで移動させるステージ移動を行う（Ｓ７）。ペーパーステージ１１２の移動スピードはＣＣＤカメラ１１０の取込特性により決定される。本第１実施形態では、各検査パターンの印字時と同様の２５ｉｎｃｈ／ｓｅｃで移動させている。

次に、ＣＣＤカメラ１１０にて記録媒体Ｓに形成されたインク液滴の着弾位置検査パターンＩ_１を撮像し、画像として制御用コンピュータ２０１に取り込まれる（Ｓ８）。続いて、ＣＣＤカメラ１１０にて記録媒体Ｓに形成されたインク液滴の複数の吐出エネルギー測定パターンＩ_２−１，Ｉ_２−２，Ｉ_２−３，Ｉ_２−４，…を撮像し、一つの画像として制御用コンピュータ２０１に取り込まれる（Ｓ９）。以上のＳ８，Ｓ９のステップが、Ｓ５，Ｓ６のステップで記録媒体Ｓに形成された着弾位置検査パターン及び吐出エネルギー測定パターンを撮像する撮像工程に相当する。そして、Ｓ８，Ｓ９のステップは、連続して行われる。なお、本第１実施形態では、Ｓ８のステップに引き続いてＳ９のステップを実行したが、この順番に限るものではなく、Ｓ９のステップを先に行い、引き続いてＳ８のステップを実行してもよい。

次にＳ８，Ｓ９で撮像された着弾位置検査パターンの撮像情報に基づいて液滴の着弾位置の良否の判定を行うと共に、撮像された複数の吐出エネルギー測定パターンの撮像情報から許容範囲内の吐出エネルギー測定パターンを判定する（Ｓ１０：判定工程）。

以下、具体的に説明すると、取り込んだ着弾位置検査パターンを含む画像及び複数の吐出エネルギー測定パターンを含む画像に対し、シェーディング補正、２値化、ノイズ除去等の演算処理を行う。その後、着弾位置検査パターンの撮像情報（データ）では、着弾ＸＹ位置精度及びインク液滴直径の判定を行う。詳述すると、着弾位置検査パターンの画像情報により記録媒体Ｓに着弾した各インク液滴の重心ＸＹ座標から仮想の着弾理想格子を最小自乗法により求める。求められた着弾理想格子点（目標着弾位置）と近接するインク液滴着弾点重心ＸＹ座標を比較し、各インク液滴の着弾位置のズレ量を算出する。また、記録媒体Ｓに着弾した各インク液滴の面積から着弾インク液滴直径を求める。本第１実施形態では、着弾位置Ｘ規格３４μｍ以下、着弾位置Ｙ規格３４μｍ以下、インク液滴直径規格２０μｍ以上の場合は良であり、これらの規格値に基づき良否の判定を行っている。

また吐出エネルギー測定パターンの撮像情報（データ）では、インク液滴着弾比率Ｓ３から電気熱変換体に印加する吐出エネルギーの判定を行う。

その後、各パターン全体の面積（正常に形成された場合の検査パターンの面積、換言すると、目標の面積）Ｓ_１と各パターンの着弾した液滴の面積の総和Ｓ_２とを比較し（Ｓ_１／Ｓ_２）、液滴着弾比率Ｓ_３を算出する。

例えば、図１０に示すパターンではＮｏ．２０の液滴着弾比率Ｓ３が最も高くなるため、このときの電圧印加条件（駆動電圧ＶＨの電圧値及び印加時間）が最適な吐出エネルギーの値となる。ただし、上述したように吐出エネルギーの値は、印加時間に比例するため、印加時間が許容範囲内であれば、Ｎｏ．１８、Ｎｏ．１９を使用することもできる。つまり、許容範囲とは、許容される吐出エネルギー測定パターンの液滴着弾比率Ｓ３の範囲であり、予め設定した範囲であって、図１０では、Ｎｏ．２０，Ｎｏ．１９，Ｎｏ．１８の吐出エネルギー測定パターンであるＩ_２−１，Ｉ_２−２，Ｉ_２−３。なお、この許容範囲を、Ｎｏ．１９，Ｎｏ．２０としてもよく、この範囲は、記録ヘッド１０７の使用条件により異ならせてもよい。ここで、本第１実施形態では、液滴着弾比率Ｓ_３の許容最小値を１．０％としている。Ｎｏ．１７における液滴着弾比率Ｓ_３は１．０％以下であり、このときの条件を使用することはできない。

