JP2011145192A5 - - Google Patents
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Claims (1)
- プローブと、
このプローブが設けられた第１面と該第１面の裏側面である第２面とを有するプローブ基板と、
前記プローブ基板の第２面側に間隔を空けて配置される配線基板と、
前記プローブ基板の第２面と前記配線基板との間に介在しており且つ前記プローブ基板の第２面に当接する第１当接面から前記配線基板に当接する第２当接面にかけて貫通する貫通孔が設けられたスペーサと、
このスペーサの貫通孔内に設けられ、前記プローブ基板の第２面と前記配線基板とを接着する第１接着部とを備えていることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010006642A JP5320309B2 (ja) | 2010-01-15 | 2010-01-15 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010006642A JP5320309B2 (ja) | 2010-01-15 | 2010-01-15 | プローブカード |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011145192A JP2011145192A (ja) | 2011-07-28 |
| JP2011145192A5 true JP2011145192A5 (ja) | 2012-07-05 |
| JP5320309B2 JP5320309B2 (ja) | 2013-10-23 |
Family
ID=44460175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010006642A Expired - Fee Related JP5320309B2 (ja) | 2010-01-15 | 2010-01-15 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5320309B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013044591A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 電子部品検査装置用配線基板およびその製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU6635296A (en) * | 1995-05-26 | 1996-12-18 | Formfactor, Inc. | Contact carriers (tiles) for populating larger substrates wi th spring contacts |
| JP5190195B2 (ja) * | 2006-11-29 | 2013-04-24 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
| JP2009216466A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Yamaichi Electronics Co Ltd | 接触子ユニットを備えるプローブカード、および、接触子ユニットの交換方法 |
-
2010
- 2010-01-15 JP JP2010006642A patent/JP5320309B2/ja not_active Expired - Fee Related
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