JP2011206722A - イオン交換装置及び超純水製造装置用サブシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被処理水の流入口及び処理水の流出口を有した容器50と、該容器内に収容されたイオン交換樹脂52とを有するイオン交換装置において、少なくとも処理水流出部が耐圧仕様の合成樹脂にて構成されていることを特徴とするイオン交換装置。このイオン交換装置を超純水製造装置用サブシステムの紫外線酸化装置の後段に設置し、その流出水を昇圧用ポンプを経ることなくUF膜装置に通水して超純水を製造する。
【選択図】図2
Description
第2図に示す構成の容器(70L)において、蓋56及び管54,55を表1に示す材料にて構成し、容器本体51はSUSにて構成した。この容器にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とを1:1で混合して充填し、イオン交換装置を製作した。このイオン交換装置にNa濃度0.01ppt、Fe濃度0.01pptの超純水を表1に示す通水圧力にてSV=50/hで12時間通水した。12時間目に採取したイオン交換装置流出水の水質を表1に示す。表1には各容器の耐圧強度も記入した。
Claims (4)
- 被処理水の流入口及び処理水の流出口を有した容器と、該容器内に収容されたイオン交換樹脂とを有するイオン交換装置において、少なくとも処理水流出部が耐圧仕様の合成樹脂にて構成されていることを特徴とするイオン交換装置。
- 請求項1において、前記合成樹脂が曲げ強度7kg/cm2以上の高圧用ポリエチレン又は高圧用ポリプロピレンであることを特徴とするイオン交換装置。
- 請求項1又は2において、前記容器は、上部に開口部を有した容器本体と、該開口部に装着された蓋とを備え、該蓋に被処理水導入管と処理水取出管とが設けられており、
該蓋、被処理水導入管及び処理水取出管が前記合成樹脂製とされていることを特徴とするイオン交換装置。 - サブタンク、ポンプ、紫外線酸化装置、請求項1ないし3のいずれか1項のイオン交換装置及びUF膜装置をこの順に通水されるように備えてなる超純水製造装置用サブシステム。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022168570A1 (ja) * | 2021-02-05 | 2022-08-11 | オルガノ株式会社 | イオン交換装置および超純水製造装置 |
WO2023053572A1 (ja) * | 2021-09-29 | 2023-04-06 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 超純水製造用イオン交換装置、超純水製造システム、及び超純水製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0970546A (ja) * | 1995-09-04 | 1997-03-18 | Kurita Water Ind Ltd | イオン交換樹脂のコンディショニング方法およびイオン交換装置 |
JP2003511227A (ja) * | 1999-10-12 | 2003-03-25 | リード,ロジャー,ピー | 再利用可能なフィルターカートリッジ及び圧力容器 |
JP2003145148A (ja) * | 2001-11-06 | 2003-05-20 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水供給装置及び超純水供給方法 |
JP2008029961A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Kurita Water Ind Ltd | イオン交換樹脂装置の製造方法及びイオン交換樹脂装置 |
-
2010
- 2010-03-30 JP JP2010078520A patent/JP2011206722A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0970546A (ja) * | 1995-09-04 | 1997-03-18 | Kurita Water Ind Ltd | イオン交換樹脂のコンディショニング方法およびイオン交換装置 |
JP2003511227A (ja) * | 1999-10-12 | 2003-03-25 | リード,ロジャー,ピー | 再利用可能なフィルターカートリッジ及び圧力容器 |
JP2003145148A (ja) * | 2001-11-06 | 2003-05-20 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水供給装置及び超純水供給方法 |
JP2008029961A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Kurita Water Ind Ltd | イオン交換樹脂装置の製造方法及びイオン交換樹脂装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022168570A1 (ja) * | 2021-02-05 | 2022-08-11 | オルガノ株式会社 | イオン交換装置および超純水製造装置 |
WO2023053572A1 (ja) * | 2021-09-29 | 2023-04-06 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 超純水製造用イオン交換装置、超純水製造システム、及び超純水製造方法 |
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