JP2011209350A - 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置用カラーフィルタおよび液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数色の着色膜と非感光性樹脂ブラックマトリクスを含み、パターン化された着色膜領域のブラックマトリクス上にパターン化された感光性レジストが積層されたカラーフィルタの製造方法であって、該感光性レジストは、該非感光性樹脂ブラックマトリクスと同時形成され、かつ、その形状はブラックマトリクスの表層を覆うように形成され、該レジストの幅をW1、ブラックマトリクスの幅をW2としたときに、W1>W2であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【選択図】 図1
Description
(1)透明基板上に非感光性樹脂ブラックマトリクス層を形成し、その上に感光性レジスト液を塗布・乾燥した後に露光・現像を行うことによりパターン化された樹脂ブラックマトリックス層とレジスト層が積層されたブラックマトリックスを形成し、次いで該ブラックマトリックスの開口部に赤、緑、青の着色層をそれぞれ形成してなる液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法であって、パターン化された樹脂ブラックマトリックス層上に形成されたレジスト層の幅をW1、パターン化された樹脂ブラックマトリクス層の幅をW2としたときに、W1>W2となるように樹脂ブラックマトリックス層のエッチングと感光性レジスト層の現像を同時に行うことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
(2)前記感光性レジスト液は、ポジ型の透明樹脂を含有することを特徴とする(1)に記載の液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
(3)前記赤、緑、青の着色層のうち、少なくとも1色の着色層の膜厚をd0、パターン化された樹脂ブラックマトリクス層の膜厚をd1、該パターン化された樹脂ブラックマトリクス層とその上に形成されたレジスト層の膜厚の合計をd2としたときに、d1<d0≦d2であることを特徴とする(1)〜(2)のいずれかに記載の液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
(4)(1)〜(3)のいずれかに記載の製造方法を用いたカラーフィルタの表面には透明保護膜層を形成することを特徴とする晶表示装置用カラーフィルタ。
(5)(1)〜(4)のいずれかに記載の製造方法を用いたカラーフィルタを具備する液晶表示装置。
本発明の液晶表示装置用カラーフィルタの概略断面図の一例を図1に示す。
図1において、カラーフィルタは、透明基板1の上に、樹脂ブラックマトリックス2、感光性レジスト3、着色膜(赤、青、緑)4、透明保護膜5、透明電極膜6が順次形成されている。
本発明で用いられるカラーフィルタの製造方法の一例を以下に示す。まず、透明基板上に非感光性の樹脂ブラックマトリクスを形成する。ブラックマトリクスの形成方法は、ダイコート法、スピンコート法、ダイスピンコート法、ロールコート法、ディピィング法等が好ましく用いられる。この後、オーブンやホットプレートを用いて加熱乾燥(セミキュア)を行う。セミキュア条件は、使用する材料により異なるが、通常60〜200℃で1〜60分加熱することが好ましい。次いで、感光性レジスト材料をブラックマトリクスと同様に、塗布、加熱乾燥(プリベーク)した後、露光、現像を行う。プリベーク条件は、通常70〜150℃で1〜60分加熱するのが一般的である。ここで、現像後のカラーフィルタ構造断面を図2(a)に示す。この図は、着色膜を平面から見て着色膜長辺方向に対して垂直方向に切ったときの断面図である。
3、3’、4、4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4、4’−ジアミノジフェニルエーテル及びビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサンをN−メチル−2−ピロリドンを溶媒として反応させ、ポリイミド前駆体(ポリアミック酸)溶液を得た。下記の組成を有するカーボンブラックミルベースをホモジナイザーを用いて、均一に分散し、ガラスビーズをろ過してブラックペーストを得た。
カーボンブラック(MA100 、三菱化成(株)製):4.6部
ポリイミド前駆体溶液:24.0部
N−メチルピロリドン:61.4部
ガラスビーズ:90.0部。