次に、駆動電圧ＶＨを、Ｓ１０の判定工程により判定された吐出エネルギー測定パターン（例えばＮｏ．２０）を形成するのに必要な電圧値及び印加時間に設定する（Ｓ１１：設定工程）。具体的には、Ｓ１０の判定結果を、電気熱変換体基板３０３に搭載された不図示のＲＯＭに書き込む。このＲＯＭには、駆動電圧ＶＨの最適の電圧値及び印加時間のほか、着弾位置検査パターンの良否の判定結果と、記録ヘッド１０７のＩＤや製造された日付等が書き込まれる。なお、ＲＯＭへの書き込みは必要に応じて行えばよい。

以上、本第１実施形態によれば、駆動電圧ＶＨの仮の電圧値及び仮の印加時間を決めてＳ５，Ｓ６で各検査パターンを形成し、Ｓ８，Ｓ９で両検査パターンを撮像し、Ｓ１０で両検査パターンの判定を行う。つまり、仮のインク液滴を吐出するための吐出エネルギーを設定し、検査パターン形成工程で最適吐出エネルギー測定パターン及び着弾点位置測定パターンを形成し、判定工程で両検査パターンを撮像し、判定工程で両検査パターンの判定を行う。したがって、液滴の着弾位置の検査と吐出エネルギーの検査を同一のプロセスで行うことができるので、検査を２回のプロセスに分けて行うよりも、検査に要する測定プロセスを短縮することができる。

また、従来の電気熱変換体の吐出エネルギーを決定してからインク液滴の着弾位置を測定する方法に比べ、ステージ動作を簡素化することができる。そのため、記録ヘッド１０７の特性検査を行う検査タクトを短縮することが可能となる。よって安価で高速な記録ヘッド１０７の検査方法を提供するこができる。また、記録ヘッド１０７のインク液滴吐出特性検査を行うシーケンスフローを簡素化でき、検査タクトを短縮することが可能となる。また、計測パターンを短縮でき、検査タクトを短縮することが可能となる。

また、従来の、製造工程で電気熱変換体の電気抵抗値を測定する方法では、抵抗から記録媒体に伝わる吐出エネルギーの値が、電気熱変換体と液滴の間に介在する保護膜の厚さにより大きく異なっていた。そのため、ウェハー内の保護膜厚バラツキを有する場合には、着弾位置検査工程前の製造工程内で記録素子基板毎に保護膜厚測定を行わなければならず、工程負荷が増大していた。これに対し、本第１実施形態では、仮設定工程におけるＳ２のステップで電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値を測定しているので、保護膜厚を測定する必要がなく、工程負荷を低減することができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る記録ヘッドの検査方法について詳細に説明する。なお、以下の説明において、上記第１実施形態と同様の構成及び工程は、同一符号を付している。上記第１実施形態では、電気熱変換体の電気抵抗値を測定した後、着弾位置の良否判定と、吐出エネルギーの最適条件の設定とを同一のプロセスで実現する場合について説明した。これに対して本第２実施形態では、これに加え、図７における記録ヘッド１０７内の配線抵抗値の適正判断も同一（１回）のプロセスで実現するものである。なお、ここで言う配線抵抗値とは、配線の材質や線幅および長さにより変化する抵抗値以外に、トランジスタの性能の違いにより変化する配線の抵抗値も含んでいる。

配線抵抗値は製造時の条件等により設計値に対してばらつきが生ずる。そのバラツキが所定閾値を超えていると、適正な印字動作を行う事ができない。従って、配線抵抗値が適正な印字を行う事が可能な範囲内に収まっているかを測定することが必要となる。

