JP2011199130A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 銅からなる柱状電極上に半田ボールが設けられた半導体装置において、半田ボール中の錫が柱状電極への拡散をより一層抑制することができるようにする。
【解決手段】 下地金属層8をメッキ電流路とした銅、ニッケルおよび半田の電解メッキをこの順で連続して行なうことにより、メッキレジスト膜25の開口部26内の上部金属層9のランド上面に柱状電極10、錫拡散抑制層11および酸化抑制層12をこの順で形成する。この結果、この半導体装置が大きな電流を扱う電源IC等であっても、酸化抑制層12を含む半田ボール14中の錫が柱状電極10に拡散するのをより一層抑制することができる。
【選択図】図5
【解決手段】 下地金属層8をメッキ電流路とした銅、ニッケルおよび半田の電解メッキをこの順で連続して行なうことにより、メッキレジスト膜25の開口部26内の上部金属層9のランド上面に柱状電極10、錫拡散抑制層11および酸化抑制層12をこの順で形成する。この結果、この半導体装置が大きな電流を扱う電源IC等であっても、酸化抑制層12を含む半田ボール14中の錫が柱状電極10に拡散するのをより一層抑制することができる。
【選択図】図5
Description
この発明は半導体装置およびその製造方法に関する。
従来の半導体装置には、半導体基板上に設けられた配線のランドに半田ボールが設けられたものがある(例えば、特許文献1参照)。この場合、銅からなる配線のランド上面に、接触抵抗低減、半田の反応性促進のために、ニッケル等からなるメッキ膜が設けられ、このメッキ膜の上面に半田ボールが設けられている。
ところで、上記特許文献1には、メッキ膜の形成方法についての記載はないが、配線のランド以外を絶縁膜で覆い、配線のランドに対応する部分における絶縁膜に形成された開口部内における配線のランド上面に、厚さが絶縁膜の厚さよりも薄いメッキ膜を形成しているので(特許文献1の図7参照)、メッキ膜の形成は無電解メッキによるものと思われる。
ところで、半田ボール中の錫が銅からなる配線の内部にまで拡散すると、配線に錫と銅とからなる脆い合金層が形成されたりボイドが発生したりして、断線等の原因となってしまう。そこで、配線のランド上面にニッケル等からなるメッキ膜を形成すると、メッキ膜が錫拡散抑制層として機能することになる。
ところで、大きな電流を扱う電源IC等の半導体装置では、エレクトロマイグレーション現象により、半田ボール中の錫の配線の内部への拡散速度が非常に大きくなってしまう。一方、メッキ膜の形成を無電解メッキで行うと、無電解メッキの特性から、メッキ膜の厚さが比較的薄く、厚くても5μm未満である。また、スパッタだと厚さは2000〜5000Å(0.2〜0.5μm)程度である。したがって、大きな電流を扱う電源IC等の半導体装置では、配線のランド上面に無電解メッキによるメッキ膜を形成しても、錫拡散抑制機能が十分であるとは言えないという問題がある。
そこで、この発明は、半田ボール中の錫がその下の銅層に拡散するのをより一層抑制することができる半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板上の絶縁膜を介して形成された配線用上部金属層のランド上に錫拡散抑制層を形成する工程と、前記錫拡散抑制層上に該錫拡散抑制層の酸化を抑制する酸化抑制層を形成する工程と、前記酸化抑制層上に半田ボールを形成する工程と、を有することを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1に記載の発明において、半導体基板上に形成された絶縁膜上に下地金属層を形成する工程と、前記下地金属層上に電解メッキにより配線用上部金属層を形成する工程と、前記配線用上部金属層のランド上に電解メッキにより錫拡散抑制層および酸化抑制層を順に連続して形成する工程と、前記酸化抑制層上に半田ボールを形成する工程と、を有することを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1に記載の発明において、前記配線用上部金属層のランド上における錫拡散抑制層下に、銅層を形成することを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1に記載の発明において、前記錫拡散抑制層および前記酸化抑制層の周囲における前記配線を含む前記半導体基板上に封止膜を形成する工程を有することを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1乃至4に記載の発明において、前記錫拡散抑制層はニッケルからなり、前記酸化抑制層は半田からなることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項4に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程は、前記封止膜を前記酸化抑制層の上面を覆うように形成し、前記封止膜および前記酸化抑制層の上面側を