JP2011185422A - フィードバック機構およびバルブポジショナ - Google Patents

フィードバック機構およびバルブポジショナ Download PDF

Info

Publication number
JP2011185422A
JP2011185422A JP2010054520A JP2010054520A JP2011185422A JP 2011185422 A JP2011185422 A JP 2011185422A JP 2010054520 A JP2010054520 A JP 2010054520A JP 2010054520 A JP2010054520 A JP 2010054520A JP 2011185422 A JP2011185422 A JP 2011185422A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
feedback
magnet
feedback mechanism
magnet holding
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010054520A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5438558B2 (ja
Inventor
Fumio Nagasaka
文雄 長坂
Yosuke Inagaki
洋輔 稲垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP2010054520A priority Critical patent/JP5438558B2/ja
Priority to PCT/JP2011/055800 priority patent/WO2011111827A1/ja
Publication of JP2011185422A publication Critical patent/JP2011185422A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5438558B2 publication Critical patent/JP5438558B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Servomotors (AREA)
  • Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)

Abstract

【課題】部品相互の取付精度に影響されることがなく、フィードバックピンやフィードバックレバーの折れ曲り、破損等を防止する。
【解決手段】第1、第2の磁石保持部131b、131cを有する磁石保持部材131を駆動軸Aに回動自在に設ける。第1、第2の磁石保持部131b、131cの対向面に第1、第2の永久磁石133、134を互いに異極どうしを対向させて固定し、これらの磁石間に第3の永久磁石135を備えたフィードバックレバー109を挿入する。第3の永久磁石135は、第1、第2の永久磁石133、134と同極どうしが互いに対向するよう設けられている。これにより、第1、第3の永久磁石133、135による斥力と、第2、第3の永久磁石134、135による斥力とが釣り合い状態を保つ位置にフィードバックレバー109を保持する。
【選択図】図2

