JP2011214865A - 周期欠点検出方法、装置およびシート状物体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高精度な周期判定を実現する周期判定方法、装置およびシート状物体の製造方法を提供すること。
【解決手段】搬送されるシート状物体に光を照射し、前記シート状物体を介した反射光または透過光を受光し、受光した光に基づいて前記シート状物体の欠点を検出し、前記欠点が周期的に発生する周期欠点か否かを判断する周期欠点検出方法において、前記シート状物体を製造する工程ごとに欠点特徴量範囲を設定し、前記工程ごとにシート幅方向許容範囲、または、シート幅方向許容範囲およびシート搬送方向許容範囲を設定して周期判定することを特徴とする周期欠点検出方法。
【選択図】 図１

Description

本発明は、シート状物体を製造する工程において形成される周期欠点を検出する周期欠点検出方法、装置およびシート状物体の製造方法に関する。

フィルムなどのシート状物体の製造工程では、搬送、延伸などのためにロールが複数使用されている。それらロール表面のキズや付着物などにより、シート状物体の表面にロール径の周期で連続的に欠点（周期欠点）が発生することがある。この周期欠点は主にキズであるが、製造工程内や製品出荷前に、ヒトや欠点検出装置による検査で発見し、品質保証、工程改善に繋げている。

しかし近年、シート状物体への品質要求は厳しさを増しており、特に周期欠点への要求は、大きさ、強度ともに非常に小さなレベルまで保証することを求められている。これに伴い、欠点検出装置の設定を厳しくして、シート状物体の欠点を数多く検出し、それらに対して周期判定を実施することが進められている。

ここで周期判定の公知手法につき、特許文献１を用いて説明する。特許文献１は、
（１）発生したシート幅方向位置が予め設定したシート幅方向許容範囲内で近接する欠点同士を、同一のグループに分類し、
・ 同一グループに分類した欠点群の中で、任意の２つの欠点が発生した位置のシー
ト搬送方向距離を基本周期（複数ある）とし、
（３）同一グループに分類した欠点群の中で、（ある一つの）基本周期を持つ先頭の欠点を判定し、
（４）同一グループ内に分類した欠点群の中で、順次、欠点を抽出して先頭の欠点とのシート搬送方向距離を算出し、
（５）基本周期の整数倍となったときに、その（順次抽出した）欠点を、基本周期を持つ周期欠点と判定する
という周期判定を行っている。一般的な周期判定はほぼ同様の考え方であり、（５）の整数倍のところに多少のずれ量を許容するシート搬送方向許容範囲を有している。このことを、図５に示す。図５は、周期判定の一例の説明図である。

１０１〜１０５は欠点を示しており、今、欠点１０１に着目する（特許文献１では「先頭の欠点」に相当）。そのとき１０６がシート幅方向許容範囲に当たり、シート幅方向許容範囲１０６内に存在する欠点１０１〜１０４は周期判定の対象欠点となり（特許文献１では「同一グループ」に相当）、シート幅方向許容範囲１０６内に存在しない欠点１０５（の２つ）は対象欠点とならない。即ち、シート幅方向許容範囲とは、同一の周期を持つ周期欠点それぞれの、シート幅方向位置が多少ずれることを想定して、そのずれ量を許容する（同一と判定する）ために設定する値である。

そして、欠点１０１と欠点１０２とのシート搬送方向距離１０７が第一の基本周期となり、欠点１０１と欠点１０３とのシート搬送方向距離、欠点１０１と欠点１０４とのシート搬送方向距離それぞれを考える。それらのシート搬送方向距離が、第一の基本周期であるシート搬送方向距離１０７の整数倍、もしくはこれにシート搬送方向許容範囲１０８を考慮（加算減算）した範囲内ならば、同一の周期を持つ周期欠点と判定される。図５では、欠点１０１と欠点１０３とのシート搬送方向距離が、シート搬送方向距離１０７の２倍の距離からシート搬送方向許容範囲１０８内のずれに収まっており、欠点１０１、欠点１０２、欠点１０３は同一の周期を持つ周期欠点と判定される。また、欠点１０１と欠点１０４とのシート搬送方向距離は、シート搬送方向距離１０７の３倍の距離からシート搬送方向許容範囲１０８内のずれに収まっており、欠点１０４は、欠点１０１、欠点１０２、欠点１０３と同一の周期を持つ周期欠点と判定される。即ち、シート搬送方向許容範囲とは、同一のロールから発生する周期欠点それぞれにおいて、理論的に算出されるシート搬送方向位置と実際のシート搬送方向位置が多少ずれることを想定して、そのずれ量を許容する（同一とする）ために設定する値である。
仮に第一の基本周期を持つ周期欠点と判定されなければ、欠点１０１と欠点１０３とのシート搬送方向距離が第二（番目）の基本周期となり、欠点１０４以降の欠点で周期判定を実施する。このような周期判定を欠点１０１について終了したら、欠点１０２に着目し直して再度実施する。ただし、欠点１０２が周期欠点として判定されていれば、その次の欠点１０３に着目する場合もある。一般には、３つ以上の欠点（図５では、欠点１０１、欠点１０２、欠点１０３）が周期判定の条件を満たせば、周期欠点となる。

また、最近では、基本周期のあるべき範囲を複数設定することも可能であり、より高精度な周期判定を実施できるようになっている。このときの基本周期のあるべき範囲とはロール径やシート搬送方向の延伸倍率などから算出するものであり、この範囲内（もしくは、シート搬送方向許容範囲を追加考慮した範囲内）にない周期が基本周期となった場合には、周期欠点と判定しない。

しかし、本発明者の知見によれば、このような手法だけでは、欠点を数多く検出したときに、高精度な周期判定を実施することは困難である。このことを、図６に示す。図６は、周期判定の一例の説明図である。

１１１〜１１４は欠点を示しており、今、欠点１１１に着目する。そのとき、１１５がシート幅方向許容範囲に当たり、欠点１１２〜１１４は全て周期判定の対象欠点となる。欠点１１１と欠点１１２とのシート搬送方向距離１１６が第一の基本周期となるが、欠点１１１と、欠点１１３および欠点１１４（の２つ）とのシート搬送方向距離は、第一の基本周期の２倍からシート搬送方向許容範囲１１７のずれ内にあり、実際にはどの欠点が周期欠点かを判断できない。

