JP2011134632A - イオン粒子電源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィラメント電源2と、アーク電源3と、イオン源の壁1と電極6間に直流電圧を印加してイオン粒子を加速するための加速電源4とから構成する。加速電源4は、
商用交流電源に接続された交流スイッチ7と、交流スイッチ7の出力を整流して直流に変換する整流器9と、整流器9の出力を平滑して直流電圧を得るためのコンデンサ10と、
加速電源出力指令値を交流スイッチ7に与えてその出力電圧を制御するための制御手段20を備える。制御手段20は、直流電圧と電圧設定値との偏差に応じて加速電源出力基準を得る電圧制御手段22と、加速電源4とアーク電源3が共にオンしたとき、所定の関数を発生する関数発生器22とを有し、加速電源出力基準と関数発生器22の出力を加算して加速電源出力指令値を得る。
【選択図】図1
Description
ここでAはイオン源の性能と各電源の定格によって決まる定数である。このことから、加速電圧設定値Eとアーク電圧設定値Eaより(2)式によってコンデンサ電圧の落込みを予測し、落込み量を補償するための加算電圧を出力する関数f(E、Ea、t)を決めることが可能となる。
この実施例3によっても、加速電源出力指令値を一定の加速電源出力基準よりも関数値分だけ高くすることができるため、加速電源出力電圧の落込み時間が短縮される。関数f(E、Ea、t)を適切に選定すれば電圧の回復曲線をきめ細かく調整することが可能となる。
ここでB、Cはイオン源の性能と各電源の定格によって決まる定数である。このことから、加速電圧設定値E、アーク電圧設定値Ea及びフィラメント電圧設定値Efより(4)式によってコンデンサ電圧の電圧落込み量△Vを予測し、落込み量を補償するための加算電圧を出力する関数f(E、Ea、Ef、t)を決めることが可能となる。
この実施例4によっても、加速電源出力指令値を一定の加速電源出力基準よりも関数値分だけ高くすることができるため、加速電源出力電圧の落込み時間が短縮される。関数f(E、Ea、Ef、t)を適切に選定すれば電圧の回復曲線をきめ細かく調整することが可能となる。
2 フィラメント電源
3 アーク電源
4 加速電源
5 フィラメント
6 電極
7 交流スイッチ
8 昇圧変圧器
9 ダイオード整流器
10 コンデンサ
11 電圧検出器
12 電流検出器
20 制御部
21 減算器
22 電圧制御器
23 加算器
24 AND回路
25、25A、25B、25C 関数発生器
Claims (5)
- イオン源内に設けられたフィラメントを加熱するためのフィラメント電源と、
前記フィラメントと前記イオン源の壁に電圧を印加してイオン粒子を生成させるためのアーク電源と、
前記イオン源の壁と電極間に直流電圧を印加して前記イオン粒子を加速するための加速電源とから成るイオン粒子電源であって、
前記加速電源は、
商用交流電源に接続された交流スイッチと、
この交流スイッチの出力を整流して直流に変換する整流器と、
この整流器の出力を平滑して前記直流電圧を得るためのコンデンサと、
加速電源出力指令値を前記交流スイッチに与えてその出力電圧を制御するための制御手段と
を具備し、
前記制御手段は、
前記直流電圧と電圧設定値との偏差に応じて加速電源出力基準を得る電圧制御手段と、
前記加速電源と前記アーク電源が共にオンしたとき、所定の関数を発生する関数発生器と
を有し、
前記加速電源出力基準と前記関数発生器の出力を加算して前記加速電源出力指令値を得るようにしたことを特徴とするイオン粒子電源。 - 前記関数発生器は、所定の時間に所定の一定値を出力するようにしたことを特徴とする
請求項1に記載のイオン粒子電源。 - 前記関数発生器は、前記加速電源の出力電流に応じた関数を出力するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のイオン粒子電源。
- 前記関数発生器は、前記加速電源の前記電圧設定値と、前記アーク電源のアーク電圧設定値に応じた関数を出力するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のイオン粒子電源。
- 前記関数発生器は、前記加速電源の前記電圧設定値と、前記アーク電源のアーク電圧設定値と、前記フィラメント電源のフィラメント電圧設定値に応じた関数を出力するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のイオン粒子電源。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03250538A (ja) * | 1990-02-27 | 1991-11-08 | Nissin Electric Co Ltd | イオンビーム装置の制御方法 |
JPH0668827A (ja) * | 1992-08-20 | 1994-03-11 | Hitachi Ltd | イオンビーム発生装置及びその制御方法 |
JP2000346968A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-15 | Japan Atom Energy Res Inst | 加速電源装置 |
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JP2005110440A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 電圧駆動型スイッチング素子の制御方法及びゲート制御回路 |
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2009
- 2009-12-25 JP JP2009293962A patent/JP5306170B2/ja not_active Expired - Fee Related
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