JP2011215004A - 変位計測方法及び変位計測装置 - Google Patents
変位計測方法及び変位計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011215004A JP2011215004A JP2010083537A JP2010083537A JP2011215004A JP 2011215004 A JP2011215004 A JP 2011215004A JP 2010083537 A JP2010083537 A JP 2010083537A JP 2010083537 A JP2010083537 A JP 2010083537A JP 2011215004 A JP2011215004 A JP 2011215004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diffraction grating
- semi
- order
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
- B60L3/00—Electric devices on electrically-propelled vehicles for safety purposes; Monitoring operating variables, e.g. speed, deceleration or energy consumption
- B60L3/0023—Detecting, eliminating, remedying or compensating for drive train abnormalities, e.g. failures within the drive train
- B60L3/0076—Detecting, eliminating, remedying or compensating for drive train abnormalities, e.g. failures within the drive train relating to braking
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
- B60L50/00—Electric propulsion with power supplied within the vehicle
- B60L50/20—Electric propulsion with power supplied within the vehicle using propulsion power generated by humans or animals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
- B60L7/00—Electrodynamic brake systems for vehicles in general
- B60L7/10—Dynamic electric regenerative braking
- B60L7/12—Dynamic electric regenerative braking for vehicles propelled by dc motors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
- B60L7/00—Electrodynamic brake systems for vehicles in general
- B60L7/24—Electrodynamic brake systems for vehicles in general with additional mechanical or electromagnetic braking
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60T—VEHICLE BRAKE CONTROL SYSTEMS OR PARTS THEREOF; BRAKE CONTROL SYSTEMS OR PARTS THEREOF, IN GENERAL; ARRANGEMENT OF BRAKING ELEMENTS ON VEHICLES IN GENERAL; PORTABLE DEVICES FOR PREVENTING UNWANTED MOVEMENT OF VEHICLES; VEHICLE MODIFICATIONS TO FACILITATE COOLING OF BRAKES
- B60T17/00—Component parts, details, or accessories of power brake systems not covered by groups B60T8/00, B60T13/00 or B60T15/00, or presenting other characteristic features
- B60T17/18—Safety devices; Monitoring
- B60T17/22—Devices for monitoring or checking brake systems; Signal devices
- B60T17/221—Procedure or apparatus for checking or keeping in a correct functioning condition of brake systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B62—LAND VEHICLES FOR TRAVELLING OTHERWISE THAN ON RAILS
- B62K—CYCLES; CYCLE FRAMES; CYCLE STEERING DEVICES; RIDER-OPERATED TERMINAL CONTROLS SPECIALLY ADAPTED FOR CYCLES; CYCLE AXLE SUSPENSIONS; CYCLE SIDE-CARS, FORECARS, OR THE LIKE
