JP2011176153A - 薄膜トランジスタ基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材1と、基材1上に設けられた透明導電膜からなるゲート電極2と、ゲート電極2を覆って平坦化するように設けられたゲート絶縁膜3と、ゲート電極2の上方であって前記ゲート絶縁膜3上に設けられた酸化物半導体膜4と、酸化物半導体膜4上に該酸化物半導体膜4の中央部を開けて離間して設けられたソース電極5s及びドレイン電極5dとを有し、前記ゲート絶縁膜3が、塗布型材料からなる絶縁性の平坦化膜3aを有するように構成した。ゲート絶縁膜3は、平坦化膜3aからなるように構成してもよいし、平坦化膜3aと平坦化膜3a上に設けられた絶縁膜3bとからなるように構成してもよい。
【選択図】図2
Description
本発明に係る薄膜トランジスタ基板10(10A,10B,10C)は、図1〜図3に示すように、基材1と、基材1上に設けられた透明導電膜からなるゲート電極2と、ゲート電極2を覆って平坦化するように設けられたゲート絶縁膜3と、ゲート電極2の上方であって前記ゲート絶縁膜3上に設けられた酸化物半導体膜4と、酸化物半導体膜4上に該酸化物半導体膜4の中央部を開けて離間して設けられたソース電極5s及びドレイン電極5dとを有している。そして、その特徴は、ゲート絶縁膜3が、塗布型材料からなる絶縁性の平坦化膜3aを有することにある。
以下、本発明に係るTFT基板10の構成要素について順次説明する。
基材1の種類や構造は特に限定されるものではなく、用途に応じてフレキシブルな材質や硬質な材質等が選択される。具体的に用いることができる材料としては、例えば、ガラス、石英、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリメタクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリエステル、ポリカーボネート等を挙げることができる。基材1は不透明であっても透明であってもよいが、本発明では透明導電膜からなるゲート電極2と、透明化が可能な酸化物半導体膜4とを適用するので、基材1も透明にすることができれば、他の構成要素(ゲート絶縁膜3、ソース電極5s及びドレイン電極5d)を透明にして、TFT基板10全体を透明化することが可能となるので、より好ましい。なお、通常は、透明導電膜であるITO付きガラス基板やITO付きプラスチック基板が好ましく用いられる。
ゲート電極2は、図1〜図3に示すように、基材1上に所定のパターンで設けられている。ゲート電極材料としては、例えば、ITO(インジウム錫オキサイド)、酸化インジウム、IZO(インジウム亜鉛オキサイド)、SnO2、ZnO等の透明導電膜を好ましく挙げることができる。なお、所望の導電性を有するものであれば、ポリアニリン、ポリアセチレン、ポリアルキルチオフェン誘導体、ポリシラン誘導体のような透明な導電性高分子等であってもよい。
ゲート絶縁膜3は、塗布型材料からなる絶縁性の平坦化膜3aを有する。平坦化膜3aを有するゲート絶縁膜3の形態としては、図1に示すように、ゲート絶縁膜3を平坦化膜3aから構成したものとしてもよいし、平坦化膜3aとその平坦化膜3a上に設けられた絶縁膜3bとから構成したものとしてもよい。前者(図1参照)は、絶縁性に優れた塗布型材料で平坦化膜3aを形成した場合の構成例であり、ゲート電極2を覆うように設けた平坦化膜3aでゲート絶縁膜3を構成できる。このとき、平坦化膜3aは、通常その平坦化膜3aのみでみでもよいが、本願の趣旨を損なわない程度の薄い他の膜の形成を除外するものではない。一方、後者(図2参照)は、塗布型材料からなる平坦化膜3aの絶縁性がやや不十分な場合の構成例であり、ゲート電極2を覆うように設けた平坦化膜3a上に、絶縁性に優れた絶縁膜3bを積層し、両方の膜3a,3bでゲート絶縁膜3を構成できる。なお、平坦化膜3aの絶縁性が優れている場合であっても、図2に示すように、その平坦化膜3a上に別の絶縁膜3bを設けてゲート絶縁膜3を構成してもよい。
酸化物半導体膜4は、図1に示すように、ゲート電極2の上方にゲート絶縁膜3を間に介してそのゲート絶縁膜3上に所定のパターンで設けられる。この酸化物半導体膜4は、TFTを構成するチャネル領域として使用できる程度の移動度を有するものであれば、その種類は特に限定されず、現在知られている酸化物半導体膜であっても、今後発見される酸化物半導体膜であってもよい。
ソース電極5s及びドレイン電極5dは、図1及び図2に示すように、酸化物半導体膜4上に所定の間隔を隔てた所定のパターンで設けられる。ソース電極材料及びドレイン電極材料は、酸化物半導体膜4とのエネルギー準位を合わせることができる材料であることが好ましく、チタン、金、クロム、鉄、モリブデン、タングステン、銅、ルテニウム、レニウム等の金属材料;ITO、IZO等の透明導電材料;ポリアニリン、ポリアセチレン等の導電性高分子;等を挙げることができる。特に透明性と酸化物半導体膜4と良好なオーミックコンタクトとを考慮すれば、ITO(インジウム錫オキサイド)、酸化インジウム、IZO(インジウム亜鉛オキサイド)、SnO2、ZnO等の透明導電膜を好ましく挙げることができる。また、所望の導電性を有するものであれば、ポリアニリン、ポリアセチレン、ポリアルキルチオフェン誘導体、ポリシラン誘導体のような透明な導電性高分子等であってもよい。特に酸化物からなる酸化物半導体膜4であるので、同じ酸化物の透明導電膜でソース電極5s及びドレイン電極5dを形成すること好ましい。
パッシベーション膜6は、図3に示すように、必要に応じて設けることができる。このパッシベーション膜6は、酸化物半導体膜4を形成した後にその酸化物半導体膜4に接続するソース電極5sとドレイン電極5dを形成する場合に、酸化物半導体膜4のチャネル領域を保護しつつ、ソース電極5sとの接続部7及びドレイン電極5dとの接続部7を形成するために設けられる。具体的には、パッシベーション膜6は、図3に示すように、酸化物半導体膜4にソース電極5sとの接続部7及びドレイン電極5dとの接続部7を形成する部分にコンタクトホール8を形成した形態で酸化物半導体膜4を覆う。
本発明に係るTFT基板10は、上記以外の構成要素であっても、本発明の趣旨の範囲内であれば、その他の膜を含んでいてもよい。
図1に示すTFT基板10Aを作製した。先ず、厚さ0.7mmのガラス基板1上に、厚さ(T1)1000nmのITO(インジウム錫オキサイド)をスパッタリング法で成膜した後、フォトリソグラフィでパターニングして配線幅20μmのゲート電極2を形成した。次に、ゲート電極2を含む全面上に、塗布型材料であるSiO2ゾルゲル剤(株式会社高純度化学研究所製、商品名:Si−05S)をスピンコートし、ゲート電極2上に厚さ(T2)100nmの平坦化膜3aが形成されるようにして平坦化膜3aのみからなるゲート絶縁膜3を形成した。このとき、ゲート電極2が設けられた部分の「T1+T2」は高さ1100nmであり、ゲート電極2が設けられていない部分の「T3」は高さ1000nmとなった。T1は上記のように1000nmであるので、平坦化率は90.0%であった。なお、厚さは、触針式膜厚計DEKTAK(アルバック
イーエス株式会社製)により評価した。
実施例1において、平坦化膜3aを構成する塗布型材料に代えて、絶縁性の塗布型材料であるポリシラザン(AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製、商品名:アクアミカ)をスピンコートし、ゲート電極2上に厚さ(T2)150nmの平坦化膜3aが形成されるようにして平坦化膜3aのみからなるゲート絶縁膜3を形成した。このとき、ゲート電極2が設けられた部分の「T1+T2」は高さ1150nmであり、ゲート電極2が設けられていない部分の「T3」は高さ1130nmとなった。T1は上記のように1000nmであるので、平坦化率は98.0%であった。こうして実施例2に係るTFT基板10Aを作製した。
実施例1において、平坦化膜3aを構成する塗布型材料に代えて、絶縁性の塗布型材料であるHMDSO(東レ・ダウ・シリコーン株式会社製の商品名)をスピンコートし、ゲート電極2上に厚さ(T2)300nmの平坦化膜3aが形成されるようにして平坦化膜3aのみからなるゲート絶縁膜3形成した。このとき、ゲート電極2が設けられた部分の「T1+T2」は高さ1300nmであり、ゲート電極2が設けられていない部分の「T3」は高さ1200nmとなった。T1は上記のように1000nmであるので、平坦化率は90.0%であった。こうして実施例3に係るTFT基板10Aを作製した。
図2に示すTFT基板10Bを作製した。先ず、厚さ0.7mmのガラス基板1上に、厚さ(T1)1500nmのITO(インジウム錫オキサイド)をスパッタリング法で成膜した後、フォトリソグラフィでパターニングして配線幅15μmのゲート電極2を形成した。
実施例4において、絶縁膜3bであるSiO2膜に代えて、窒化シリコン膜をスパッタリング法で厚さ200nmで成膜した。このとき、ゲート電極2が設けられた部分の「T1+T2」は高さ1800nmであり、ゲート電極2が設けられていない部分の「T3」は高さ1700nmとなった。T1は上記のように1500nmであるので、平坦化率は93.3%であった。こうして実施例5に係るTFT基板10Bを作製した。
図3に示すTFT基板10Cを作製した。上記実施例4において、酸化物半導体膜4を形成し、ソース電極5sとドレイン電極5dを形成する前に、パッシベーション膜6を形成した。具体的には、酸化物半導体膜4を覆うように、その全面に感光性塗布型絶縁材料(例えば、新日鐵化学製カルドアクリル系ポリマーV259)を塗布して厚さ1000nmの絶縁膜を形成し、その後にパターニングして酸化物半導体膜4を覆うパッシベーション膜6を形成した。ここでのパターニングは、酸化物半導体膜4にソース電極5s及びドレイン電極5dを接続するコンタクトホール8を形成するために行う。
実施例1において、ゲート電極を1000nmのITO膜で形成した後、塗布型材料からなる平坦化膜ではなく、スパッタリング法で厚さ100nmのSiO2膜からなるゲート絶縁膜を成膜した。それ以外は実施例1と同様にして、比較例1のTFT基板を作製した。
実施例1において、ゲート電極を1000nmのITO膜で形成した後、塗布型材料からなる平坦化膜ではなく、スパッタリング法で厚さ1000nmのSiO2膜からなるゲート絶縁膜を成膜した。それ以外は実施例1と同様にして、比較例2のTFT基板を作製した。
実施例1において、ゲート電極を100nmのITO膜で形成した後、塗布型材料からなる平坦化膜ではなく、スパッタリング法で厚さ200nmのSiO2膜からなるゲート絶縁膜を成膜した。それ以外は実施例1と同様にして、比較例3のTFT基板を作製した。
実施例1において、半導体層をアモルファスシリコン膜とした他は、実施例1と同様にして、比較例4のTFT基板を作製した。なお、アモルファスシリコン膜の成膜手段及び条件は、プラズマCVD法で、SiH4ガス及び水素ガスを原料として、250℃の成膜温度で行った。
ゲート電極(20μmの配線幅換算)の配線抵抗は、実施例1〜3では1000Ω/cmであり、実施例4〜6では670Ω/cmであり、TFT基板で適用する配線抵抗としてはいずれも十分な値であった。また、TFT素子のリーク電流は、実施例1〜3では100pA以下が得られ、実施例4〜6では1pA以下が得られ、TFT基板で適用する配線抵抗としてはいずれも十分なリーク電流特性であった。また、実施例1〜6のTFT素子は、いずれも8〜12cm2/Vsecの移動度が得られ、デバイスを設計するのに十分な特性であった。
2 ゲート電極
3 ゲート絶縁膜
3a 平坦化膜
3b 絶縁膜
4 酸化物半導体膜
5s ソース電極
5d ドレイン電極
6 パッシベーション膜
7 接続部
8 コンタクトホール
10(10A,10B,10C) 薄膜トランジスタ基板
T1 ゲート電極の厚さ
T2 ゲート電極の頂部におけるゲート絶縁膜の厚さ
T3 ゲート電極が設けられていない部分でのゲート絶縁膜の厚さ
101 基材
102 ゲート電極(ITO電極)
103 ゲート絶縁膜
104 半導体膜
105s ソース電極
105d ドレイン電極
110 段差部
Claims (6)
- 基材と、該基材上に設けられた透明導電膜からなるゲート電極と、該ゲート電極を覆って平坦化するように設けられたゲート絶縁膜と、前記ゲート電極の上方であって前記ゲート絶縁膜上に設けられた酸化物半導体膜と、該酸化物半導体膜上に該酸化物半導体膜の中央部を開けて離間して設けられたソース電極及びドレイン電極と、を有し、
前記ゲート絶縁膜が、塗布型材料からなる絶縁性の平坦化膜を有することを特徴とする薄膜トランジスタ基板。 - 前記ゲート絶縁膜が、前記平坦化膜からなる、請求項1に記載の薄膜トランジスタ基板。
- 前記ゲート絶縁膜が、前記平坦化膜と該平坦化膜上に設けられた絶縁膜とからなる、請求項1に記載の薄膜トランジスタ基板。
- 前記ゲート電極の厚さが100〜3000nmの範囲内であり、前記ゲート電極の頂部上での前記ゲート絶縁膜の厚さが100〜500nmの範囲内である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ基板。
- 前記酸化物半導体膜がInGaZnO系半導体材料からなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ基板。
- 前記基材、前記ゲート絶縁膜、前記酸化物半導体膜、前記ソース電極及び前記ドレイン電極のいずれもが透明である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ基板。
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