本発明者の知見によれば、この問題に対する解決策として、発生している欠点の特徴量（欠点特徴量）を考慮することが挙げられる。ここで、欠点特徴量とは、欠点検出装置などにより得られる欠点画像から得られる欠点の長さ、幅、強度などの値を指し、また、これらの値を重み付き加算するなどして新しく得られた値でも良い。このときの欠点画像とは、欠点検出装置などが撮像した撮像画像そのものでも良いし、撮像画像に微分などの画像処理を施して得られる処理画像でも良い。

同じロールから発生する周期欠点は、同様の形状をしていることが分かっている。したがって、同じような欠点特徴量を持つ欠点を分類するクラスタリング技術を導入すれば、周期判定の精度は向上する。

クラスタリング技術としては、様々な手法が提案されている。一般には統計手法（クラスター分析など）が用いられるが、ニューラルネットワークなどによる学習や、総当り的な探索（いわゆる決定木方式）なども数多く提案されている。これらの中で、キズの分類を目指した手法として、特許文献２がある。

特許文献２は、重み付き教師データを適応度として、遺伝的アルゴリズムによる最適化処理を実施している。これにより、分類に重要な欠点特徴量を自動的に選別し、膨大な量のデータを扱う最適化の工程を簡便化している。

本発明者の知見によれば、上述のようにクラスタリング技術を活用した上で、基本周期のあるべき範囲を設定することで、周期判定の精度を向上させることができる。これらを組み合わせた場合の、周期判定フローを図７に示す。図７は、一つの欠点に着目してからの周期判定フローの説明図である。

１２１は、一つの欠点に着目し、シート幅方向許容範囲にある欠点を全て抽出するステップである。１２２はクラスタリング技術を活用し、ステップ１２１で着目した欠点の欠点特徴量を求め、ステップ１２１で抽出した欠点のなかで同等な欠点特徴量を有する欠点のみを選別するステップである。１２３は、１２２で選別した欠点について周期判定を実施するステップである。このときの基本周期はあるべき範囲を考慮しており、高精度な周期判定を実施している。

図５で説明した周期判定方法および図７のフローに従って周期判定した結果を、図８、図９に示す。図８は周期判定前の全欠点発生位置の説明図で、図９は、図７の周期判定フローによる周期判定後の欠点発生位置の説明図である。図８における丸は、その位置に欠点が存在することを示している。この中から、図５で説明した周期判定方法および図７のフローに従って周期欠点を抽出した結果が図９である。即ち、図９の丸は、全て周期欠点と判定されている。図９の矢印１３１の位置に周期欠点は存在するが、周期欠点でない欠点も周期と判定されてしまっている。このように、これだけでは、周期判定精度は不足している。

本発明者は、この原因が、
（１）クラスタリングによる分類が最適でないこと
（２）周期判定におけるシート幅方向許容範囲および／またはシート搬送方向許容範囲が最適でないこと
にあることを突き止めた。

まず「クラスタリングによる分類が最適でないこと」については、シート状物体を製造する全工程で発生するあらゆる周期欠点（ここではキズとする）を対象とし、一つ一つの異なるキズを全て同時に分類しようとしていることが原因である。

即ち、シート搬送方向に細長い形状を持つ「縦キズ」、シート幅方向に細長い形状を持つ「横キズ」、シート表面の凹凸まで生じている「凹凸キズ」など、幾つも存在する形状のキズを同時に精度良く分類しようとするため、全体的な最適化に留まっていることが原因である。図９では、欠点の長さ、幅、強度など１０種類ある欠点特徴量から３つを選択したマハラノビス距離による分類（判別）を実施し、最も判別的中率が高くなるようにしている。

また「周期判定におけるシート幅方向許容範囲および／またはシート搬送方向許容範囲が最適でないこと」については、あらゆるキズに対して、同じシート幅方向許容範囲（および／またはシート搬送方向許容範囲）を設定していることが挙げられる。

本来ならば、シート幅方向許容範囲を小さく設定できる工程で発生するキズにおいても、大きなシート幅方向許容範囲を設定すべき工程に合わせて不必要に大きな値を設定してしまっているということである。これにより周期判定の対象欠点が増えてしまい、図６に示したように周期判定精度が低下してしまう。シート搬送方向許容範囲についても、同様である。

特許第３８４５９５８号公報 特開２００５−２２７０５４号公報

以上に鑑みて、本発明の目的は、高精度な周期判定を有する周期欠点検出方法、装置およびシート状物体の製造方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は下記の構成を有する。

すなわち、本発明の周期欠点検出方法は、搬送されるシート状物体に光を照射し、前記シート状物体を介した反射光または透過光を受光し、受光した光に基づいて前記シート状物体の欠点を検出し、前記欠点が周期的に発生する周期欠点か否かを判断する周期欠点検出方法において、
（１）前記シート状物体を製造する工程ごとに欠点特徴量範囲を設定し、
（２）前記工程ごとにシート幅方向許容範囲、または、シート幅方向許容範囲およびシート搬送方向許容範囲を設定して
周期判定することを特徴とするものである。

更に、本発明の好ましい形態によれば、前記シート状物体を製造する工程の延伸工程における延伸倍率に基づき、前記シート幅方向許容範囲、前記シート搬送方向許容範囲を設定することを特徴とするものである。

更に、本発明の好ましい形態によれば、前記シート状物体を製造する工程の延伸工程における延伸倍率に基づき、前記欠点特徴量範囲を設定することを特徴とするものである。

更に、本発明の好ましい形態によれば、前記シート状物体の最終厚みに基づき、前記シート幅方向許容範囲、前記シート搬送方向許容範囲を設定することを特徴とするものである。

更に、本発明の好ましい形態によれば、前記シート状物体の最終厚みに基づき、前記欠点特徴量範囲を設定することを特徴とするものである。

また、本発明の周期欠点検出装置は、搬送されるシート状物体に光を照射する照射手段と、前記シート状物体を介した反射光または透過光を受光する受光手段と、受光した光に基づいて前記シート状物体の欠点を検出する欠点検出手段と、前記欠点が周期的に発生する周期欠点か否かを判断する周期判定手段とを有する周期欠点検出装置において、前記周期判定手段が、
（１）前記シート状物体を製造する工程ごとに欠点特徴量範囲を設定する欠点特徴量範囲設定手段と、
（２）前記工程ごとにシート幅方向許容範囲、または、シート幅方向許容範囲およびシー
ト搬送方向許容範囲を設定する許容範囲設定手段
を有することを特徴とするものである。

