JP2011133437A - ヘリウムリークディテクタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ヘリウムイオンの検出用にマイクロチャンネルプレートを備えたヘリウムリークディテクタであって、ヘリウムイオンビームがマイクロチャンネルプレートに入射するように偏向するセクター電極を備える。グロスリークの場合は、ヘリウムイオンビームを偏向せず、マイクロチャンネルプレートに入射させないで、セクター電極に入射し、セクター電極でイオンビーム電流を検出する。
【選択図】図1
Description
(2)請求項2の発明は、請求項1に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、セクター電極の接地側電極は接地電位であり、正電位側電極には、ファインリークの場合は、第1の切替スイッチSW1を切り替えて、2次電子増倍器にヘリウムイオンビームが入射するように、正の電圧を印加し、グロスリークの場合には、第1の切替スイッチSW1を切り替えて、ヘリウムイオンビームが正電位側電極で検出されるように、正電位側電極を電流計に接続することを特徴とする。
(3)請求項3の発明は、請求項2に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、ファインリークの場合は、第2の切替スイッチSW2は電流計と電子コレクタとを接続し、2次電子増倍器から放出される2次電子電流を測定することを特徴とする。
(4)請求項4の発明は、請求項2に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、グロスリークの場合は、第2の切替スイッチSW2は電流計と正電位側電極とを接続し、正電位側電極に入射したヘリウムイオン電流を測定することを特徴とする。
(5)請求項5の発明は、請求項1から4のいずれか1項に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、セクター電極の接地側電極と正電位側電極は円弧状に形成され、配置されていることを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態によるヘリウムリークディテクタの概略を示す全体構成図である。ヘリウムリークディテクタ1は、テストポート2を介してリーク検査の被検体である真空容器10に配管接続されている。
バルブV4はターボ分子ポンプ6の排気段の途中に接続されており、ヘリウムリークディテクタの中間排気モードの場合に開放される。バルブV5はターボ分子ポンプの排気口6aに配管接続されており、ヘリウムリークディテクタの逆拡散排気モードの場合に開放される。
(1)バルブV1〜V5およびリークバルブV7〜V9を閉じるとともに、バルブV6を開いて、分析管8内をターボ分子ポンプ6、ドラッグポンプ5、油回転ポンプ4の直列構成で所定の真空度(ヘリウムのバックグラウンド値)以下になるまで真空排気する。尚、バルブV3はリーク量校正を行う場合以外は閉じたままである。
(2)リーク試験を行う真空容器10をテストポート2に取り付ける。
(3)分析管8内が所定のバックグラウンド値以下に低下した後に、バルブV1を開いて、真空容器10内を油回転ポンプ3で真空排気(粗引き真空排気)する。
(4)バルブV1を閉じるとともにバルブV5を開いて、分析管8によるリーク検出を開始する。すなわち、真空容器10のリーク試験箇所に外側(大気側)よりヘリウム(He)ガスを吹き付ける。
(5)真空容器10のリーク試験箇所にリークがあると、真空容器10内にHeガスが空気とともに侵入する。このHeガスと空気は、真空容器および上記の配管内の残存ガスとともに、開放になっているバルブV5、ターボ分子ポンプ6を経て分析管8に到達する。分析管8がHeガスを検出することにより真空容器10のリーク量が測定される。
(6)以上のリーク試験が終了したら、バルブV5を閉じ、リークバルブV7を開いて真空容器10を大気開放する。
図2は本発明によるヘリウムリークディテクタの分析管の構成の概略とリーク量が小さい(ファインリークの)場合の分析管の動作概略を示す図である。分析管8はイオンソース11、加速スリット12、中間隔壁13、加速スリット対向壁14、第1のアーススリット15、セクター電極16、第2のアーススリット17、マイクロチャンネルプレート(MCP)18、電子コレクタ19、電流計20、切替スイッチSW1、および切替スイッチSW2を備える。イオンソース11にはフィラメント11aが組み込まれており、このフィラメント11aは、フィラメント加熱用の電源により加熱され、熱電子引出し用の別の電源の電圧の印加により熱電子を放出するが、これらの電源は良く知られているので、図示および説明は省略する。分析管8は更に、イオンを加速するイオン加速電源21とMCPでの電子増幅のための電圧を印加する電源とを分析管の外部に備える。MCPでの電子増幅のための電源は記載を省略するが、MCPのイオン入射面側に数百Vの負の電圧を印加し、電子コレクタ側の面は接地されるように構成されている。尚、これらの種々の電源も制御装置9で制御されるが、これら電源への配線は図示を省略し、説明も省略する。
このようにして、He+イオンのみを含むイオンビームが生成されて第1のアーススリット15の開口15aへ入射する。
