JP2011138357A - 検査システム、検査装置、および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一実施形態に係る検査装置2は、基準データである検査用レシピデータをレシピファイル36として保持し、該検査用レシピデータを検査対象装置3のPC4へ送信する検査用レシピ送信部34と、検査対象装置3のPLC5のデータ格納領域に格納された検査用レシピデータを受信し、上記レシピファイル36に出力された基準データである検査用レシピデータとPLC5から受信した検査用レシピデータとを比較照合する照合部33とを備える。
【選択図】図3
Description
図1は、本実施形態の概要を説明する図である。
図1において、符号10は、上位コンピュータから検査対象装置に入力され、該検査対象装置が有する装置コントローラのデータ格納領域に格納された(ダウンロードされた)、所定の処理に関する処理条件を示す制御パラメータ(以下、単に“レシピ”とも呼ぶ)が、正しく格納されているか否かを検査する検査システムである。検査システム10は、検査用PCに実装された検査装置2と、該検査装置2とネットワークを介して接続された検査対象装置(例えば、半導体・電子部品製造装置といった製造装置等)3とを備えている。該検査対象装置3は、該検査対象装置3の制御装置としてのPC4と装置コントローラとしてのプログラマコントローラ(PLC)5とを有している。
図2において、検査装置2は、種々の演算、制御、判別などの処理動作を実行するCPU20と、このCPU20によって実行される種々の制御プログラムなどを格納するROM21と、CPU20の処理動作中のデータや入力データなどを一時的に格納するRAM22と、不揮発性メモリ23などを有する。また、検査装置2は、インタフェース部24を有しており、該インタフェース部、および所定のネットワークを介してPC4およびPLC5と通信することができる。また、この検査装置2には、所定の指令あるいはデータなどを入力するキーボードあるいは各種スイッチなどを含む入力操作部25、および検査用レシピに関する各項目などをはじめとする種々の表示を行う表示部26が接続されている。
図3において、テスト条件設定部31は、作業者1からのテスト(検査用レシピの各項目)の設定を受付ける。本実施形態では、検査用レシピの生成条件、比較照合時の照合条件の設定情報を取得して、テスト条件設定ファイル35をデータベースに出力する。すなわち、作業者1が、入力操作部25を介して所定の情報を入力すると、テスト条件設定部31は、該作業者による入力を受け付け、該入力に基づいてテスト条件設定ファイル35を生成する。さらに、作業者1がテスト条件設定ファイル35に含まれている検査項目(レシピ項目)のうち、所望の検査項目を入力操作部25を介して入力すると、テスト条件設定部31は、どのテスト(検査項目)を実行するかの指定(ここではテスト番号)を作業者1から取得し、該指定された検査項目を検査用レシピ生成部32に出力する。
図4の例では、検査項目であるレシピ項目ごとに、検査用レシピの生成条件(ここでは、異常値、正常値など)、照合条件(ここでは、PLCアドレス、照合処理、データ型)の設定がなされている。すなわち、検査装置2は、表示部5において、テスト条件設定ファイル35の設定用のユーザインタフェースを表示し、作業者1に入力操作部25を介して所定の項目を入力させる。
検査装置2は、全ての検査用レシピデータの検査を終了すると、作業者1に対して、この検査結果ファイル37に基づき、表示部26において画面表示を行う。該画面表示の例を図6に示す。
また、説明の簡便のため、正常値の値によってPC側の処理内容が異なるような場合には、照合処理の内容を正常値ごとに設定してもよい。
以上の構成により、作業者1は、テストしたい正常値、異常値の値を入力するだけで、検査用レシピデータを生成できるので、検査用レシピデータの生成に要する膨大な時間を省くことができ、かつ検査ミスを防げる。また、膨大の量のデータ生成と照合を統合的に行うことで、作業時間及び検査ミスの抑制効果は一層高まる。
前述した実施形態の機能を実現するように前述した実施形態の構成を動作させるプログラムを記憶媒体に記憶させ、該記憶媒体に記憶されたプログラムをコードとして読み出し、コンピュータにおいて実行する処理方法も上述の実施形態の範疇に含まれる。即ちコンピュータ読み取り可能な記憶媒体も実施例の範囲に含まれる。また、前述のコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体はもちろんそのコンピュータプログラム自体も上述の実施形態に含まれる。
3 検査対象装置
4 PC
5 プログラマコントローラ
10 検査システム
31 テスト条件設定部
32 検査用レシピ生成部
33 照合部
34 検査用レシピ送信部
35 テスト条件設定ファイル
36 レシピファイル
37 検査結果ファイル
Claims (19)
- 所定のコンピュータから製造装置の装置コントローラ内へ送信した制御パラメータであるレシピが正常に前記装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく送られたか否かを検査する検査システムであって、
基準データである検査用レシピデータを保持し、該検査用レシピを前記製造装置に送信し、前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを読み出して該読み出された検査用レシピデータと前記保持された基準データである検査用レシピデータとを比較照合する検査装置と、
前記検査装置とデータ授受を可能に構成された前記製造装置の制御装置であって、前記検査装置から受信した検査用レシピデータを必要に応じてデータ形式を変換して前記装置コントローラに転送する制御装置と、
前記制御装置から転送された検査用レシピデータを、前記データ格納領域に格納する装置コントローラと
を備えることを特徴とする検査システム。 - 前記検査用レシピデータは、前記レシピとして正常である正常値または異常値を含んでおり、
前記制御装置は、前記検査装置から受信した検査用レシピデータが正常値を含んでいる場合に、該正常値を含んでいる検査用レシピデータを前記装置コントローラに転送することを特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - 前記制御装置は、前記検査装置から受信した検査用レシピデータが異常値を含んでいる場合は、前記検査装置に、前記検査用レシピデータが異常値を含むことを通知する応答を行うことを特徴とする請求項2に記載の検査システム。
- 前記検査装置は、前記比較照合の結果を、該検査装置が有する記憶装置にファイル出力することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の検査システム。
- 前記検査装置が前記装置コントローラから前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを読み出す際に、前記装置コントローラは、該装置コントローラが対応するデータ形式が前記検査装置が対応するデータ形式と異なる場合、前記読み出しの前に前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを前記検査装置に適合するようにデータ変換することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の検査システム。
- 自身から製造装置へ送信した制御パラメータであるレシピが前記製造装置の装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく格納されたか否かを検査する検査装置であって、
基準データである検査用レシピデータを保持するためのデータ保持部と、
前記検査用レシピデータを前記製造装置の制御装置へ送信する送信部と、
前記装置コントローラから前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを受信する受信部と、
前記データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと前記受信部にて受信した検査用レシピデータとを比較照合する検査部と
を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記制御装置に送信した検査用レシピデータを前記装置コントローラに転送するように前記制御装置を制御する手段をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の検査装置。
- 前記制御する手段は、前記制御装置に対してコマンドを送信して、前記制御装置に送信した検査用レシピデータを前記装置コントローラに転送させることを特徴とする請求項7に記載の検査装置。
- 前記検査部による比較照合した結果を前記検査装置が備える記憶装置にファイル出力する出力部をさらに備えることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の検査装置。
- 前記検査用レシピデータを生成するレシピ生成部をさらに備えることを特徴とする請求項6乃至9のいずれかに記載の検査装置。
- 前記レシピ生成部は、前記レシピとして正常である正常値を含む検査用レシピデータと異常値を含む検査用レシピデータとを夫々生成することを特徴とする請求項10に記載の検査装置。
- 前記レシピ生成部は、制御項目単位で該制御項目に対する制御パラメータの正常値及び異常値の指定を取得し、前記制御項目に対して設定された前記正常値を含む正常な検査用レシピデータ、および前記制御項目に対して設定された前記異常値を含む検査用レシピデータを夫々生成することを特徴とする請求項10に記載の検査装置。
- 前記送信部により前記異常値を含む検査用レシピデータを前記制御装置に送信した結果、前記制御装置から異常である旨を通知された場合は、前記制御装置が前記異常値を異常であると判断している旨を表示する表示部をさらに備えることを特徴とする請求項11または12に記載の検査装置。
- 前記検査部は、前記受信した検査用レシピデータが前記検査装置のデータ形式と異なる場合に、該受信した検査用レシピデータを比較可能なデータに変換し、データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと比較することを特徴とする請求項6乃至13のいずれかに記載の検査装置。
- 前記検査部は、レシピに設定すべき各制御項目と、前記受信部にて受信した検査用レシピデータを前記データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと比較するための変換の処理内容との対応を規定したテーブルを記憶した記憶部を備えることを特徴とする請求項6乃至14のいずれかに記載の検査装置。
- 検査装置から製造装置の装置コントローラ内へ送信した制御パラメータであるレシピが正常に前記装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく送られたか否かを検査する検査方法であって、
前記検査装置が、基準データである検査用レシピデータを該検査装置が有するデータ保持部に保持し、前記検査用レシピデータを前記製造装置の制御装置に送信する工程と、
前記制御装置が、前記検査装置から受信した検査用レシピデータを必要に応じてデータ形式を変換して前記装置コントローラに転送する工程と、
前記装置コントローラが、前記転送された検査用レシピデータを前記データ格納領域に格納する工程と、
前記検査装置が、前記格納領域に格納された前記検査用レシピデータを読み出して該読み出された検査用レシピデータと前記データ保持部に保持された基準データである検査用レシピデータとを比較照合する工程と
を有することを特徴とする検査方法。 - 検査装置から製造装置へ送信した制御パラメータであるレシピが前記製造装置の装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく格納されたか否かを検査する検査方法であって、
所定の情報を取得して検査用レシピデータを生成する工程と、
前記生成された検査用レシピデータを基準データとしてデータ保持部に保持する工程と、
前記生成された検査用レシピデータを前記製造装置の制御装置へ送信する工程と、
前記送信した検査用レシピデータを前記制御装置から前記装置コントローラへと転送させる工程と、
前記装置コントローラから前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを受信する工程と、
前記データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと前記装置コントローラから受信した検査用レシピデータとを比較照合する工程と
を有することを特徴とする検査方法。 - コンピュータを請求項6乃至15のいずれかに記載の検査装置として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
- コンピュータにより読み出し可能なプログラムを格納した記憶媒体であって、請求項18に記載のコンピュータプログラムを格納したことを特徴とする記憶媒体。
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JP2013140583A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Yokogawa Electric Corp | リアルタイムで生産制御システムにおけるバッチのライフサイクルを管理するシステムおよび方法 |
JP2021047748A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 株式会社日立製作所 | 製品検査システム、製品検査方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05297902A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Mitsubishi Electric Corp | プログラマブルコントローラのプログラム転送方法およびパラメータチューニング方法 |
JPH08167547A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置のプロセスパラメータ検査方法 |
JP2001014008A (ja) * | 1999-06-29 | 2001-01-19 | Digital Electronics Corp | データ転送システム、データ転送方法およびデータ転送のためのプログラムが記録された記録媒体 |
JP2003029823A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-31 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置 |
JP2007059765A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05297902A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Mitsubishi Electric Corp | プログラマブルコントローラのプログラム転送方法およびパラメータチューニング方法 |
JPH08167547A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置のプロセスパラメータ検査方法 |
JP2001014008A (ja) * | 1999-06-29 | 2001-01-19 | Digital Electronics Corp | データ転送システム、データ転送方法およびデータ転送のためのプログラムが記録された記録媒体 |
JP2003029823A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-31 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置 |
JP2007059765A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013140583A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Yokogawa Electric Corp | リアルタイムで生産制御システムにおけるバッチのライフサイクルを管理するシステムおよび方法 |
JP2021047748A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 株式会社日立製作所 | 製品検査システム、製品検査方法 |
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