JP2011192882A - 半導体構造及び半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体構造は、シリコン基板と、シリコン基板上に形成された、溝部を有する窒化物半導体と、溝部に充填された酸化シリコンと、を有し、窒化物半導体に対する酸化シリコンの体積が、1.9倍以上4.1倍以下である。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1の実施形態における半導体構造の構成を図1に示す。
本発明の第2の実施形態における半導体構造の構成を図3に示す。
一方、本実施形態においては、窒化物半導体2に溝部を形成する際、溝部の底面のIII族原子の原子濃度が1×15−10atoms/cm3以下になるまでエッチングを行うことにより、低抵抗層を除去する。そのため、上述したような、低抵抗層に起因する問題の発生を抑制することができる。
本発明の第3の実施形態における半導体構造の構成を図5に示す。
次に、p−CVD装置を用いて、300℃の温度下でSiH4、O2、N2を反応させ、試料のトップ面及び側壁にSiO2を0.1μm成長させる。
本発明の第4の実施形態における、フリップチップ実装型RF(Radio Frequency)モジュールの構成を図7に示す。
2 窒化物半導体
3 誘電体
4 SiNx膜
5 熱伝導膜
6 バッファ層
10、20、30 半導体構造
11 メタル配線
12 有機モジュール
13 導波管付き基板
40 フリップチップ実装型RFモジュール
Claims (10)
- シリコン基板と、
前記シリコン基板上に形成された、溝部を有する窒化物半導体と、
前記溝部に充填された酸化シリコンと、を有し、
前記窒化物半導体に対する前記酸化シリコンの体積が、1.9倍以上4.1倍以下であることを特徴とする半導体構造。 - 前記溝部の底面は、前記シリコン基板が露出した面であり、前記底面における前記窒化物半導体のIII族原子の濃度は、1×15−10atoms/cm3以下であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体構造。
- 前記窒化物半導体の少なくとも一部が、SiNX膜に覆われていることを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体構造。
- 前記窒化物半導体と、前記酸化シリコンとの間に、前記酸化シリコンよりも熱伝導性の高い熱伝導膜を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体構造。
- 前記熱伝導膜と前記酸化シリコンとの間に、バッファ層を有し、
前記バッファ層の熱膨張係数は、前記熱伝導膜の熱膨張係数よりも小さく、前記酸化シリコンの熱膨張係数よりも大きいことを特徴とする請求項4に記載の半導体構造。 - 前記バッファ層は、前記溝部における前記窒化物半導体の側面に対して、斜めに形成されていることを特徴とする、請求項5に記載の半導体構造。
- 前記窒化物半導体は、GaN、InNあるいはGaInNであることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体構造。
- シリコン基板と、
前記シリコン基板上に形成され、溝部を有する窒化物半導体と、
前記溝部に充填された誘電体と、を有し、
前記窒化物半導体と前記誘電体との合成熱膨張係数と、前記シリコン基板の熱膨張係数との差が、0.6×10−6/℃以下であることを特徴とする半導体構造。 - シリコン基板上に窒化物半導体を形成する工程と、
前記窒化物半導体に溝部を形成する工程と、
前記溝部に、酸化シリコンを充填する工程と、を有し、
前記窒化物半導体に対する前記酸化シリコンの体積が、1.9倍以上4.1倍以下であることを特徴とする半導体構造の製造方法。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の半導体構造を備える、半導体装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101480949B1 (ko) | 2013-07-04 | 2015-01-14 | 전자부품연구원 | 화합물 반도체 기판 및 이의 제조 방법 |
WO2015182283A1 (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-03 | シャープ株式会社 | 窒化物系化合物半導体 |
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2010
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