Description

本発明は、フィードバック機構およびこれを備えたバルブポジショナに関する。
直動型の自動調節弁等に用いられるバルブポジショナは、入力信号(電気信号)を空気圧信号に変換する電空変換器と、この空気圧信号を増幅してバルブの操作器に出力空気圧として伝送する増幅器(パイロットリレー)と、バルブの実作動量を電気信号に変換しフィードバック信号として制御演算部にフィードバックするフィードバック機構等を備え、前記制御演算部でフィードバック信号と入力信号とを比較し、その差を電空変換器に送信して操作器を駆動し、バルブを開閉制御するものである(例えば、特許文献1参照)。
従来のフィードバック機構としては、例えば特許文献2に開示されたものが知られている。このフィードバック機構は、図9および図10に示すように、バルブ1の弁軸4にこれと直交するように突設された連結ピン12を有している。連結ピン12は、バルブポジショナ3のフィードバックレバー9に形成した長孔13に摺動可能に挿通され、かつピン押圧用ばね14によって長孔13の長辺側の一側壁13aに押し付けられることにより、垂直方向の遊動が阻止されている。フィードバックレバー9は、弁軸4の上下動により連結ピン12を介して上下方向に回動され、その回動角度がセンサによって検出される。なお、図9において、2は空気圧によって作動軸6を上下動させる操作器、7は弁軸4と作動軸6を連結する連結部材、15はバルブ1の上部に固定された取付部材である。
このようなフィードバック機構5においては、バルブ1の内部を流れる流体の影響により弁軸4が振動すると、その振動による力をフィーバックレバー9、連結ピン12およびピン押圧用ばね14間の点状の接触部A、Bが受けることになる。
一般的に、バルブ1の開度制御ではバルブ1を所定角度に保つように制御することが多い。このため、フィードバックレバー9と連結ピン12、連結ピン12とピン押圧用ばね14はそれぞれ略同一点(接触部A、B)で長期間にわたって接触し続けることになり、振動による力がこれらの接触部A、Bに集中して加わることになる。その結果、当該接触部A、Bが摩耗したり破損したりする。例えば、連結ピン12が摩耗するとピン自体の外径が小さくなるため、長孔13との間の隙間が大きくなり、弁軸4の実作動量を高精度に検出することができなくなる。また、最悪の場合は強度低下に伴って連結ピン12が破損するおそれもある。
フィードバックレバー9については、長孔13の一側壁13aの連結ピン12が接触する接触部Aが摩耗して凹みができるため、この凹み部分に連結ピン12が入り込んで係止されると、弁軸4とフィードバックレバー9との円滑な作動が得られなくなる。したがって、フィードバックレバー9の摩耗によって同じく弁軸4の実作動量を高精度に検出することができなくなる。また、摩耗によって強度が低下するとレバー自体が破損することがある。
ピン押圧用ばね14についても連結ピン12との接触により摩耗すると、連結ピン12やフィードバックレバー9と同様に破損するおそれがある。
実開昭62−28118号公報 特開平11−125201号公報 特開2003−239901号公報
上記したフィードバック機構5を備えた従来のバルブポジショナ3においては、一定期間毎あるいは必要に応じて点検して摩耗した部品を交換する必要があり、交換作業が煩わしいという問題があった。また、交換作業の際にはその対象となるバルブが属するプラントやプロセスの運転を一時停止させなければならないという問題もあった。
一方、このような問題を解決すべく、例えば特許文献3に開示されたフィードバック機構も知られている。このフィードバック機構は、図11に示すようにバルブの弁軸90に設けたフィードバックピン(連結ピン)32とフィードバックシャフト(レバー)33を連結部材35によって連結している。連結部材35は、フィードバックピン32が摺動自在に挿通される筒状の第1の軸受部37と、この第1の軸受部37と直交しフィードバックレバー33が同じく摺動自在に挿通される筒状の第2の軸受部38とを有している。
このようなフィードバック機構95においては、第1、第2の軸受部37、38が広い面積でフィードバックピン32、フィードバックレバー33をそれぞれ保持しているので、振動が発生しても力を分散させることができる。したがって、図9および図10に示したフィードバック機構5のように力が略同一点(A、B)に集中することがなく、フィードバックピン32、フィードバックレバー33の摩耗、破損等を軽減ないし防止することができる。また、ばねによるフィードバックピン32の付勢を必要としないという利点もある。なお、25はバルブポジショナ、34はフィードバックレバー33の回動角度を検出する角度センサである。
しかしながら、フィードバックピン32やフィードバックレバー33の耐摩耗性は向上するものの、フィードバックピン32、フィードバックレバー33、第1、第2の軸受部37、38等の取付精度、すなわちフィードバックピン32の弁軸90に対する取付角度、フィードバックレバー33と弁軸90との取付角度(平行度)、第1の軸受部37と第2の軸受部38との角度等が設計値と異なっていると、フィードバックピン32やフィードバックレバー33が第1、第2の軸受部37、38に対して円滑に動作せず、折れ曲がったり破損したりするので、要求される各部品の相互間に従来よりも高い加工ないし取付精度が要求され、加工や取付作業に時間を要するという問題があった。
本発明は、上記した従来の問題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、部品相互の取付精度に影響されることがなく、フィードバックピンやフィードバックレバーの折れ曲り、破損等を防止でき耐久性を向上させたフィードバック機構およびバルブポジショナを提供することにある。
請求項1に記載の発明に係るフィードバック機構は、駆動軸に回動自在に軸支され、前記駆動軸の移動方向において互いに対向する第1、第2の磁石保持部を有する磁石保持部材と、前記磁石保持部材の第1、第2の磁石保持部に互いに異極どうしを対向させて固定された第1、第2の永久磁石と、前記第1、第2の永久磁石間の空間にこれら磁石と非接触状態で挿入された揺動自在なフィードバックレバーと、前記第1、第2の永久磁石と同極どうしが互いに対向するように前記フィードバックレバーに設けられた第3の永久磁石とを備えたことを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明に係るフィードバック機構は、請求項1に記載の発明ににおいて、前記磁石保持部材は、磁性材料によって形成され、垂直部と、この垂直部の上下端に一体に対設された第1、第2の磁石保持部とからなり、前記第1、第2の磁石保持部は、先端間が磁性材料からなる連結プレートによって連結され、前記磁石保持部材と前記連結プレートと前記第1、第2の永久磁石とにより閉磁路を形成することを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明に係るフィードバック機構は、請求項1または2に記載の発明において、前記第1の永久磁石と前記第2の永久磁石の各々の磁力が互いに異なることを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明に係るバルブポジショナは、制御演算部、電空変換器、パイロットリレー等を備え、バルブを駆動制御するバルブポジショナにおいて、請求項1ないし3のいずれかに記載の発明に係るフィードバック機構を具備したことを特徴とするものである。
