JP2011223435A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010092030A JP5549340B2 (ja) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | 振動片、振動片の製造方法、振動デバイスおよび電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010092030A JP5549340B2 (ja) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | 振動片、振動片の製造方法、振動デバイスおよび電子機器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011223435A JP2011223435A (ja) | 2011-11-04 |
| JP2011223435A5 true JP2011223435A5 (enExample) | 2013-04-18 |
| JP5549340B2 JP5549340B2 (ja) | 2014-07-16 |
Family
ID=45039782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010092030A Expired - Fee Related JP5549340B2 (ja) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | 振動片、振動片の製造方法、振動デバイスおよび電子機器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5549340B2 (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102629861A (zh) | 2011-02-02 | 2012-08-08 | 精工爱普生株式会社 | 振动片、振子、振荡器以及电子设备 |
| JP5685962B2 (ja) | 2011-02-02 | 2015-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP2014170998A (ja) * | 2013-03-01 | 2014-09-18 | Seiko Epson Corp | Mems素子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6482169B2 (ja) | 2013-07-19 | 2019-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3954395B2 (ja) * | 2001-10-26 | 2007-08-08 | 富士通株式会社 | 圧電薄膜共振子、フィルタ、および圧電薄膜共振子の製造方法 |
| JP2005136115A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Tdk Corp | 電子デバイス及びその製造方法 |
| JP4693406B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-06-01 | 京セラキンセキ株式会社 | 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 |
| JP4404218B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2010-01-27 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉振動子およびその製造方法 |
| JP4533934B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2010-09-01 | エプソントヨコム株式会社 | 振動片及び振動子の製造方法 |
| JP5444662B2 (ja) * | 2008-08-25 | 2014-03-19 | ソニー株式会社 | 圧電デバイスの製造方法 |
| JP2010081156A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Seiko Epson Corp | 圧電薄膜振動片、圧電薄膜振動片の製造方法、圧電薄膜振動子及び発振回路 |
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2010
- 2010-04-13 JP JP2010092030A patent/JP5549340B2/ja not_active Expired - Fee Related
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