図１１に、記録ヘッド１０７を検査する各検査工程のフローチャートを示す。図１１中、Ｓ１〜Ｓ４は、上記第１実施形態と同様の工程である。即ち、記録ヘッド１０７と検査装置１００に設けられたキャリッジ１０８との電気的接続の確認をするコンタクトチェックを行う（Ｓ１）。次に、電気熱変換体Ｈｔの電気抵抗値を測定し（Ｓ２）、その値から、着弾位置検査パターンＩ_１及び吐出エネルギー測定パターンＩ_２を印字するために必要な駆動電圧（吐出エネルギー）を算出し、駆動電圧の設定（吐出電圧設定）を行う（Ｓ３）。次に、記録媒体Ｓに各パターンを印字させるためにペーパーステージ１１２を移動させるステージ移動を行う（Ｓ４）。次に本第２実施形態では駆動電圧ＶＨの電圧値及び印加時間を設計公差上の最小値に設定して電気熱変換体Ｈｔに駆動電圧ＶＨを印加して発生させた吐出エネルギーにより吐出口５０２から液滴を吐出させ、記録媒体Ｓに配線抵抗検査パターンを形成する（Ｓ４’）。この配線抵抗検査パターンが第３の検査パターンに対応する。次に、上記第１実施形態と同様に、記録媒体Ｓに着弾位置検査パターンを印字し（Ｓ５）、記録媒体３０８に吐出エネルギー測定パターンを印字する（Ｓ６）。以上のＳ４’，Ｓ５，Ｓ６のステップは、検査パターン形成工程に相当する。

図１２（ａ）は、本第２実施形態における記録ヘッド１０７の各検査パターンを示す図である。記録ヘッドの駆動は、６００ｄｐｉ解像度で駆動周波数１５ＫＨｚ、ＥＶＥＮ列８ブロック、ＯＤＤ列８ブロックの１６ブロックに分割された時分割駆動（ブロック間隔時間３．８μｓ）を行っている。図１２（ａ）中、検査パターンＩ_３は、電気熱変換体Ｈｔに接続される配線の配線抵抗が適正であるか否かを判断するための印字パターンである。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の検査パターンＩ_３を拡大した図である。この検査パターンＩ_３は、ＯＤＤ列のノズルは同時全吐出の５カラム（縦ノズル列）連続吐出で、５画素分スペースを空けて、ＥＶＥＮ列のノズルを同時全吐出の５カラム（縦ノズル列）連続吐出させたときの記録媒体上の液滴着弾状態である。なお、ＯＤＤ列は、０，２，４，・・・３１８ｓｅｇｍｅｎｔであり、ＥＶＥＮ列は、１，３，５，・・・３１９ｓｅｇｍｅｎｔである。つまり、本第２実施形態における検査パターンＩ_３は、同一ブロック内の各電気熱変換体Ｈｔに同時に通電して、対応する各吐出口５０２から液滴を吐出させる全吐出を行うことにより形成される。

図１２（ａ）に示すように、記録媒体Ｓには、上記第１実施形態と同様、着弾位置検査パターンＩ_１が形成される。即ち、０ｓｅｇ（ノズル０ｓｅｇｍｅｎｔ）から４画素おきに６ドット着弾させ、その繰り返しで３１９ｓｅｇまで全３２０ノズル分の着弾を表す検査パターンであり、液滴の着弾精度を測定するのに用いる。更に、記録媒体Ｓには、上記第１実施形態と同様、吐出エネルギー測定パターンＩ_２が形成される。

検査パターンＩ_１，Ｉ_２の液滴を吐出させるときの駆動条件は、駆動電圧ＶＨの電圧値は２４．０Ｖとしている。また、印加時間はダブルパルス（プレパルス０．３８μｓ、休止時間２．２１μｓ、メインパルス０．６７μｓ）、時分割ブロック間隔時間３．８μｓで駆動し液滴を吐出させて印字している。一方、検査パターンＩ_３を印字するときは、駆動電圧ＶＨの電圧値は２３．５Ｖ、パルス幅はシングルパルス０．８１μｓ、時分割ブロック間隔時間０．９０μｓで駆動し、液滴を吐出させて印字する。この駆動条件は、記録装置（プリンタ）に記録ヘッド１０７を搭載したときの設計公差上最小の駆動エネルギーである。実際に設定される電圧値、印加時間、印加形態、時分割ブロック間隔時間から製品の設計公差を考慮して、通常記録ヘッド１０７の駆動エネルギーがある範囲内に収まっている場合に良品としている。この時の最小の駆動エネルギーが、設計公差上最小の駆動エネルギーである。