第1の発明によれば、第1の永久磁石と第3の永久磁石の各々の対向部位が同極性なので、両磁石間に斥力が生じ、両磁石の接触を阻止する。同様に第2、第3の永久磁石間にも斥力が生じ両磁石の接触を阻止する。これにより、フィードバックレバーは、第1、第2の永久磁石間で前記両斥力が釣り合い状態を保つ位置に磁気的に保持される。したがって、フィードバックレバーは、非接触状態で保持されているので、摩耗して折れ曲がったり破損したりすることがなく、耐久性を向上させることができる。磁石保持部材は駆動軸と一体に上下動し、フィードバックレバーを同方向に回動させる。このとき、磁石保持部材も第1、第3の永久磁石間の斥力と、第2、第3の永久磁石間の斥力とが釣り合い状態を保つようにフィードバックレバーと同方向に同角度回動することで、第1〜第3の永久磁石を全て平行に対向させ、これにより第1、第3の磁石間、および第2、第3の磁石間の磁気ギャップを常に一定に保たせる。
第2の発明によれば、磁石保持部材および連結プレートが第1、第2の永久磁石の閉磁路を形成するので、漏れ磁束を少なくすることができ、金属ゴミの吸着を防ぐことができる。
第3の発明によれば、第1の永久磁石と第2の永久磁石の各々の磁力が異なるので、第1、第3の永久磁石間の斥力と、第2、第3の永久磁石間の斥力を異ならせることができる。これにより、第1、第3の永久磁石間の磁気ギャップと、第2、第3の永久磁石間の磁気ギャップとが異なり、フィードバックレバーに磁気ギャップが小さい方への復帰習性を与えているので、第1、第2の永久磁石の各々の磁力が等しく、2つの磁気ギャップを等しくした場合に比べて、外部からの振動によりフィードバックレバーが遊動したり共振したりするのを防止することができる。
第4の発明によれば、上記発明の効果を有するバルブポジショナが得られる。また、フィードバック機構が劣化し難く長持ちするので、ポジショナの制御性を長期間安定した状態に維持できるとともに、フィードバック機構の部品交換によるポジショナの調整の機会を低減することができる。
本発明に係るバルブポジショナの一実施の形態を示す概略構成図である。 本発明に係るフィードバック機構の一実施の形態を示す正面図である。 駆動軸が上昇しフィードバックレバーが回動した状態を示す正面図である。 フィードバック機構の側断面図である。 フィードバック機構の他の実施の形態を示す正面図である。 フィードバック機構の側断面図である。 フィードバック機構のさらに他の実施の形態を示す正面図である。 フィードバック機構の側断面図である。 従来のバルブポジショナの正面図である。 フィードバック機構の正面図である。 従来の他のフィードバック機構の平面図である。
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図1〜図4において、100はバルブポジショナ、101は操作器2によって上下動する作動軸、102はバルブ1の弁軸、103は作動軸101と弁軸102を連結する連結部材、104はバルブ1の上部に固定された取付部材、105はバルブポジショナ100を取付部材104に固定するためのブラケットである。なお、本発明においては、操作器2の作動軸101とバルブ1の弁軸102を総称して呼ぶときは、駆動軸Aと称する。
図1において、前記バルブポジショナ100は、筐体108から外部に突出して設けられ駆動軸Aの動きを検出するフィードバック機構106と、筐体108内に組み込まれた端子台107、角度センサ110、制御演算部111、電空変換器112、パイロットリレー113等を備えている。
フィードバック機構106を構成するフィードバックレバー109は、角度センサ110の回転軸114に取付けられており、駆動軸Aに後述する磁石の磁力によって非接触状態で連結され、前記駆動軸Aの上下動に伴いこれと一体的に上下方向に回動するように構成されている。
角度センサ110は、フィードバックレバー109が回動すると、その回転軸114の回動角度を検出して電気信号に変換し、フィードバック信号I1 として制御演算部111に送信する。制御演算部111は、ポジショナ100への入力信号I0 とフィードバック信号I1 とを比較しその差が零になるように電空変換器112にフィードバックする。電空変換器112は、供給電流(入力信号I0 )に比例した空気圧信号PN に変換するノズルフラッパ機構120を備えている。ノズルフラッパ機構120は、空気供給源より供給される供給空気圧Psup によりフラッパ121が揺動することにより、ノズル122とのギャップGが変化し、そのノズル背圧PN を空気圧信号としてパイロットリレー113に出力する。
パイロットリレー113は、空気圧信号PN を増幅し、出力空気圧Pout として操作器2に出力する。なお、このようなバルブポジショナ100自体は、従来公知である(例えば、特許文献2、3参照)。
図2〜図4において、前記フィードバック機構106は、前述したフィードバックレバー109と、連結部材103に設けられた垂直面内において回動自在な磁石保持部材131とを備えている。磁石保持部材131は、側面視コ字状に形成されており、垂直部131aと、この垂直部131aの上下端に前方に向かって一体に対設された平行な水平部131b、131cとからなり、垂直部131aの背面中央に突設した軸132が前記軸受130に設けた軸受130によって回転自在に軸支されている。軸132の軸線は、駆動軸Aの軸線と直交している。
水平部131b、131cは、第1、第2の磁石保持部を形成し、その互いに対向する内面に第1、第2の永久磁石133、134が異極どうし、例えばN極とS極が互いに対向するようにそれぞれ固定されている。これらの磁石133、134の磁力は等しい。また、第1の永久磁石133と第2の永久磁石134との間の空間には、フィードバックレバー109が挿入されている。フィードバックレバー109の前記第1、第2の永久磁石133、134に対応する部分には、第3の永久磁石135が埋設されている。第3の永久磁石135は、磁力が第1、第2の永久磁石133、134の磁力と等しく、N極が第1の永久磁石133のN極と対向し、S極が第2の永久磁石134のS極と対向するようにフィードバックレバー109に設けられている。すなわち、第3の永久磁石135は、第1、第2の永久磁石133、134に対して同極どうしが互いに対向するように設けられ、そのN極どうしの斥力とS極どうしの斥力とが釣り合う位置にフィードバックレバー109を保持している。この場合、本実施の形態においては、両斥力が等しいため、フィードバックレバー109を第1の永久磁石133と第2の永久磁石134の中点位置に保持している。
このような構造からなるバルブポジショナ100において、バルブポジショナ100に入力信号10 が供給されていないとき、フラッパ121は電空変換器112の永久磁石136による磁気吸引力とフラッパ121を支持している支点ばね138のばね力がバランスする所定の位置に保持されている。このとき、供給空気圧Psup は、配管137を通ってノズル122に供給されているが、そのノズル背圧PN は、フラッパ121が揺動しないため一定に保持されている。そのため、パイロットリレー113の出力空気圧Pout も一定である。