更に、本発明の好ましい形態によれば、前記許容範囲設定手段が、前記シート状物体を製造する工程の延伸工程における延伸倍率に基づき、前記シート幅方向許容範囲、前記シート搬送方向許容範囲を設定するものであることを特徴とするものである。

更に、本発明の好ましい形態によれば、前記欠点特徴量範囲設定手段が、前記シート状物体を製造する工程の延伸工程における延伸倍率に基づき、前記欠点特徴量を設定するものであることを特徴とするものである。

更に、本発明の好ましい形態によれば、前記許容範囲設定手段が、前記シート状物体の最終厚みに基づき、前記シート幅方向許容範囲、前記シート搬送方向許容範囲を設定するものであることを特徴とするものである。

更に、本発明の好ましい形態によれば、前記許容範囲設定手段が、前記シート状物体の最終厚みに基づき、前記欠点特徴量範囲を設定することを特徴とするものである。

本発明における「シート状物体を製造する工程」とは、シート状物体の製造を役割（機能）によって、複数に分けた工程をいう。例えばフィルムでは、溶融したポリマを口金の間隙から吐出し、それを受けてシート状にする「キャスト」工程、フィルムを搬送方向に延伸する「縦延伸」工程、フィルムを幅方向に延伸する「横延伸」工程、巻き取り前にフィルムを搬送させる「搬送」工程、フィルムを巻き取る「巻き取り」工程、巻き取ったフィルムをお客様の希望幅に合わせて裁断する「スリット」工程などが挙げられる。「縦延伸」工程と「横延伸」工程を合わせて、「延伸」工程と呼ぶこともある。

また、本発明における「欠点特徴量」とは、欠点画像から得られる欠点を特徴付ける値をいう。例えば、欠点の長さ、幅、強度などが挙げられ、また、これらの値を重み付き加算するなどして新しく得られた値でも良い。

また、本発明における「延伸工程における延伸倍率」とは、「延伸」工程において、シート状物体を、シート搬送方向、シート幅方向それぞれに延伸させる際の倍率を指す。「縦延伸」工程におけるシート搬送方向の延伸倍率と、「横延伸」工程におけるシート幅方向の延伸倍率がある。また、「縦延伸」工程または／および「横延伸」工程が複数ある場合には、それぞれでの延伸倍率を指す。

また、本発明における「シート状物体の最終厚み」とは、シート状物体を製造する工程における最後の工程（例えばフィルムにおける「スリット」工程）でのシート状物体の厚みを指す。即ち、それ以上の厚み変化を生じない状態となった、シート状物体の厚みのことである。この最終厚みは最終製品の厚みでもあるため、目標厚みとして事前に決めることができる。シート状物体を製造する各工程の設定条件によって数μｍレベルまでの精度で厚みを制御できるので、この目標厚みを最終厚みとしても良い。また、実際に測定した値に基づいて、最終厚みを決めても良い。シート状物体を製造する工程内、特に「搬送」工程や「スリット」工程などのインラインで測定しても良いし、「スリット」工程後にオフラインで測定しても良い。測定手段としては、β線厚み計でも良いし、Ｘ線厚み計でも良いし、赤外線厚み計でも良いし、光干渉式厚み計でも良いし、接触式厚み計でも良い。ただし、接触式厚み計は、オフラインでの使用が好ましい。数分間に亘る測定値の平均値を用いても良いし、予め設定した箇所での測定値を用いても良い。

本発明によれば、以下に説明するとおり、周期判定の精度に優れた周期欠点検出方法、装置およびシート状物体の製造方法を得ることができる。

本発明の、周期判定におけるフロー説明図である。 本発明の一実施形態における、シート状物体の製造工程の説明図である。 本発明の一実施形態における、装置構成を示す概略構成図である。 本発明の一実施形態における、周期判定結果の説明図である。 従来技術の、周期判定方法の説明図である。 従来技術の、周期判定方法の課題の説明図である。 従来技術の、周期判定におけるフロー説明図である。 本発明の一実施形態における、周期判定前の欠点分布の説明図である。 従来技術の、周期判定結果の説明図である。 本発明の、マハラノビス距離による分類の説明図である。 本発明の、マハラノビス距離による分類の説明図である。

以下、本発明の最良の実施形態を、逐次二軸延伸による単層透明高分子フィルムの製造工程後に、オフラインで検査する欠点検出装置に適用した場合を例にとって、図面を参照しながら説明する。

まず、本実施形態における、逐次二軸延伸による単層透明高分子フィルムの製造工程を図２に示す。図２は、逐次二軸延伸による単層透明高分子フィルム製造工程の説明図である。

１０は口金であり、溶融したポリマを吐出する。１１は溶融したポリマをシート状にする工程で、「キャスト」工程と呼ばれる。１２はシート状になったポリマをシート搬送方向に延伸する工程で、「縦延伸」工程と呼ばれる。より細かくは、延伸前にフィルムを温める「縦・予熱」工程、フィルムを延伸する「縦・延伸」工程、延伸後にフィルム形状を固定する「縦・冷却」工程がある。１３はフィルムをシート幅方向に延伸する工程で、「横延伸」工程と呼ばれる。ここでは、ロールを用いていない。１４はフィルム巻き取り前にフィルムを搬送する工程で、「搬送」工程と呼ばれる。１５はフィルムを一旦ロール状に巻き取る工程で、「巻き取り」工程と呼ばれる。１６は「巻き取り」工程１５でロール状に巻き取られたフィルムを再度巻き出し、お客様の希望幅に裁断する工程で、「スリット」工程と呼ばれる。より細かくは、フィルムを搬送させる「スリット・搬送」工程、「スリット」工程でのロール巻き取り直前の「スリット・巻き取り直前」工程、「スリット」工程でロールを巻き取る「スリット・巻き取り」工程がある。「縦延伸」工程および「スリット」工程のみについて細かい区別を記述したが、その他の工程を細分化しても良い。

また、「巻き取り」工程１５でのフィルム巻き取り時、もしくは「スリット」工程１６でのフィルム巻き出し時には、ロールを幅方向に往復させることがある。これはオシレーションと呼ばれ、数ｍｍの往復距離の場合から、数１００ｍｍの往復距離の場合もある。

図２では「縦延伸」工程１２、「横延伸」工程１３がそれぞれ１回ずつしかないが、複数回あっても良いし、「縦延伸」工程１２および「横延伸」工程１３がない無延伸であっても良いし、「縦延伸」工程１２または「横延伸」工程１３がない一軸延伸でも良い。「縦延伸」工程１２と「横延伸」工程１３の順番が逆でも良い。逐次ではなく同時二軸延伸でも良い。また、塗材をフィルムにコーティングする「コーティング」工程があっても良いし、フィルム表面をコロナ放電などで改質する「表面改質」工程があっても良い。

本実施形態では、「スリット」工程１６後の、お客様の希望幅に裁断されたロールを検査する欠点検出装置（図示しない）に本発明を導入している。ただし、この「スリット」工程１６後の欠点検出装置に限らず、例えば、「搬送」工程１４、「巻き取り」工程１５、「スリット」工程１６などに設置されている欠点検出装置への導入も可能である。

次に、本実施形態の装置構成を図３に示す。図３は、本実施形態の概略構成図である。

１７はシート状物体で、ここでは逐次二軸延伸で製造された単層透明高分子フィルムである。シート状物体１７としては特に限定されず、フィルム、紙、ガラス、金属などであっても良い。フィルムの場合は、多層構造を有するフィルムであっても良いし、表面および／または裏面に塗材をコーティングされたフィルムであっても良い。また、反射光を受光する構成とすれば、有色フィルムであっても良い。また、ここでは逐次二軸延伸によるフィルムとしているが、無延伸であっても良いし、一軸延伸であっても良いし、同時二軸延伸であっても良い。即ち、製造における延伸の形態には拘らない。

１８は照射手段で、シート状物体１７に光を照射している。照射手段１８は、蛍光灯であっても良いし、ハロゲン光源であっても良いし、メタルハライド光源であっても良いし、キセノン光源であっても良いし、ＬＥＤ光源であっても良い。また、特定の波長特性を有しているものであっても良いし、特定の指向性を有するものであっても良い。好ましくは、１方向に長く投光部位を有しており、また投光部位から照射される光量が略均一なことである。ここでは、メタルハライド光源を使用し、光源からの光を光ファイバ束でロッド照明に伝え、ロッド照明から一方向への高い指向性を持つ略均一な光を照射している。また、ロッド照明の長手方向は、シート状物体１７の幅方向と略均一としている。このロッド照明の長手方向は、シート状物体１７の面（一般には、鉛直方向を法線方向に持つ）に平行な面（平行面）を考え、その面内で回転させても良い。

１９は受光手段であり、シート状物体１７を介した、照射手段１８からの透過光を受光するように配置されている。好ましくは、シート状物体１７の、透過光を介した箇所およびその近傍でのシワやバタツキが少ないことである。受光手段１９はラインセンサカメラであっても良いし、エリアセンサカメラであっても良いし、その他、複数の光電変換素子による構成物であっても良い。好ましくは、受光手段１９の有する光電変換素子が、感度が良く、ノイズに強く、素子間の差異が小さいことである。ここではラインセンサカメラを用い、その光電変換素子の並び方向が、照射手段１８の長手方向と略均一である。

また、好ましくは、受光手段１９は、シート状物体１７の欠点種類によって受光する光量分布に変化が生じるように、シート状物体１７および／または照射手段１８との相対的な位置関係が保たれていることである。ここでは、シート状物体１７に存在するキズ表面で発生する散乱光を受光するような位置関係としている。具体的には、シート状物体１７にキズがない場合には、照射手段１８からの光を強く受光しないようにしており、キズがある場合にはキズ表面での散乱光を追加受光するようにしている。設置方法として、例えば、照射手段１８からの照射中心光軸と、受光手段１９の受光中心光軸が一致するように角度調整し、その後、光軸がずれるように、照射手段１８および／または受光手段１９を平行移動するなどがある。このような方法であっても良いし、照射手段１８の照射中心光軸と、受光手段１９の受光中心光軸との角度をずらしても良い。

また、シート状物体１７、照射手段１８、受光手段１９の位置関係については、欠点の有無に応じて、光の透過率、反射率、屈折などの差異を検出できるものであっても良い。

また、欠点種類によって光量分布および／または何かしらの光学的差異を得るために、遮光板や偏光板、波長選択フィルタなどの光学的補助手段を用いても良いし、光の位相など、光量以外の情報を用いても良い。

なお、図３では照射手段１８からの、シート状物体１７を介した透過光を受光するように配置されているが、上述したように、シート状物体１７での反射光を受光するように配置しても良い。反射光を受光する場合には、シート状物体１７の撓みやシワ、バタツキに対する頑健性が一般に小さくなるが、より散乱光の小さなキズを検出しやすくなる場合がある。また、有色フィルムであれば、フィルム表裏面の区別も容易である。

２０ａは欠点検出手段であり、受光手段１９と接続されている。受光手段１９が受光した光の情報は光電変換されて、欠点検出手段２０ａで受信される。欠点検出手段２０ａで欠点箇所を抽出し、その情報（欠点画像）を、欠点発生位置とともに周期判定手段２０ｂに送信する。シート搬送方向の欠点発生位置については、測長用エンコーダ（図示しない）からの信号に基づいて決めても良い。シート幅方向の欠点発生位置については、受光手段１９の１方向に並んでいる光電変換素子のどの素子で検出したかに基づいて決めても良い。周期判定手段２０ｂは、欠点特徴量範囲設定手段２０ｃと許容範囲設定手段２０ｄによって構成されており、欠点検出手段２０ａからの情報（欠点画像、欠点発生位置）と各工程情報とに基づいて周期判定を実施し、外部出力手段２１に周期判定結果を送信する。

欠点検出手段２０ａでは、受信した光情報に基づき欠点箇所を抽出している。この際に用いる各種パラメータは、受光手段１９から受信した信号値に対して設定する閾値であっても良いし、受信した信号値を処理する信号・画像処理フィルタであっても良いし、処理した信号値に対して設定する閾値でも良い。これらのパラメータは、非検査時に予め最適化していても良いし、検査中に逐次最適化されていても良い。好ましくは、予め最適化しておくことである。更に好ましくは、この最適化に用いるデータ量が多いことである。

この欠点検出手段２０ａにおけるパラメータの最適化とは、そのパラメータによって抽出される欠点箇所が、その欠点画像をヒトが確認して欠点箇所と判定した箇所と同じになることである。実際には、抽出される欠点箇所とヒトの判定する欠点箇所とが全く一致することは困難であるが、このような最適化を図ることで、後述の周期判定の精度が向上する。

周期判定手段２０ｂでは、欠点特徴量範囲設定手段２０ｃと許容範囲設定手段２０ｄを活用しながら、欠点検出手段２０ａからの情報（欠点画像、欠点発生位置）と各工程情報（工程の持つロール径、「延伸」工程における延伸倍率、シート状物体１７の最終厚み）とに基づいて周期判定を実施する。周期判定手段２０ｂでの周期判定を、図１を用いて説明する。図１は、本発明の、周期判定フローの説明図である。

１は、本実施形態における逐次二軸延伸による単層透明高分子フィルムの製造工程の「延伸」工程における延伸倍率、シート状物体の最終厚みを取得するステップであり、取得しない場合があっても良い。具体的には、「縦延伸」工程でのシート搬送方向の延伸倍率、「横延伸」工程でのシート幅方向の延伸倍率、「スリット」工程でのシート状物体の厚みである。他の工程において、より微小な延伸が入る場合には、それらを追加して取得しても良い。

２は、欠点検出手段２０ａで検出された欠点の中の、一つの欠点に着目するステップである。周期欠点と判定されていない全ての欠点に対して実施されるステップで、着目した欠点の欠点特徴量を算出する。この欠点特徴量は分類で使用されるものであり、欠点検出手段２０ａから受信する欠点画像から求める欠点の長さ、幅、強度などそれぞれの値でも良いし、それらの重み付き加算値でも良い。

また、これらの欠点特徴量を複数算出しても良い。例えば、「キャスト」工程で発生したか否かを判定するための欠点特徴量、「縦・予熱」工程で発生したか否かを判定するための欠点特徴量のように、それぞれの工程用に欠点特徴量を算出しても良い。他には「縦キズ」か否かを判定するための欠点特徴量、「横キズ」か否かを判定するための欠点特徴量のように、それぞれのキズ用に欠点特徴量を算出しても良い。

また、ステップ１で取得した延伸倍率やシート状物体の最終厚みを考慮しても良い（取得した場合）。例えば、「横延伸」工程でのシート幅方向の延伸倍率が２倍以下のときと、４倍以上のときと、それ以外のときとでは、「キャスト」工程〜「縦延伸」工程それぞれの工程で発生したか否かの判定に用いる欠点特徴量を変更しても良いし、欠点特徴量そのものを変更しなくとも欠点の幅に関わる重み付き加算値がある場合には、その重みを延伸倍率に応じた曲線で変化させても良い。延伸倍率を更に細かく区切っても良い。これは「横延伸」工程での延伸倍率によって、「横延伸」工程よりも前の工程で発生した欠点の変形具合が異なるためである。この変形具合を補間することができれば、前述したようなステップ的な補間でも、連続的な補間でも良いし、クラスタリングにおける空間の軸にあたる欠点特徴量そのものの変更をしても良い。「縦延伸」工程でのシート搬送方向の延伸倍率に基づく場合も、同様である。

また、シート状物体の最終厚みによっては、それぞれの工程に用いられているロールとシート状物体の接触状態に差が生じる場合があり、各工程で発生する欠点の欠点特徴量を変更する必要が生じる場合もある。このときは、例えば１００μｍ以下のとき、３００μｍ以上のとき、それ以外のとき、などと場合を分けて延伸倍率のときと同様の補間をしても良い。このときも、ステップ的な補間でも、連続的な補間でも良いし、クラスタリングにおける空間の軸にあたる欠点特徴量そのものの変更をしても良い。これらは、次ステップで実施するクラスタリング技術によって変化する。

３は、ステップ２で算出した欠点特徴量を用いて、着目した欠点の発生箇所を推定するステップである。これは、一般的なクラスタリング技術を用いれば良い。ここではマハラノビス距離を用いて、着目した欠点がどの工程で発生したかを推定する。マハラノビス距離は一般的に広く用いられる手法であり、正規分布に従って発生すると仮定した現象（ここでは欠点）を分類（判別）するもので、欠点特徴量（一般に複数）を軸とした幾何学的空間での距離を、標準偏差で割るところに特徴を持つ。これにより、（正規）分布の広がりまで考えた分類が可能になる。

例えば、「縦延伸」工程で発生したか否かを判断するときには、「縦延伸」工程かそれ以外の工程かを判断するのに適した欠点特徴量（一般に複数）を使用してマハラノビス距離を算出する（欠点特徴量の選択や算出は、ステップ２で実施）。このことを、図１０を用いて説明する。図１０は、本発明の、マハラノビス距離による分類の説明図である。

今、ステップ２では欠点特徴量Ａと欠点特徴量Ｂが算出されており、「縦延伸」工程で発生したと（ヒトによって）判断された欠点群の中心座標（即ち、欠点特徴量Ａ、欠点特徴量Ｂそれぞれの平均値）を１４１とする。このとき、中心座標１４１からのマハラノビス距離が同じとなる点を結ぶと一般に楕円形となり、１４１ａ、１４１ｂ、１４１ｃ、１４１ｄと描くことができる。ここでは、１４１ａ〜１４１ｄそれぞれがマハラノビス距離０．５、１．０、１．５、２．０に相当する。また、「縦延伸」工程以外の工程で発生したと（ヒトによって）判断された欠点群の中心座標は１４２とする。同様に、中心座標１４２からのマハラノビス距離が０．５、１．０、１．５、２．０それぞれに相当する点を結んだものが１４２ａ、１４２ｂ、１４２ｃ、１４２ｄとなる。このとき、着目欠点が１４３に相当する座標に位置するならば、この着目欠点は「縦延伸」工程の中心座標１４１から１．５のマハラノビス距離を持つ。この中心座標１４１からのマハラノビス距離が小さいほど、着目欠点が「縦延伸」工程で発生した可能性が高いと判断する。

図１０では、「縦延伸」工程と、「縦延伸」工程以外の工程の２つに分けているが、これは分類の精度を上げるためである。例えば、「縦延伸」工程、「搬送」工程、これら以外の工程と３つに分けることは、図１０において中心座標がもう一つ増えることを意味する。一般に、分類すべき種類が増えれば、分類はより困難になり、精度は下がる。

