JP2011137657A - 画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記録媒体 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 69
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 35
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 13
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 13
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 111
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 45
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 20
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 17
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 81
- 230000006870 function Effects 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 12
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 6
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 2
- 238000004073 vulcanization Methods 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Tires In General (AREA)
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- Image Analysis (AREA)
Abstract
【解決手段】 制御部12は、タイヤ回転方向に直交する方向のラインごとに、取込画像の各画素の濃度を、各画素が含まれるライン上の平均濃度に変換して、濃度射影変換する。次に、濃度射影変換が行われた画像に対して、タイヤの回転方向のラインのうちの1つのライン上の画素について、フーリエ展開する。フーリエ展開された周波数成分からコード露出帯域の周波数成分を除いた残余の周波数成分を逆フーリエ展開し、逆フーリエ展開手段によって求めた逆フーリエ変換濃度と濃度射影変換によって求めた射影変換濃度との差分濃度を求め、差分濃度について、周期性があればコード露出と判定し、周期性がなければ刻印文字と判定して、コード露出欠陥検出処理を行う。
【選択図】 図11
Description
各画素の濃度を、各画素が含まれる第2の方向のライン上の画素の濃度を平均した平均濃度に変換する濃度変換工程と、
第1の方向のラインのうちの1つのラインについて、各画素の位置を変数として、濃度変換工程で変換された各画素の濃度をフーリエ展開するフーリエ展開工程と、
フーリエ展開工程でフーリエ展開された周波数成分を、コード露出帯域の周波数成分と、コード露出帯域の周波数成分を除いた残余の周波数成分とに判定する周波数判定工程と、
周波数判定工程でコード露出帯域の周波数成分を除いた残余の周波数成分を、逆フーリエ展開する逆フーリエ展開工程と、
濃度変換工程で求めた射影変換濃度と、逆フーリエ展開工程で求めた逆フーリエ展開濃度との差分濃度を求める差分濃度算出工程と、
差分濃度算出工程で求めた差分濃度について、コード露出に相当する差分濃度であるか否かを判定するコード露出判定工程と、
コード露出判定工程で判定された差分濃度について、周期性があればコード露出と判定し、周期性がなければ刻印文字と判定する刻印文字判定工程とを含むことを特徴とする画像処理方法である。
前記予め定める第1の方向は、タイヤ回転方向であることを特徴とする。
前記予め定める第1の方向は、タイヤ回転方向に対して予め定める角度範囲内の複数の角度の方向であることを特徴とする。
また本発明は、予め定める第1の方向に延びる互いに平行な複数のラインと、第1の方向に直交する第2の方向に延びる互いに平行な複数のラインとの交点に配列される複数の画素から構成される画像であって、周期性のある線状の凹部または凸部からなる線状模様が形成される対象物を撮像した画像の各画素の濃度を、各画素が含まれる第2の方向のライン上の画素の濃度を平均した平均濃度に変換する濃度変換手段と、
第1の方向のラインのうちの1つのラインについて、各画素の位置を変数として、濃度変換手段によって変換された各画素の濃度をフーリエ展開するフーリエ展開手段と、
フーリエ展開手段によってフーリエ展開された周波数成分からコード露出帯域の周波数成分とコード露出帯域の周波数成分を除いた周波数成分とに判定する周波数判定手段と、
周波数判定手段によって判定された残余の周波数成分を逆フーリエ展開する逆フーリエ展開手段と、
濃度変換手段によって求めた射影変換濃度と、逆フーリエ展開手段によって求めた逆フーリエ変換濃度との差分濃度を求める差分濃度算出手段と、
差分濃度算出手段によって求めた差分濃度について、周期性があればコード露出と判定し、周期性がなければ刻印文字と判定する刻印文字判定手段とを含むことを特徴とする画像処理装置である。
予め定める第1の方向に延びる互いに平行な複数のラインと、第1の方向に直交する第2の方向に延びる互いに平行な複数のラインとの交点に配列される複数の画素から構成される画像であって、周期性のある線状の凹部または凸部からなる線状模様が形成される対象物を撮像した画像の各画素の濃度を、各画素が含まれる第2の方向のライン上の画素の濃度を平均した平均濃度に変換する濃度変換手段、
