JP2016114448A - 位置測定装置、データ補正装置、位置測定方法およびデータ補正方法 - Google Patents
位置測定装置、データ補正装置、位置測定方法およびデータ補正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016114448A JP2016114448A JP2014252852A JP2014252852A JP2016114448A JP 2016114448 A JP2016114448 A JP 2016114448A JP 2014252852 A JP2014252852 A JP 2014252852A JP 2014252852 A JP2014252852 A JP 2014252852A JP 2016114448 A JP2016114448 A JP 2016114448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- interest
- coefficient
- image
- initial value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 82
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 13
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims 6
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 99
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 39
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 38
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 35
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 15
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 abstract description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 89
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005315 distribution function Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000002945 steepest descent method Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
9 基板
80 位置測定部
81 画像記憶部
82 演算部
83 位置取得部
84 データ補正部
821 画像加工部
822 係数取得部
H1,H2 背景領域
R0 パターン領域
R1 注目領域
R2 配線領域
R3 孔部領域
S10〜S16,S11a,S131〜S134 ステップ
Claims (14)
- 対象物を撮像した画像に含まれる注目領域の位置を測定する位置測定装置であって、
対象物を撮像して取得されるとともに、略矩形状、円形状または楕円形状の注目領域を含む画像を記憶する画像記憶部と、
前記画像において前記注目領域の断面プロファイルがトップハット形状であり、前記注目領域の画素値分布を偏微分可能なモデル関数にてモデル化し、前記モデル関数に含まれる複数の係数を最適化法にて決定することにより取得する演算部と、
前記複数の係数が取得された前記モデル関数に基づいて前記注目領域の位置を取得する位置取得部と、
を備えることを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1に記載の位置測定装置であって、
前記最適化法が、ガウス・ニュートン法またはレーベンバーグ・マルカート法であることを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1または2に記載の位置測定装置であって、
前記演算部において、前記注目領域の画素値分布が数1に示す円形状のモデル関数にて表現され、
係数fの初期値が、前記画像における前記注目領域の背景の明るさに基づいて決定され、
係数eの初期値が、前記注目領域の前記断面プロファイルにおける外縁部での傾きに基づいて決定され、
係数aの初期値が、前記注目領域の明るさと前記背景の明るさとの差に基づいて決定され、
係数bの初期値が、前記係数eの初期値、および、前記注目領域の大きさに基づいて決定され、
係数cの初期値が、前記注目領域の略中心のx座標に基づいて決定され、
係数dの初期値が、前記注目領域の前記略中心のy座標に基づいて決定されることを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1または2に記載の位置測定装置であって、
前記演算部において、前記注目領域の画素値分布が数2に示す略正方形状のモデル関数(ただし、nは1よりも大きい実数)にて表現され、
係数fの初期値が、前記画像における前記注目領域の背景の明るさに基づいて決定され、
係数eの初期値が、前記注目領域の前記断面プロファイルにおける外縁部での傾きに基づいて決定され、
係数aの初期値が、前記注目領域の明るさと前記背景の明るさとの差に基づいて決定され、
係数bの初期値が、前記係数eの初期値、および、前記注目領域の大きさに基づいて決定され、
係数cの初期値が、前記注目領域の略中心のx座標に基づいて決定され、
係数dの初期値が、前記注目領域の前記略中心のy座標に基づいて決定されることを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の位置測定装置であって、
前記対象物がパターンが形成された基板であり、
前記注目領域が、前記パターンの一部、または、前記基板に形成された孔部を示すことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項5に記載の位置測定装置であって、
前記注目領域が、前記画像中の前記パターンを示すパターン領域の一部であり、
前記演算部が、
前記注目領域が前記パターン領域の他の一部と接続する場合に前記パターン領域の前記他の一部をマスクする、または、前記注目領域に対応する前記基板上の領域が孔部を含む場合に前記孔部を示す領域の画素値を前記注目領域の他の領域の画素値に置き換える画像加工部と、
前記画像加工部による加工済みの画像に基づいて、前記複数の係数を取得する係数取得部と、
を備えることを特徴とする位置測定装置。 - 基板上に描画されるパターンの設計データを補正するデータ補正装置であって、
基板を撮像した画像に含まれる注目領域の位置を測定する請求項1ないし6のいずれかに記載の位置測定装置と、
前記注目領域の位置に基づいて、基板上に描画されるパターンの設計データを補正するデータ補正部と、
を備えることを特徴とするデータ補正装置。 - 対象物を撮像した画像に含まれる注目領域の位置を測定する位置測定方法であって、
a)対象物を撮像して取得されるとともに、略矩形状、円形状または楕円形状の注目領域を含む画像を準備する工程と、
b)前記画像において前記注目領域の断面プロファイルがトップハット形状であり、前記注目領域の画素値分布を偏微分可能なモデル関数にてモデル化し、前記モデル関数に含まれる複数の係数を最適化法にて決定することにより取得する工程と、
c)前記複数の係数が取得された前記モデル関数に基づいて前記注目領域の位置を取得する工程と、
を備えることを特徴とする位置測定方法。 - 請求項8に記載の位置測定方法であって、
前記最適化法が、ガウス・ニュートン法またはレーベンバーグ・マルカート法であることを特徴とする位置測定方法。 - 請求項8または9に記載の位置測定方法であって、
前記b)工程において、前記注目領域の画素値分布が数3に示す円形状のモデル関数にて表現され、
係数fの初期値が、前記画像における前記注目領域の背景の明るさに基づいて決定され、
係数eの初期値が、前記注目領域の前記断面プロファイルにおける外縁部での傾きに基づいて決定され、
係数aの初期値が、前記注目領域の明るさと前記背景の明るさとの差に基づいて決定され、
係数bの初期値が、前記係数eの初期値、および、前記注目領域の大きさに基づいて決定され、
係数cの初期値が、前記注目領域の略中心のx座標に基づいて決定され、
係数dの初期値が、前記注目領域の前記略中心のy座標に基づいて決定されることを特徴とする位置測定方法。 - 請求項8または9に記載の位置測定方法であって、
前記b)工程において、前記注目領域の画素値分布が数4に示す略正方形状のモデル関数(ただし、nは1よりも大きい実数)にて表現され、
係数fの初期値が、前記画像における前記注目領域の背景の明るさに基づいて決定され、
係数eの初期値が、前記注目領域の前記断面プロファイルにおける外縁部での傾きに基づいて決定され、
係数aの初期値が、前記注目領域の明るさと前記背景の明るさとの差に基づいて決定され、
係数bの初期値が、前記係数eの初期値、および、前記注目領域の大きさに基づいて決定され、
係数cの初期値が、前記注目領域の略中心のx座標に基づいて決定され、
係数dの初期値が、前記注目領域の前記略中心のy座標に基づいて決定されることを特徴とする位置測定方法。 - 請求項8ないし11のいずれかに記載の位置測定方法であって、
前記対象物がパターンが形成された基板であり、
前記注目領域が、前記パターンの一部、または、前記基板に形成された孔部を示すことを特徴とする位置測定方法。 - 請求項12に記載の位置測定方法であって、
前記注目領域が、前記画像中の前記パターンを示すパターン領域の一部であり、
前記b)工程が、
b1)前記注目領域が前記パターン領域の他の一部と接続する場合に前記パターン領域の前記他の一部をマスクする、または、前記注目領域に対応する前記基板上の領域が孔部を含む場合に前記孔部を示す領域の画素値を前記注目領域の他の領域の画素値に置き換える工程と、
b2)前記b1)工程による加工済みの画像に基づいて、前記複数の係数を取得する工程と、
を備えることを特徴とする位置測定方法。 - 基板上に描画されるパターンの設計データを補正するデータ補正方法であって、
基板を撮像した画像に含まれる注目領域の位置を測定する請求項8ないし13のいずれかに記載の位置測定方法と、
前記注目領域の位置に基づいて、基板上に描画されるパターンの設計データを補正する工程と、
を備えることを特徴とするデータ補正方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014252852A JP6355544B2 (ja) | 2014-12-15 | 2014-12-15 | 位置測定装置、データ補正装置、位置測定方法およびデータ補正方法 |
TW104125113A TWI585547B (zh) | 2014-08-08 | 2015-08-03 | 光學特性取得裝置、位置測定裝置、資料補正裝置、光學特性取得方法、位置測定方法及資料補正方法 |
KR1020150111019A KR101689966B1 (ko) | 2014-08-08 | 2015-08-06 | 광학 특성 취득 장치, 위치 측정 장치, 데이터 보정 장치, 광학 특성 취득 방법, 위치 측정 방법 및 데이터 보정 방법 |
CN201510487145.3A CN105372946B (zh) | 2014-08-08 | 2015-08-10 | 光学特性取得、位置测定和数据修正的装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014252852A JP6355544B2 (ja) | 2014-12-15 | 2014-12-15 | 位置測定装置、データ補正装置、位置測定方法およびデータ補正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016114448A true JP2016114448A (ja) | 2016-06-23 |
JP6355544B2 JP6355544B2 (ja) | 2018-07-11 |
Family
ID=56139950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014252852A Active JP6355544B2 (ja) | 2014-08-08 | 2014-12-15 | 位置測定装置、データ補正装置、位置測定方法およびデータ補正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6355544B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018054379A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 株式会社Screenホールディングス | 位置計測装置および位置計測方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006266687A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 試料検査装置及び試料検査方法 |
JP2006285186A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 描画方法および装置 |
JP2008135423A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 輪郭検出装置、位置決め装置、パターン描画装置および輪郭検出方法 |
JP2011204230A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Mitsubishi Electric Research Laboratories Inc | 環境に配置された物体の表面上の放物線状湾曲の点を求めるための方法およびシステム |
US20120062862A1 (en) * | 2010-09-15 | 2012-03-15 | Micronic Mydata AB | Apparatuses And Methods For Compensation Of Carrier Distortions From Measurement Machines |
-
2014
- 2014-12-15 JP JP2014252852A patent/JP6355544B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006285186A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 描画方法および装置 |
JP2006266687A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 試料検査装置及び試料検査方法 |
JP2008135423A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 輪郭検出装置、位置決め装置、パターン描画装置および輪郭検出方法 |
JP2011204230A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Mitsubishi Electric Research Laboratories Inc | 環境に配置された物体の表面上の放物線状湾曲の点を求めるための方法およびシステム |
US20120062862A1 (en) * | 2010-09-15 | 2012-03-15 | Micronic Mydata AB | Apparatuses And Methods For Compensation Of Carrier Distortions From Measurement Machines |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018054379A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 株式会社Screenホールディングス | 位置計測装置および位置計測方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6355544B2 (ja) | 2018-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009198440A (ja) | 補正パターン画像生成装置、パターン検査装置および補正パターン画像生成方法 | |
JP2006066478A (ja) | パターンマッチング装置及びそれを用いた走査型電子顕微鏡 | |
CN107730554B (zh) | 面阵结构光成像系统的标定方法和装置 | |
US20110229009A1 (en) | Pattern inspection apparatus and pattern inspection method | |
KR101729862B1 (ko) | 데이터 보정 장치, 묘화 장치, 검사 장치, 데이터 보정 방법, 묘화 방법, 검사 방법 및 기록 매체 | |
KR101689964B1 (ko) | 데이터 보정 장치, 묘화 장치, 검사 장치, 데이터 보정 방법, 묘화 방법, 검사 방법 및 프로그램을 기록한 기록 매체 | |
KR101653861B1 (ko) | 묘화 데이터 생성 방법, 묘화 방법, 묘화 데이터 생성 장치, 및 묘화 장치 | |
JP4801697B2 (ja) | 画像形成方法,画像形成装置、及びコンピュータプログラム | |
JP6355544B2 (ja) | 位置測定装置、データ補正装置、位置測定方法およびデータ補正方法 | |
JP2015184315A (ja) | データ補正装置、描画装置、データ補正方法および描画方法 | |
KR101689966B1 (ko) | 광학 특성 취득 장치, 위치 측정 장치, 데이터 보정 장치, 광학 특성 취득 방법, 위치 측정 방법 및 데이터 보정 방법 | |
KR102227341B1 (ko) | 위치 어긋남량 취득 장치, 검사 장치, 위치 어긋남량 취득 방법 및 검사 방법 | |
JP6580407B2 (ja) | 位置計測装置、データ補正装置、位置計測方法、およびデータ補正方法 | |
JP6595870B2 (ja) | 補正情報生成装置、描画装置、補正情報生成方法および描画方法 | |
JP4772815B2 (ja) | 補正パターン画像生成装置、パターン検査装置および補正パターン画像生成方法 | |
JP2015191132A (ja) | 輝度分布測定装置、描画装置および輝度分布測定方法 | |
JP6359378B2 (ja) | 光学特性取得装置、位置測定装置、光学特性取得方法および位置測定方法 | |
KR20160117302A (ko) | 기준 위치 취득 방법, 기준 위치 취득 장치, 패턴 묘화 방법, 패턴 묘화 장치 및 기록 매체에 기록된 프로그램 | |
KR101863439B1 (ko) | 데이터 보정 장치, 묘화 장치, 검사 장치, 데이터 보정 방법, 묘화 방법, 검사 방법 및 기록 매체에 기록된 프로그램 | |
JP2016050794A (ja) | エッジ位置検出装置およびエッジ位置検出方法 | |
CN115578407A (zh) | 棋盘格角点检测方法及装置 | |
JP2018054757A (ja) | 位置計測装置および位置計測方法 | |
JP2008225416A (ja) | 補正パターン画像生成装置及び補正パターン画像生成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170626 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180604 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6355544 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |