JP2011192424A - 静電リレー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース基板32上に固定接点部33と固定電極部35を固設する。固定電極部35と可動電極部36は、可動電極部36とともに可動接点部34を変位させる静電アクチュエータを構成する。バネ支持部38、39に設けた可動バネ37a、37bは、可動電極部36を変位可能に保持する。バネ支持部38に片持ち状の二次バネ84を設け、可動電極部36の前端面に突起部85を設ける。二次バネ84は、可動接点部34及び可動電極部36が変位したとき、可動接点部34の可動接点56が固定接点部33の固定接点46a、46bに当接する前に突起部85に当接するとともに、突起部85に当接するまでは変形しない。
【選択図】図2
Description
図2は、本発明の実施形態1による静電リレー31の構造を示す平面図である。また、図7(b)は、図2のA−A線に沿った断面図である。この図2及び図7(b)を参照して静電リレー31の構造を説明する。
つぎに、静電リレー31の製造工程を簡単に説明する。図6(a)に示す基板は、Si基板91とSi基板93の間に酸化膜(SiO2)92を挟んで接合させたSOI基板94である。このSOI基板94の上には、パッド部66の導体層63と電極パッド層64が形成され、またSiNなどの絶縁層95が形成され、その上に固定接点部33の配線パターン部44a、44bと可動接点部34の接点層54が形成されている。この最下層のSi基板91はベース基板32となるものである。
図8は、本発明の第1の実施形態による静電リレー101を示す平面図である。この静電リレー101では、可動電極部36の前端面の両端から連結部102を突出させ、連結部102の先端部に二次バネ84を片持ち状に設け、二次バネ84をバネ支持部38の対向面と平行に配置している。また、バネ支持部38の二次バネ84と対向する面には、二次バネ84が当接できるように突起部85を設けている。
図9は、本発明の実施形態2による静電リレー111の構造を示す平面図である。この静電リレー111においては、バネ支持部38内に両持ち状の可動バネ37aを設け、可動電極部36の前端部から突出させた連結部81を可動バネ37aの中央部に連結させている。このような構造によれば、可動バネ37aが両持ち状となっているので、可動バネ37aのバネ係数を大きくすることができる。
32 ベース基板
33 固定接点部
34 可動接点部
35 固定電極部
36 可動電極部
37a、37b 可動バネ
38、39 バネ支持部
44a、44b 配線パターン部
46a、46b 固定接点
54 接点層
56 可動接点
57 支持梁
81 連結部
83 連結部
84 二次バネ
85 突起部
Claims (9)
- ベース基板と、
前記ベース基板に固定された、固定接点を有する固定接点部と、
前記固定接点と接触又は離間する可動接点を有する可動接点部と、
前記ベース基板に固定された固定電極部と、
前記固定電極部との間に発生する静電力により、前記可動接点部とともに前記ベース基板と平行な方向に変位する可動電極部と、
変位した前記可動電極部をもとの位置に復帰させるための第1のバネ材とを備えた静電リレーにおいて、
前記可動接点部及び前記可動電極部が変位したとき、前記可動接点が前記固定接点に当接する以前に、前記ベース基板に固定されている固定部分と前記可動電極部又は当該可動電極部とともに変位する可動部分のうちいずれか一方に当接するとともに当接するまでは変形しない第2のバネ材を、前記固定部分と前記可動部分のうちいずれか他方に設けたことを特徴とする静電リレー。 - 前記第2のバネ材は、前記固定部分と前記可動電極部又は前記可動部分とのうちいずれか他方に片持ち状に固定された板バネであることを特徴とする、請求項1に記載の静電リレー。
- 前記第2のバネ材は、前記固定部分と前記可動電極部又は前記可動部分とのうちいずれか一方にはつながっていないことを特徴とする、請求項1に記載の静電リレー。
- 前記第2のバネ材は、前記固定部分と前記可動電極部又は前記可動部分とのうちいずれか一方に設けた突起部に当接することを特徴とする、請求項1に記載の静電リレー。
- 前記固定部分と前記可動電極部又は前記可動部分とのうちいずれか他方に片持ち状に設けられた板バネ状の第2のバネ材が、前記固定部分と前記可動電極部又は前記可動部分とのうちいずれか一方に設けた突起部に当接可能となっており、
変形していない前記第2のバネ材の長さ方向と前記突起部の設置面とが平行となっていることを特徴とする、請求項1に記載の静電リレー。 - 前記第2のバネ材は、前記可動電極部と前記固定接点部との間において前記ベース基板に固設されたバネ支持部に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の静電リレー。
- 前記可動電極部の中心線に関して対称な位置にそれぞれ第2のバネ材を設けたことを特徴とする、請求項1に記載の静電リレー。
- 前記第1のバネ材は、前記可動電極部の変位方向における両端面、もしくはそれぞれの端面に対向する位置に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の静電リレー。
- 前記第1のバネ材は、前記可動電極部の変位方向におけるいずれか一方の端面、もしくはいずれか一方の端面に対向する位置に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の静電リレー。
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