JP2011183256A - 気体分離装置及びその方法 - Google Patents

気体分離装置及びその方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2011183256A
JP2011183256A JP2010048574A JP2010048574A JP2011183256A JP 2011183256 A JP2011183256 A JP 2011183256A JP 2010048574 A JP2010048574 A JP 2010048574A JP 2010048574 A JP2010048574 A JP 2010048574A JP 2011183256 A JP2011183256 A JP 2011183256A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
gas
tank
aftercooler
cooling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010048574A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Katsumoto
武 勝本
Haruhiko Shinoda
治彦 信田
Masanori Sugimoto
正則 杉本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd filed Critical Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Priority to JP2010048574A priority Critical patent/JP2011183256A/ja
Publication of JP2011183256A publication Critical patent/JP2011183256A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】本発明は、省スペース化を実現しつつ、純度の高い気体を供給する気体分離装置及びその方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明における気体分離装置は、空気を圧縮する圧縮機と、前記圧縮機により圧縮された空気を冷却するアフタークーラーと、前記アフタークーラーにより冷却された空気の除湿を行うドライヤーと、前記ドライヤーにより除湿された圧縮空気を貯留する空気タンクとを備え、前記空気タンクに貯留された空気から所定の気体を分離し、分離時に生じる排気をアフタークーラーに供給することを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は窒素または酸素等の製品ガスを大気から抽出する装置またはその方法に関するものである。
特許文献1の気体分離装置は、コンプレッサーからの圧縮空気を空気ドライヤーにより乾燥させて吸着剤が充填された吸着槽に供給し、該圧縮空気を複数種の気体に分離している。
また、特許文献2の気体分離装置は、圧縮機による圧縮空気を冷凍式ドライヤーにより除湿して、空気槽に供給し、空気槽の空気を吸着槽に供給し、製品ガスを分離している。
また、特許文献3のPSA装置は、圧縮機を通った圧縮ガスを冷却器、水分離器に供給した後、供給緩衝器を経て、吸着剤を含む容器に送っている。
また、特許文献4の気体分離装置は、圧縮機から吐出された圧縮空気を空気タンクに貯留した後、冷凍ドライヤーにより除湿を行い、吸気槽に乾燥した圧縮空気を供給し、気体を分離している。
特開平3−157117 特開2009−82782 特開平4−265104 特開2008−307504
特許文献1の窒素ガス発生装置は、コンプレッサーと空気ドライヤーの高分子分離膜との間にアフタークーラーがないため、コンプレッサーで圧縮された高温の圧縮空気が空気ドライヤーに供給され、効率よく除湿を行うことができなく、これにより、純度の高い気体を分離することができなかった。
また、特許文献2の空気を分離するための装置は冷凍式ドライヤーを用いているため、省スペース化を実現するのが困難であった。
また、特許文献3のPSA装置は、圧縮機からの高温の圧縮ガスを直接冷却器、水分離器に供給しているため、十分な冷却を行った後、効率よく除湿を行うためには、冷却器、水分離器を特許文献2のような冷凍式ドライヤーにしなければならなく、省スペース化を実現するのが困難であった。
