JP2011132070A - 耐熱衝撃性窒化珪素焼結体及びその製造方法 - Google Patents
耐熱衝撃性窒化珪素焼結体及びその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ネオジムと鉄を含み、Fe2O3/Nd2O3で表される質量比が0.17〜10であることを特徴とする耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。鉄を酸化第二鉄換算で0.1〜0.5質量%、ネオジムを酸化物換算で0.05〜0.59質量%含み、マグネシウム、イットリウム及びネオジムを酸化物換算で合計0.1〜10質量%含み、MgO/(Y2O3+Nd2O3)で表される質量比が0.5〜10である。
【選択図】なし
Description
Fe2O3/Nd2O3で表される質量比が0.17〜10であることを特徴とする耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。本発明は、窒化珪素焼結体において、ネオジムと鉄を所定量含ませることで、耐熱衝撃性が向上することを見出したものである。上記の範囲とすることで、酸化ネオジムの液相化温度が低下し窒化珪素の粒成長が促進され、緻密化と耐熱衝撃性が向上する。また、ネオジムと鉄を含ませることで、窒化珪素焼結体の色ムラを低減することができる。
窒化珪素原料粉末(平均粒径が1.0μm、酸素量が1.5%、β分率が6%以下)に、酸化ネオジム、酸化マグネシウム源の水酸化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化第二鉄を用いて表1に示すような組成で添加して混合した。水酸化マグネシウムの添加量は、窒化珪素焼結体に含まれる酸化マグネシウム量が所定の数値になるように調整して添加した。得られた混合粉末に対して成形用バインダとしてアクリル樹脂を、イオン交換水を溶媒として添加し、噴霧乾燥後、篩を通して成形用顆粒を得た。なお、平均粒径はレーザー回折式粒度分布測定機により測定した。
焼結体の密度は、アルキメデス法により算出した。平均長軸径の測定方法は、焼結体の任意の切断面を鏡面加工し、酸素+四弗化炭素の混同ガス中で粒界相をエッチングした後に、走査型電子顕微鏡観察を行い、その写真を用いて算出した。具体的には、少なくとも50個の粒子に交差するよう無作為に直線を引き、交差した粒子全てについて長軸径を求め平均した。また、交差した粒子の面積を求めて、平均長軸径に対して0.5倍以下及び1.5倍以上の長軸径を有する粒子の面積割合(表1において、それぞれA、Bと表記)を算出した。焼結体表面と内部の平均長軸径の差については、焼き放しの表面から1mmの切断面と10mmの切断面をそれぞれ、表面と内部として評価した。なお、焼結体の平均長軸径は内部のものを採用し、表面の平均長軸径から内部のそれを引いた差を平均長軸径で除したものを表面と内部の差を百分率で評価した。
Claims (8)
- ネオジムと鉄を含み、
Fe2O3/Nd2O3で表される質量比が0.17〜10であることを特徴とする耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。 - 鉄を酸化第二鉄換算で0.1〜0.5質量%、ネオジムを酸化物換算で0.05〜0.59質量%含む請求項1記載の耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。
- マグネシウム、イットリウム及びネオジムを酸化物換算で合計0.1〜10質量%含み、
MgO/(Y2O3+Nd2O3)で表される質量比が0.5〜10である請求項1または2記載の耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。 - 焼結体断面観察による平均長軸径に対して0.5倍以下の長軸径を有する粒子の面積割合が20%以下、1.5倍以上の長軸径を有する粒子の面積割合が25%以上、これらの合計が30〜70%である請求項1記載の耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。
- 原料粉末の成形体を脱脂して得られた脱脂体を、少なくとも内面が窒化物で構成された容器内に設置し、1200℃以上における不活性ガス雰囲気圧を0.5〜2.0MPaとして焼結した請求項1〜3記載の耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。
- 室温以上における不活性ガス雰囲気圧を0.5〜2.0MPaとして焼結した請求項4記載の耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。
- 前記不活性ガスは、窒素である請求項4または5記載の耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。
- 鉄を酸化第二鉄換算で0.1〜0.5質量%、ネオジムを酸化物換算で0.05〜0.59質量%含み、Fe2O3/Nd2O3で表される質量比が0.17〜10であり、
マグネシウム、イットリウム及びネオジムを酸化物換算で合計0.1〜10質量%含み、
MgO/(Y2O3+Nd2O3)で表される質量比が0.5〜10であり、
焼結体断面観察による平均長軸径に対して0.5倍以下の長軸径を有する粒子の面積割合が20%以下、1.5倍以上の長軸径を有する粒子の面積割合が25%以上、これらの合計が30〜70%である耐熱衝撃性窒化珪素焼結体の製造方法であって、
少なくとも内面が窒化物で構成された容器内に、原料粉末の成形体を脱脂して得られた脱脂体を設置し、
1200℃以上における不活性ガス雰囲気圧を0.5〜2.0MPaとして焼結することを特徴とする耐熱衝撃性窒化珪素焼結体の製造方法。
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