次に、上記第１実施形態と同様に、各検査パターンＩ_１，Ｉ_２，Ｉ_３が形成された記録媒体Ｓを載せたペーパーステージ１１２をＣＣＤカメラ１１０の測定エリアまで移動させるステージ移動を行う（Ｓ７）。

次に、本第２実施形態では、ＣＣＤカメラ１１０にて配線抵抗検査パターンＩ_３の画像を取り込み（Ｓ７’）、上記第１実施形態と同様に、着弾位置検査パターンＩ_１の画像を取り込み（Ｓ８）、吐出エネルギー測定パターンＩ_２の画像の取り込む（Ｓ９）。即ち、撮像工程にて、更に、Ｓ４’で記録媒体Ｓに形成された配線抵抗検査パターンＩ_３を撮像し、その画像を取り込んでいる。

次にＳ７’Ｓ８，Ｓ９で撮像された検査パターンの撮像情報に基づいて判定を行う（Ｓ１０’：判定工程）。つまり、Ｓ１０’の判定工程では、上記第１実施形態のＳ１０の判定に加え、更に、Ｓ７’で撮像された配線抵抗検査パターンＩ_３の撮像情報に基づいて配線の電気抵抗値の良否の判定を行う。

以下、具体的に説明すると、まず、Ｓ７’，Ｓ８，Ｓ９で取り込んだ配線抵抗検査パターンを含む画像、着弾位置検査パターンを含む画像及び複数の吐出エネルギー測定パターンを含む画像に対し、シェーディング補正、２値化、ノイズ除去等の演算処理を行う。

即ち、配線抵抗検査パターンＩ_３の演算処理では、背景のムラを除去するためのバックグラウンド処理やシェーディング補正が施され、画像を２値化する。着弾位置検査パターンＩ_１の演算処理では、主滴とサテライトを分離し、抽出された主滴重心点を算出（位置の数値化）し、各液滴の重心点から最小二乗法により仮想格子を作成する。仮想格子上の理想点からのズレ量を演算処理して各着弾ドットの位置を計測して、その計測結果に基づいて着弾精度の良否判定を行う。吐出エネルギー測定パターンＩ_２の演算処理では、最適吐出エネルギーを算出する。最後に、Ｓ１０’における配線抵抗良否判定結果、着弾位置良否判定結果及び最適な吐出エネルギー（駆動電圧の電圧値及び印加時間）の値をＲＯＭに書き込む（Ｓ１１’）。なお、ＲＯＭへの書き込みは必要に応じて行えばよい。

着弾位置検査パターンＩ_１と、吐出エネルギー測定パターンＩ_２の演算処理は、上記第１実施形態のＳ１０と同様である。配線抵抗検査パターンＩ_３の画像の演算処理に関して詳述する。

ここで、電気熱変換体Ｈｔに接続される配線抵抗値が規格値より大きいと、電気熱変換体Ｈｔにかかるエネルギーが小さくなり、液滴吐出が不安定（ショボ印字）になる。したがって、検査装置１００において設計公差上最小の駆動電圧に設定し、かつ、最大の電圧降下が起こる検査パターン１を形成することにより、その印字状態によって電気熱変換体Ｈｔに接続される配線抵抗値が適正であるか否かの判断をすることができる。

具体的には、図１３（ａ）は、図１２の配線抵抗検査パターンＩ_３の画像をＣＣＤカメラ１１０で取り込んだ画像と、それを５０％基準の閾値で２値化したときの画像である。ＣＣＤカメラ１１０は１６００（Ｈ）×１２００（Ｖ）＝１９２万画素１／１．８型（１画素＝１．２μｍ×１．２μｍ）のものを使用し、レンズは１倍のレンズを使用した。２値化した画像の画素数より、正常吐出したときの着弾と不良吐出（ショボ印字）したときの画像は判別可能となる。図１３（ｂ）は、２値化した画像の画素数と印字状態の関係を表したグラフである。本発明者の詳細な実験により種々の印字状態を画像処理してまとめたものである。これより２０００画素（２８８００００μｍ^２）以上の画素数であれば正常吐出（ＯＫ，準ＯＫ）であると判定できる。