また、特許文献4の気体分離装置は、空気タンクの後にドライヤー配置しているため、吸着槽の切り替わり時において、ドライヤー内を急激に空気が流れるため、除湿不足が発生する他、析出したドレン水を吸着槽に供給してしまうという問題点があった。
本発明は、気体の分離時に生じる排気を利用することにより、省スペース化を実現しつつ、純度の高い気体を供給する気体分離装置及びその方法を提供することを目的とする。
上述した課題を解決するために本発明における気体分離装置は、空気を圧縮する圧縮機と、前記圧縮機により圧縮された空気を冷却するアフタークーラーと、前記アフタークーラーにより冷却された空気を除湿するドライヤーと、前記ドライヤーにより除湿された圧縮空気を貯留する空気タンクとを備え、前記空気タンクに貯留された空気から所定の気体を分離する気体分離装置であって、分離時に生じる排気を前記アフタークーラーに供給することを特徴とするものである。
また、本発明における気体分離方法は、空気を圧縮する圧縮工程と、前記圧縮工程による圧縮された空気を冷却する冷却工程と、前記冷却工程により冷却された空気を除湿する除湿工程と、前記除湿工程により除湿された空気を貯留する貯蔵工程と、前記貯蔵工程により貯留された空気から所定の気体を分離する分離工程とを備え、前記冷却工程では前記分離工程で生じた排気により冷却を行うことを特徴とするものである。
本発明によれば、省スペース化を実現しつつ、純度の高い気体を供給する気体分離装置及びその方法を提供することができる。
本発明の実施例1による気体分離装置を示す概略構成図である。 本発明の実施例2、3による気体分離装置を示す概略構成図である。
以下、本発明に係る各実施例について図面に基づいて説明する。
本発明の実施例1について図1を用いて説明する。
図1に示す本実施例における気体分離装置1はPSA式の気体分離装置である。気体分離装置1は、空気を圧縮する圧縮機2と、この圧縮機2により生成された圧縮空気を冷却するアフタークーラー3と、アフタークーラー3で析出したドレン水を回収しながら不純物を除去するドレンフィルター4、アフタークーラー4で冷却された圧縮空気を除湿するエアードライヤー5と、エアードライヤー5で除湿後の圧縮空気を貯留させる空気槽(空気タンク)7と、空気槽7から圧縮空気の逆流を防止するための逆止弁6と、圧縮空気から析出するドレン水と塵埃等を除去するエアーフィルター8を有している。空気槽7で貯留された圧縮空気は後述の一対の吸着槽19に供給され、空気槽7で貯留された圧縮空気から所定の気体が分離される。本実施例では、一対の吸着槽19で酸素を吸着することにより、窒素を分離する場合について説明するが、窒素を吸着することにより酸素を分離してもよいし、大気以外の圧縮空気から他の気体を分離するものであってもよい。
排気ファン9は、上記の冷却、除湿、貯留、フィルタリングをおこなっている筐体中の換気および排気をおこなうが、排気風がアフタークーラー3を通過するよう、配置されている。
圧縮機2として、往復動式、スクリュー式あるいはスクロール式の圧縮機が用いられている。
アフタークーラー3は複数回屈曲した配管により形成され、内部を圧縮空気が流通し、排気風を配管の外部に供給することにより冷却を行うものである。アフタークーラー3は直線状に配管を形成した場合よりも表面積が増加する形状であれば、複数回屈曲する形状でなくても例えば、渦巻状であってもよい。ここで、圧縮機2により生成された圧縮空気は高温であり、高温のままエアードライヤー5に圧縮空気が供給されると、高分子膜式のエアードライヤーを水蒸気が通過してしまい、効率よく除湿を行うことができない。そこで、特許文献4のように、除湿を行う前に空気タンクに貯留することにより、常温まで圧縮空気を冷却する方法もある。しかし、この場合、空気タンクの後に高分子膜式のエアードライヤー5を配置することになるので、高分子膜式のエアードライヤーに急激に空気が流れ、高分子膜が損傷する可能性があった。そこで、本実施例のように空気槽7を高分子膜式のエアードライヤー5よりも後に配置する必要があった。一方、このように配置した場合は特に圧縮機2からの圧縮空気を効率よく冷却する必要がある。一方、特許文献2の冷凍式ドライヤーは消費電力が大きく、本実施例の高分子膜式ドライヤーよりも構造が複雑であるため、配置するためのスペースが必要であり、コストを抑えるのも困難である。従って、特許文献2のように冷凍式ドライヤーを用いた場合は、低消費電力化・省スペース化・低コスト化を実現するのが困難であり、特許文献3の場合も冷凍式ドライヤーを用いないと十分な冷却は実現できなかった。そこで、本実施例では、アフタークーラー3に気体の分離時に生じる排気を供給することにより圧縮空気を冷却している。後述の通り、気体の分離時に生じる排気は断熱膨張により、断熱膨張するため、室温に比べ低い温度となっており、アフタークーラー3に供給することにより効率よく冷却を行うことがでできる。