研削して前記酸化抑制層の上面を露出させる工程であることを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明に係る半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に絶縁膜を介して設けられた配線と、前記配線上に設けられた錫拡散抑制層と、前記錫拡散抑制層上に設けられた酸化抑制層と、前記酸化抑制層上に搭載された半田ボールと、を具備し、前記酸化抑制層は、前記半田ボール搭載前に被膜されていることを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7に記載の発明において、前記配線のランド上における前記錫拡散抑制層下に、銅層が設けられていることを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7に記載の発明において、前記錫拡散抑制層および前記酸化抑制層の周囲における前記絶縁膜上に封止膜が設けられていることを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7に記載の発明において、前記錫拡散抑制層の厚さは5〜10μmであることを特徴とするものである。
請求項11に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7乃至10に記載の発明において、前記錫拡散抑制層はニッケルからなり、前記酸化抑制層は半田からなることを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1に記載の発明において、半導体基板上に形成された絶縁膜上に下地金属層を形成する工程と、前記下地金属層上に電解メッキにより配線用上部金属層を形成する工程と、前記配線用上部金属層のランド上に電解メッキにより錫拡散抑制層および酸化抑制層を順に連続して形成する工程と、前記酸化抑制層上に半田ボールを形成する工程と、を有することを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1に記載の発明において、前記配線用上部金属層のランド上における錫拡散抑制層下に、銅層を形成することを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1に記載の発明において、前記錫拡散抑制層および前記酸化抑制層の周囲における前記配線を含む前記半導体基板上に封止膜を形成する工程を有することを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1乃至4に記載の発明において、前記錫拡散抑制層はニッケルからなり、前記酸化抑制層は半田からなることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項4に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程は、前記封止膜を前記酸化抑制層の上面を覆うように形成し、前記封止膜および前記酸化抑制層の上面側を研削して前記酸化抑制層の上面を露出させる工程であることを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明に係る半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に絶縁膜を介して設けられた配線と、前記配線上に設けられた錫拡散抑制層と、前記錫拡散抑制層上に設けられた酸化抑制層と、前記酸化抑制層上に搭載された半田ボールと、を具備し、前記酸化抑制層は、前記半田ボール搭載前に被膜されていることを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7に記載の発明において、前記配線のランド上における前記錫拡散抑制層下に、銅層が設けられていることを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7に記載の発明において、前記錫拡散抑制層および前記酸化抑制層の周囲における前記絶縁膜上に封止膜が設けられていることを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7に記載の発明において、前記錫拡散抑制層の厚さは5〜10μmであることを特徴とするものである。
請求項11に記載の発明に係る半導体装置は、請求項7乃至10に記載の発明において、前記錫拡散抑制層はニッケルからなり、前記酸化抑制層は半田からなることを特徴とするものである。
この発明によれば、ニッケル層を電解メッキにより形成することにより、無電解メッキにより形成する場合と比較して、ニッケル層の厚さを厚くすることができるので、半田ボール中の錫がその下の銅層に拡散するのをより一層抑制することができる。
(第1実施形態)
図1はこの発明の第1実施形態としての半導体装置の平面図を示し、図2は図1II−II線にほぼ沿う部分の断面図を示す。この半導体装置は、一般的にはCSP(chip