また、Ｓ１０’の判定工程では、最初に配線抵抗検査パターンＩ_３の画像の演算処理を行うことにより、その結果が判定が不良であった場合には、着弾位置検査パターンＩ_１と、吐出エネルギー測定パターンＩ_２の演算処理を省略することも可能である。

以上、本第２実施形態によれば、Ｓ４’，Ｓ５，Ｓ６で各検査パターンＩ_３，Ｉ_１，Ｉ_２を連続して形成し、Ｓ７’Ｓ８，Ｓ９で各検査パターンＩ_３，Ｉ_１，Ｉ_２を連続して撮像し、Ｓ１０で各検査パターンＩ_３，Ｉ_１，Ｉ_２の判定を連続して行う。したがって、所定の印字パターンを印字することによって電気熱変換素子に接続される配線の配線抵抗値の適正判定を行うことが可能となる。そして、各検査を同一のプロセスで行うことができるので、検査を３回のプロセスに分けて行うよりも、検査に要する測定プロセスを短縮することができる。

なお、上記実施の形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。上記実施形態では、１枚の記録媒体に連続して第１，第２の検査パターン（第１〜第３の検査パターン）を記録する場合について説明したが、それぞれ別の記録媒体に記録してもよい。また、第１，第２の検査パターン（第１〜第３の検査パターン）をそれぞれ別の撮像動作で画像取り込みを行ったが、１度の撮像で画像取り込みを行ってもよい。また、第１，第２の検査パターン（第１〜第３の検査パターン）を記録媒体Ｓに形成する順番も上記実施形態の順番に限定するものではなく、任意の順番で形成しても本願発明は適用可能である。

また、上記実施形態では、仮設定工程で設定した駆動電圧の仮の電圧値及び仮の印加時間のうち電圧値一定の下、印加時間を変更して、複数の第２の検査パターン（吐出エネルギー測定パターン）を記録媒体に形成したが、これに限定するものではない。すなわち、印加時間を一定として電圧値を変更してもよく、また、電圧値及び印加時間を変更してもよい。つまり、電気熱変換体に駆動電圧を印加して発生させる吐出エネルギーを変更できればよいので、仮設定工程で設定した仮の電圧値及び仮の印加時間の少なくとも一方を変更すればよい。

［第３実施形態］
前記第２実施形態では、配線抵抗値の適正判断を配線抵抗検査パターンＩ_３の画像の演算処理により実施した。これに対して第３実施形態では、図７に示したヘッドの印加電圧を制御するトランジスタの駆動電圧（ＶＨＴ）の適正判断を印字パターン画像を演算処理することで簡易に実施する。すなわち、実際に設定される通常記録ヘッド１０７の印加電圧値、印加時間、印加形態、時分割ブロック間隔時間のうち、印加電圧値のみを設計公差上最小値として印字し演算を行った。

これは、第２実施形態における配線抵抗値のバラツキの要因の多くは、トランジスタの駆動電圧（ＶＨＴ）の値である。従って、ヘッドの印加電圧を制御するトランジスタの駆動電圧（ＶＨＴ）の適正判断は、印加電圧値のみを設計公差上最小値として印字することによりを行う事ができる。

図７において、各ノズルのｓｅｇｍｅｎｔに対応するヒーターはトランジスタのＯＮ／ＯＦＦによって制御され、トランジスタの駆動は駆動電圧ＶＨＴにより行われる。第３実施形態における記録ヘッド１０７を検査する各検査工程の、第２実施形態と異なるのは、図１１のフローチャートの配線抵抗検査パターン印字（Ｉ_３）に替えて、駆動電圧検査パターン印字を行う事である。

駆動電圧検査パターン印字は、記録ヘッド内の吐出を制御するトランジスタの駆動電圧（ＶＨＴ）は２３．５Ｖに設定して印字を行う。通常のトランジスタのＶＨＴは２４．０Ｖに設定されている。本実施形態においては、ＶＨＴを設計公差の下限値２３．５Ｖに設定することによって記録ヘッド内のトランジスタ動作が正常に行われているかを印字検査により判定が可能となる。即ち、トランジスタの動作が正常に動作しなければ、不安定吐出（ショボ印字）や不吐になる。以上、所定の印字パターンを印字することによって電気熱変換素子基板内のトランジスタ動作の適正判定を行うことが可能となる。