- B62K23/00—Rider-operated controls specially adapted for cycles, i.e. means for initiating control operations, e.g. levers, grips
- B62K23/02—Rider-operated controls specially adapted for cycles, i.e. means for initiating control operations, e.g. levers, grips hand actuated
- B62K23/06—Levers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B62—LAND VEHICLES FOR TRAVELLING OTHERWISE THAN ON RAILS
- B62M—RIDER PROPULSION OF WHEELED VEHICLES OR SLEDGES; POWERED PROPULSION OF SLEDGES OR SINGLE-TRACK CYCLES; TRANSMISSIONS SPECIALLY ADAPTED FOR SUCH VEHICLES
- B62M6/00—Rider propulsion of wheeled vehicles with additional source of power, e.g. combustion engine or electric motor
- B62M6/40—Rider propelled cycles with auxiliary electric motor
- B62M6/45—Control or actuating devices therefor
- B62M6/50—Control or actuating devices therefor characterised by detectors or sensors, or arrangement thereof
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D66/00—Arrangements for monitoring working conditions, e.g. wear, temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
- B60L2200/00—Type of vehicles
- B60L2200/12—Bikes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transportation (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】レーザ光源12からのレーザ光13を、コリメータレンズ14によって平行光15とし、第1の回折格子16を通過させて半透過半反射ミラー22まで進行させ、一部を反射させて第1の回折格子16を通過する第1の戻り光Lrev1とする。平行光15の残りは全反射ミラー24まで進行して反射され、半透過半反射ミラー22と第1の回折格子16を通過する第2の戻り光Lrev2となる。第1の回折格子16による第1,第2の戻り光Lrev1,Lrev2の所定次数の回折光を、第1の光センサ28で光量検出し、半透過半反射ミラー22に対する全反射ミラー24の軸方向の相対的移動量に対応する干渉縞もしくはその信号から変位量を得る。
【選択図】図1
Description
(1)計測範囲が光の波長で決められてしまい、光の波長以上の範囲を計測しようとすると、通過した光の波長を数えるようになり、光の波長以下の分解能が得られない。
(2)光学部品の位置精度が非常に厳しく、角度ずれ(0.01度オーダ),位置ずれ(サブμmオーダ)により計測ができなくなることがある。従って、温度変化,湿度変化,外部振動,経時といった使用環境により誤検出を防止するための対策が必要となる。
(3)コリメータレンズ,ミラーの組み合わせ,スプリッタが必須であるため、小型化が困難である。
(4)異なる検出感度・検出位置での変位(例えば、上述した電動アシスト自転車のブレーキワイヤの移動量と伸び量など)を、同時ないし時系列的に測定することができない。
回折角φ=ASIN(0.65/1.6)=24.0°
となる。そして、前記CDR基板を回折格子に用いたときの回折角φは24度となることから、移動量Δdに対する行路2と行路3の行路差Δは、上記数式3から、
Δ=Δd(1/cos(24°)−1)=0.094
となり、約11波長の移動で1回の干渉の明暗が発生することとなる。
Y=λ/4×(2n+1)(nは任意の整数)
となったときに、光センサ28上の明暗は「明」から「暗」に変化する(図6(B-3)の枠F3内参照)。また、「明」から「暗」に変化する途中段階である
0<Y<λ/4×(2n+1)
のとき、光センサ28上の干渉縞は、明暗の中間状態となる(図6(B-2)の枠F2内参照)。なお、前記図6(B-1)〜(B-3)において、干渉縞全体を取り込むと、干渉縞は変化しても、光量の変化が微小になり検出感度が低下するため、本実施例では、同図に枠F1〜F3で示す一部領域を取り込むことにより、高い検出感度を得ることとしている。
(1)レーザ光源12からの平行な直進光の光軸上に、第1の回折格子16,半透過半反射ミラー22,全反射ミラー24を順に配置し、そして、前記直進光を、前記第1の回折格子16を通過させて半透過半反射ミラー22まで進行させ、全反射ミラー24まで進行する直進光30と、第1の回折格子16まで戻る第1の戻り光Lrev1に分割する。全反射ミラー24まで達した光は、反射されて半透過半反射ミラー22を通過し、第1の回折格子16に戻る第2の戻り光Lrev2となる。前記第1の戻り光Lrev1と第2の戻り光Lrev2の第1の回折格子16による所定次数の回折光を光センサ28で受光して光量検出することとしたので、半透過半反射ミラー22と全反射ミラー24間の相対的な位置変化に対応するブレーキワイヤ56の移動量(変位量)を検出できる。