エアードライヤー5は高分子膜式エアードライヤーが用いられている。高分子膜式エアードライヤーは、高分子の膜によって水分を通さないようにするものであり、特許文献2の冷凍式ドライヤーを用いた場合と比較して、低消費電力・省スペース・低コストである。
空気槽7には、空気槽7からの圧縮空気を流す配管16が接続されており、この配管16の端末位置には一対の配管17が接続されている。これら配管17には、それぞれ流路を開閉する供給弁18が途中に設けられており、端末には酸素分子を吸着して窒素ガスを製品ガスとして取り出すための吸着槽19がそれぞれ接続されている。また、一対の配管17には、それぞれ供給弁18と吸着槽19との間位置に配管21が接続されており、これら配管21には、途中に流路を開閉する排気弁22が、端末に消音用のフィルタ付きの排気サイレンサ23が設けられている。また、一対の配管17には、互いの配管21と吸着槽19との間位置を結ぶように配管25が接続されており、この配管25には流路を開閉する一対の下均圧弁26が設けられている。
一対の吸着槽19には、例えば、酸素分子を吸着する吸着手段である吸着剤が充填されている。吸着剤は、具体的には分子ふるいカーボンやゼオライト等を用いている。
一対の吸着槽19には、端末位置で互いに合流する配管31がそれぞれ接続されている。これら配管31には、互いの吸着槽19側同士を結ぶように配管32が接続されており、この配管32には絞り33が設けられている。また、一対の配管31には、互いの配管32よりも吸着槽19とは反対側同士を結ぶように配管35が接続されており、この配管35には流路を開閉する一対の上均圧弁36が設けられている。また、一対の配管31には、それぞれの配管35よりも吸着槽19とは反対側に流路を開閉する取出弁38がそれぞれ設けられている。
一対の配管31の合流位置には配管40が接続されており、この配管40の端末位置には窒素ガスを貯留させる製品槽としての窒素槽41が接続されている。この窒素槽41には、端末位置が吐出口42とされた配管43が接続されており、この配管43の途中位置には窒素槽41側から順に、塵埃等を除去するとともにガスの流量を調整するフィルターレギュレーター44、流路を開閉する吐出弁45、ガスの流量を調整する流量調整弁46が設けられている。
配管43のフィルターレギュレーター44と吐出弁45との間位置には配管48および配管49が接続されており、配管48には、配管43側から順に、流路を開閉する開閉弁50と、ガスの流量を調整する流量調整弁51と、サイレンサ52とが設けられている。配管49には、配管43側から順に、流路を開閉する開閉弁54と、ガスの流量を調整する流量調整弁55と、酸素濃度を検出する酸素センサー56とが設けられている。
酸素センサー56は制御部60に通信可能に接続されており、検出信号を制御部60に出力する。また、供給弁18、排気弁22、下均圧弁26、上均圧弁36、取出弁38、吐出弁45、流量調整弁46、開閉弁50、流量調整弁51、および開閉弁54、制御部60に通信可能に接続されており、制御部60からの指令で作動する。
ここまで、気体分離装置1の構成を説明してきたが、ここで気体分離装置において行われる気体分離方法について説明する。
気体分離装置1では、圧縮機2によって空気を圧縮する圧縮工程、圧縮工程により圧縮された空気をアフタークーラー2により冷却する冷却工程、冷却工程により冷却された空気をエアードライヤー5により除湿する除湿工程、除湿工程により除湿された空気を空気槽7に貯留する貯蔵工程、貯蔵工程により貯留された空気から所定の気体を分離する分離工程が行わる。
気体分離装置1の分離工程では、以下の(a)〜(d)の工程を順次行われる。
(a)吸着工程:圧縮機2により圧縮され空気槽7に貯留された圧縮空気を、供給弁18を開くことで、吸着剤が充填された吸着槽19に導入するとともに、窒素槽41内に残存する窒素ガスを、取出弁38を開くことで吸着槽19に還流して吸着槽19内を昇圧させ、圧力を利用して吸着剤に酸素分子を吸着させる工程。
(b)取出工程:吸着工程から引き続いて、空気槽7から圧縮空気を吸着槽19に導入し続けると同時に、吸着剤により分離生成された窒素ガスを吸着槽19より取り出して窒素槽41に貯留させる工程。
(c)均圧工程:上均圧弁36および下均圧弁26の開閉により取出工程終了後の一対の吸着槽19の均圧化を図り、次回の吸着工程の吸着効率を高めて、より高純度の窒素ガスを生成するための工程。なお、ここでは吸着槽19が複数ある場合について説明したが、吸着槽19は1つであってもよく、その場合は均圧工程は不要である。