なお、駆動電圧検査パターンは、第２の実施形態における図１２、図１３と同様のパターンを印字し、その演算方法および判定方法も同様である。

また本実施例では、配線抵抗検査パターンＩ_３に替えて駆動電圧検査パターンの印字を行ったが、これらを連続して行う事も可能である。

１００ 検査装置
１１０ ＣＣＤカメラ
２０１ 制御用コンピュータ
１０７ 記録ヘッド（インクジェット記録ヘッド）
５０２ 吐出口
Ｈｔ 電気熱変換体
Ｉ_１ 着弾位置検査パターン（第１の検査パターン）
Ｉ_２ 吐出エネルギー測定パターン（第２の検査パターン）
Ｉ_３ 配線抵抗検査パターン（第３の検査パターン）

Claims (6)

1. インクを加熱して吐出口から液滴を吐出させる電気熱変換体を複数有し、吐出された液滴で記録媒体に印字を行うインクジェット記録ヘッドの検査方法において、
   前記吐出口から液滴を吐出させる際の前記電気熱変換体に印加する駆動電圧の仮の電圧値及び仮の印加時間を設定する仮設定工程と、
   前記仮設定工程で設定した前記仮の電圧値及び前記仮の印加時間で前記電気熱変換体に前記駆動電圧を印加して発生させた吐出エネルギーにより前記吐出口から液滴を吐出させ、記録媒体に第１の検査パターンを形成すると共に、前記仮の電圧値及び前記仮の印加時間の少なくとも一方を変更して、前記電気熱変換体に前記駆動電圧を印加して発生させた吐出エネルギーにより前記吐出口から液滴を吐出させ、記録媒体に複数の第２の検査パターンを形成する検査パターン形成工程と、
   前記検査パターン形成工程で記録媒体に形成された前記第１の検査パターン及び前記複数の第２の検査パターンを撮像する撮像工程と、
   前記撮像工程で撮像された前記第１の検査パターンの撮像情報に基づいて液滴の着弾位置の良否の判定を行うと共に、前記撮像工程で撮像された前記複数の第２の検査パターンの撮像情報から許容範囲内の第２の検査パターンを判定する判定工程と、
   前記駆動電圧を、前記判定工程により判定された前記第２の検査パターンを形成するのに必要な電圧値及び印加時間に設定する設定工程と、を備えたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの検査方法。
2. 前記仮設定工程では、前記駆動電圧の前記仮の電圧値及び前記仮の印加時間を、前記電気熱変換体の電気抵抗値を測定し、前記電気抵抗値に基づいて設定することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの検査方法。
3. 前記検査パターン形成工程では、前記電気熱変換体にコンデンサを並列に接続した接続状態で前記第１の検査パターン及び前記第２の検査パターンの形成を行い、
   前記仮設定工程では、前記電気熱変換体に前記コンデンサを非接続状態で前記電気抵抗値の測定を行うことを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの検査方法。
4. 前記仮設定工程では、前記複数の電気熱変換体をブロック単位に分割し、同一ブロック内の電気熱変換体の電気抵抗値を測定し、その平均抵抗値に基づいて前記駆動電圧の前記仮の電圧値及び前記仮の印加時間を決めることを特徴とする請求項２又は３に記載のインクジェット記録ヘッドの検査方法。
5. 前記検査パターン形成工程では、前記複数の第２の検査パターンを形成する際に、前記駆動電圧の電圧値を一定とし、前記駆動電圧の印加時間を変化させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの検査方法。
6. 前記検査パターン形成工程では、更に、前記駆動電圧の電圧値及び印加時間を設計公差上の最小値に設定して前記電気熱変換体に前記駆動電圧を印加して発生させた吐出エネルギーにより前記吐出口から液滴を吐出させ、記録媒体に第３の検査パターンを形成し、
   前記撮像工程では、更に、前記検査パターン形成工程で記録媒体に形成された前記第３の検査パターンを撮像し、
   前記判定工程では、更に、前記撮像工程で撮像された前記第３の検査パターンの撮像情報に基づいて前記電気熱変換体に接続される配線の電気抵抗値の良否の判定を行うことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの検査方法。

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