バルブポジショナ100への入力信号I0 は、例えば4mAから20mAの範囲で変化し、4mAの時にバルブ1を全閉状態に保持し、20mAの時に全開状態に保持する。
バルブ1の全閉状態において、駆動軸Aは最下位置に保持され、フィードバックレバー109は下方に最大角度回動した位置に保持されている。
この状態において、電空変換器112の励磁コイル139に電流(I0 )を流すと、フラッパ121には支点ばね138を中心として供給電流に比例した反時計方向回りの回転トルクが発生し、フラッパ121を傾けてノズル122に近づける。したがって、ノズルギャップGが減少してノズル背圧が増大し、電流信号に比例した空気圧信号PN を発生する。そして、この空気圧信号PN は、パイロットリレー113によって増幅された後、出力空気圧Pout として操作器2に出力され、これにより駆動軸Aが上方に移動してバルブ1を開く。また、駆動軸Aの動きは、第1、第3の永久磁石133、135間の斥力と、第2、第3の永久磁石134、135間の斥力とによる保持力によってフィードバックレバー109を図3に示すように上方へ回動させる。このとき、磁石保持部材131も、第1、第3の永久磁石133、135間の斥力と、第2、第3の永久磁石134、135間の斥力がバランスするようにフィードバックレバー109と同方向に同角度回動し、第1、第2、第3の永久磁石133、134、135を並行に保持する。
フィードバックレバー109が回動すると、その回転軸114の回動角度を角度センサ110が検出して電気信号I1 に変換し、制御演算部111にフィードバック信号として入力する。制御演算部11は、電気信号I0 とフィードバック信号I1 とを比較しその差が零になるように電空変換器112にフィードバックすることにより、フラッパ121の動きを安定化させる。バルブ1が弁開状態から全閉状態に戻るときは、駆動軸Aの下降によりフィードバックレバー109が下方に回動するため、バルブポジショナ100は上記と反対の動作をする。したがって、バルブ1を入力信号I0 によって自動制御することができる。
このようなフィードバック機構106を備えたバルブポジショナ100においては、第1、第3の永久磁石133、135間の斥力と、第2、第3の永久磁石134、135間の斥力とが釣り合い状態を保つ位置にフィードバックレバー109を保持しているので、フィードバックレバー109が第1、第2の永久磁石133、134さらには磁石取付部材131に対して接触することがなく、したがって接触による摩耗によってフィードバックレバー109が折れ曲がったり、破損したりすることがなく、バルブポジショナ100の耐久性を向上させるとともに、弁軸102の実作動量を高精度に検出でき、制御性を長期間にわたって安定した状態に維持することができる。また、フィードバックレバー109が非接触状態に保持されて摩耗しなければ、高い取付精度が要求されず、摩耗による部品交換やそれに伴う調整も不要である。
図5および図6は、本発明に係るフィードバック機構の他の実施の形態を示す正面図および側断面図である。なお、図1〜図4と同一構成部品、部分については同一符号をもって示し、その説明を適宜省略する。
磁石保持部材131は、磁性材料によって側面視コ字状に形成されることにより、垂直部131aと、この垂直部131aの上下端に一体に対設された駆動軸Aの移動方向において対向する一対の水平部、言い換えれば第1、第2の磁石保持部131b、13cとを一体に備え、連結プレート140および第1、第2の永久磁石133、134とともに閉磁路142を形成している。
連結プレート140は、同じく磁性材料によって磁石保持部材131と同一幅の矩形に形成され、上下端が第1、第2の磁石保持部131b、131cの先端面に固定されることにより、磁石保持部材131の前面開放部を塞いでいる。
このような構造からなるフィードバック機構141においては、閉磁路142によって第1、第2、第3の永久磁石133、134、135の漏れ磁束を少なくすることができ、金属ゴミが磁石保持部材131や連結プレート140やフィードバックレバー109に吸着されるのを防ぐことができる。
図7および図8は、本発明に係るフィードバック機構のさらに他の実施の形態を示す正面図および側断面図である。
本実施の形態は、第1、第3の永久磁石133、135間の磁気ギャップG1 を第2、第3の永久磁石134、135間の磁気ギャップG2 よりも大きくしたものである。このため、第1の永久磁石133と第2の永久磁石134の各々の磁力を互いに異ならせ、第1の永久磁石133の磁力を第2の磁石134の磁力よりも大きくしている。第3の永久磁石135の磁力は、第2の磁石134の磁力と略等しく設定されている。これにより、第1の永久磁石133と第3の永久磁石135間の斥力が、第2の永久磁石134と第3の永久磁石135間の斥力よりも大きくなり、フィードバックレバー109を第1、第2の永久磁石133、134の中点位置より下方で、第2の永久磁石134と非接触状態で上方位置に保持している。
このような構成からなるフィードバック機構145においては、フィードバックレバー109の遊動を防止することができる。すなわち、第1の永久磁石133と第3の永久磁石135間の斥力と、第2の永久磁石134と第3の永久磁石135間の斥力を同じにした図1および図5に示す実施の形態においては、フィードバックレバー109が外部振動によって遊動すると、慣性によって遊動し続けようとするため、共振したり中点位置に戻って停止するまでに時間がかかる。これに対して、第1の永久磁石133と第3の永久磁石135間の斥力を、第2の永久磁石134と第3の永久磁石135間の斥力より大きくしておくと、両斥力の差によりフィードバックレバー109を中点位置より下方の定められた位置に復帰させようとする力が働くため、慣性による遊動が少なく元の位置に速く復帰して停止する。したがって、共振したりすることがない。
なお、上記した実施の形態においては、いずれも作動軸101と弁軸102とを連結する連結部材103に磁石保持部材131を取付けた例を示したが、本発明は連結部材103に何ら特定されるものではなく、作動軸101または弁軸102に直接回転自在に取付けることも可能であり、要は、駆動軸Aのフィードバックレバー109に対応する箇所に取付ければよい。
また、図7および図8に示す実施の形態においては、第1の永久磁石133の磁力を第2の永久磁石134の磁力より大きくしたが、この逆であってもよい。
1…バルブ、2…操作器、100…バルブポジショナ、101…作動軸、102…弁軸、106…フィードバック機構、109…フィードバックレバー、110…角度センサ、111…制御演算部、112…電空変換器、113…パイロットリレー、131…磁石保持部材、131a…垂直部、131b…第1の磁石保持部、131c…第2の磁石保持部、133…第1の永久磁石、134…第2の永久磁石、135…第3の永久磁石、140…連結プレート、141、145…フィードバック機構、142…閉磁路、A…駆動軸。