(2)前記変位量の検出が、光路共有方式であるため、チルト影響がキャンセルされ、外乱(振動)による誤検出を防止することができる。
(3)スプリッタを利用しないため、部品点数を削減して小型化・低コスト化を図ることができる。また、構成が簡単なため、位置ずれに対しても強い。
(4)計測範囲を1波長以上に広げ、1波長以下の変位から1波長以上の変位までを連続的に計測でき、回折格子のピッチにより光学分解能の調整が可能である。
d=λ/(1/cos(φ)−1)/(n−1)/4
=0.65/0.094/(1.58−1)*1/4→2.98μm
と決定される。
(1)前記実施例で示した形状,寸法,材質は一例であり、同様の効果を奏するものであれば、必要に応じて適宜変更してよい。例えば、前記実施例1の変位計測ユニット70では、第2の回折格子18側に設けたスリット86Aと、第3の回折格子20側に設けたスリット86Bにより、透明樹脂成型体72にバネ性を付与することとしたが、これも一例であり、2つ回折格子18,20の中間部付近に図示しないスリットを設けてバネ性を付与するなど、同様の効果を奏する範囲内で、適宜設計変更可能である。
(2)前記実施例1では、0次回折光と1次回折光を利用して変位測定を行うこととしたが、これも一例であり、1次回折光以外の任意の次数の回折光(例えば、2次光など)を利用してもよい。
(5)前記実施例1では、第1の回折格子16,半透過半反射ミラー22,全反射ミラー24,光センサ28からなる第1の変位量検出部(ワイヤ移動量検出部)と、第2の回折格子18,第3の回折格子20,光センサ26からなる第2の変位検出部(ワイヤ伸び量検出部)の双方を設けることとしたが、これは一例であり、第2の変位検出部は、必要に応じて設けるようにすればよい。
11:筐体
11A,11B:側面
12:レーザ光源
13:レーザ光
14:コリメータレンズ
15:平行光
16:第1の回折格子
18:第2の回折格子
18A,18B:溝
20:第3の回折格子
22:半透過半反射ミラー
24:全反射ミラー
26,28:光センサ
30:直進光
32,34:回折光
36:干渉光
50:電動アシスト自転車
52:ハンドル
54:ブレーキレバー
56:ブレーキワイヤ
58:チューブ
60:ブレーキパッド
62:リム
64:コントローラ
66:モータ
68:バッテリー
70:変位計測ユニット
72:透明樹脂成型体
72A,72B:側面
74:貫通孔
76A,76B:ネジ
78:レーザ駆動回路
80A〜80F:スペース
80F:通路
82:I/V変換回路
84:ネジ
86A,86B:スリット
90:増幅回路
92:スライサ
94:クロックカウンタ
96:演算装置
100:変位計測装置
102:第3の回折格子
104:位相板
106:2分割光センサ
108:演算装置
200:マイケルソン干渉計
202:レーザ光源
204:コリメータレンズ
206:スプリッタ
208:固定ミラー
210:可動ミラー
212:光センサ
214:固定側ユニット
216:干渉縞
F1〜F3:枠
L1〜L5:光路
Lrev1,Lrev2:戻り光
LD:レーザダイオード
OP,OP1,OP2:オペアンプ
PD,PD1,PD2:フォトダイオード
R1:電流制限抵抗
R2〜R7:抵抗
Claims (7)
- 光源から発射された光をコリメータレンズにより平行光とし、
該平行光を、その光軸上に配置された第1の回折格子を通過させ、更に、前記光軸上に前記第1の回折格子に対向して配置された半透過半反射ミラーまで進行させ、
前記半透過半反射ミラーにより、前記平行光の一部を反射させて前記第1の回折格子まで戻る第1の戻り光とし、前記平行光の残りを、前記半透過半反射ミラーに対して同一光軸上で相対的に位置変化可能に配置された全反射ミラーまで進行させ、
前記第1の戻り光を、前記第1の回折格子により、前記第1の戻り光と同方向に進行する0次光と、該0次光に対して回折角を有する±n次光(nは1以上の自然数)とに分けて進行させ、該±n次光のうちの所定次数の回折光を、第1の光センサで受光して光量検出するとともに、
前記半透過半反射ミラーを通過し、前記全反射ミラーまで進行した平行光を、該全反射ミラーで反射させて、前記半透過半反射ミラーを通過して前記第1の回折格子まで戻る第2の戻り光とし、
前記第1の回折格子に達した第2の戻り光を、前記第1の回折格子により、0次光と±n次光とに分けて進行させ、該±n次光のうち、前記所定次数の回折光を、前記第1の回折格子で受光して光量検出し、
前半透過半反射ミラーに対する前記全反射ミラーの相対的な移動量に対応する干渉縞もしくはその信号から、前記平行光の軸方向の第1の変位量を測定することを特徴とする変位計測方法。 - 前記第1の回折格子と前記半透過半反射ミラーの間であって、前記平行光の光軸上に配置された第2の回折格子によって、前記第1の回折格子を通過した平行光を、該平行光と同方向に進行する0次光と±n次光とに分けて進行させ、
前記第2の回折格子と前記半透過半反射ミラーとの間に、前記第2の回折格子に対向して同一光軸上で移動可能に配置されており、前記第2の回折格子と同一の格子ピッチを有する第3の回折格子によって、前記第2の回折格子を経由した0次光を、更に、同方向に進行する0次光と±n次光とに分けて進行させ、
前記第2及び第3の回折格子を経由した±n次光のうち、前記第2の回折格子による所定次数の回折光の光軸に沿う回折光を、第2の光センサで受光して光量検出するとともに、
前記第2の回折格子に対する第3の回折格子の移動量に対応する干渉縞もしくはその信号から、前記平行光の軸方向の第2の変位量を測定することを特徴とする請求項1記載の変位計測方法。 - 光源と、
前記光源から発射された光を平行光にするためのコリメータレンズと、
前記平行光の光軸上に配置されており、前記平行光を、同方向に進行する0次光と、±n次光とに分けて進行させる第1の回折格子と、
前記平行光の光軸上に、前記第1の回折格子と対向して配置されており、前記第1の回折格子を通過した平行光の一部を反射させて前記第1の回折格子まで戻る第1の戻り光とし、前記平行光の残りを通過させる半透過半反射ミラーと、
該半透過半反射ミラーに対して、同一光軸上で相対的に位置変化可能に配置されており、前記半透過半反射ミラーを通過した平行光を反射させて、前記半透過半反射ミラーを通過して前記第1の回折格子まで戻る第2の戻り光とする全反射ミラーと、