第1の方向のラインのうちの1つのラインについて、各画素の位置を変数として、濃度変換手段によって変換された各画素の濃度をフーリエ展開するフーリエ展開手段、
フーリエ展開手段によってフーリエ展開された周波数成分からコード露出帯域の周波数成分とコード露出帯域の周波数成分を除いた周波数成分とに判定する周波数判定手段、
周波数判定手段によって判定された残余の周波数成分を逆フーリエ展開する逆フーリエ展開手段、
濃度変換手段によって求めた射影変換濃度と、逆フーリエ展開手段によって求めた逆フーリエ変換濃度との差分濃度を求める差分濃度算出手段、および
差分濃度算出手段によって求めた差分濃度について、周期性があればコード露出と判定し、周期性がなければ刻印文字と判定する刻印文字判定手段として機能させるためのプログラムである。
また本発明は、前記プログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体である。
第1ステップでは、制御部12は、濃度射影変換処理を行う。濃度射影変換は、1つの方向のライン上の画素の濃度を、そのライン上の画素の濃度を平均した平均濃度に変換することである。具体的には、制御部12は、タイヤ回転方向に直交する方向のラインごとに、取込画像の各画素の濃度を、各画素が含まれるライン上の画素の濃度を平均した濃度に変換する。取込画像に照明による濃度むらがある場合は、取込画像から濃度むらを除去した画像に対して濃度射影変換を行う。濃度むらの除去方法については、特に限定されない。
第2ステップでは、制御部12は、フーリエ展開処理を行う。具体的には、制御部12は、濃度射影変換が行われた画像に対して、予め定める第1の方向、たとえばタイヤの回転方向のラインのうちの1つのライン上の画素について、画素の位置を変数xとし、各画素の濃度を関数f(x)として、フーリエ展開する。フーリエ展開した関数をF(x)とし、濃度の関数f(x)が0≦x≦1で求められたとすると、F(x)は、式(1)によって算出される。
F(x)=a0/2+Σ{an ×cos(n×π×x/L)
+bn×sin(n×π×x/L)} …(1)
an=1/l×∫f(x)×cos(n×π×x/L)dx …(2)
bn=1/l×∫f(x)×sin(n×π×x/L)dx …(3)
ここで、∫は積分記号であり、積分∫の範囲は、−1≦x≦1である。
図6は、フーリエ周波数ヒストグラムを示す図である。フーリエ周波数ヒストグラムは、横軸が周波数であり、縦軸は振幅である。図6(a)は、コード露出欠陥のない場合のフーリエ周波数ヒストグラム51であり、図6(b)は、コード露出欠陥のある場合のフーリエ周波数ヒストグラム52である。
相関値R(x,y)は、−1≦R(x,y)≦1の範囲の値となり、R(x,y)=「1」が完全一致を示し、R(x,y)=「−1」が完全不一致、すなわち相関値算出領域67の画像がテンプレート領域66の画像の反転画像であることを示し、R(x,y)=「0」が無相関であることを示す。また、相関値R(x,y)は、整数として表現するために、たとえば「10,000」などの定数を乗じた値を、相関値として用いることがある。すなわち、−1.0〜1.0の範囲にある小数値を整数化するために1万倍している。
D(x,y)=R(x+Δx,y)−R(x,y) …(6)
第4ステップでは、制御部12は、逆フーリエ展開処理を行う。具体的には、制御部12は、フーリエ展開処理でフーリエ展開された中周波〜高周波数範囲(=40〜150)の周波数成分から、周波数判定処理で算出されたブラダーグルーブの周期を表す周波数成分を除去し、残余の周波数成分を逆フーリエ展開して射影変換濃度を再度生成する。すなわち、式(1)で求めた関数F(x)の項のうち、周波数z〜39Hzの項を除いて逆フーリエ展開する。この逆フーリエ展開によって、ブラダーグルーブが除去され、欠陥部を残した画像を得ることができる。
第5ステップでは、制御部12は、欠陥検出処理を行う。具体的には、制御部12は、第1ステップで求めた射影変換濃度と第4ステップで求めた逆フーリエ展開濃度との差分濃度を求める。これが、欠陥部の射影変換濃度である。
第6ステップでは、第5ステップで求めた差分濃度について、式(7)によって差分平均値を求める。
差分平均値=差分濃度合計/差分濃度データ数 …(7)
前述の第6ステップにおいて、コード露出欠陥ありと判定された場合、コード露出欠陥ありと判定された部分を基準テンプレートとして横方向に相関値を求める。この相関値に周期性が見られる場合は、コード露出欠陥と判定し、周期性が見られない場合は刻印文字と判定する。
制御部12は、第1〜第6ステップによるコード露出欠陥検出処理で、濃度射影変換を行う傾きをタイヤ回転方向に直交する方向として実行したが、コード露出欠陥の方向が、タイヤ回転方向に直交する方向に一致するとは限らず、若干傾いている可能性がある。コード露出欠陥の方向と、濃度射影変換を行う方向とが一致していないと、第1〜第6ステップによるコード露出欠陥検出処理では、コード露出欠陥を検出することができない。
Disk Recordable)/ブルーレイディスクなどの光ディスクのディスク系の記録媒体、IC(Integrated Circuit)カード(メモリカードを含む)/光カードなどのカード系の記録媒体、またはマスクROM/EPROM(Erasable Programmable Read Only Memory)/EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)/フラッシュROMなどの半導体メモリを含む固定的にプログラムを担持する記録媒体であってもよい。
Data Rate)、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網などの無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。
11 入力部
12 制御部
13 記憶部
14 出力部
Claims (7)
- 予め定める第1の方向に延びる互いに平行な複数のラインと、第1の方向に直交する第2の方向に延びる互いに平行な複数のラインとの交点に配列される複数の画素から構成される画像であって、周期性のある線状の凹部または凸部からなる線状模様が形成される対象物を撮像した画像の処理を行う画像処理装置で実行される画像処理方法であって、
各画素の濃度を、各画素が含まれる第2の方向のライン上の画素の濃度を平均した平均濃度に変換する濃度変換工程と、
第1の方向のラインのうちの1つのラインについて、各画素の位置を変数として、濃度変換工程で変換された各画素の濃度をフーリエ展開するフーリエ展開工程と、
フーリエ展開工程でフーリエ展開された周波数成分を、コード露出帯域の周波数成分と、コード露出帯域の周波数成分を除いた残余の周波数成分とに判定する周波数判定工程と、
周波数判定工程でコード露出帯域の周波数成分を除いた残余の周波数成分を、逆フーリエ展開する逆フーリエ展開工程と、
濃度変換工程で求めた射影変換濃度と、逆フーリエ展開工程で求めた逆フーリエ展開濃度との差分濃度を求める差分濃度算出工程と、
差分濃度算出工程で求めた差分濃度について、コード露出に相当する差分濃度であるか否かを判定するコード露出判定工程と、
コード露出判定工程で判定された差分濃度について、周期性があればコード露出と判定し、周期性がなければ刻印文字と判定する刻印文字判定工程とを含むことを特徴とする画像処理方法。 - 前記画像は、タイヤ内側を撮影した画像であり、
前記予め定める第1の方向は、タイヤ回転方向であることを特徴とする請求項1に記載の画像処理方法。 - 前記画像は、タイヤ内側を撮影した画像であり、
前記予め定める第1の方向は、タイヤ回転方向に対して予め定める角度範囲内の複数の角度の方向であることを特徴とする請求項1に記載の画像処理方法。 - 前記線状模様は、ブラダーグルーブであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の画像処理方法。
- 予め定める第1の方向に延びる互いに平行な複数のラインと、第1の方向に直交する第2の方向に延びる互いに平行な複数のラインとの交点に配列される複数の画素から構成される画像であって、周期性のある線状の凹部または凸部からなる線状模様が形成される対象物を撮像した画像の各画素の濃度を、各画素が含まれる第2の方向のライン上の画素の濃度を平均した平均濃度に変換する濃度変換手段と、
第1の方向のラインのうちの1つのラインについて、各画素の位置を変数として、濃度変換手段によって変換された各画素の濃度をフーリエ展開するフーリエ展開手段と、
フーリエ展開手段によってフーリエ展開された周波数成分からコード露出帯域の周波数成分とコード露出帯域の周波数成分を除いた周波数成分とに判定する周波数判定手段と、
周波数判定手段によって判定された残余の周波数成分を逆フーリエ展開する逆フーリエ展開手段と、
濃度変換手段によって求めた射影変換濃度と、逆フーリエ展開手段によって求めた逆フーリエ変換濃度との差分濃度を求める差分濃度算出手段と、
差分濃度算出手段によって求めた差分濃度について、周期性があればコード露出と判定し、周期性がなければ刻印文字と判定する刻印文字判定手段とを含むことを特徴とする画像処理装置。 - コンピュータを、
予め定める第1の方向に延びる互いに平行な複数のラインと、第1の方向に直交する第2の方向に延びる互いに平行な複数のラインとの交点に配列される複数の画素から構成される画像であって、周期性のある線状の凹部または凸部からなる線状模様が形成される対象物を撮像した画像の各画素の濃度を、各画素が含まれる第2の方向のライン上の画素の濃度を平均した平均濃度に変換する濃度変換手段、
第1の方向のラインのうちの1つのラインについて、各画素の位置を変数として、濃度変換手段によって変換された各画素の濃度をフーリエ展開するフーリエ展開手段、
フーリエ展開手段によってフーリエ展開された周波数成分からコード露出帯域の周波数成分とコード露出帯域の周波数成分を除いた周波数成分とに判定する周波数判定手段、
周波数判定手段によって判定された残余の周波数成分を逆フーリエ展開する逆フーリエ展開手段、
濃度変換手段によって求めた射影変換濃度と、逆フーリエ展開手段によって求めた逆フーリエ変換濃度との差分濃度を求める差分濃度算出手段、および
差分濃度算出手段によって求めた差分濃度について、周期性があればコード露出と判定し、周期性がなければ刻印文字と判定する刻印文字判定手段として機能させるためのプログラム。 - 請求項6に記載のプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009296228A JP5373593B2 (ja) | 2009-12-25 | 2009-12-25 | 画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009296228A JP5373593B2 (ja) | 2009-12-25 | 2009-12-25 | 画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011137657A true JP2011137657A (ja) | 2011-07-14 |
JP5373593B2 JP5373593B2 (ja) | 2013-12-18 |
Family
ID=44349224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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