JP2011148173A - ワイピング装置、描画装置、ワイピング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワイピング部材の使用量を低減してノズル面を払拭可能なワイピング装置、これを備えた描画装置、ワイピング方法を提供すること。
【解決手段】ワイピング装置１２０は、糸状または紐状のワイピング部材ＷＬと、ワイピング部材ＷＬの巻出し部１２２と巻取り部１２３とを有するワイピング部材供給機構と、ワイピング部材供給機構によって所定の長さに引き出されたワイピング部材ＷＬにノズル面５１ａを当接させる当接機構１２４，１２５，１２６とを備え、ノズル面５１ａにワイピング部材ＷＬを当接させた状態で、吐出ヘッド５０に対してワイピング部材ＷＬを相対的に移動させてノズル面５１ａを払拭する。
【選択図】図５

Description

本発明は、ノズル面に付着した機能液や異物などを除去するワイピング装置、描画装置、ワイピング方法に関する。

上記ワイピング装置として、インクジェットヘッドの運動力を帯状ワイプ材の送り運動力に変換し、この送り運動力によって帯状ワイプ材をインクジェットヘッドの運動速度とは異なる送り運動速度で送りつつノズル面に押圧させるクリーニング装置が知られている（特許文献１）。

一方、上記クリーニング装置のように帯状ワイプ材をノズル面に押圧させて送りつつノズル面に付着したインクなどの汚れを払拭すると、ノズル面と帯状ワイプ材との摩擦によりノズル面を損傷するおそれがあった。それゆえに、例えば、特許文献２では、吸着材をノズル面に押し当てて汚れを除去する機能液滴吐出ヘッドの保守方法が開示されている。

特開２００４−２５５７８８号公報 特開２００４−３３００２７号公報

しかしながら、上記従来のクリーニング装置や機能液滴吐出ヘッドの保守方法では、ノズル面に押し当てられた部分の帯状ワイプ材や吸着材を更新する必要がある。したがって、複数の機能液滴吐出ヘッドに付着した汚れを一度に除去しようとすると、幅広の帯状ワイプ材や吸着材が必要になり、使用量が多くなるという課題がある。
また、汚れを除去する部材がいずれも帯状であって、上記使用量を想定すると、ロール状に捲回された帯状部材を送り出す機構やノズル面に当接させる機構などが大型化し、ワイピング装置としての小型化が困難であるという課題がある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例のワイピング装置は、吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピング装置であって、糸状または紐状のワイピング部材と、前記ワイピング部材の巻出し部と巻取り部とを有するワイピング部材供給機構と、前記ワイピング部材供給機構によって所定の長さに引き出された前記ワイピング部材に前記ノズル面を当接させる当接機構とを備え、前記ノズル面に前記ワイピング部材を当接させた状態で、前記吐出ヘッドに対して前記ワイピング部材を相対的に移動させて前記ノズル面を払拭することを特徴とする。

この構成によれば、ワイピング部材が糸状または紐状であるため、帯状のワイピング部材を用いる場合に比べて、少ない量で払拭が可能となるため、実質的な使用量を低減できる。また、ワイピング部材を捲回してもその大きさが大きくなり難いので、装置を小型化し易い。さらには、ノズル面を払拭する際の摩擦が小さくなる。それゆえ、払拭によるノズル面の損傷を低減できる。すなわち、ワイピング部材の実質的な使用量とノズル面の損傷とが低減された小型なワイピング装置を提供できる。

［適用例２］上記適用例のワイピング装置において、前記当接機構は、前記所定の長さに引き出された前記ワイピング部材を一定の高さに保持し、前記ワイピング部材供給機構は、前記巻出し部と前記巻取り部とを制御して前記一定の高さに保持された前記ワイピング部材に張力を与えることが好ましい。
この構成によれば、ノズル面にワイピング部材を確実に当接させて払拭することができる。とりわけ、複数の吐出ヘッドのノズル面を同時に払拭する場合に安定した当接状態を実現できる。

［適用例３］上記適用例のワイピング装置において、前記ワイピング部材供給機構は、前記ワイピング部材による前記ノズル面の払拭中に前記巻出し部から前記巻取り部へと前記ワイピング部材を移動させるとしてもよい。
この構成によれば、新しいワイピング部材を供給しつつノズル面が払拭されるので、ノズル面に付着した汚れを効果的に除去できる。

［適用例４］上記適用例のワイピング装置において、前記ノズル面には一定の方向に配列した複数のノズルが設けられており、前記複数のノズルの配列方向に対して前記ワイピング部材が交差するように前記ワイピング部材供給機構が設けられていることを特徴とする。
この構成によれば、複数の吐出ヘッドを並べてノズル面を払拭しても、払拭に必要な所定の長さを必要以上に長くせずに、ワイピング部材の使用量を抑えて払拭することができる。

［適用例５］上記適用例のワイピング装置において、前記ノズル面には一定の方向に配列した複数のノズルが設けられており、前記複数のノズルの配列方向に対して前記ワイピング部材が並行するように前記ワイピング部材供給機構が設けられているとしてもよい。
この構成によれば、複数のノズルの配列方向に対してワイピング部材が交差するようにワイピング部材供給機構を配置する場合に比べて、ワイピング部材の同一箇所が払拭するノズルの数を少なくすることができる。汚れはノズルの周辺に付着していることが多いので、ノズル面に付着した汚れをより確実に除去できる。