このような算出を各工程で実施し、最もマハラノビス距離が小さな工程を発生工程と推定する。マハラノビス距離を算出するために必要な欠点特徴量の平均値（図１０における中心座標１４１、１４２）は、予めデータを収集して求めておく。このとき、候補とする発生工程は複数あっても良く、その場合には可能性の高い順に以下のステップへ進む。複数の工程とする場合は、マハラノビス距離が設定値以下の工程全てを候補としても良いし、マハラノビス距離を小さな方から並べて複数選択しても良い。この場合、可能性の高い工程順とは、マハラノビス距離の小さい順である。

４は、ステップ３で推定した発生工程における、欠点特徴量範囲およびシート幅方向許容範囲、または欠点特徴量範囲およびシート幅方向許容範囲およびシート搬送方向許容範囲を設定するステップである。

欠点特徴量範囲は欠点特徴量範囲設定手段２０ｃで設定するものであり、一般的なクラスタリング技術での範囲設定方法で良く、ここではマハラノビス距離を用いている。例えば推定した発生工程が「縦延伸」工程ならば、「縦延伸」工程とそれ以外の工程かを判断するに際して、「縦延伸」工程とのマハラノビス距離が小さくなる範囲が欠点特徴量範囲となる。このことを、図１１を用いて説明する。図１１は、本発明のマハラノビス距離による分類の説明図である。

今、「縦延伸」工程で発生した欠点群の中心座標を１５１、そこからのマハラノビス距離が０．５、１．０、１．５、２．０に相当する位置を１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｃ、１５１ｄとする。また、「縦延伸」工程以外の工程で発生した欠点群の中心座標を１５２、そこからのマハラノビス距離が０．５、１．０、１．５、２．０に相当する位置を１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｃ、１５２ｄとする。このとき、「縦延伸」工程に属するか否かを判断（分類）する境界線は１５３であり、境界線１５３よりも中心座標１５１に近い領域が、「縦延伸」工程に属するとされる欠点特徴量範囲になる。具体的には、境界線１５３よりも中心座標１５１に近いとする条件式を用意しておいても良いし、中心座標１５１、１５２それぞれの座標位置を用意しておいても良い。後者の場合は、ステップ５において、具体的にマハラノビス距離を算出することになる。

また、シート幅方向許容範囲やシート搬送方向許容範囲は許容範囲設定手段２０ｄで設定するものであり、推定した発生工程を考慮して設定される。例えば、オシレーションが実施されている場合ならば「キャスト」工程から「巻き取り」工程までと、「スリット」工程では、シート幅方向許容範囲が大きく異なる。具体的には「スリット」工程でのシート幅方向許容範囲は数ｍｍの設定で良いが、それ以外の工程ではオシレーションを考慮して、「スリット」工程の何倍もの値とする必要が出てくる。より細かくは「キャスト」工程から「縦延伸」工程までと、「搬送」工程から「巻き取り」工程までも異なる場合がある（「横延伸」工程での延伸により、変更した方が良い場合もある）。シート搬送方向許容範囲についても同様で、「キャスト」工程から「縦・延伸」工程までと、それ以降の工程では異なる場合がある（「縦延伸」工程での延伸により、変更した方が良い場合もある）。

このとき、ステップ１で取得した、延伸倍率やシート状物体の最終厚みを考慮しても良い（取得した場合）。例えば、シート幅方向の延伸倍率が２倍のときと５倍のときでは、シート幅方向許容範囲を、工程それぞれにおいて変化させても良い。また、シート状物体の最終厚みについても、厚みによってロールとシート状物体との接触具合が変化するので、シート幅方向許容範囲を変更する場合がある。一般的には、シート状物体の最終厚みが大きい方を、シート幅方向許容範囲を大き目に設定する。

５は、ステップ４までで得られた情報に基づき、実際の周期判定を行うステップである。
ステップ４で設定したシート幅方向許容範囲にある欠点を抽出し、その中でステップ４において設定した欠点特徴量範囲内にある欠点を選別し、ステップ４で設定したシート搬送方向許容範囲を用いて周期判定する。周期判定方法は、図５で説明したような公知の方法で良い。

このとき、好ましくは、各工程でのロール径や、ステップ１で取得するシート搬送方向の延伸倍率を用いて精度の高い「あるべき周期」を算出し、これに基づいた周期判定を実施することである。

６は、着目した欠点が周期欠点か否かを判断するステップであり、周期欠点となればステップ８へ、周期欠点でなければステップ７へ進む。

７は、着目した欠点が発生したと推定され得る工程全てにおいて、ステップ４、ステップ５を実施したかを判断するステップである。ステップ３で候補とする工程をどこまで設定するかによるが、好ましくは、３工程以内に絞ることである。更に好ましくは、２工程以内に絞ることである。

８は、周期欠点とされていない全ての欠点について、ステップ２〜５を実施したかを判断するステップである。実施していれば周期判定は終了し、実施していなければ、ステップ９に進む。
９は、それまでに周期欠点とされていない欠点に着目するステップで、新たに着目した欠点に基づき、ステップ２から始める。

２１は外部出力手段であり、周期判定手段２０ｂと接続している。周期判定手段２０ｂから受信した情報を外部に出力する。外部出力手段２１は、ディスプレイ、プリンタ、警報装置などに代表されるものである。

さて、図１に示すフローによって精度良く周期判定できることを、以下に説明する。

まず、上述したように、キズには多くの種類がある。即ち、シート搬送方向に細長い形状を持つ「縦キズ」、シート幅方向に細長い形状を持つ「横キズ」、縦キズと横キズの中間の方向に細長い形状を持つ「斜めキズ」、フィルム表面凹凸まで生じている「凹凸キズ」、点状の「点状キズ」などのことである。しかし、例えば、縦キズの発生する工程を詳細に見ていくと、ある工程で発生するのが大半である。このように、各キズの発生する工程を詳細に検討すると、それぞれのキズが発生する工程を絞ることが可能であることを見出した。

そこで本発明者はこの事実に着目し、鋭意検討を進めた結果、周期判定に用いるクラスタリング技術は、全てのキズについて同時に分類するのではなく、工程ごとに発生し得るキズか否かのみ分類できれば十分であることを見出した。即ち、ある特定の工程で発生するキズか、その工程以外で発生するキズかを分類できれば良い、ということである。例えば、「縦延伸」工程で発生するキズか、それ以外の工程で発生するキズかを分類するということであるが、実際に、「縦延伸」工程か否かについての判別において、欠点の長さ、幅、強度など複数の欠点特徴量から３つを選択したマハラノビス距離による分類では、判別的中率（＝（正しく分類された欠点数）／（全欠点数））が６２％から９１％に向上した。他の工程についても、判別的中率は８０％を越えている。この６２％という値は、全てのキズについて、同時に分類を試みたときの判別的中率である。