size package)と呼ばれるものであり、平面方形状のシリコン基板(半導体基板)1を備えている。シリコン基板1の上面には、図示していないが、所定の機能の集積回路を構成する素子、例えば、トランジスタ、ダイオード、抵抗、コンデンサ等の素子が形成されている。シリコン基板1の上面周辺部には、上記集積回路の各素子に接続されたアルミニウム系金属等からなる複数の接続パッド2が設けられている。
図1はこの発明の第1実施形態としての半導体装置の平面図を示し、図2は図1II−II線にほぼ沿う部分の断面図を示す。この半導体装置は、一般的にはCSP(chip
size package)と呼ばれるものであり、平面方形状のシリコン基板(半導体基板)1を備えている。シリコン基板1の上面には、図示していないが、所定の機能の集積回路を構成する素子、例えば、トランジスタ、ダイオード、抵抗、コンデンサ等の素子が形成されている。シリコン基板1の上面周辺部には、上記集積回路の各素子に接続されたアルミニウム系金属等からなる複数の接続パッド2が設けられている。
シリコン基板1の周辺部および接続パッド2の中央部を除くシリコン基板1の上面には酸化シリコン等からなるパッシベーション膜(絶縁膜)3が設けられ、接続パッド2の中央部はパッシベーション膜3に設けられた開口部4を介して露出されている。パッシベーション膜3の上面にはポリイミド系樹脂等からなる保護膜(絶縁膜)5が設けられている。パッシベーション膜3の開口部4に対応する部分における保護膜5には開口部6が設けられている。
保護膜5の上面には複数の配線7が設けられている。配線7は、保護膜5の上面に設けられた銅等からなる下地金属層8と、下地金属層8の上面に設けられた銅からなる上部金属層9との2層構造となっている。配線7の一端部は、パッシベーション膜3および保護膜5の開口部4、6を介して接続パッド2に接続されている。
ここで、図1に示すように、配線7は、接続パッド2に接続された端部7aと、後述する柱状電極10の台座となる平面円形状のランド7cと、その間の引き回し線部7bとからなっている。そして、配線7のランド7bは保護膜5の上面にマトリクス状に配置されている。
配線7のランド7c上面には平面円形状の銅からなる柱状電極(銅層)10、ニッケルからなる錫拡散抑制層11および半田からなる酸化抑制層12がこの順で設けられている。シリコン基板1の周辺部上面並びに配線7を含む保護膜5の上面において柱状電極10、錫拡散抑制層11および酸化抑制層12の周囲にはシリカフィラーを含むエポキシ系樹脂からなる封止膜13が設けられている。ここで、酸化抑制層12は、その上面が封止膜13の上面と面一乃至1〜2μm低くなるように設けられている。酸化抑制層12の上面には半田ボール14が設けられている。
次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明する。まず、図3に示すように、ウエハ状態のシリコン基板(以下、半導体ウエハ21という)の上面にアルミニウム系金属等からなる複数の接続パッド2、酸化シリコン等からなるパッシベーション膜3およびボリイミド系樹脂等からなる保護膜5が形成され、接続パッド2の中央部がパッシベーション膜3および保護膜5の開口部4、6を介して露出されたものを準備する。
この場合、半導体ウエハ21の厚さは、図2に示すシリコン基板1の厚さよりも厚くなっている。なお、図3において、符号22で示す領域はダイシングストリートである。そして、ダイシングストリート22およびその両側に対応する部分におけるパッシベーション膜3および保護膜5は除去されている。
次に、図4に示すように、パッシベーション膜3および保護膜5の開口部4、6を介して露出された接続パッド2の上面を含む保護膜5の上面並びにダイシングストリート22およびその両側に対応する部分における半導体ウエハ21の上面に下地金属層8を形成する。この場合、下地金属層8は、無電解メッキにより形成された銅層のみであってもよく、またスパッタにより形成された銅層のみであってもよく、さらにスパッタにより形成されたチタン等の薄膜層上にスパッタにより銅層を形成したものであってもよい。
次に、下地金属層8の上面にポジ型の液状レジストからなるメッキレジスト膜23をパターン形成する。この場合、上部金属層9形成領域に対応する部分におけるメッキレジスト膜23には開口部24が形成されている。次に、下地金属層8をメッキ電流路とした銅の電解メッキを行なうと、メッキレジスト膜23の開口部24内の下地金属層8の上面に上部金属層9が形成される。次に、メッキレジスト膜23を剥離する。
次に、図5に示すように、上部金属層9を含む下地金属層8の上面にネガ型のドライフィルムレジストからなるメッキレジスト膜25をパターン形成する。この場合、上部金属層9のランド(柱状電極10等形成領域)に対応する部分におけるメッキレジスト膜25には開口部26が形成されている。次に、下地金属層8をメッキ電流路とした銅、ニッケルおよび半田の電解メッキをこの順で連続して行なうと、メッキレジスト膜25の開口部26内の上部金属層9のランド上面に柱状電極(銅層)10、錫拡散抑制層11および酸化抑制層12がこの順で形成される。
