JP2011194280A - 基板洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】洗浄槽の上部からの洗浄液の漏れを抑制あるいは防止する。
【解決手段】略垂直姿勢の基板Wを上方から洗浄槽1内に収容し、略水平方向に延在する管状部材2a1〜2a3,2a4〜2a6から基板Wの両面に洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置であって、前記管状部材2a1〜2a3,2a4〜2a6の端部側に形成される通気路に遮蔽板D3,D6を配設する。
【選択図】図1
【解決手段】略垂直姿勢の基板Wを上方から洗浄槽1内に収容し、略水平方向に延在する管状部材2a1〜2a3,2a4〜2a6から基板Wの両面に洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置であって、前記管状部材2a1〜2a3,2a4〜2a6の端部側に形成される通気路に遮蔽板D3,D6を配設する。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板洗浄装置に関する。
周知のように、プリント基板は、エッチング処理等の化学処理によってパターン配線を形成し、このパターン配線によって複数の電子部品を相互接続することによって所望の電子回路を基板上に構成するものである。このようなプリント基板は、複数の製造工程を経て製造されるが、製造工程の1つに、穴あけ加工及びめっき処理からなるスルーホール形成工程を経た基板の表面を専用の基板洗浄装置によって洗浄する洗浄工程がある。下記特許文献1には、このようなプリント基板の製造工程に供される基板洗浄装置の一例が開示されている。
上記の基板洗浄装置では、プリント基板がハンガー式の基板搬送装置によって垂直状態かつ上端が支持される状態で基板が搬送される構成となっており、基板洗浄装置の洗浄槽は、上方から搬入された基板を略垂直姿勢で収容する有底の容器で構成されている。
洗浄槽内に設けられた洗浄液噴射部は、基板の両面かつ上下方向にそれぞれ3本ずつ合計6本の洗浄アームから構成されており、これら洗浄アームは、軸線に沿って一定間隔で設けれ洗浄液を洗浄ノズルから基板に向けて噴射される。
洗浄槽内に設けられた洗浄液噴射部は、基板の両面かつ上下方向にそれぞれ3本ずつ合計6本の洗浄アームから構成されており、これら洗浄アームは、軸線に沿って一定間隔で設けれ洗浄液を洗浄ノズルから基板に向けて噴射される。
そして、洗浄槽の上方から搬入された基板の両面には、洗浄槽内の上段、中段、下段に配置された各洗浄アームの洗浄ノズルから洗浄液が噴射され、下方で一旦停止した後上昇する過程で再び基板の両面に洗浄液が噴射されるようになっている。
ところが、従来の基板洗浄装置は、洗浄槽内に設けられた洗浄液噴射部は、洗浄槽内の上段、中段、下段に配置された各洗浄アームの洗浄ノズルから基板の両面に向けて噴射された噴霧状の洗浄液が基板の両面から跳ね返る。
基板の両面から跳ね返った噴霧状洗浄液は、周囲の空気を巻き込んで洗浄槽の底面に向けて流下する。加えて、各洗浄アームの洗浄ノズルは若干下方を向いているので、基板の両面から跳ね返った噴霧状洗浄液は巻き込んだ周囲の空気によって洗浄槽底面に向く流れが発生して洗浄槽下方の内圧が高められる。従って噴霧状洗浄液は、基板の両端縁に形成される洗浄槽内壁との間隙を通して気圧の低い上部外方に吹き抜けていく。
これにより、洗浄槽の上部外方に吹き抜けた噴霧状洗浄液は、洗浄槽の上部周囲や搬送装置のハンガー等に付着するので、それらの表面が汚されたり、この汚れがハンガーや基板に滴下して洗浄品質を低下させる問題がある。
これにより、洗浄槽の上部外方に吹き抜けた噴霧状洗浄液は、洗浄槽の上部周囲や搬送装置のハンガー等に付着するので、それらの表面が汚されたり、この汚れがハンガーや基板に滴下して洗浄品質を低下させる問題がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、洗浄槽の上部からの洗浄液の漏れを抑制あるいは防止することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明では、に係る第1の解決手段として、略垂直姿勢の基板を上方から洗浄槽内に収容し、略水平方向に延在する管状部材から基板の両面に洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置であって、前記管状部材の端部側に形成される通気路に遮蔽板を配設する、という手段を採用する。
基板洗浄装置に係る第2の解決手段として、上記第1の手段において、管状部材は上下方向に多段に設けられ、遮蔽板は、管状部材の各段に対応して配設される、という手段を採用する。
基板洗浄装置に係る第3の解決手段として、上記第1または第2の手段において、遮蔽板は、洗浄槽の側壁に水平姿勢で設けられる、という手段を採用する。
本発明によれば、管状部材の端部側に形成される通気路に遮蔽板を配設するので、洗浄液の噴射により空気を巻き込んで流下した噴霧状洗浄液が、洗浄槽の内部に閉じこめられた内部圧力の上昇によって通気路を通して上部外方に吹き抜ける流れを遮断することができる。これにより、洗浄槽の上部からの洗浄液の漏れを抑制あるいは防止することが可能であり、よって洗浄槽の上部周囲や搬送装置のハンガー等に噴霧状洗浄液の付着が回避されるので汚れや洗浄品質への影響を解消することができる。