また、シート幅方向許容範囲やシート搬送方向許容範囲においても、「延伸」工程やオシレーションなどを考慮すれば、工程ごとに設定することが有効であることを明白である。特に、シート幅方向許容範囲については、従来方法では全く考慮されていないため本発明に至った。

上述した周期欠点検出装置を用いることで、搬送されるシート状物体に光を照射し、シート状物体を介した反射光または透過光を受光し、受光した光に基づいてシート状物体の欠点を検出し、前記欠点が周期的に発生する周期欠点か否かを判断する周期欠点検出方法において、シート状物体を製造する工程ごとに欠点特徴量範囲を設定し、工程ごとにシート幅方向許容範囲、または、シート幅方向許容範囲およびシート搬送方向許容範囲を設定して周期判定することを実現できる。

また、シート状物体を製造する工程の「延伸」工程における延伸倍率に基づき、シート幅方向許容範囲、シート搬送方向許容範囲を設定することを実現でき、更に、シート状物体を製造する工程の「延伸」工程における延伸倍率に基づき、欠点特徴量範囲を設定する周期欠点検出方法を実現可能である。

また、シート状物体の最終厚みに基づき、シート幅方向許容範囲、シート搬送方向許容範囲を設定することが実現でき、更に、シート状物体の最終厚みに基づき、欠点特徴量範囲を設定する周期欠点検出方法を実現可能である。

また、上述した周期欠点検出装置を用いることで、周期欠点検出を行うシート状物体の製造方法を実現可能である。

［実施例１］
溶融したポリマを口金の間隙から吐出し、大型のドラムによってシート状にした後（「キャスト」工程）、「縦延伸」工程、「横延伸」工程、「搬送」工程を経て「巻き取り」工程でフィルムをロール状に巻き取る。巻き取ったロールをシート幅方向に往復させながら巻き出し、お客様の希望幅に裁断しながら巻き取る「スリット」工程を実施した。その後、希望幅に裁断されたロールを用いて、オフラインでの周期欠点検出装置での検査を実施した。製造したフィルムは、単層透明高分子フィルムである。

次に、主に発生するキズとしてＡ〜Ｇの７種類、工程として８工程を指定し、それぞれのキズがどの工程で発生し得るかを設定した。各工程において発生し得るキズは１〜２種類とし、それぞれのキズが発生し得る工程は１〜３種類とした。

照射手段１８として、３５０Ｗのメタルハライド光源／光ファイバ束／ロッド照明を用い、ロッド照明の長手方向を、フィルム面に平行な面内において、フィルム幅方向から２０度傾けた。シート搬送方向から見て、左端をシート搬送方向下流側に傾けている。ロッド照明から照射する高指向性の光は鉛直真上に向いており、長手方向で略均一となるように調整されている。

受光手段１９として、７５００画素、８ビット階調、４０Ｈｚのラインセンサカメラを使用した。光電変換素子の並び方向は照射手段１８の長手方向に略一致しており、受光中心光軸は、鉛直下向きから６．５度傾けている。

欠点検出手段２０ａは、受光手段１９から得られる信号に対して３×３画素の重み付き平均をかけ、その後で明箇所について閾値以上の箇所を検出する。この閾値については、事前に、欠点画像を見ながら、ほぼ最適化された値である。

周期判定手段２０ｂでは図１のフローに沿った周期判定を実施するが、具体的な設定方法は以下の通りである。
（１）延伸工程における延伸倍率、シート状物体の最終厚みを取得した。そして、シート搬送方向の延伸倍率（「縦延伸」工程での延伸倍率）がＨ倍以上か未満か、シート幅方向の延伸倍率（「横延伸」工程での延伸倍率）がＩ倍以上か未満か、シート状物体の最終厚みがＪμｍ以上か未満かの８通りで場合分けをし、各工程における、欠点特徴量の選択および欠点特徴量範囲、シート幅方向許容範囲、シート搬送方向許容範囲をそれぞれの場合で、以下のように設定した。本実施例では、シート搬送方向の延伸倍率はＨ倍未満、シート幅方向の延伸倍率はＩ倍未満、シート状物体の最終厚みはＪμｍ以上である。
（２）欠点特徴量および欠点特徴量範囲は、工程ごとにマハラノビス距離を算出して決定する。欠点特徴量（欠点の長さ、幅、強度など）は全部で１０種類あり、そこから３つの欠点特徴量を選別し、最も良い判別的中率を持つようにした。欠点特徴量範囲も、これらに基づいて設定した。
（３）シート幅方向許容範囲は「キャスト」工程から「縦延伸」工程までと、「搬送」工程から「巻き取り」工程までと、「スリット」工程でそれぞれ設定した。「スリット」工程でオシレーションが実施されているので、それも考慮した。具体的には、「スリット」工程でＫｍｍ、「搬送」工程から「巻き取り」工程まではＫ＋（オシレーションで動かすシート幅方向の量）、「キャスト」工程〜「縦延伸」工程まではＫ＋（オシレーションで動かすシート幅方向の量）＋Ｌｍｍである。
（４）シート搬送方向許容範囲は「キャスト」工程から「縦・延伸」工程までと、それ以降の工程でそれぞれ設定した。具体的には（ロール径）×（シート搬送方向の延伸倍率（「縦延伸」工程の延伸倍率））×（係数）の係数を、それぞれで設定した。
（５）周期判定そのものは、図５および図７に沿って実施した。

図８に示した欠点群に対して上記を実施したところ、図４の周期判定結果を得た。図４は、本発明の一実施形態における周期判定結果である。図４の丸は周期欠点と判定された欠点発生位置を示しているが、実際の周期欠点のみの抽出に成功しており、高精度な周期判定を実現できた。
［比較例１］
以下の条件以外は実施例１と同じものとして、図８に示した欠点群に対して周期判定を実施した。
（１）欠点特徴量および欠点特徴量範囲は、キズ種類Ａ〜Ｇ全てをそれぞれ判別するようにマハラノビス距離を算出して決定する。欠点特徴量（欠点の長さ、幅、強度など）は１０種類であり、そこから３つの特徴量を選別し、最も良い判別的中率を持つようにした。欠点特徴量範囲も、これらに基づいて設定した。
（２）シート幅方向許容範囲は、全工程に亘り、実施例１における「キャスト」工程から「縦延伸」工程までと同じとした。
（３）シート搬送方向許容範囲は、全行程に亘り、実施例１における「キャスト」工程から「縦延伸」工程までと同じとした。
その結果、図９の周期判定結果を得た。図４と比較して、周期欠点以外の欠点も、周期判定されていることが分かる。

本発明は、周期判定に限らず、データの２次加工を実施する際にも応用することができるが、その応用範囲が、これらに限られるものではない。

１ 本発明の周期判定における１ステップ
２ 本発明の周期判定における１ステップ
３ 本発明の周期判定における１ステップ
４ 本発明の周期判定における１ステップ
５ 本発明の周期判定における１ステップ
６ 本発明の周期判定における１ステップ
７ 本発明の周期判定における１ステップ
８ 本発明の周期判定における１ステップ
９ 本発明の周期判定における１ステップ
１０ 口金
１１ 「キャスト」工程
１２ 「縦延伸」工程
１３ 「横延伸」工程
１４ 「搬送」工程
１５ 「巻き取り」工程
１６ 「スリット」工程
１７ シート状物体
１８ 照射手段
１９ 受光手段
２０ａ 欠点検出手段
２０ｂ 周期判定手段
２０ｃ 欠点特徴量範囲設定手段
２０ｄ 許容範囲設定手段
２１ 外部出力手段
１０１ 欠点
１０２ 欠点
１０３ 欠点
１０４ 欠点
１０５ 欠点
１０６ シート幅方向許容範囲
１０７ シート搬送方向距離
１０８ シート搬送方向許容範囲
１１１ 欠点
１１２ 欠点
１１３ 欠点
１１４ 欠点
１１５ シート幅方向許容範囲
１１６ シート搬送方向距離
１１７ シート搬送方向許容範囲
１２１ 従来技術の周期判定における１ステップ
１２２ 従来技術の周期判定における１ステップ
１２３ 従来技術の周期判定における１ステップ
１３１ 周期欠点の存在する箇所を示す矢印
１４１ 欠点群の中心座標
１４１ａ 同じマハラノビス距離の位置
１４１ｂ 同じマハラノビス距離の位置
１４１ｃ 同じマハラノビス距離の位置
１４１ｄ 同じマハラノビス距離の位置
１４２ 欠点群の中心座標
１４２ａ 同じマハラノビス距離の位置
１４２ｂ 同じマハラノビス距離の位置
１４２ｃ 同じマハラノビス距離の位置
１４２ｄ 同じマハラノビス距離の位置
１４３ 着目欠点の座標位置
１５１ 欠点群の中心座標
１５１ａ 同じマハラノビス距離の位置
１５１ｂ 同じマハラノビス距離の位置
１５１ｃ 同じマハラノビス距離の位置
１５１ｄ 同じマハラノビス距離の位置
１５２ 欠点群の中心座標
１５２ａ 同じマハラノビス距離の位置
１５２ｂ 同じマハラノビス距離の位置
１５２ｃ 同じマハラノビス距離の位置
１５２ｄ 同じマハラノビス距離の位置
１５３ 境界線

Claims (11)

1. 搬送されるシート状物体に光を照射し、前記シート状物体を介した反射光または透過光を受光し、受光した光に基づいて前記シート状物体の欠点を検出し、前記欠点が周期的に発生する周期欠点か否かを判断する周期欠点検出方法において、
   （１）前記シート状物体を製造する工程ごとに欠点特徴量範囲を設定し、
   （２）前記工程ごとにシート幅方向許容範囲、または、シート幅方向許容範囲およびシート搬送方向許容範囲を設定して
   周期判定することを特徴とする周期欠点検出方法。
2. 前記シート状物体を製造する工程の延伸工程における延伸倍率に基づき、前記シート幅方向許容範囲、前記シート搬送方向許容範囲を設定することを特徴とする請求項１に記載の周期欠点検出方法。
3. 前記シート状物体を製造する工程の延伸工程における延伸倍率に基づき、前記欠点特徴量範囲を設定することを特徴とする請求項１または２に記載の周期欠点検出方法。
4. 前記シート状物体の最終厚みに基づき、前記シート幅方向許容範囲、前記シート搬送方向許容範囲を設定することを特徴とする請求項１に記載の周期欠点検出方法。
5. 前記シート状物体の最終厚みに基づき、前記欠点特徴量範囲を設定することを特徴とする請求項１または４に記載の周期欠点検出方法。
6. 搬送されるシート状物体に光を照射する照射手段と、前記シート状物体を介した反射光または透過光を受光する受光手段と、受光した光に基づいて前記シート状物体の欠点を検出する欠点検出手段と、前記欠点が周期的に発生する周期欠点か否かを判断する周期判定手段とを有する周期欠点検出装置において、前記周期判定手段が、
   （１）前記シート状物体を製造する工程ごとに欠点特徴量範囲を設定する欠点特徴量範囲設定手段と、
   （２）前記工程ごとにシート幅方向許容範囲、または、シート幅方向許容範囲およびシー
   ト搬送方向許容範囲を設定する許容範囲設定手段
   を有することを特徴とする周期欠点検出装置。
7. 前記許容範囲設定手段が、前記シート状物体を製造する工程の延伸工程における延伸倍率に基づき、前記シート幅方向許容範囲、前記シート搬送方向許容範囲を設定するものであることを特徴とする請求項６に記載の周期欠点検出装置。
8. 前記欠点特徴量範囲設定手段が、前記シート状物体を製造する工程の延伸工程における延伸倍率に基づき、前記欠点特徴量を設定するものであることを特徴とする請求項６または７に記載の周期欠点検出装置。
9. 前記許容範囲設定手段が、前記シート状物体の最終厚みに基づき、前記シート幅方向許容範囲、前記シート搬送方向許容範囲を設定するものであることを特徴とする請求項６に記載の周期欠点検出装置。
10. 前記許容範囲設定手段が、前記シート状物体の最終厚みに基づき、前記欠点特徴量範囲を設定することを特徴とする請求項６または９に記載の周期欠点検出装置。
11. 請求項１〜５のいずれかに記載の周期欠点検出方法を用いて欠点検出することを特徴とするシート状物体の製造方法。