(d)再生工程:均圧工程終了後の吸着槽19内を、排気弁22を開くことにより配管21を介して、吸着剤に吸着された酸素分子を脱着することにより吸着剤を再生する工程。なお、この再生工程において、排気弁22以外の吸着槽19に関連する供給弁18、下均圧弁26、上均圧弁36および取出弁38は、閉状態とする。
なお、本実施例では(d)再生工程において、排気サイレンサ23を、アフタークーラー3の排気風上流側近傍に設置し、吸着槽19内を大気開放して、吸着剤に吸着された酸素分子を脱着することにより吸着剤を再生させている。
この排気は、吸着槽19の加圧状態から断熱膨張するため、室温に比べ低い温度となっており、アフタークーラー3の近傍で大気開放させることで、低温の気体がアフタークーラー3を通過し、排気ファン10により排気されるため、圧縮空気の冷却効率を上げることが可能となる。
制御部60は、これらの各工程(a)〜(d)の切り替えを、あらかじめ設定された時間、あるいは空気槽6、吸着槽19および窒素槽41等の圧力条件に基づいて、吸着槽19に配置された供給弁18、排気弁22、下均圧弁26、上均圧弁36および取出弁38の開閉を制御することにより行う。しかも、各工程(a)〜(d)の切り替えを、各吸着槽19毎に繰り返し行い、各吸着槽19における工程が連携して実行されるように、すなわち、一方の吸着槽19で吸着工程および取出工程が完了し、他方の吸着槽19で再生工程が完了した後、均圧工程を行うように、制御部60は制御する。
このように、PSA式気体分離装置では、空気槽7に貯留した圧縮空気が供給弁18の開閉により、急激に吸着槽19に流入するため、空気槽7に貯蔵する前にエアードライヤー5にて除湿することで、吸着槽19に供給される圧縮空気の除湿不足を防止することができる。また、空気槽7には除湿された圧縮空気が貯蔵されるため、タンク内で発生するドレン水が減少できるため、鉄製のタンクなどにおいては、錆の発生を減少させることができる。
本発明の実施例2について図2を用いて説明する。ここで、実施例1と同じ構成については同一の符号で示し、その説明を省略する。
本実施例では、圧縮機2とアフタークーラー3との間に仕切り板を配置して区画したことを特徴とする。また、本実施例では圧縮機2とアフタークーラー3との間に仕切りを設けたため、発熱の大きい圧縮機2を個別に冷却する排気ファン10を設けた。
仕切りを設けることで、発熱の大きい圧縮機2の熱がアフタークーラー3に伝わりにくくなる。これにより、アフタークーラー3を通過する排気はより低温となるため、さらに冷却効率を上げることが可能となる。また、アフタークーラー3には、気体分離時に生じる排気が供給される。従って、圧縮機2がこの排気を吸込むと圧縮空気中に分離によって得ようとする気体の濃度が低くなり、気体の生成効率が低くなる。そこで、本実施例では、仕切りを設けることにより、気体の分離時に生じる排気を圧縮機2が吸込むことがなくなり、気体の生成効率を下がるのを防止することができる。
本発明の実施例2について図2を用いて説明する。ここで、実施例2と同じ構成については同一の符号で示し、その説明を省略する。
本実施例では、圧縮機2をアフタークーラー3、エアードライヤー5、空気槽7よりも上に配置した。
圧縮機2は発熱により高温になるため、アフタークーラー3、エアードライヤー5、空気槽7よりも上に配置することで、圧縮機2の熱がアフタークーラー3、エアードライヤー5、空気槽7に伝わるのを防止することができる。
これまで説明してきた実施例は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されない。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
1・・・気体分離装置
2・・・圧縮機
3・・・アフタークーラー
4・・・ドレンフィルター
5・・・エアードライヤー
6・・・逆止弁(チェックバルブ)
7・・・空気槽
8・・・エアーフィルター
9・・・排気ファン
10・・・排気ファン(圧縮機用)
18・・・供給弁
19・・・吸着槽
22・・・排気弁
23・・・排気口
26・・・下均圧弁
33・・・オリフィス
36・・・上均圧弁
38・・・取出弁
41・・・窒素槽
42・・・吐出口
44・・・フィルターレギュレーター
45・・・吐出弁
46・・・流量調整弁
50・・・開閉弁(排気用)
51・・・流量調整弁(排気用)
52・・・サイレンサ
54・・・開閉弁(センサー用)
55・・・流量調整弁(センサー用)
56・・・酸素センサー
60・・・制御部

