JP2011187214A - 位相差電子顕微鏡および位相板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】細線電極4を絶縁膜5を介して導電体膜6で覆い、電極4の一部を露出した位相板3を用い、細線電極4を露出する部分を、電子線が照射されない部分とした。このための電極構造として、直線状の細線、もしくはV字状の細線を用いた。
【選択図】図1
Description
2…孔
3…位相板
4…電極
5…絶縁膜
6…導電体膜
7…光軸
10…導電体膜
11…絶縁膜
12…電極膜
13…絶縁膜
14…アパーチャプレート
15…穴
16…固定穴
17…導電体膜
18…導電性プレート
19…絶縁プレート
21…電子源
22…照射系レンズ
23…対物レンズ
24…拡大レンズ
25…試料面
26…対物レンズ後焦点面
27…中間像面
28…像面
29…電子線
41…単孔グリッド上の位相板
42…電極
51…リング位相板
52…細線位相板
53…絶縁膜
54…電極
55…薄膜位相板。
Claims (11)
- 位相板を備える位相差電子顕微鏡であって、
前記位相板は、細線電極を絶縁体を介して導電体膜で被覆し、前記細線電極の一部を露出させた構造を有し、
前記位相板の前記細線電極の露出部分は、電子線が照射される前記位相板の面の反対側の面に形成される、
ことを特徴とする位相差電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の位相差電子顕微鏡であって、
前記位相板は、前記細線電極を複数備えていることを特徴とする位相差電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の位相差電子顕微鏡であって、
前記細線電極は、前記電子線の光軸側に突出するV字状の形状を有するV字状電極であることを特徴とする位相差電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の位相差電子顕微鏡であって、
前記位相板は、前記V字状電極を複数備えていることを特徴とする位相差電子顕微鏡。 - 請求項4に記載の位相差電子顕微鏡であって、
複数の前記V字状電極の頂角が前記光軸を挟んで互いに向かい合って配置されることを特徴とする位相差電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の位相差電子顕微鏡であって、
前記位相板が前記位相差電子顕微鏡のアパーチャプレート上に形成されることを特徴とする位相差電子顕微鏡。 - 請求項6に記載の位相差電子顕微鏡であって、
前記アパーチャプレートは絶縁プレートを介した複数の導電性プレートからなり、前記位相板は前記アパーチャプレートに対し可換であることを特徴とする位相差電子顕微鏡。 - 位相差電子顕微鏡用の位相板であって、
細線電極と、絶縁膜を介して前記細線電極を被覆する導電体膜を備え、
前記細線電極の電子線が照射される面の反対側の面に露出部分が形成されることを特徴とする位相板。 - 請求項8に記載の位相板であって、
前記細線電極は、直線状の細線電極であることを特徴とする位相板。 - 請求項8に記載の位相板であって、
前記細線電極は、前記電子線の光軸側に突出するV字状の形状を有する細線電極であることを特徴とする位相板。 - 請求項8に記載の位相板であって、
前記細線電極を複数備えていることを特徴とする位相板。
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