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
図1は、基板洗浄装置の一部断面を示す全体斜視図、図2は基板洗浄装置の遮蔽板を示す部分拡大斜視図である。
図1は、基板洗浄装置の一部断面を示す全体斜視図、図2は基板洗浄装置の遮蔽板を示す部分拡大斜視図である。
図1に示すように、前記基板洗浄装置Sは、主な構成として、洗浄槽1、洗浄液噴射部2A,2Aと、図示しない洗浄液回収部、洗浄タンク、仕上洗浄タンク、供給ポンプ、オーバーフロー配管とを備えており、プリント基板(以下基板という)の製造工程において、前工程から搬入された基板に洗浄処理を施す装置である。なお、洗浄槽1は、複数の槽から構成される場合もあるが、本実施形態では単一の有底洗浄槽として説明する。
洗浄槽1は、上方から搬入された基板を略垂直姿勢で収容する容器であり、一般的な容器と異なり、略垂直姿勢の基板に直交する断面で形成されている。なお、洗浄槽1は、一般的な箱形容器と異なり、中間部の幅が上から下に向かって一定の傾斜で徐々に狭くなるよう形成することもできる。
洗浄液噴射部2A,2Aは、前記洗浄槽1内に設けられ、洗浄槽1内に収容された基板Wに両面から洗浄液Pを噴射する。すなわち、洗浄液噴射部2A,2Aは、図1に示すように、基板Wの両面かつ上下方向にそれぞれ位置する合計6本の洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6から構成されている。各洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6は、内部に洗浄液Pが通過する穴が形成された管状部材であり、図2に示すように複数の洗浄ノズルNが軸線に沿って一定間隔で設けられている。
このような洗浄液噴射部2A,2Aは、内部を通過してきた洗浄液Pを各洗浄ノズルNから基板に向けて噴射する。そして、基板Wの両側に配置された3本ずつの洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6は、洗浄槽1内部の上段、中段、下段にも配置されている。
これら6本の洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6のうち、洗浄アーム2a1〜2a3は、洗浄槽1の正面側に位置しており、各洗浄ノズルNから基板Wの片面(以下表面という)に洗浄液Pを噴射し、一方、洗浄アーム2a4〜2a6は、洗浄槽1の背面側に位置しており、各洗浄ノズルNから基板の片面(以下裏面という)に洗浄液Pを噴射する。
ここで、基板Wの両側に対向して並設される洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6は、基板Wの両面に向けて噴射する洗浄ノズルは、噴射角度が対向する水平軸と、この水平軸に対して基板Wの下方に向く角度で設定されている。
基板W両側の上段、中段及び下段には、3本ずつの洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6が配置されており、これら洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6両端側における洗浄槽1の両内壁面には、上下方向に沿って一対の通気路Fが形成されている。
前記一対の通気路Fには、各洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6両端近傍の両内壁面に3枚ずつの遮蔽板D1〜D3,D4〜D6が所定間隔で上下方向に配置され、遮蔽板D1〜D3,D4〜D6の長手方向片側端面が両内壁面に水平に取着されている。
これら遮蔽板D1〜D3,D4〜D6は、薄い鋼板で矩形状をなし洗浄槽1内の洗浄アームの軸線と直交する幅方向に対応する長さを有し、横幅が狭く形成されている。
これら遮蔽板D1〜D3,D4〜D6は、薄い鋼板で矩形状をなし洗浄槽1内の洗浄アームの軸線と直交する幅方向に対応する長さを有し、横幅が狭く形成されている。
次に、このように構成された基板洗浄装置の動作に付いて図1、図2を参照して説明する。
基板Wは、この基板Wが専用の基板搬送装置によって所定の工程順に順次搬送されることによって製造されるが、基板Wの製造装置の1つとして含む製造設備では、例えばハンガー式の基板搬送装置によって垂直状態かつ上端が支持される状態で基板が搬送される。
基板Wは、この基板Wが専用の基板搬送装置によって所定の工程順に順次搬送されることによって製造されるが、基板Wの製造装置の1つとして含む製造設備では、例えばハンガー式の基板搬送装置によって垂直状態かつ上端が支持される状態で基板が搬送される。
搬送装置によりハンガー6が吊下されて垂直姿勢で搬送された基板Wは、洗浄槽1の上部で一次停止したのち、洗浄槽1の内部に上方から下方に移動する過程で基板Wの両面が洗浄される。洗浄槽1の上部で基板Wの停止位置が確認されると、洗浄槽1内部の上段、中段、下段に配置した各洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6の複数の洗浄ノズルNから噴霧状の洗浄液Pが基板Wの両面に向けて一斉に噴出される。
この状態で、基板Wが洗浄槽1の上部から下降移動する過程において基板Wの両面に噴霧状の洗浄液Pが噴出されると、下降位置で一端停止したのち再び上昇移動する過程でも基板Wの両面に洗浄液Pが噴出される。基板Wの両面に噴射したのち両面から跳ね返った噴霧状の洗浄液Pは、周囲の空気を洗浄液P内部に巻き込んだ状態で、洗浄槽1の下方に流下すると徐々に洗浄槽1の内部圧力が上昇する。
これにより、洗浄槽1の内部に上昇気流が発生するので、この上昇気流に乗って噴霧状の洗浄液Pは、洗浄槽1の両内壁面の上下方向に向く一対の通気路Fから上方に向く流れが生ずる。そこで、上方に移動する洗浄液Pは、先ず最下段に設けた一対の遮蔽板D3,D6に当接して上昇移動が遮られるので、上昇流は、洗浄槽1の内部に向く流れに変換される。
更に、これら一対の遮蔽板D3,D6を通過した一部の噴霧状洗浄液Pは、上昇移動するが中段に設けた一対の遮蔽板D2,D5によって遮られて上昇力が弱められ、両遮蔽板D3,D6を通過した一部の洗浄液Pは、上段の両遮蔽板D1,D4によって遮られ、両遮蔽板D1,D4を通過した一部の洗浄液Pは更に上昇力が弱めらる。
このように、遮蔽板D1〜D3,D4〜D6を3枚ずつ所定間隔で上下に重ねて配置することで、所謂ラビリンス効果が得られる。従って、最上段の両遮蔽板D1,D4を通過した一部の噴霧状洗浄液Pは、上昇力が弱められているので、洗浄槽1の上部周囲や搬送装置のハンガー等に付着することが解消される。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
(1) 上記実施形態では、各洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6両端近傍の両内
壁面に3枚ずつの遮蔽板D1〜D3,D4〜D6を配置した例に付き説明したが、これに限定されない。すなわち、一枚ずつの遮蔽板D3,D6を、最下段の洗浄アーム2a3,2a6の両端側における通気路Fに配設しても良い。これにより、噴霧状洗浄液Pの上昇流は、洗浄槽1の内部に向く流れに変換されるのでその上昇力を弱めることができる。
(1) 上記実施形態では、各洗浄アーム2a1〜2a3,2a4〜2a6両端近傍の両内
壁面に3枚ずつの遮蔽板D1〜D3,D4〜D6を配置した例に付き説明したが、これに限定されない。すなわち、一枚ずつの遮蔽板D3,D6を、最下段の洗浄アーム2a3,2a6の両端側における通気路Fに配設しても良い。これにより、噴霧状洗浄液Pの上昇流は、洗浄槽1の内部に向く流れに変換されるのでその上昇力を弱めることができる。
(2)上記実施形態では、遮蔽板D1〜D3,D4〜D6を水平に配置した例に付き説明したが、これら遮蔽板D1〜D3,D4〜D6の先端を下方に向けた角度で配置しても良い。これにより、噴霧状洗浄液Pの流れは、下方を向く遮蔽板によって洗浄槽1の下方内部を循環する渦流に変換されるので上方に向く流れが防止される。
(3) 上記実施形態では、遮蔽板D1〜D3,D4〜D6の一端が長手方向片側端面を、
両内壁面に水平に取着する例に付き説明したが、これに限定されない。すなわち、遮蔽板D1〜D3,D4〜D6の外形や間隔を、洗浄の対象となる基板のサイズに応じて交換または変更可能とすることもできる。これにより、サイズの小さい基板を洗浄する時に拡張された通気路に対応した形状の遮蔽板を使用することで、上方に向く流れを確実に遮蔽することができる。
両内壁面に水平に取着する例に付き説明したが、これに限定されない。すなわち、遮蔽板D1〜D3,D4〜D6の外形や間隔を、洗浄の対象となる基板のサイズに応じて交換または変更可能とすることもできる。これにより、サイズの小さい基板を洗浄する時に拡張された通気路に対応した形状の遮蔽板を使用することで、上方に向く流れを確実に遮蔽することができる。
1…洗浄槽、1A,2A…洗浄液噴射部、2a1〜2a3,2a4〜2a6…洗浄アーム、F…通気路、N…洗浄ノズル、P…洗浄液、S…基板洗浄装置、W…基板(プリント基板)
Claims (3)
- 略垂直姿勢の基板を上方から洗浄槽内に収容し、略水平方向に延在する管状部材から基板の両面に洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置であって、
前記管状部材の端部側に形成される通気路に遮蔽板を配設することを特徴とする基板洗浄装置。 - 管状部材は上下方向に多段に設けられ、
遮蔽板は、管状部材の各段に対応して配設されることを特徴とする請求項1記載の基板洗浄装置。 - 遮蔽板は、洗浄槽の側壁に水平姿勢で設けられることを特徴とする請求項1または2記載の基板洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010060990A JP2011194280A (ja) | 2010-03-17 | 2010-03-17 | 基板洗浄装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103357609A (zh) * | 2012-03-30 | 2013-10-23 | 上海凯思尔电子有限公司 | 一种快速清洗钻刀刀柄油性标记的装置 |
CN104043628A (zh) * | 2014-06-17 | 2014-09-17 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大口径光学玻璃固定清洗架和清洗方法 |
-
2010
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