［適用例６］上記適用例のワイピング装置において、前記巻出し部側に配置され、前記ワイピング部材に洗浄液を塗布する洗浄液塗布部を備えることが望ましい。
この構成によれば、ワイピング部材に洗浄液を含有させてノズル面を払拭することができるので、ノズル面に固着した汚れも洗浄液で溶かして除去することができる。

［適用例７］本適用例の描画装置は、吐出ヘッドのノズルからワークに対して機能性材料を含む機能液を吐出して前記ワーク上に膜パターンを描画する描画装置であって、上記適用例のワイピング装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、上記適用例のワイピング装置を備えているので、ワイピング部材の使用量を低減すると共に、ノズル面を清浄な状態に保守することができ、安定した膜パターンの描画が可能な描画装置を提供できる。

［適用例８］本適用例のワイピング方法は、吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピング方法であって、所定の長さに引き出された糸状または紐状のワイピング部材に対して前記ノズル面を当接させる第１ステップと、前記ノズル面に前記ワイピング部材を当接させた状態で、前記吐出ヘッドに対して前記ワイピング部材を相対的に移動させて前記ノズル面を払拭する第２ステップと、を備えたことを特徴とする。

この方法によれば、帯状のワイピング部材を用いる場合に比べて、糸状または紐状のワイピング部材を用いるので、実質的に使用量を低減できる。また、ノズル面を払拭する際の摩擦が小さくなるので、払拭によるノズル面の損傷を低減できる。すなわち、ワイピング部材の実質的な使用量とノズル面の損傷とを低減したワイピング方法を提供できる。

［適用例９］上記適用例のワイピング方法において、前記第１ステップは、前記所定の長さに引き出された前記ワイピング部材に張力を与えることが好ましい。
この方法によれば、ワイピング部材を確実にノズル面に当接させて払拭することができる。

［適用例１０］上記適用例のワイピング方法において、前記ノズル面には一定の方向に配列した複数のノズルが設けられており、前記第１ステップは、前記ノズル面に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する方向に前記ワイピング部材を当接させることを特徴とする。
この方法によれば、複数の吐出ヘッドを並べてノズル面を払拭しても、払拭に必要な所定の長さを必要以上に長くせずに、ワイピング部材の使用量を抑えて払拭することができる。

［適用例１１］上記適用例のワイピング方法において、前記ノズル面には一定の方向に配列した複数のノズルが設けられており、前記第１ステップは、前記ノズル面に対して前記複数のノズルの配列方向と並行する方向に前記ワイピング部材を当接させるとしてもよい。
この方法によれば、複数のノズルの配列方向と交差する方向にワイピング部材を当接させる場合に比べて、ワイピング部材の同一箇所が払拭するノズルの数を少なくすることができる。汚れはノズルの周辺に付着していることが多いので、ノズル面に付着した汚れをより確実に除去できる。言い換えれば、一度払拭した汚れが再度ノズル面に付着することを低減することができる。

［適用例１２］上記適用例のワイピング方法において、前記第２ステップは、前記ワイピング部材による前記ノズル面の払拭中に前記ワイピング部材を引き出された方向に移動させることが望ましい。
この方法によれば、新しいワイピング部材を供給しつつノズル面が払拭されるので、ノズル面に付着した汚れを効果的に除去できる。

［適用例１３］上記適用例のワイピング方法において、前記第１ステップの前に、前記所定の長さに引き出された前記ワイピング部材に洗浄液を含ませるステップを有していることが望ましい。
この方法によれば、ノズル面に固着した汚れもワイピング部材に含ませた洗浄液で溶かして除去することができる。つまり、払拭後のノズル面をより清浄な状態とすることができる。

描画装置としての液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 （ａ）は吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、（ｂ）はノズル面を示す概略平面図。 ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。 （ａ）はワイピング装置の構成を示す模式平面図、（ｂ）は副走査方向から見た模式側面図、（ｃ）はワイピング部材の支持部を示す概略側面図。 （ａ）〜（ｃ）はワイピング方法を示す概略図。 （ａ）〜（ｃ）は吸引動作の一例を示す概略図。 （ａ）〜（ｄ）は、第２実施形態のワイピング装置およびワイピング方法を示す概略図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。

（第１実施形態）
＜描画装置＞
まず、本実施形態の描画装置について、図１〜図３を参照して説明する。図１は描画装置としての液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図、図２（ａ）は吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、同図（ｂ）はノズル面を示す概略平面図、図３はヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。

図１に示すように、本実施形態の描画装置としての液滴吐出装置１００は、被吐出物としてのワークＷ上に機能性材料を含む機能液を液滴として吐出して、機能液からなる塗布膜（機能性材料からなる膜パターン）を形成するものである。ワークＷが載置されるステージ１０４と、載置されたワークＷに機能液を液滴として吐出する複数の吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット１０１とを備えている。

そして、ヘッドユニット１０１を副走査方向（Ｘ方向）に駆動するためのＸ方向ガイド軸１０２と、Ｘ方向ガイド軸１０２を回転させるＸ方向駆動モーター１０３とを備えている。また、ステージ１０４を副走査方向に対して直交する主走査方向（Ｙ方向）にガイドするためのＹ方向ガイド軸１０５と、Ｙ方向ガイド軸１０５に係合して回転するＹ方向駆動モーター１０６とを備えている。これらＸ方向ガイド軸１０２とＹ方向ガイド軸１０５とが上部に配設された基台１０７を有し、その基台１０７の下部に、制御装置１０８を備えている。