柱状電極10は、図1に示す半導体装置をプリント配線板(図示せず)上に実装した状態において、応力を緩和するためのものであり、その高さは例えば100μmである。錫拡散抑制層11は、ニッケルからなり、銅からなる柱状電極10への錫の拡散を抑制するためのものであり、その厚さは、無電解メッキにより形成する場合よりも厚く、例えば5〜10μmである。酸化抑制層12は、半田からなり、錫拡散抑制層11が酸化するのを防止するためのものであり、その厚さは例えば10μm以上である。この場合、酸化抑制層12の厚さは、酸化抑制層12の上面側を後工程で研削するので、図2に示す酸化抑制層12の厚さよりもある程度厚くなっている。ここで、酸化抑制層12の代わりに金層を形成すると、比較的高価な金を用い、しかも後工程でその上面側を研削するので、コスト高となるが、この発明のように、比較的安価な半田からなる酸化抑制層12を形成すると、コストを低減することができる。
次に、メッキレジスト膜25を剥離し、次いで、上部金属層9をマスクとして該上部金属層9下以外の領域における下地金属層8をエッチングして除去すると、図6に示すように、上部金属層9下にのみ下地金属層8が残存される。この状態では、上部金属層9とその下に残存された下地金属層8とにより、2層構造の配線7が形成されている。
次に、図7に示すように、ダイシングストリート22およびその両側における半導体ウエハ21の上面並びに配線7および酸化抑制層12を含む保護膜5の上面にコンプレッションモールド法、印刷法等によりシリカフィラーを含むエポキシ系樹脂からなる封止膜13をその厚さが酸化抑制層12の高さよりもやや厚くなるように形成する。したがって、この状態では、酸化抑制層12の上面は封止膜13によって覆われている。
次に、封止膜13および酸化抑制層12の上面側を適宜に研削し、図8に示すように、酸化抑制層12の上面を露出させ、且つ、この露出された酸化抑制層12の上面を含む封止膜13の上面を平坦化する。ここで、上部金属層9のランド上面に銅からなる柱状電極10のみを形成した場合には、柱状電極10の上面側を研削することになるので、柱状電極10の周囲における封止膜13の上面に銅の研削屑が付着したりすると、この付着した研削屑をライトエッチング等により除去する工程が必要となる。これに対し、酸化抑制層12の上面側を研削することにより、酸化抑制層12の周囲における封止膜13の上面に半田の研削屑が付着したとしても、後述する如く、この付着した研削屑を除去する必要はない。
次に、図9に示すように、酸化抑制層12の上面に半田ボール14を形成する。半田ボール14の形成方法としては、まず、酸化抑制層12の上面に半田ペーストを塗布し、あるいは半田ボールを搭載する。次に、リフローを行うことにより、酸化抑制層12の上面に半田ボール14を形成する。この場合、酸化抑制層12の周囲における封止膜13の上面に半田の研削屑が付着していても、この付着した研削屑がリフロー時に溶融して半田ボール14あるいは酸化抑制層12と一体化するので、上述の如く、付着した研削屑を除去する必要はない。
次に、図10に示すように、半導体ウエハ21の下面側を適宜に研削し、半導体ウエハ21の厚さを薄くする。次に、図11に示すように、封止膜13および半導体ウエハ21をダイシングストリート22に沿って切断すると、図1および図2に示す半導体装置が複数個得られる。
このようにして得られた半導体装置では、酸化抑制層12を含む半田ボール14中の錫が柱状電極10への拡散を抑制するための錫拡散抑制層11を電解メッキにより形成しているので、無電解メッキにより形成する場合と比較して、錫拡散抑制層11の厚さを厚くすることができる。この結果、この半導体装置が大きな電流を扱う電源IC等であっても、酸化抑制層12を含む半田ボール14中の錫が柱状電極10に拡散するのをより一層抑制することができる。
(第2実施形態)
図12はこの発明の第2実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図2に示す半導体装置と異なる点は、柱状電極(銅層)10の高さを例えば数μm程度と低くした点である。この場合、封止膜(オーバーコート膜)13は、当初、スピンコート法等によりポリイミド系樹脂等によって酸化抑制層12の上面を覆うように形成するようにしてもよい。したがって、この場合も、封止膜13および酸化抑制層12の上面側を適宜に研削して、酸化抑制層12の上面を露出させることになる。
図12はこの発明の第2実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図2に示す半導体装置と異なる点は、柱状電極(銅層)10の高さを例えば数μm程度と低くした点である。この場合、封止膜(オーバーコート膜)13は、当初、スピンコート法等によりポリイミド系樹脂等によって酸化抑制層12の上面を覆うように形成するようにしてもよい。したがって、この場合も、封止膜13および酸化抑制層12の上面側を適宜に研削して、酸化抑制層12の上面を露出させることになる。
