JP2011135030A - 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板101上に、下部半導体DBR103、活性層105を含む共振器構造体、上部半導体DBR107、コンタクト層109が積層されている。そして、射出面上に射出領域を取り囲んで設けられたp側電極113を有している。また、射出領域内に、該射出領域の中心部を取り囲んで設けられた光学的に透明な誘電体膜であるモードフィルタ115がλ/4の光学的厚さで形成されている。そして、p側電極113におけるコンタクト層109に接触する部分の外側の外形は角を含む形状である。この場合、メサを大きくすることなく、p側電極113とコンタクト層109との接触面積を従来よりも大きくすることができる。
【選択図】図11
Description
Claims (20)
- 活性層を含む共振器構造体と、該共振器構造体を挟んで設けられた半導体多層膜反射鏡と、光が射出される射出面上に、射出領域を取り囲んで設けられた電極とを備える面発光レーザ素子において、
前記射出領域内で、該射出領域の中心部から外れた部分に形成され、該部分の反射率を前記中心部の反射率よりも低くする誘電体膜を更に備え、
前記電極におけるコンタクト層に接触する部分の外側の外形が角を含む形状であることを特徴とする面発光レーザ素子。 - 前記射出領域及び前記電極はメサ構造体上に設けられており、射出方向から見て前記メサ構造体の形状は角を含む形状であることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ素子。
- 前記電極におけるコンタクト層に接触する部分の外側の外形が四角形であることを特徴とする請求項2に記載の面発光レーザ素子。
- 前記射出領域及び前記電極は、メサ構造体上に設けられており、射出方向から見て前記メサ構造体の形状は四角形であることを特徴とする請求項3に記載の面発光レーザ素子。
- 前記誘電体膜は互いに直交する2つの方向で形状異方性を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 前記誘電体膜は、前記射出領域の中心部から外れた部分に設けられた複数の小領域に形成されていることを特徴とする請求項5に記載の面発光レーザ素子。
- 前記複数の小領域は、前記中心部を挟んで対向していることを特徴とする請求項6に記載の面発光レーザ素子。
- 前記複数の小領域の間に、前記電極におけるコンタクト層に接触する部分の一部が存在することを特徴とする請求項7に記載の面発光レーザ素子。
- 前記誘電体膜は、前記中心部を取り囲んでいることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 前記誘電体膜の光学的厚さは、「発振波長/4」の奇数倍であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 前記誘電体膜は、SiNx、SiOx、TiOx及びSiONのいずれかの膜であることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 前記射出領域の中心部は誘電体膜で被覆され、該誘電体膜の光学的厚さは、「発振波長/4」の偶数倍であることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 前記射出領域の中心部を被覆している誘電体膜は、前記射出領域の中心部から外れた部分に形成された誘電体膜と同じ材質であることを特徴とする請求項12に記載の面発光レーザ素子。
- 前記射出領域の中心部を被覆している誘電体膜は、互いに屈折率の異なる複数の膜が積層された誘電体膜であることを特徴とする請求項12に記載の面発光レーザ素子。
- 前記複数の膜における各膜の光学的厚さは、それぞれ「発振波長/4」の奇数倍であることを特徴とする請求項14に記載の面発光レーザ素子。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子が集積された面発光レーザアレイ。
- 光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項1〜15のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子を有する光源と;
前記光源からの光を偏向する偏向器と;
前記偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と;を備える光走査装置。 - 光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項16に記載の面発光レーザアレイを有する光源と;
前記光源からの光を偏向する偏向器と;
前記偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と;を備える光走査装置。 - 少なくとも1つの像担持体と;
前記少なくとも1つの像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する少なくとも1つの請求項17又は18に記載の光走査装置と;を備える画像形成装置。 - 前記画像情報は、多色のカラー画像情報であることを特徴とする請求項19に記載の画像形成装置。
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