前記第1の回折格子によって回折された前記第1及び第2の戻り光の±n次光のうち、第1の戻り光の所定次数の回折光の光軸に沿う回折光を受光して光量検出する第1の光センサと、
を備えており、
前記半透過半反射ミラーに対する前記全反射ミラーの相対的な移動量に対応する干渉縞もしくはその信号から、前記平行光の軸方向の第1の変位量を測定することを特徴とする変位計測装置。 - 前記第1の回折格子と前記半透過半反射ミラーの間であって、前記平行光の光軸上に配置されており、前記第1の回折格子を通過した平行光を、該平行光と同方向に進行する0次光と、±n次光とに分けて進行させる第2の回折格子と、
該第2の回折格子と前記半透過半反射ミラーとの間に、前記第2の回折格子に対して同一光軸上で移動可能に配置されており、前記第2の回折格子と同一の格子ピッチを有するとともに、前記第2の回折格子を経由した0次光を、更に同方向に直進する0次光と、±n次光とに分けて進行させる第3の回折格子と、
前記第2及び第3の回折格子を経由した±n次光のうち、前記第2の回折格子による所定次数の回折光の光軸に沿う回折光を受光して光量検出する第2の光センサと、
を備えるとともに、
前記第2の回折格子に対する第3の回折格子の移動量に比例する干渉縞もしくはその信号から、前記平行光の軸方向の第2の変位量を測定することを特徴とする請求項3記載の変位計測装置。 - 前記第3の回折格子が前記第2の回折格子と対向する面に段差を有する位相板を設け、前記第2の光センサとして、2分割光センサを用いるとともに、
前記2分割光センサから出力される2つの信号を合成する演算手段,
を備えたことを特徴とする請求項4記載の変位計測装置。 - 前記光源,コリメータレンズ,第1の回折格子,半透過半反射ミラー,第1の光センサが、透明樹脂成型体内に設けられた空間に設置されるとともに、
前記全反射ミラーが、前記透明樹脂成型体の外部に配置されており、
前記透明樹脂成型体と前記全反射ミラーが相対移動可能となるように、いずれか一方が軸に沿って移動可能に取り付けられたことを特徴とする請求項3記載の変位計測装置。 - 前記光源,コリメータレンズ,第1の回折格子,第2の回折格子,第3の回折格子,半透過半反射ミラー,第1の光センサ,第2の光センサが、透明樹脂成型体内に設けられた空間に配置され、
前記全反射ミラーが、前記透明樹脂成型体の外部に配置されており、
前記透明樹脂成型体と前記全反射ミラーが相対移動可能となるように、いずれか一方が軸に沿って移動可能に取り付けられるとともに、
前記透明樹脂成型体が、前記第2の回折格子と第3の回折格子が平行状態を保つように、これら2つの回折格子を境目に伸縮可能なバネ性を示すことを特徴とする請求項4又は5記載の変位計測装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010083537A JP5424961B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 変位計測方法及び変位計測装置 |
CN201180017720.3A CN102834690B (zh) | 2010-03-31 | 2011-03-28 | 位移测量方法和位移测量装置 |
KR1020127023588A KR101390648B1 (ko) | 2010-03-31 | 2011-03-28 | 변위 계측 방법 및 변위 계측 장치 |
PCT/JP2011/057560 WO2011122536A1 (ja) | 2010-03-31 | 2011-03-28 | 変位計測方法及び変位計測装置 |
US13/619,103 US8922785B2 (en) | 2010-03-31 | 2012-09-14 | Method and apparatus for measuring displacement |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010083537A JP5424961B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 変位計測方法及び変位計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011215004A true JP2011215004A (ja) | 2011-10-27 |
JP5424961B2 JP5424961B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=44712232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010083537A Expired - Fee Related JP5424961B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 変位計測方法及び変位計測装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8922785B2 (ja) |
JP (1) | JP5424961B2 (ja) |
KR (1) | KR101390648B1 (ja) |
CN (1) | CN102834690B (ja) |
WO (1) | WO2011122536A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013217748A (ja) * | 2012-04-06 | 2013-10-24 | Taiyo Yuden Co Ltd | 変位計測方法及び変位計測装置 |
JP2017509879A (ja) * | 2014-02-27 | 2017-04-06 | エシロール アテルナジオナール カンパニー ジェネラーレ デ オプティックEssilor International Compagnie Generale D’ Optique | 眼用レンズ上のマイクロエッチングを識別及び定位するための光学機器 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9771124B2 (en) * | 2015-02-25 | 2017-09-26 | Ford Global Technologies, Llc | Wheel rim-mounted regeneration coil-magnet system |
US9764796B2 (en) * | 2015-03-19 | 2017-09-19 | GM Global Technology Operations LLC | Electric bike optical shift detection and control |
US10126560B2 (en) * | 2016-02-18 | 2018-11-13 | National Engineering Research Center for Optical Instrumentation | Spectrum-generation system based on multiple-diffraction optical phasometry |
CN106247947B (zh) * | 2016-08-11 | 2018-10-12 | 哈尔滨工业大学 | 一种外差式二/三维光栅位移粗/细测量系统 |
JP7024285B2 (ja) | 2017-09-26 | 2022-02-24 | オムロン株式会社 | 変位計測装置、システム、および変位計測方法 |
CN109029273A (zh) * | 2018-10-24 | 2018-12-18 | 中北大学 | 一种基于环形器的纳米光栅0级检测位移的测量方法 |
CN110260795B (zh) * | 2019-05-31 | 2020-12-29 | 广东工业大学 | 一种基于增量绝对光栅尺的绝对位移检测方法 |
CN110332908A (zh) * | 2019-07-20 | 2019-10-15 | 大连理工大学 | 一种高精度激光反射式测倾装置及方法 |
CN111173866B (zh) * | 2020-01-07 | 2021-11-19 | 中车青岛四方车辆研究所有限公司 | 状态检测装置及方法、制动缸、制动夹钳单元及制动系统 |
CN112918256A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-06-08 | 江西江铃集团新能源汽车有限公司 | 一种锂电池组碰撞控制方法及系统 |
CN114526686B (zh) * | 2022-04-25 | 2022-08-12 | 南京康斯智信工程科技有限公司 | 一种长大结构混凝土实体构件防裂控裂在线监测系统 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03279812A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-11 | Nikon Corp | 回析干渉型エンコーダ |
JPH051926A (ja) * | 1991-06-26 | 1993-01-08 | Mitsutoyo Corp | 格子干渉型変位検出装置 |
JPH0572088A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-23 | Hitachi Ltd | 線材引張試験装置 |
JPH07101375A (ja) * | 1993-10-06 | 1995-04-18 | Shimano Inc | 自転車用インジケータ |
JPH1183433A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-26 | Nippon Soken Inc | 変位量計及び変位量測定方法 |
JP2001033209A (ja) * | 1999-05-17 | 2001-02-09 | Jasco Corp | 距離計 |
JP2005147828A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置 |
WO2011043354A1 (ja) * | 2009-10-05 | 2011-04-14 | 太陽誘電株式会社 | 変位計測方法及び変位計測装置 |
JP2011126426A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Panasonic Corp | 電動自転車およびそのブレーキ調整方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07311182A (ja) | 1994-03-25 | 1995-11-28 | Kobe Steel Ltd | 光熱変位計測による試料評価方法 |
US7333214B2 (en) | 2006-03-31 | 2008-02-19 | Mitutoyo Corporation | Detector for interferometric distance measurement |
CN101393328A (zh) * | 2007-09-18 | 2009-03-25 | 财团法人金属工业研究发展中心 | 光学探测装置及包含所述光学探测装置的测量系统 |
-
2010
- 2010-03-31 JP JP2010083537A patent/JP5424961B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-03-28 KR KR1020127023588A patent/KR101390648B1/ko active IP Right Grant
- 2011-03-28 WO PCT/JP2011/057560 patent/WO2011122536A1/ja active Application Filing