さらに、ヘッドユニット１０１の複数の吐出ヘッド５０をクリーニング（回復処理）するために、Ｙ方向ガイド軸１０５に沿って移動するクリーニング機構１０９と、吐出された機能液を加熱し溶媒を蒸発・乾燥させるためのヒーター１１１とを備えている。クリーニング機構１０９は、Ｙ方向ガイド軸１０５に係合して回転するＹ方向駆動モーター１１０を有している。

ヘッドユニット１０１には、機能液をワークＷに塗布する複数の吐出ヘッド５０（図２参照）を備えている。そして、これら複数の吐出ヘッド５０により、制御装置１０８から供給される吐出用の制御信号に応じて、個別に機能液を吐出できるようになっている。

Ｘ方向駆動モーター１０３は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモーター等であり、制御装置１０８から駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸１０２を回転させ、Ｘ方向ガイド軸１０２に係合したヘッドユニット１０１をＸ方向に移動させる。

同様にＹ方向駆動モーター１０６，１１０は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモーター等であり、制御装置１０８から駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸１０５に係合して回転し、Ｙ方向駆動モーター１０６，１１０を備えたステージ１０４およびクリーニング機構１０９をＹ方向に移動させる。

クリーニング機構１０９は、吐出ヘッド５０をクリーニングする際には、ヘッドユニット１０１を臨む位置に移動する。クリーニング機構１０９には、吐出ヘッド５０のノズル面に密着して不要な機能液を吸引するキャッピング装置（図示省略）、機能液等が付着したノズル面を払拭する本実施形態のワイピング装置１２０、吐出ヘッド５０の全ノズルから機能液の吐出を行う予備吐出あるいは不要となった機能液を受けて排出させるフラッシング装置（図示省略）が搭載されている。ワイピング装置１２０の詳細については後述する。

ヒーター１１１は、これに限定されるものではないが例えばランプアニールによりワークＷを熱処理する手段であり、ワークＷ上に吐出された機能液を加熱して、溶媒を蒸発させ膜に変換するための熱処理を行う。このヒーター１１１の電源の投入及び遮断も制御装置１０８によって制御される。

液滴吐出装置１００の塗布動作は、制御装置１０８から所定の駆動パルス信号をＸ方向駆動モーター１０３およびＹ方向駆動モーター１０６に送り、ヘッドユニット１０１を副走査方向（Ｘ方向）に、ステージ１０４を主走査方向（Ｙ方向）に相対移動させる。そして、この相対移動の間に制御装置１０８から吐出用の制御信号を供給し、各吐出ヘッド５０からワークＷの所定の領域に機能液を液滴として吐出し塗布を行う。

図２（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する機能液の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に機能液のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。
接続針５４は、機能液供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、機能液をヘッド内流路に供給する。

ヘッド本体５６は、圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
ヘッド基板５５には、２連のコネクター５８が設けられており、上記圧電素子を駆動するための駆動信号を外部から供給するためのフレキシブルな中継基板（ＦＰＣ）がこれに接続される。

図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズルプレート５１に配設されている。この場合、ピッチＰ１は、およそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５２ａ，５２ｂからなるノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。以降説明上、ノズル５２の間隔（ノズルピッチ）は、ピッチＰ２とする。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。

吐出ヘッド５０は、駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された機能液が加圧され、ノズル５２から機能液を液滴として吐出することができる。ノズル面５１ａには機能液の吐出に伴って発生した微小な液滴が付着し、蓄積されないように撥液処理（撥水処理）が施されている。

吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエーターとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、機能液を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
また、吐出ヘッド５０は、２つのノズル列５２ａ，５２ｂを有するものに限定されず、１つのノズル列を有するものでもよい。以降の説明では、２つのノズル列５２ａ，５２ｂをノズル列５２ｃとして説明する。

図３は、ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。

図３に示すように、ヘッドユニット１０１には、合計３個の吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃが搭載されている。吐出ヘッド５０Ａと吐出ヘッド５０Ｃとは、相互のノズル列５２ｃが副走査方向（Ｘ方向）と合致し、所定の間隔をおいて同一線上に並ぶように配置されている。

吐出ヘッド５０Ｂは、ノズル列５２ｃが副走査方向と合致し、吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｃに対して並行するように配置されている。また、主走査方向（Ｙ方向）から見たノズル列５２ｃの長さつまり描画範囲をＬ１とすると、吐出ヘッド５０Ｂのノズル列５２ｃの両端側における描画範囲Ｌ３が吐出ヘッド５０Ａと吐出ヘッド５０Ｃとにおける描画範囲Ｌ１と重なり合うように配置されている。つまり、これら３つの吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃにおける実質的な描画範囲Ｌ２は、描画範囲Ｌ１の３倍の長さから２倍の描画範囲Ｌ３を除いた長さとなる。したがって、ヘッドユニット１０１によりワークＷを主走査すれば、描画範囲Ｌ２に亘って機能液を吐出することができる。

なお、ヘッドユニット１０１における吐出ヘッド５０の配置は、これに限定されない。吐出ヘッド５０は１つでもよいし、３つ以上配置することも可能である。クリーニング機構１０９に搭載されたワイピング装置１２０は、ヘッドユニット１０１における吐出ヘッド５０の配置に対応した構成を備えている。詳しくは、後述する。

このような吐出ヘッド５０を備えた液滴吐出装置１００は、上位コンピューターなどの外部情報処理装置からワークＷ上の所望の領域に機能液を塗布するための吐出データが制御装置１０８に入力され、当該吐出データに基づいて機能液がノズル５２から液滴として吐出される。吐出データには、ワークＷ上における上記所望の領域に関する位置データ、吐出タイミングを規定する制御データ、吐出ヘッド５０とワークＷとの主走査における複数のノズル５２の選択（ＯＮ）／非選択（ＯＦＦ）データや液滴の吐出回数などのノズルデータが含まれている。

例えば、機能性材料としての導電粒子を含んだ機能液をワークＷに吐出して膜パターンを形成し、これを焼成することによって、所望の幅や高さを有する配線パターンを自在にワークＷ上に形成することができる。

＜ワイピング装置＞
次に、本実施形態のワイピング装置１２０について、図４を参照して説明する。図４（ａ）はワイピング装置の構成を示す模式平面図、同図（ｂ）は副走査方向から見た模式側面図、同図（ｃ）はワイピング部材の支持部を示す概略側面図である。

図４（ａ）および（ｂ）に示すように、ワイピング装置１２０は、基台１２１上において、主走査方向（Ｙ方向）に間隔を置いて設けられた巻出し部１２２と巻取り部１２３とを有する。巻出し部１２２と巻取り部１２３との間には３つの当接機構１２４，１２５，１２６がほぼ等間隔に設けられている。

また、３つの当接機構１２４，１２５，１２６の間には、ワイピング動作に伴って吐出ヘッド５０のノズル面５１ａやワイピング部材ＷＬから落下するおそれがある機能液や異物等を受け止める受け皿１２７，１２８が設けられている。受け皿１２７，１２８には機能液を吸収する例えば発泡処理されたウレタンなどからなる吸収シート１２７ａ，１２８ａが敷設されている。

巻出し部１２２は、糸状のワイピング部材ＷＬが捲回された第１リール１２２ａを有しており、第１リール１２２ａから引き出されたワイピング部材ＷＬは３つの当接機構１２４，１２５，１２６を経由して巻取り部１２３に導かれる。巻取り部１２３は、ワイピング部材ＷＬを巻き取る第２リール１２３ａを有している。

また、第１リール１２２ａは、基台１２１から立脚する一対の支持柱１２２ｂによって軸支されており、一方の支持柱１２２ｂに取り付けられたモーター１２２ｃによって任意の方向に回転させることができる。
第２リール１２３ａも同様であって、基台１２１から立脚する一対の支持柱１２３ｂによって軸支されており、一方の支持柱１２３ｂに取り付けられたモーター１２３ｃによって任意の方向に回転させることができる。

モーター１２２ｃ，１２３ｃは、例えばサーボモーターであって、内部に回転トルクを検出するトルク検出手段（図示省略）を有している。液滴吐出装置１００の制御装置１０８は、モーター１２２ｃ，１２３ｃを駆動制御可能であって、トルク検出手段からの検出信号に基づいて、モーター１２２ｃ，１２３ｃの駆動と回転方向とを制御して所定の長さ（Ｙ方向における当接機構１２４と当接機構１２６との間）に引き出されたワイピング部材ＷＬに張力（テンション）を与えることができる。
これらの巻出し部１２２と巻取り部１２３とによりワイピング部材供給機構が構成されている。

平面視で四角形の基台１２１は、長手方向が主走査方向（Ｙ方向）と合致するようにクリーニング機構１０９（図１参照）に設けられている。したがって、基台１２１上に設けられた巻出し部１２２と巻取り部１２３とは、引き出された糸状のワイピング部材ＷＬが吐出ヘッド５０のノズル列５２ｃと交差（直交）するように配置されている。

図４（ｂ）に示した当接機構１２４は、例えばエアーシリンダーであって、基台１２１上において上下するロッドを有し、ロッドの先端にはワイピング部材ＷＬを支持する支持部１２４ａが設けられている。

図４（ｃ）に示すように、支持部１２４ａは、例えばステンレスなどの鋼材からなり、ロッドの先端側に糸状のワイピング部材ＷＬを受ける凹部１２４ｂを有している。凹部１２４ｂの底面は、ワイピング部材ＷＬの断面形状に対応した円弧状となっている。ワイピング部材ＷＬの摺動に伴う摩擦を低減するため、上記底面は例えば鏡面仕上げされている。

他の当接機構１２５，１２６の構成も当接機構１２４と同じであって、ロッドの先端部にワイピング部材ＷＬを支持する支持部１２５ａ，１２６ａを有している。

基台１２１上における２つの当接機構１２４，１２５のＹ方向の配置間隔は、ノズル面５１ａの短手方向の長さよりも少し長くなるように配置されている。当接機構１２５，１２６のＹ方向の配置間隔も同様である。

巻出し部１２２側の当接機構１２４の上流側には、ワイピング部材ＷＬに洗浄液を塗布する洗浄液塗布部１２９が設けられている。洗浄液塗布部１２９は洗浄液をノズルから噴射可能な構成となっている。洗浄液としては、機能液の溶媒を用いることが望ましく、例えば、水や有機溶媒が挙げられる。

糸状のワイピング部材ＷＬとしては、吐出ヘッド５０のノズル面５１ａに付着した機能液や機能液が乾燥して固着した異物などを払拭するため、少なくとも機能液に含まれる溶媒に対して耐溶媒性を有するものが望ましく、例えば綿などの天然繊維、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリウレタン等の化学繊維を材料として用いることができる。
また、機能液を払拭する観点では、機能液や洗浄液を吸着あるいは吸収可能な機能を有することが望ましく、例えば数十μｍ程度の径を有する繊維を撚りあわせて、数ｍｍの径を有する紐状としてもよい。

＜ワイピング方法＞
次に、ワイピング装置１２０を用いたワイピング方法について、図５を参照して説明する。図５（ａ）〜（ｃ）はワイピング方法を示す概略図である。

まず、図５（ａ）に示すように、ワイピング動作を行わせる前に、対象となる吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃを臨む位置にワイピング装置１２０を対向配置する。ワイピング装置１２０は、クリーニング機構１０９に搭載されているので、図１に示したように制御装置１０８はＹ方向駆動モーター１１０を駆動してクリーニング機構１０９をＹ方向ガイド軸１０５に沿って移動させる。
また、制御装置１０８はＸ方向駆動モーター１０３を駆動してヘッドユニット１０１をＸ方向ガイド軸１０２に沿って移動させ、ワイピング装置１２０に対して吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃを払拭するための相対的なワイピング開始位置に配置する。
この場合のワイピング開始位置は、吐出ヘッド５０Ｃのノズル面５１ａのＸ方向における後端である。

次に、図５（ｂ）に示すように、制御装置１０８は当接機構１２４，１２５，１２６を駆動して３つの支持部１２４ａ，１２５ａ，１２５ａを所定の高さまで上昇させる。この場合の所定の高さとは、各支持部１２４ａ，１２５ａ，１２６ａがノズル面５１ａよりもわずかに高くなる位置である。
支持部１２４ａ，１２５ａ，１２６ａの上昇に伴って第１リール１２２ａからワイピング部材ＷＬが巻き出され、その一方で巻取り部１２３によって巻き取られる。また同時に引き出されたワイピング部材ＷＬに張力（テンション）が与えられる。それゆえに、ワイピング部材ＷＬは、支持部１２４ａと支持部１２５ａとの間、および支持部１２５ａと支持部１２６ａとの間において一定の高さに到達してノズル面５１ａと当接した後にさらに持ち上げられ、各吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃのノズル面５１ａに確実に当接する。この場合、ワイピング部材ＷＬは最初に吐出ヘッド５０Ｃのノズル面５１ａに当接する。

そして、図５（ｃ）に示すように、吐出ヘッド５０Ｃのノズル面５１ａにワイピング部材ＷＬが当接した状態で、制御装置１０８はＸ方向駆動モーター１０３を駆動してヘッドユニット１０１をＸ方向ガイド軸１０２に沿って移動させる。これにより、ワイピング部材ＷＬに対して吐出ヘッド５０Ｃを相対的に移動させ、ワイピング部材ＷＬによりノズル面５１ａを払拭する。

このとき、所定の長さで巻出し部１２２から引き出されたワイピング部材ＷＬをノズル面５１ａに当接させた状態で、Ｙ方向に移動させるとしてもよい。Ｙ方向に移動させることにより、ノズル面５１ａには常に新しいワイピング部材ＷＬが供給され払拭（ワイピング動作）を行うことができる。
また、図５（ｂ）に示すように、ノズル面５１ａにおける汚れや異物等の付着状況を鑑みて、洗浄液塗布部１２９から洗浄液をワイピング部材ＷＬに含ませてもよい。これにより、ノズル面５１ａにおいて乾燥し固着した機能液を容易に除去できる。

ヘッドユニット１０１がＸ方向ガイド軸１０２に沿って移動することにより、吐出ヘッド５０Ｃ、吐出ヘッド５０Ｂ、吐出ヘッド５０Ａの順にそれぞれのノズル面５１ａがワイピング部材ＷＬと当接して払拭される。

なお、ノズル面５１ａを払拭する順番は、これに限定されない。もちろん、吐出ヘッド５０Ａ側から先に行ってもよい。また、このようなワイピング動作を繰り返してもよい。例えば、吐出ヘッド５０Ｃ側からワイピング動作を行った後に再び吐出ヘッド５０Ａ側からワイピング動作を往復して行ってもよい。

上記ワイピング方法におけるワイピング動作は、ノズル５２から機能液が適正な状態（吐出量、吐出速度、吐出方向）で吐出されるように機能回復させるクリーニング動作のうちの１つである。
また、ワイピング動作の前に、機能液が乾燥して固着した異物などによるノズル５２の目詰まりを解消するため、キャッピング装置を用いてノズル５２から機能液を吸引する吸引動作が行われる。吸引動作後に、ノズル面５１ａに多量の機能液が付着している場合には、ワイピング部材ＷＬによってノズル面５１ａを払拭するワイピング動作を行っても付着した機能液を十分に拭き取れないおそれがある。例えば、ノズル面５１ａにおいてノズル５２の近傍に機能液が残留していると、ノズル５２から吐出された機能液と交じり合うことで、適正な方向に機能液を吐出できなくなる。
そこで、上記ワイピング動作を有効とする吸引動作の一例について、図６を参照して説明する。図６（ａ）〜（ｃ）は吸引動作の一例を示す概略図である。