4,4′−ジアミノジフェニルエーテルと、ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサンと、γ−ブチロラクトンと、N−メチル−2−ピロリドン をそれぞれ19対1対105対44の割合で仕込み、これに3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、無水フタル酸をそれぞれ280対48対1の割合で添加し、25重量%のポリアミック酸溶液(PAA)を得た。
γ−アミノプロピルメチルジエトキシシランの加水分解物と、メチルトリメトキシシランの加水分解物と、3、3’、4、4’、−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物とを17対5対14.5の割合で反応させ、透明保護膜用ペーストを得た。
(ブラックマトリクス層の構造が樹脂ブラックマトリクスおよび積層レジスト(積層レジストの幅>ブラックマトリクスの幅)からなるカラーフィルタの設計)
実施例1のカラーフィルタ基板の平面図およびa−a’間の断面図をそれぞれ図5(a)、(b)に示す。図5(a)のように、樹脂ブラックマトリクス2の着色膜パターンをストライプ状とし、樹脂ブラックマトリクス2のピッチL2が50μm、樹脂ブラックマトリクス2の幅L3が6μm、赤、緑、青の各着色膜の幅L4が樹脂ブラックマトリクスの開口幅L1と同じ44μmとなるブラックマトリクスおよび各着色膜のフォトマスクを作成した。また、積層レジストの幅L3’は8μmとなるよう現像条件を設定した。
無アルカリガラス基板(コーニング製)上に上記ブラックスペーストをカーテンフローコータで塗布し、ホットプレートでセミキュアし、樹脂塗膜を形成した。次に、感光性レジスト(AZ社製)をカーテンフローコータで塗布、ホットプレートでプリベークし、露光機にて所定のフォトマスクを介して露光した後、感光性レジストの現像と樹脂塗膜のエッチングを同時に行い、パターンを形成した。次いで、ホットプレートで本キュアすることで樹脂ブラックマトリクスをイミド化させ、ブラックマトリクスおよび積層レジスト形成基板を作製した。
T3(赤):3.7μm、T3(緑):3.8μm、T3(青):3.7μm
T4(赤):0.0μm、T4(緑):0.0μm、T4(青):0.0μm。
(ブラックマトリクス層の構造が樹脂ブラックマトリクスのみからなるカラーフィルタの設計)
比較例1のカラーフィルタ基板の平面図およびb−b’間の断面図をそれぞれ図6(a)、(b)に示す。図6(a)において、ブラックマトリクス2と着色膜4の各境界に隙間が生じないよう、ブラックマトリクス上に着色膜を重ね合わせて形成する設計とするため、赤、緑、青の各着色膜の幅L4が、ブラックマトリクスの開口幅L1より4μm大きい48μmとなる着色膜用のフォトマスクを作成し、積層レジストは形成せず、各膜厚は全て実施例1と同じ設計とした。
無アルカリガラス基板(コーニング製)上に上記ブラックスペーストをカーテンフローコータで塗布し、ホットプレートでセミキュアし、樹脂塗膜を形成した。次に、感光性レジスト(AZ社製)をカーテンフローコータで塗布、ホットプレートでプリベークし、露光機にて所定のフォトマスクを介して露光した後、感光性レジストの現像と樹脂塗膜のエッチングを同時に行い、パターンを形成した。次いで、剥離工程でレジスト剥離を行い、ホットプレートで加熱することで樹脂ブラックマトリクスをイミド化させ、ブラックマトリクス形成基板を形成した。
T3(赤):4.2μm、T3(緑):4.1μm、T3(青):4.1μm
T4(赤):0.4μm、T4(緑):0.3μm、T4(青):0.3μm。
(ブラックマトリクス層の構造が樹脂ブラックマトリクスのみからなるカラーフィルタの設計)
カラーフィルタ基板の平面図およびc−c’間の断面図をそれぞれ図7(a)、(b)に示す。図7(a)において、実施例1と同様に、樹脂ブラックマトリクス2のピッチL2が50μm、樹脂ブラックマトリクス2の幅L3が6μm、赤、緑、青の各着色膜4の幅L4が、ブラックマトリクスの開口幅L1と同じ44μmとなる着色膜用のフォトマスクを使用し、積層レジストは形成せず、各膜厚は全て実施例1と同じ設計とした。
比較例1と同じ作製手順で上記設計通りにカラーフィルタを作製した。
T3(赤):3.6μm、T3(緑):3.7μm、T3(青):3.7μm
T4(赤):0.1μm、T4(緑):0.0μm、T4(青):0.1μm
上記結果より、カラーフィルタの表面段差は実施例1とほぼ同等であったが、ブラックマトリクスと各着色膜の境界部分を光学顕微鏡(ニコン製)の透過モードにて観察したところ、該当部分に光漏れが見られた。この光漏れにより、カラーフィルタのコントラストは800cdとなり、実施例1に比べ400cd低下した。