Claims (4)

  1. 駆動軸に回動自在に軸支され、前記駆動軸の移動方向において互いに対向する第1、第2の磁石保持部を有する磁石保持部材と、
    前記磁石保持部材の第1、第2の磁石保持部に互いに異極どうしを対向させて固定された第1、第2の永久磁石と、
    前記第1、第2の永久磁石間の空間にこれら磁石と非接触状態で挿入された揺動自在なフィードバックレバーと、
    前記第1、第2の永久磁石と同極どうしが互いに対向するように前記フィードバックレバーに設けられた第3の永久磁石とを備えたことを特徴とするフィードバック機構。
  2. 請求項1記載のフィードバック機構において、
    前記磁石保持部材は、磁性材料によって形成され、垂直部と、この垂直部の上下端に一体に対設された第1、第2の磁石保持部とからなり、
    前記第1、第2の磁石保持部は、先端間が磁性材料からなる連結プレートによって連結され、
    前記磁石保持部材と前記連結プレートと前記第1、第2の磁石とにより閉磁路を形成することを特徴とするフィードバック機構。
  3. 請求項1または2記載のフィードバック機構において、
    前記第1の永久磁石と前記第2の永久磁石の各々の磁力が互いに異なることを特徴とするフィードバック機構。
  4. 制御演算部、電空変換器、パイロットリレー等を備え、バルブを駆動制御するバルブポジショナにおいて、
    請求項1ないし3のうちのいずれか一項記載のフィードバック機構を具備したことを特徴とするバルブポジショナ。
JP2010054520A 2010-03-11 2010-03-11 フィードバック機構およびバルブポジショナ Expired - Fee Related JP5438558B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010054520A JP5438558B2 (ja) 2010-03-11 2010-03-11 フィードバック機構およびバルブポジショナ
PCT/JP2011/055800 WO2011111827A1 (ja) 2010-03-11 2011-03-11 フィードバック機構およびバルブポジショナ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010054520A JP5438558B2 (ja) 2010-03-11 2010-03-11 フィードバック機構およびバルブポジショナ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011185422A true JP2011185422A (ja) 2011-09-22
JP5438558B2 JP5438558B2 (ja) 2014-03-12