上記の記載のように、He+イオンのみのビームが中間隔壁13および第1のアーススリット15を通過し、更にセクター電極16に入射する。セクター電極16の正電位側電極16aにはイオン加速電源21の電圧を分割した偏向電圧が印加される。これによりセクター電極16を通過するHe+イオンはMCP方向に偏向される。この際第1の切替スイッチSW1は、イオン加速電源21の電圧を分割したものを正電位側電極16aに印加する状態となっている。セクター電極16を通過したHe+イオンは、第2のアーススリット17を通過してMCP18に入射する。MCP18に入射したHe+イオンはMCP18で2次電子を発生し、この2次電子がMCP18内で増幅され、MCP18から電子コレクタ19に向かって2次電子電流として放出される。電子コレクタ19に入射した2次電子電流は電流計20により計測される。この際第2の切替スイッチSW2は電子コレクタ19と電流計20を接続する状態となっている。以上により計測された電流はMCP18に入射したHe+イオンの量すなわちヘリウムイオン電流に比例するので、検出されたHe+イオンの量を求めることができる。
ファインリークの場合と同様にHe+イオンはセクター電極16に入射するが、グロスリークの場合には、第1の切替スイッチSW1を切り替えて、正電位側電極16aを電流計20に接続し、正電位側電極16aには偏向電圧を印加しない。この場合正電位側電極はほぼ接地電位となっている。これにより、セクター電極16に入射したHe+イオンは軌道が曲げられることなく、直進して正電位側電極16aに入射する。これにより正電位側電極16aはイオンコレクタとして動作し、第2の切替スイッチSW2を切り替えて電流計20を正電位側電極16aに接続することにより、ヘリウムイオン電流が計測される。このヘリウムイオン電流は検出されたHe+イオンの量に対応するものである。
従来技術(特許文献2参照)においては、本発明のおけるセクター電極16が無く、第1のアーススリット15がMCP18の前に設けられ、この第1のアーススリット15を通過したHe+イオンがMCP18に入射する。
2‥ テストポート
3‥ 油回転ポンプ
4‥ 油回転ポンプ
5‥ ドラッグポンプ
6‥ ターボ分子ポンプ
6a‥ 排気口
7‥ リーク校正部
8‥ 分析管
9‥ 制御装置
10‥ 真空容器
11‥ イオンソース
11a‥ フィラメント
12‥ 加速スリット
12a‥ 開口
13‥ 中間隔壁
13a‥ 開口
14‥ 加速スリット対向壁
15‥ 第1のアーススリット
15a‥ 開口
16‥ セクター電極
16a‥ 正電位側電極 16b‥ 接地側電極
17‥ 第2のアーススリット
18‥ マイクロチャネルプレート(MCP)
19‥ 電子コレクタ
20‥ 電流計
21‥ イオン加速電源
M ‥ 磁場領域
R ‥ ヘリウムイオンの偏向軌道
SW1‥ 第1の切替スイッチ
SW2‥ 第2の切替スイッチ
P1‥ ピラニ型真空計
P2‥ ピラニ型真空計
V1〜V6‥ バルブ
V7〜V9‥ リークバルブ
A1〜A9‥ アクチュエータ
Claims (5)
- 被検体からリークされたヘリウムガスを分析管に導いて検出するヘリウムリークディテクタにおいて、
前記分析管は、
ヘリウムイオン電流を増幅する2次電子増倍器と、
ヘリウムイオンビームを前記2次電子増倍器の方向に偏向する、接地側電極と正電位側電極とから構成されたセクター電極と、
前記正電位側電極に印加する電圧を供給する電圧源と、
前記2次電子増倍器から放出される2次電子電流が入射する電子コレクタと、
前記電子コレクタに入射した2次電子電流を測定する電流計と、
前記正電位側電極を前記電圧源または前記電流計に接続する第1の切替スイッチSW1と、
前記電流計を前記電子コレクタまたは前記正電位側電極に接続する第2の切替スイッチSW2とを備えることを特徴とするヘリウムリークディテクタ。 - 請求項1に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、
前記セクター電極の前記接地側電極は接地電位であり、
前記正電位側電極には、ファインリークの場合は、前記第1の切替スイッチSW1を切り替えて、前記2次電子増倍器に前記ヘリウムイオンビームが入射するように、正の電圧を印加し、グロスリークの場合には、前記第1の切替スイッチSW1を切り替えて、前記ヘリウムイオンビームが前記正電位側電極で検出されるように、前記正電位側電極を前記電流計に接続することを特徴とするヘリウムリークディテクタ。 - 請求項2に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、
前記ファインリークの場合は、前記第2の切替スイッチSW2は前記電流計と前記電子コレクタとを接続し、前記2次電子増倍器から放出される2次電子電流を測定することを特徴とするヘリウムリークディテクタ。 - 請求項2に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、
前記グロスリークの場合は、前記第2の切替スイッチSW2は前記電流計と前記正電位側電極とを接続し、前記正電位側電極に入射したヘリウムイオン電流を測定することを特徴とするヘリウムリークディテクタ。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、
前記セクター電極の前記接地側電極と前記正電位側電極は円弧状に形成され、配置されていることを特徴とするヘリウムリークディテクタ。
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JPS54133397A (en) * | 1978-04-07 | 1979-10-17 | Hitachi Ltd | Mass spectrograph |
JPS6113543A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-01-21 | Shimadzu Corp | ヘリウムリ−クデテクタの分析管 |
JPH0835904A (ja) * | 1994-07-22 | 1996-02-06 | Anelva Corp | ヘリウムリークディテクタ |
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