- 2011-03-28 CN CN201180017720.3A patent/CN102834690B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-09-14 US US13/619,103 patent/US8922785B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03279812A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-11 | Nikon Corp | 回析干渉型エンコーダ |
JPH051926A (ja) * | 1991-06-26 | 1993-01-08 | Mitsutoyo Corp | 格子干渉型変位検出装置 |
JPH0572088A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-23 | Hitachi Ltd | 線材引張試験装置 |
JPH07101375A (ja) * | 1993-10-06 | 1995-04-18 | Shimano Inc | 自転車用インジケータ |
JPH1183433A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-26 | Nippon Soken Inc | 変位量計及び変位量測定方法 |
JP2001033209A (ja) * | 1999-05-17 | 2001-02-09 | Jasco Corp | 距離計 |
JP2005147828A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置 |
WO2011043354A1 (ja) * | 2009-10-05 | 2011-04-14 | 太陽誘電株式会社 | 変位計測方法及び変位計測装置 |
JP2011126426A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Panasonic Corp | 電動自転車およびそのブレーキ調整方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013217748A (ja) * | 2012-04-06 | 2013-10-24 | Taiyo Yuden Co Ltd | 変位計測方法及び変位計測装置 |
JP2017509879A (ja) * | 2014-02-27 | 2017-04-06 | エシロール アテルナジオナール カンパニー ジェネラーレ デ オプティックEssilor International Compagnie Generale D’ Optique | 眼用レンズ上のマイクロエッチングを識別及び定位するための光学機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102834690A (zh) | 2012-12-19 |
WO2011122536A1 (ja) | 2011-10-06 |
KR101390648B1 (ko) | 2014-04-30 |
CN102834690B (zh) | 2015-11-25 |
KR20120128669A (ko) | 2012-11-27 |
US8922785B2 (en) | 2014-12-30 |
US20130010305A1 (en) | 2013-01-10 |
JP5424961B2 (ja) | 2014-02-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5424961B2 (ja) | 変位計測方法及び変位計測装置 | |
JP5586619B2 (ja) | 変位計測方法及び変位計測装置 | |
US9074861B2 (en) | Displacement detecting device | |
JP3530573B2 (ja) | 光学式変位センサ | |
JP3210111B2 (ja) | 変位検出装置 | |
WO2014071806A1 (zh) | 一种双频光栅干涉仪位移测量系统 | |
JP3173208B2 (ja) | 変位測定装置 | |
JP2016529480A (ja) | 光学変位センサ素子 | |
US7995212B2 (en) | Optical displacement measuring device | |
EP2933609B1 (en) | Displacement detecting device | |
JP5959279B2 (ja) | 変位計測方法及び変位計測装置 | |
JP3548275B2 (ja) | 変位情報測定装置 | |
JP2018040620A (ja) | 変位計測装置及び変位計測方法 | |
JP2017133892A (ja) | 回転角度検出装置および回転角度検出方法 | |
US8937726B2 (en) | Rotary position measuring instrument | |
JP2018066629A (ja) | ロードセル | |
JPH1038516A (ja) | ステージの垂直方向変位測定装置 | |
WO2016143694A1 (ja) | 反射型エンコーダ | |
JP5969274B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JPS6234246Y2 (ja) | ||
JPH0755507A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP2006030115A (ja) | リニアエンコーダ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130910 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131028 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5424961 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |