JP2011129362A - マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MCPを3枚用いた3段構成のMCP組立体を用いる。1段目のMCP81は電子の数を大きく増倍することを目的とせず、検出体を捕獲して2段目のMCP82に送り込むことを目的とする。1段目のMCP81のチャネルに衝突した検出体84,85は低い増倍率で二次電子に変換されて2段目のMCP82に入射し、チャネルに衝突しない検出体86は発散角が制限されて2段目のMCP82に入射する。これにより2段目のMCPのチャネル方向と検出体の進行方向が一致することを回避する。2段目及び3段目のMCPにより、MCP全面で十分に読み出し可能な電荷量まで二次電子数を増倍させる。
【選択図】図8
Description
MCPは、絶縁性材料からなる本体に、多数の微細な貫通孔(マイクロチャネル)21を形成したものである。入射面と出射面には、電極となる導電膜が形成されており、入射面側の電極と出射面側の電極に所定の加速電圧が印加される。電子、イオン、中性粒子、真空紫外線、X線、ガンマ線等の検出体がマイクロチャネルに入射してその壁面に衝突すると、そこから二次電子が放出され、それが更にチャネル壁に衝突して二次電子放出を繰り返すことにより電子が増幅され、出射面から出力される。
11 イオン銃
12 1次イオン
13 2次イオン
14 静電分析器
15 MCP検出器
16 電子銃
17 Ar中和銃
21 マイクロチャネル
31,32 X方向に巻回されたワイヤアノード
33,34 Y方向に巻回されたワイヤアノード
60 試料
61 1段目のMCP
62 2段目のMCP
63〜65 散乱イオン
81 1段目のMCP
82 2段目のMCP
83 3段目のMCP
84〜86 散乱イオン
91 マイクロチャネル
92 チャネル壁
Claims (8)
- 検出体が入射する側からみて1段目のマイクロチャネルプレートと、2段目のマイクロチャネルプレートと、3段目のマイクロチャネルプレートとを順次重ねて配置した構造を有し、
前記1段目のマイクロチャネルプレートは2次電子増倍利得が1倍〜4×103倍であり、前記2段目及び3段目のマイクロチャネルプレートは2次電子像倍利得が3×104倍〜1×105倍であることを特徴とするマイクロチャネルプレート組立体。 - 検出体が入射する側からみて1段目のマイクロチャネルプレートと、2段目のマイクロチャネルプレートと、3段目のマイクロチャネルプレートとを順次重ねて配置した構造を有し、
前記1段目のマイクロチャネルプレートには400V〜800Vの電圧を印加し、前記2段目及び3段目のマイクロチャネルプレートには1000V〜1250Vの電圧を印加することを特徴とするマイクロチャネルプレート組立体。 - 請求項1又は2記載のマイクロチャネルプレート組立体において、前記1段目のマイクロチャネルプレートの発散角は前記2段目のマイクロチャネルプレートの切り出し角より小さいことを特徴とするマイクロチャネルプレート組立体。
- 請求項1又は2記載のマイクロチャネルプレート組立体において、前記1段目のマイクロチャネルプレートの切り出し角は0゜〜5゜であることを特徴とするマイクロチャネルプレート組立体。
- 入射側からみて1段目のマイクロチャネルプレートと、2段目のマイクロチャネルプレートと、3段目のマイクロチャネルプレートとを順次重ねて配置した構造を有し、
前記1段目のマイクロチャネルプレートは切り出し角が0゜〜5゜であることを特徴とするマイクロチャネルプレート組立体。 - 請求項5記載のマイクロチャネルプレート組立体において、前記1段目のマイクロチャネルプレートは2次電子増倍利得が1倍〜4×103倍であることを特徴とするマイクロチャネルプレート組立体。
- 請求項5記載のマイクロチャネルプレート組立体において、前記1段目のマイクロチャネルプレートに400V〜800Vの電圧を印加することを特徴とするマイクロチャネルプレート組立体。
- マイクロチャネルプレート組立体と、前記マイクロチャネルプレート組立体の出射面に配置されたワイヤアノード検出器とを備えるマイクロチャネルプレート検出器において、
前記マイクロチャネルプレート組立体は、請求項1〜7のいずれか1項に記載のマイクロチャネルプレート組立体であることを特徴とするマイクロチャネルプレート検出器。
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