図６（ａ）はキャッピング装置におけるキャップ部の概略平面図である。キャップ部１１５は、平面視四角形の凹部１１５ａを有し、該凹部１１５ａの底面のほぼ中央付近に孔１１５ｄが設けられている。また、凹部１１５ａにはシート状の多孔質部材１１５ｃが敷設されており、多孔質部材１１５ｃを取り囲むように例えばネオプレンなどのゴム材料（弾性体）を用いたシール部材１１５ｂが設けられている。

図６（ｂ）に示すように、キャップ部１１５は、吐出ヘッド５０のノズル面５１ａを臨む位置に対向配置される。凹部１１５ａの平面的な大きさは、吐出ヘッド５０のノズル面５１ａの面積よりも大きい。シール部材１１５ｂは、ノズル面５１ａの外縁部を封止可能な大きさとなっている。凹部１１５ａの孔１１５ｄには、例えば真空ポンプなどの吸引手段に繋がった配管１１５ｅが接続されている。

そして、図６（ｃ）に示すように、ノズル面５１ａにシール部材１１５ｂを当接させてノズル面５１ａを封止し（キャッピング動作）、吸引手段を稼動させ吐出ヘッド５０の内部からノズル５２を経由して機能液を吸引する（吸引動作）。このとき、ノズル５２内に付着していた異物なども同時に吸引されて除去される。すべてのノズル５２を経由して機能液を吸引するので、ノズル面５１ａに機能液が残留し易い。シール部材１１５ｂにより封止されたノズル面５１ａと多孔質部材１１５ｃの表面との隙間をできるだけ狭くする。多量の機能液がノズル面５１ａに付着しても、付着した機能液が多孔質部材１１５ｃに吸収されるようにしておく。これにより、吸引動作後にノズル面５１ａに残留する機能液の量を少なくして、糸状または紐状のワイピング部材ＷＬで払拭可能とする。

上記第１実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）ワイピング装置１２０およびこれを用いたワイピング方法によれば、巻出し部１２２から所定の長さに引き出された糸状または紐状のワイピング部材ＷＬに張力を与えた状態で、ノズル列５２ｃと交差するようにノズル面５１ａに当接させる。そして、吐出ヘッド５０を副走査方向（Ｘ方向）に移動させることによりワイピング部材ＷＬを相対的に移動させて、ノズル面５１ａを払拭する。
したがって、ノズル面５１ａにワイピング部材ＷＬを安定的に接触させて、付着した機能液や異物を払拭することがきでる。

（２）ワイピング部材ＷＬが糸状または紐状であるため、帯状のワイピング部材を用いる場合に比べて、複数の吐出ヘッド５０を同時に払拭（ワイピング動作）したとしてもワイピング部材の実質的な使用量を低減することができる。

（３）ノズル面５１ａに対してほぼ線接触した状態でワイピング動作が行われる。したがって、ノズル面５１ａとの摩擦によりノズル面５１ａが損傷して、ノズル面５１ａに施された撥液処理に不具合が生ずることを低減できる。特に、機能液として導電粒子を含む場合には、ワイピング動作に伴って導電粒子によりノズル面５１ａを傷つけるおそれがあるので、本発明のワイピング装置１２０やワイピング方法は効果的である。

（４）帯状のワイピング部材を用いる場合に比べて、巻出し部１２２や巻取り部１２３を小型化できる。すなわち、より小型なワイピング装置１２０を提供できる。

（第２実施形態）
次に、ワイピング装置の他の実施形態について、図７を参照して説明する。図７（ａ）〜（ｄ）は、第２実施形態のワイピング装置およびワイピング方法を示す概略図である。
第２実施形態のワイピング装置およびワイピング方法は、第１実施形態に対して吐出ヘッド５０（ノズル面５１ａ）に対するワイピング部材ＷＬの相対的な配置を異ならせたものである。なお、第１実施形態と同じ構成については、詳細の説明を省略する。

図７（ａ）および（ｂ）に示すように、本実施形態のワイピング装置１５０は、基台１５１上において、副走査方向（Ｘ方向）に間隔を置いて設けられた巻出し部１５２と巻取り部１５３とを有する。巻出し部１５２と巻取り部１５３との間には５つの当接機構１５４，１５５，１５６，１５７，１５８が互いに間隔をおいて設けられている。

巻出し部１５２は、糸状または紐状のワイピング部材ＷＬが捲回された第１リール１５２ａを有しており、第１リール１５２ａから引き出されたワイピング部材ＷＬは５つの当接機構１５４，１５５，１５６，１５７，１５８を経由して巻取り部１５３に導かれる。巻取り部１５３は、ワイピング部材ＷＬを巻き取る第２リール１５３ａを有している。

また、第１リール１５２ａは、基台１５１から立脚する一対の支持柱１５２ｂによって軸支されており、一方の支持柱１５２ｂに取り付けられたモーター１５２ｃによって任意の方向に回転させることができる。
第２リール１５３ａも同様であって、基台１５１から立脚する一対の支持柱１５３ｂによって軸支されており、一方の支持柱１５３ｂに取り付けられたモーター１５３ｃによって任意の方向に回転させることができる。

モーター１５２ｃ，１５３ｃは、第１実施形態と同様に例えばサーボモーターであって、内部に回転トルクを検出するトルク検出手段（図示省略）を有している。トルク検出手段からの検出信号に基づいて、モーター１５２ｃ，１５３ｃの駆動と回転方向とを制御して所定の長さに引き出されたワイピング部材ＷＬに張力（テンション）を与えることができる。
これらの巻出し部１５２と巻取り部１５３とによりワイピング部材供給機構が構成されている。

平面視で四角形の基台１５１は、長手方向が副走査方向（Ｘ方向）と合致するようにクリーニング機構１０９（図１参照）に設けられている。したがって、基台１５１上に設けられた巻出し部１５２と巻取り部１５３とは、引き出された糸状または紐状のワイピング部材ＷＬが吐出ヘッド５０のノズル列５２ｃと並行するように配置されている。

図７（ｂ）に示した当接機構１５４は、例えばエアーシリンダーであって、基台１５１上において上下するロッドを有し、ロッドの先端にはワイピング部材ＷＬを支持する支持部１５４ａが設けられている。支持部１５４ａの構成は、第１実施形態における支持部１２４ａと同じである。

他の当接機構１５５，１５６，１５７，１５８の構成も当接機構１５４と同じであって、ロッドの先端部にワイピング部材ＷＬを支持する支持部１５５ａ，１５６ａ，１５７ａ，１５８ａを有している。

ヘッドユニット１０１に搭載された３つの吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃのうち吐出ヘッド５０Ｂのノズル面５１ａを払拭する際には、基台１５１のほぼ中央に位置する当接機構１５６の支持部１５６ａを下降させ、他の当接機構１５４，１５５，１５７，１５８の支持部１５４ａ，１５５ａ，１５７ａ，１５８ａを上昇させて、ワイピング部材ＷＬをノズル面５１ａに当接させる。また、モーター１５２ｃ，１５３ｃを駆動制御して当接機構１５４と当接機構１５８との間において所定の長さに引き出されたワイピング部材ＷＬに張力（テンション）を与える。

この場合のワイピング動作の開始位置は、主走査方向（Ｙ方向）における吐出ヘッド５０Ｂのノズル面５１ａの前端である。そして、液滴吐出装置１００の制御装置１０８は、Ｙ方向駆動モーター１１０を駆動し、ワイピング装置１５０が搭載されたクリーニング機構１０９を主走査方向（Ｙ方向）に移動させる。これにより、図７（ｄ）に示すように、吐出ヘッド５０Ｂのノズル面５１ａに対してワイピング部材ＷＬを相対的に移動させ、ワイピング動作を行わせる。

３つの吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃのうち残りの吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｃのノズル面５１ａを払拭する際には、基台１５１の当接機構１５５の支持部１５５ａと当接機構１５７の支持部１５７ａを下降させ、他の当接機構１５４，１５６，１５８の支持部１５４ａ，１５６ａ，１５８ａを上昇させて、ワイピング部材ＷＬをそれぞれのノズル面５１ａに当接させる。また、モーター１５２ｃ，１５３ｃを駆動制御して当接機構１５４と当接機構１５８との間において所定の長さに引き出されたワイピング部材ＷＬに張力（テンション）を与える。そして、吐出ヘッド５０Ｂの場合と同様に、ワイピング装置１５０が搭載されたクリーニング機構１０９を主走査方向（Ｙ方向）に移動させ、同じく図７（ｄ）に示すように、２つの吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｃのノズル面５１ａに対してワイピング部材ＷＬを相対的に移動させ、ワイピング動作を行わせる。

もちろん、第１実施形態と同様に、これらのワイピング動作を行うときに巻出し部１５２から新しいワイピング部材ＷＬを供給するように制御してもよい。また、洗浄液を含ませたワイピング部材ＷＬを用いてワイピング動作を行ってもよい。

なお、ワイピング動作を行う順序は、吐出ヘッド５０Ｂの方を先に行うことに限定されず、吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｃの方から先に実施してもよいし、これらのワイピング動作を繰り返してもよい。

また、第１実施形態と同様に、巻出し部１５２側の当接機構１５４の上流側に、ワイピング部材ＷＬに洗浄液を塗布する洗浄液塗布部を設けてもよい。また、５つの当接機構１５４，１５５，１５６，１５７，１５８の間にノズル面５１ａやワイピング部材ＷＬから落下するおそれがある機能液や異物を受ける受け皿を設けてもよい。

上記第２実施形態の効果は、第１実施形態の効果（１）〜（４）に加えて、以下の効果が得られる。

（５）上記第２実施形態のワイピング装置１５０およびこれを用いたワイピング方法によれば、ノズル面５１ａに対してノズル列５２ｃに並行するようにワイピング部材ＷＬを当接させ、平面視で四角形のノズル面５１ａの短手方向にワイピング動作を行う。したがって、ワイピング動作中にワイピング部材ＷＬを引き出された方向に移動させないときには、第１実施形態に比べて当接したワイピング部材ＷＬの同一箇所で払拭するノズル５２の数が実質的に１つとなる。つまり、ワイピング部材ＷＬを無駄に使用せず、より効率的に３６０個のノズル５２からなるノズル列５２ｃが設けられたノズル面５１ａを払拭することができる。

上記第１実施形態のワイピング装置１２０または上記第２実施形態のワイピング装置１５０を備えた液滴吐出装置１００は、帯状のワイピング部材を用いる場合に比べて、ワイピング部材の使用量を低減すると共に、各吐出ヘッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃのノズル面５１ａを清浄な状態として、安定的な膜パターンの描画を行うことができる。

上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）上記第１実施形態において、ワイピング部材ＷＬをノズル面５１ａに当接させる当接機構１２４，１２５，１２６の構成は、これに限定されない。例えば、糸状または紐状のワイピング部材ＷＬの巻出し部１２２と巻取り部１２３とを基台１２１上において、上下動させる機構を有するとしてもよい。上記第２実施形態の場合も同様である。

（変形例２）ノズル面５１ａに当接させるワイピング部材ＷＬは１本に限定されない。例えば、１つのノズル面５１ａに対して複数本のワイピング部材ＷＬを当接させる構成としてもよい。これによれば、短時間でのワイピング動作でノズル面５１ａを清浄化できる。

（変形例３）上記実施形態では、ワイピング装置１２０またはワイピング装置１５０を液滴吐出装置１００のクリーニング機構１０９に搭載したが、これに限定されない。例えば、ワイピング装置１２０またはワイピング装置１５０を単独でＹ方向ガイド軸１０５に沿って移動させる構成としてもよい。

５０，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ…吐出ヘッド、５１ａ…ノズル面、５２…ノズル、１００…描画装置としての液滴吐出装置、１２０，１５０…ワイピング装置、１２２，１５２…巻出し部、１２３，１５３…巻取り部、１２４，１２５，１２６，１５４，１５５，１５６，１５７，１５８…当接機構、１２９…洗浄液塗布部、Ｗ…ワーク、ＷＬ…糸状または紐状のワイピング部材。

Claims (13)

1. 吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピング装置であって、
   糸状または紐状のワイピング部材と、
   前記ワイピング部材の巻出し部と巻取り部とを有するワイピング部材供給機構と、
   前記ワイピング部材供給機構によって所定の長さに引き出された前記ワイピング部材に前記ノズル面を当接させる当接機構とを備え、
   前記ノズル面に前記ワイピング部材を当接させた状態で、前記吐出ヘッドに対して前記ワイピング部材を相対的に移動させて前記ノズル面を払拭することを特徴とするワイピング装置。
2. 前記当接機構は、前記所定の長さに引き出された前記ワイピング部材を一定の高さに保持し、
   前記ワイピング部材供給機構は、前記巻出し部と前記巻取り部とを制御して前記一定の高さに保持された前記ワイピング部材に張力を与えることを特徴とする請求項１に記載のワイピング装置。
3. 前記ワイピング部材供給機構は、前記ワイピング部材による前記ノズル面の払拭中に前記巻出し部から前記巻取り部へと前記ワイピング部材を移動させることを特徴とする請求項１または２に記載のワイピング装置。
4. 前記ノズル面には一定の方向に配列した複数のノズルが設けられており、前記複数のノズルの配列方向に対して前記ワイピング部材が交差するように前記ワイピング部材供給機構が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のワイピング装置。
5. 前記ノズル面には一定の方向に配列した複数のノズルが設けられており、前記複数のノズルの配列方向に対して前記ワイピング部材が並行するように前記ワイピング部材供給機構が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のワイピング装置。
6. 前記巻出し部側に配置され、前記ワイピング部材に洗浄液を塗布する洗浄液塗布部を備えたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のワイピング装置。
7. 吐出ヘッドのノズルからワークに対して機能性材料を含む機能液を吐出して前記ワーク上に膜パターンを描画する描画装置であって、
   請求項１乃至６のいずれか一項に記載のワイピング装置を備えたことを特徴とする描画装置。
8. 吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピング方法であって、
   所定の長さに引き出された糸状または紐状のワイピング部材に対して前記ノズル面を当接させる第１ステップと、
   前記ノズル面に前記ワイピング部材を当接させた状態で、前記吐出ヘッドに対して前記ワイピング部材を相対的に移動させて前記ノズル面を払拭する第２ステップと、を備えたことを特徴とするワイピング方法。
9. 前記第１ステップは、前記所定の長さに引き出された前記ワイピング部材に張力を与えることを特徴とする請求項８に記載のワイピング方法。
10. 前記ノズル面には一定の方向に配列した複数のノズルが設けられており、前記第１ステップは、前記ノズル面に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する方向に前記ワイピング部材を当接させることを特徴とする請求項８または９に記載のワイピング方法。
11. 前記ノズル面には一定の方向に配列した複数のノズルが設けられており、前記第１ステップは、前記ノズル面に対して前記複数のノズルの配列方向と並行する方向に前記ワイピング部材を当接させることを特徴とする請求項８または９に記載のワイピング方法。
12. 前記第２ステップは、前記ワイピング部材による前記ノズル面の払拭中に前記ワイピング部材を引き出された方向に移動させることを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか一項に記載のワイピング方法。
13. 前記第１ステップの前に、前記所定の長さに引き出された前記ワイピング部材に洗浄液を含ませるステップを有していることを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか一項に記載のワイピング方法。

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