JP2011178120A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの洗浄方法 - Google Patents
液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの洗浄方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】液体を吐出するノズル127と、ノズル127と連通し、ノズル127から吐出する液体を収容する圧力室124と、圧力室124を構成する壁面に設けられ、圧力室124内の液体を加圧する圧電体アクチュエータ125と、を備え、圧電体アクチュエータは、超音波発振器能を併せ持つことを特徴とする液体吐出ヘッド129、および、液体吐出ヘッド129の洗浄方法である。
【選択図】図11
Description
図1〜図10を用いて、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法を説明する。
図1には、表面絶縁基板であるSOI基板(SiO2の絶縁膜を備えたシリコン基板、以下、基板と記載する。)110を図示する。図1に示す基板110は、シリコン基材111と、シリコン酸化膜からなる絶縁層112と、シリコン基材114と、シリコン酸化膜からなる絶縁層116と、を下から順に積層した構造を有している。
下部電極(金属膜)118が所定の形状(パターン)に加工されると、下部電極118の上側(下部電極118の絶縁層116と反対側)の面には、スパッタ法、CVD法、ゾルゲル法等のエピタキシャル成長法による薄膜形成プロセスを用いて、配向性を持つ圧電体膜120が成膜される。圧電体膜120には、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛、Pb(Zr,Ti)O3)が好適に用いられる。図4には、圧電体膜120が成膜された状態を図示する。
圧電体膜120が成膜されると、圧電体膜120の上側(圧電体膜120の下部電極118と反対側)の面には、スパッタ、蒸着等の手法を用いて上部電極となる金属膜122が成膜される。金属膜(上部電極)122には、イリジウム(Ir)、プラチナ(Pt)、チタン(Ti)、金(Au)などが好適に用いられる。図5には、上部電極となる金属膜122が成膜された状態を図示する。
次に、上部電極122の圧電体膜120の反対側面に拘束板123が成膜される。拘束板123の成膜には、スパッタ法、CVD法などの薄膜成膜技術が用いられ、拘束板123の材料にはSiO2、Al2O3、ZrO2などの酸化金属が用いられる。
拘束板123が成膜されると、下部電極118の取出となる部分の拘束板123及び圧電体膜120がエッチングによって除去される(配線層形成工程)。当該配線層形成工程は、200℃〜350℃の温度で行われる。なお、配線層形成工程の図示は省略する。
次に、上部電極122の取出となる部分(後述するFPCが接合される部分)の拘束板123がエッチングにより除去される。図8には、拘束板123が除去されて上部電極122の一部が露出した状態を図示する。
次に、エッチング等の手法を用いて、シリコン基材111に圧力室となる開口(形状)124が形成される。図9には、圧力室となる開口124が形成された状態を図示する。
図9に示すように、圧力室124が形成されると、基板110の圧力室124が形成される側には、インク流路となる構造(溝、穴等)を有する流路基板126が接合される。基板110と流路基板126とを接合する際には、インク流路と圧力室124が正確に位置合わせされる。
図11に液体吐出ヘッドの駆動回路1の概念図を示す。
圧電体膜を薄くすることで、駆動用の圧電体膜およびメンテナンス用の圧電体膜として好適に用いることができる。
次に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
ターゲット印加電圧:2.5W/cm2
基板−ターゲット間距離:60mm
真空度:0.5Pa
成膜ガス:Ar/O2混合ガス(O2分圧1.3モル%)
その後、通常のフォトリソグラフィー法により上部電極をパターン形成した。上部電極は、50nm厚のTi層と200nm厚のPt層との積層構造とした。その後、上部電極側にSiの犠牲基板を直接圧着接合した。次にSOI基板の裏面側をリアクティブイオンエッチングしてSiO2ストップ層までエッチングし、振動板及び圧力室となる凹構造を形成した。振動板の厚みは10μm程度とした。
インク吐出を連続的に100億パルス動作させると、ノズル付近や圧力室内部にインク固化物や気泡が発生し、吐出不良ノズルが確認された。
Claims (6)
- 液体を吐出するノズルと、
前記ノズルと連通し、前記ノズルから吐出する液体を収容する圧力室と、
前記圧力室を構成する壁面に設けられ、前記圧力室内の液体を加圧する圧電体アクチュエータと、を備え、
前記圧電体アクチュエータは、超音波発振機能を併せ持つことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記液体を吐出する吐出駆動用の回路と超音波発振用の回路の2種類の駆動回路と、それぞれの前記駆動回路を制御する制御回路を備えていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記圧電体アクチュエータを構成する圧電体膜の膜厚が、5μm以上15μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記圧電体アクチュエータは、振動板と、前記振動板の上面に形成される下部電極と、前記下部電極の前記振動板と反対側の上面に成膜される圧電体膜と、前記圧電体膜の前記下部電極と反対側面に形成される上部電極と、前記上部電極の前記圧電体膜と反対側面に設けられる拘束板と、を備え、
前記振動板と、前記下部電極と、前記圧電体膜と、は接着剤を介さずに成膜されていることを特徴とする請求項1から3いずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - d33モード超音波周波数が100MHz以上であることを特徴とする請求項1から4いずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 液体を吐出するノズルと、前記ノズルと連通し、前記ノズルから吐出する液体を収容する圧力室と、前記圧力室を構成する壁面に設けられ、前記圧力室内の液体を加圧する圧電体アクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの洗浄方法であって、
前記圧電体アクチュエータを超音波発振により駆動させて、洗浄を行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの洗浄方法。
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---|---|---|---|---|
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JPH10315467A (ja) * | 1997-05-21 | 1998-12-02 | Minolta Co Ltd | インクジェット記録装置 |
JP2005231309A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-09-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液吐出装置及び画像形成装置並びに気泡処理方法 |
JP2007088442A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-04-05 | Canon Inc | 圧電体素子、それを用いた液体吐出ヘッド、および液体吐出装置 |
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