(ブラックマトリクス層の構造が樹脂ブラックマトリクスおよび積層レジスト(積層レジストの幅<ブラックマトリクスの幅)からなるカラーフィルタの設計)
カラーフィルタ基板の平面図およびd−d’間の断面図をそれぞれ図8(a)、(b)に示す。図8(a)において、実施例1と同様に、樹脂ブラックマトリクス2のピッチL2が50μm、樹脂ブラックマトリクス2の幅L3が6μm、赤、緑、青の各着色膜の幅L4が樹脂ブラックマトリクスの開口幅L1と同じ44μmのブラックマトリクスおよび各着色膜のフォトマスクを使用し、積層レジストの幅L3’は5μmとなるよう現像条件を設定した。また各膜厚については、全て実施例1と同じ設計とした。
(ブラックマトリクス層の構造が樹脂ブラックマトリクスおよび積層レジスト(積層レジストの幅<ブラックマトリクスの幅)からなるカラーフィルタ基板の作製)
実施例1と同じ作製手順で上記設計通りにカラーフィルタを作製した。カラーフィルタの表面平坦性を評価するため、図8(b)に示すように、各着色膜4の総膜厚d0’と、ブラックマトリクス2と着色膜4の重なり領域の総膜厚T3をそれぞれ測定し、それらを差し引いた値T4(絶対値)を求めた結果、以下の通りであった。
T3(赤):3.8μm、T3(緑):3.8μm、T3(青):3.8μm
T4(赤):0.1μm、T4(緑):0.1μm、T4(青):0.1μm。
2:樹脂ブラックマトリクス
3:感光性積層レジスト
4:着色膜(赤、緑、青)
5:透明保護膜
6:透明電極膜
7、8:感光性レジスト
Claims (5)
- 透明基板上に非感光性樹脂ブラックマトリクス層を形成し、その上に感光性レジスト液を塗布・乾燥した後に露光・現像を行うことによりパターン化された樹脂ブラックマトリックス層とレジスト層が積層されたブラックマトリックスを形成し、次いで該ブラックマトリックスの開口部に赤、緑、青の着色層をそれぞれ形成してなる液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法であって、パターン化された樹脂ブラックマトリックス層上に形成されたレジスト層の幅をW1、パターン化された樹脂ブラックマトリクス層の幅をW2としたときに、W1>W2となるように樹脂ブラックマトリックス層のエッチングと感光性レジスト層の現像を同時に行うことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
- 前記感光性レジスト液は、ポジ型の透明樹脂を含有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
- 前記赤、緑、青の着色層のうち、少なくとも1色の着色層の膜厚をd0、パターン化された樹脂ブラックマトリクス層の膜厚をd1、該パターン化された樹脂ブラックマトリクス層とその上に形成されたレジスト層の膜厚の合計をd2としたときに、d1<d0≦d2であることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の製造方法によって得られた液晶表示装置用カラーフィルタの表面に透明保護膜層を形成することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の製造方法によって得られた液晶表示装置用カラーフィルタを具備する液晶表示装置。
Priority Applications (1)
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CN103235443A (zh) * | 2013-04-24 | 2013-08-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板、显示装置及显示基板的制作方法 |
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---|---|---|---|---|
JPH08272107A (ja) * | 1995-03-29 | 1996-10-18 | Sony Corp | レジストパターンの形成方法 |
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Cited By (3)
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WO2014173093A1 (zh) * | 2013-04-24 | 2014-10-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板、包括该显示基板的显示装置以及制作该显示基板的方法 |
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