(第3実施形態)
図13はこの発明の第3実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図2に示す半導体装置と異なる点は、柱状電極10を省略した点である。この場合、錫拡散抑制層11は、酸化抑制層12を含む半田ボール14中の錫が銅からなる配線7への拡散を抑制するためのものである。また、この場合も、封止膜(オーバーコート膜)13は、当初、スピンコート法等によりポリイミド系樹脂等によって酸化抑制層12の上面を覆うように形成するようにしてもよい。したがって、この場合も、封止膜13および酸化抑制層12の上面側を適宜に研削して、酸化抑制層12の上面を露出させることになる。
図13はこの発明の第3実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図2に示す半導体装置と異なる点は、柱状電極10を省略した点である。この場合、錫拡散抑制層11は、酸化抑制層12を含む半田ボール14中の錫が銅からなる配線7への拡散を抑制するためのものである。また、この場合も、封止膜(オーバーコート膜)13は、当初、スピンコート法等によりポリイミド系樹脂等によって酸化抑制層12の上面を覆うように形成するようにしてもよい。したがって、この場合も、封止膜13および酸化抑制層12の上面側を適宜に研削して、酸化抑制層12の上面を露出させることになる。
1 シリコン基板
2 接続パッド
3 パッシベーション膜
5 保護膜
7 配線
10 柱状電極
11 錫拡散抑制層
12 酸化抑制層
13 封止膜
14 半田ボール
21 半導体ウエハ
22 ダイシングストリート
2 接続パッド
3 パッシベーション膜
5 保護膜
7 配線
10 柱状電極
11 錫拡散抑制層
12 酸化抑制層
13 封止膜
14 半田ボール
21 半導体ウエハ
22 ダイシングストリート
Claims (11)
- 半導体基板上の絶縁膜を介して形成された配線用上部金属層のランド上に錫拡散抑制層を形成する工程と、
前記錫拡散抑制層上に該錫拡散抑制層の酸化を抑制する酸化抑制層を形成する工程と、
前記酸化抑制層上に半田ボールを形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の発明において、半導体基板上に形成された絶縁膜上に下地金属層を形成する工程と、
前記下地金属層上に電解メッキにより配線用上部金属層を形成する工程と、
前記配線用上部金属層のランド上に電解メッキにより錫拡散抑制層および酸化抑制層を順に連続して形成する工程と、
前記酸化抑制層上に半田ボールを形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の発明において、前記配線用上部金属層のランド上における錫拡散抑制層下に、銅層を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記錫拡散抑制層および前記酸化抑制層の周囲における前記配線を含む前記半導体基板上に封止膜を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1乃至4に記載の発明において、前記錫拡散抑制層はニッケルからなり、前記酸化抑制層は半田からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項4に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程は、前記封止膜を前記酸化抑制層の上面を覆うように形成し、前記封止膜および前記酸化抑制層の上面側を研削して前記酸化抑制層の上面を露出させる工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に絶縁膜を介して設けられた配線と、
前記配線上に設けられた錫拡散抑制層と、
前記錫拡散抑制層上に設けられた酸化抑制層と、
前記酸化抑制層上に搭載された半田ボールと、
を具備し、
前記酸化抑制層は、前記半田ボール搭載前に被膜されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項7に記載の発明において、前記配線のランド上における前記錫拡散抑制層下に、銅層が設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項7に記載の発明において、前記錫拡散抑制層および前記酸化抑制層の周囲における前記絶縁膜上に封止膜が設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項7に記載の発明において、前記錫拡散抑制層の厚さは5〜10μmであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項7乃至10に記載の発明において、前記錫拡散抑制層はニッケルからなり、前記酸化抑制層は半田からなることを特徴とする半導体装置。
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