Claims (11)

  1. 空気を圧縮する圧縮機と、
    前記圧縮機により圧縮された空気を冷却するアフタークーラーと、
    前記アフタークーラーにより冷却された空気を除湿するドライヤーと、
    前記ドライヤーにより除湿された圧縮空気を貯留する空気タンクとを備え、
    前記空気タンクに貯留された空気から所定の気体を分離する気体分離装置であって、
    分離時に生じる排気を前記アフタークーラーに供給することを特徴とする気体分離装置。
  2. 前記空気タンクに貯留された空気の一部を吸着する吸着槽を備えることを特徴とする請求項1に記載の気体分離装置。
  3. 前記アフタークーラーは、内部を前記圧縮された空気が流通し、複数回屈曲した配管により形成されることを特徴とする請求項1に記載の気体分離装置。
  4. 前記ドライヤーは高分子膜により除湿を行うことを特徴とする請求項1に記載の気体分離装置。
  5. 前記排気は、吸着槽に吸着された空気を脱着することにより生じることを特徴とする請求項2に記載の気体分離装置。
  6. 前記アフタークーラーと前記圧縮機との間に仕切り板を配置することを特徴とする請求項1に記載の気体分離装置。
  7. 前記圧縮機を前記アフタークーラー、前記ドライヤー及び前記空気槽よりも上に配置することを特徴とする請求項6に記載の気体分離装置。
  8. 空気を圧縮する圧縮工程と、
    前記圧縮工程による圧縮された空気を冷却する冷却工程と、
    前記冷却工程により冷却された空気を除湿する除湿工程と、
    前記除湿工程により除湿された空気を貯留する貯蔵工程と、
    前記貯蔵工程により貯留された空気から所定の気体を分離する分離工程とを備え、
    前記冷却工程では前記分離工程で生じた排気により冷却を行うことを特徴とする気体分離方法。
  9. 前記分離工程は、
    貯留された空気の一部を吸着槽に吸着する吸着工程と、
    前記吸着槽に吸着されなかった所定の気体を取り出す取出工程と、
    前記吸着槽に吸着した空気を脱着する再生工程とを備えることを特徴とする請求項8に記載の気体分離方法。
  10. 前記除湿工程では、高分子膜に前記冷却工程により冷却された空気を通すことを特徴とする請求項8に記載の気体分離方法。
  11. 前記冷却工程では、前記再生工程により脱着した空気を前記圧縮工程により圧縮された空気が流通する配管に供給することにより冷却することを特徴とする請求項9に記載の気体分離方法。
JP2010048574A 2010-03-05 2010-03-05 気体分離装置及びその方法 Pending JP2011183256A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010048574A JP2011183256A (ja) 2010-03-05 2010-03-05 気体分離装置及びその方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010048574A JP2011183256A (ja) 2010-03-05 2010-03-05 気体分離装置及びその方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011183256A true JP2011183256A (ja) 2011-09-22

Family

ID=44790187

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010048574A Pending JP2011183256A (ja) 2010-03-05 2010-03-05 気体分離装置及びその方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2011183256A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015134348A (ja) * 2014-01-17 2015-07-27 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh 気体混合物から凝縮除去可能な異物を分離するための方法、装置、コンピュータプログラムならびに記憶媒体

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01313694A (ja) * 1988-06-10 1989-12-19 Hitachi Ltd パッケージ形スクリュー圧縮機
JPH02157016A (ja) * 1988-12-09 1990-06-15 Ube Ind Ltd 乾燥ガスの製法
JPH09122432A (ja) * 1995-11-01 1997-05-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 圧力スイング吸着法によるガス分離装置
JP2000072406A (ja) * 1998-08-20 2000-03-07 Orion Mach Co Ltd 酸素供給装置
JP2006015221A (ja) * 2004-06-30 2006-01-19 Hitachi Ltd 気体分離装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01313694A (ja) * 1988-06-10 1989-12-19 Hitachi Ltd パッケージ形スクリュー圧縮機
JPH02157016A (ja) * 1988-12-09 1990-06-15 Ube Ind Ltd 乾燥ガスの製法
JPH09122432A (ja) * 1995-11-01 1997-05-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 圧力スイング吸着法によるガス分離装置
JP2000072406A (ja) * 1998-08-20 2000-03-07 Orion Mach Co Ltd 酸素供給装置
JP2006015221A (ja) * 2004-06-30 2006-01-19 Hitachi Ltd 気体分離装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015134348A (ja) * 2014-01-17 2015-07-27 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh 気体混合物から凝縮除去可能な異物を分離するための方法、装置、コンピュータプログラムならびに記憶媒体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9429359B2 (en) Method for drying a wet CO2 rich gas stream from an oxy-combustion process
JP2014030776A (ja) 気体分離装置
JP2006258302A (ja) 空気液化分離装置における原料空気の精製方法
JP5814145B2 (ja) 気体分離装置
US10464010B2 (en) Method and apparatus for compressing and drying a gas
JP6568396B2 (ja) 気体分離装置、及び、それに用いる圧縮機冷却方法
JP5864994B2 (ja) 気体分離装置および方法
JP2011183256A (ja) 気体分離装置及びその方法
JP7064835B2 (ja) 気体分離装置
JP6313638B2 (ja) 圧縮装置およびそれを用いた気体分離装置
JP2004262743A (ja) 酸素濃縮方法および酸素濃縮装置
JP2009082782A (ja) 気体分離装置
JP5380787B2 (ja) 酸素濃縮器
JP6239435B2 (ja) 気体分離装置
JP5939917B2 (ja) 気体分離装置
JP6280715B2 (ja) 気体分離装置
JP6823979B2 (ja) 気体分離装置
TWI634263B (zh) Gas booster compression device and gas compressor
JP2007153629A (ja) 窒素ガス発生装置
JP2012135701A (ja) 無給油式乾燥圧縮空気製造システム
CN116196736A (zh) 一种干空气供应系统及控制方法
JP2010234345A (ja) 気体分離装置
JP2019036468A (ja) 燃料電池システム
JPH05111609A (ja) ヘリウムガス供給方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120611

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120611

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130418

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130514

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130708

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20140422