Family

ID=44791944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010054520A Expired - Fee Related JP5438558B2 (ja) 2010-03-11 2010-03-11 フィードバック機構およびバルブポジショナ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5438558B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014109328A (ja) * 2012-12-03 2014-06-12 Yokogawa Denshikiki Co Ltd サーボバルブ駆動装置及びサーボバルブ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014109328A (ja) * 2012-12-03 2014-06-12 Yokogawa Denshikiki Co Ltd サーボバルブ駆動装置及びサーボバルブ

Also Published As

Publication number Publication date
JP5438558B2 (ja) 2014-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8763985B2 (en) Plate rotating device, exhaust path opening degree changing device, exhausted device, transfer device, beam device, and gate valve
US6776389B2 (en) Feedback mechanism and valve positioner
JP3015995B2 (ja) デジタル電空ポジショナ
JP5438558B2 (ja) フィードバック機構およびバルブポジショナ
US10197166B2 (en) Vacuum gate valve
WO2011111827A1 (ja) フィードバック機構およびバルブポジショナ
WO2019159698A1 (ja) 流体制御弁
JP5438559B2 (ja) フィードバック機構およびバルブポジショナ
JP5242547B2 (ja) ロッド用の変位センサ
JP5438560B2 (ja) フィードバック機構およびバルブポジショナ
JPH08324951A (ja) リフティングマグネット
JP3532396B2 (ja) バルブポジショナのフィードバック機構
JP5387006B2 (ja) 回転機
JP2001099101A (ja) ノズルフラッパ機構
JP3335568B2 (ja) 信号変換部内蔵型計器
JP2013104708A (ja) 角度センサ
JP2722035B2 (ja) 電空変換器
WO2020008671A1 (ja) 流体通路開閉装置、流量制御装置および血圧計
JP2006288166A (ja) 双方向の電磁駆動力を利用したアクチュエータ
JP3143845B2 (ja) 電空変換器
JP2536791B2 (ja) 電空変換器
JP2006316949A (ja) ポジショナーに用いるゼロ調整アーム
JP2020097944A (ja) 流体制御弁及びこれを用いた遮断装置
JP2013128087A (ja) 低いヒステリシス特性を有する電空変換器
JPH08177801A (ja) ノズルフラッパ機構

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120921

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131210

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131213

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5438558

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees