JP2011145493A - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源装置1は、各々レーザ光を出射する第1,第2レーザ出力部II,IIIと、第1のウォークオフ角で配置され第1,第2レーザ出力部II,IIIから出射されたレーザ光が入射する第1非線形光学結晶35と、第1のウォークオフ角と直交する第2のウォークオフ角で配置され第1波長変換光学素子35から出射したレーザ光が入射する第2非線形光学結晶36と、ビーム制御装置80とを備える。ビーム制御装置80は、第1非線形光学結晶35における位相整合条件及び第2非線形光学結晶36における位相整合条件の少なくともいずれかを変化させ、ビームポインティングを変化させることにより、第2非線形光学結晶36から出射されるレーザ光の出射光路を変化させる。
【選択図】図1
Description
II 第1レーザ出力部
III 第2レーザ出力部
1 光源装置
8 制御装置
10 レーザ光発生部
11,12,13 レーザ光源
15,16,17 光変調器
20 光増幅部
21,22,23 ファイバー光増幅器
30 波長変換部(第1波長変換部、第2波長変換部)
31〜36 波長変換光学素子(35:第1非線形光学結晶、36:第2非線形光学結晶)
50 ポインティング検出部
51 ビーム位置検出器
80 ビーム制御装置
Claims (5)
- 各々レーザ光を出射する第1レーザ出力部及び第2レーザ出力部と、
第1非線形光学結晶が第1の角度方向にウォークオフを生じる配置の角度位相整合で用いられ、前記第1レーザ出力部から出射されたレーザ光及び前記第2レーザ出力部から出射されたレーザ光の少なくとも一方のレーザ光が入射して波長変換される第1波長変換部と、
第2非線形光学結晶が前記第1の角度方向と直交する角度方向にウォークオフを生じる配置の角度位相整合で用いられ、前記第1波長変換部から出射されたレーザ光及び他方のレーザ光が入射して波長変換される第2波長変換部と、
前記第1非線形光学結晶における位相整合状態及び前記第2非線形光学結晶における位相整合状態の少なくともいずれかを変化させ、位相不整合量に応じてビームポインティングを変化させることにより、前記第2波長変換部から出射されるレーザ光の出射光路を変化させるビーム制御装置とを備えたことを特徴とする光源装置。 - 前記ビーム制御装置は、前記第1レーザ出力部から出射されるレーザ光の波長及び前記第2レーザ出力部から出射されるレーザ光の波長の少なくともいずれかを変化させることにより、前記第1、第2非線形光学結晶における位相不整合量を変化させるように構成したことを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記第1及び第2レーザ出力部の少なくともいずれかは、パルス発振するレーザ光源と、前記レーザ光源により発生されたパルス状のレーザ光の一部を切り出して出射させる光変調器とを備え、
前記ビーム制御装置が、前記光変調器による切り出しタイミングを変化させることにより、出射されるレーザ光の波長を変化させるように構成したことを特徴とする請求項2に記載の光源装置。 - レーザ光を出射する第3レーザ出力部をさらに備えるとともに、前記第1、第2、第3レーザ出力部から出射されたレーザ光の少なくともいずれかが前記第1波長変換部に入射され、
前記第1波長変換部から出射されたレーザ光及び前記第1、第2、第3レーザ出力部から出射されたレーザ光の少なくとも他のいずれかが前記第2波長変換部に入射され、
前記ビーム制御装置は、前記第1、第2、第3レーザ出力部から出射されるレーザ光の波長の少なくともいずれか二つを変化させることにより、前記第1、第2非線形光学結晶における位相不整合量を変化させ、前記第2波長変換部から出射されるレーザ光の出射光路を光軸に直行する任意方向に調整可能に構成したことを特徴とする請求項1に記載の光源装置。 - 前記第2波長変換部から出射されたレーザ光の光軸直行方向の位置を検出するビーム位置検出器を備え、
前記ビーム制御装置が、前記ビーム位置検出器により検出されたレーザ光の光軸直行方向位置に基づいてレーザ光の出射光路を調整するように構成したことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光源装置。
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