JP2011145234A5 - - Google Patents

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気化器15においては、水供給系14から供給される水が気化され、水蒸気とされて、他の供給路11b、12b、および13bから供給される窒素ガス、NOガス、および酸素ガスと混合される。これにより、混合ガスが生成される。混合ガスは、混合ガス供給路16にて気化器15から測定部3へと供給される。混合ガス供給路16の途中には、適宜、流量調整手段17やリークバルブ18などが設けられてなる。
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