JP2011128176A - 光学部品及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】低コストで製造できると共に、高い光学機能を実現し得る光学部品を提供する。
【解決手段】光学部品１は、第１の透光性部材１１と、第２の透光性部材１２と、光学的機能膜１３とを備えている。光学的機能膜１３は、第１の透光性部材１１と第２の透光性部材１２との間に設けられている。光学的機能膜１３は、第１の多層膜１３ａと、第２の多層膜１３ｂと、接着剤層１３ｃとを有する。第１の多層膜１３ａは、第１の透光性部材１１の上に形成されている。第２の多層膜１３ｂは、第２の透光性部材１２の上に形成されている。接着剤層１３ｃは、第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとを接着している。
【選択図】図１

Description

本発明は、光学部品及びその製造方法に関する。

従来、光通信システム等において、所定の波長領域の光を分離する波長分離素子が広く用いられている。波長分離素子の具体例として、例えば、下記の特許文献１〜３等に開示されているものが挙げられる。

例えば、下記の特許文献１には、波長分離素子として、図１０に示すダイクロイックミラー１００が開示されている。ダイクロイックミラー１００は、それぞれ三角柱状の第１及び第２のプリズム１０１，１０２を有する。第１のプリズム１０１の斜面１０１ａの上には多層膜からなるミラーコート層１０３が形成されている。一方、第２のプリズム１０２の斜面１０２ａの上にはＳｉＯ_２コート層１０４が形成されている。そして、ＳｉＯ_２コート層１０４と、ミラーコート層１０３とが接着剤層１０５により接着されている。

このダイクロイックミラー１００において、波長分離機能を実現しているのは、ミラーコート層１０３である。ＳｉＯ_２コート層１０４は、ミラーコート層１０３と第２のプリズム１０２との間の接着性を向上させるために設けられている。

特開２００６−１５４３８８号公報 特開２００９−１３９６５３号公報 特開２００６−２０８７０１号公報

ところで、近年、波長分離素子において分離される波長領域間の波長差が小さくなってきている。このため、波長分離素子に求められる波長分離特性も高まってきている。具体的には、波長分離素子のフィルタ特性の急峻性を高めること等が強く求められている。例えば、上記ダイクロイックミラー１００において、このような要望を満足するためには、ミラーコート層１０３を構成する多層膜の層数を多くする必要がある。

しかしながら、ミラーコート層１０３を構成する多層膜の層数を多くしようとすると、ミラーコート層１０３の製造に要する時間及び製造コストが格段に高くなると共に、ミラーコート層１０３の良品率が低下する傾向にある。このため、近年の低コスト化の要望に応えることが困難になる。

また、ミラーコート層１０３を構成する多層膜の層数を多くするには装置的な限界がある。すなわち、成膜装置の仕様によっては、層数が非常に多い多層膜からなるミラーコート層１０３を形成することができない。従って、ダイクロイックミラー１００では、高い波長分離機能を実現することが困難である。

また、波長分離素子以外の光学部品においても、透光性部材間に多層膜が設けられる場合、上記ダイクロイックミラー１００と同様の課題があり、高い光学機能を実現するためには、多層膜の層数を多くする必要がある。従って、高い光学機能と低コスト化との両立、及びさらに高い光学機能の実現が困難である。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、低コストで製造できると共に、高い光学機能を実現し得る光学部品を提供することにある。

本発明に係る光学部品は、第１の透光性部材と、第２の透光性部材と、光学的機能膜とを備えている。光学的機能膜は、第１の透光性部材と第２の透光性部材との間に設けられている。光学的機能膜は、第１の多層膜と、第２の多層膜と、接着剤層とを有する。第１の多層膜は、第１の透光性部材の上に形成されている。第２の多層膜は、第２の透光性部材の上に形成されている。接着剤層は、第１の多層膜と第２の多層膜とを接着している。なお、本発明において、「多層膜」とは、積層された複数の層からなる膜をいう。

また、本発明に係る光学部品の製造方法は、本発明に係る光学部品を製造するための方法に関する。本発明に係る光学部品の製造方法は、第１及び第２の多層膜形成工程と、接着工程とを備えている。第１の多層膜形成工程は、第１の透光性部材の上に第１の多層膜を形成する工程である。第２の多層膜形成工程は、第２の透光性部材の上に第２の多層膜を形成する工程である。接着工程は、第１の多層膜と第２の多層膜とを接着剤層により接着する工程である。

このように、本発明において、光学的機能膜は、第１の透光性部材の上に形成されている第１の多層膜と、第２の透光性部材の上に形成されている第２の多層膜とを備えている。このため、成膜装置により成膜できる層数の限界を超えた層数を有する光学的機能膜を作製することができる。具体的には、成膜装置により成膜できる層数の最大値をｎとすると、層数がｎの第１の多層膜と、層数がｎの第２の多層膜とを接着剤層により接着することにより、実質的に層数が２ｎの多層膜を作製することができ、結果として、高い光学機能を実現することができる。具体的には、光学的機能膜が、例えば、第１の波長領域の光を透過させる一方、第１の波長領域とは異なる第２の波長領域の光を反射させる波長分離膜である場合には、フィルタ特性の急峻性が高い光学部品を実現することができる。

また、本発明に係る光学部品は、光学的機能膜が第１の多層膜と第２の多層膜とを備えるため、第１及び第２の透光性部材のいずれかの上のみに多層膜を形成する場合よりも多層膜の形成に要する時間を短縮することができる。例えば、光学的機能膜が約４０層の多層膜を有する場合、現状では、多層膜の形成に、約６時間程度の時間が必要となる。それに対して、第１，第２の多層膜をそれぞれ約２０層とし、これらを同時に形成すれば、第１及び第２の多層膜の形成に要する時間は、約３時間となる。このようにすれば、光学的機能膜の作製に要する時間を短縮できるため、光学部品の製造に要する時間及び製造コストも低減することができる。

また、製造に要する時間及び製造コストを低減する観点からは、第１の多層膜の少なくとも一部を第２の多層膜と同一の膜構成とすることが好ましい。この場合、第１の多層膜の一部と第２の多層膜とを同一工程で成膜することができる。さらに、第１の多層膜と第２の多層膜とが同一の膜構成を有することが好ましい。この場合、第１の多層膜を形成する第１の多層膜形成工程と、第２の多層膜形成工程とを同一工程で行うと、多層膜の製造に要する時間及び製造コストをより低減することができる。

なお、「第１の多層膜形成工程と第２の多層膜形成工程とを同一工程で行う」とは、あるひとつの成膜装置内に、第１及び第２の透光性部材または第１及び第２の透光性部材の母材を配置し、第１の多層膜と第２の多層膜とを、そのひとつの成膜装置内において同時に形成することを意味する。

本発明において、第１及び第２の多層膜のそれぞれは、光学的機能膜よりも層数が少ない。このため、層数が多い光学的機能膜を一括して作製する場合と比較して、高い良品率で光学部品を製造することができる。なお、一般的に、多層膜の層数が多くなると、多層膜の良品率が大幅に低下する。

また、透光性部材の上に多層膜を形成する場合、多層膜の層数が多くなると、多層膜の膜応力が大きくなる。本発明の光学部品は、第１及び第２の透光性部材のそれぞれの上に第１及び第２の多層膜が形成されているため、第１または第２の透光性部材の上のみに層数が多い多層膜を形成した場合と比較して、第１及び第２の透光性部材に応力が残留し難くなる。このため、第１及び第２の透光性部材の接合精度が向上し、更には第１及び第２の透光性部材の母材を分断する際に、母材の変形等を抑制することができる。従って、高い形状精度で光学部品を製造することができる。

また、本発明に係る光学部品は、第１の透光性部材の表面と、第２の透光性部材の表面との両方に多層膜が形成されているため、例えば上記特許文献１に記載のように、接着性を高めるために、ＳｉＯ_２コート層を別途形成する必要がない。

本発明において、第１及び第２の透光性部材のそれぞれは、光学部品に対して入射する光の少なくとも一部を透過させる部材である。すなわち、第１及び第２の透光性部材のそれぞれは、光学部品の使用波長域の光を透過させる部材である。光学部品の使用波長域は、可視波長域に限定されない。光学部品の使用波長域は、例えば、紫外波長域、近紫外波長域、近赤外波長域または赤外波長域であってもよい。すなわち、第１及び第２の透光性部材のそれぞれは、可視光を透過しないものであってもよい。なお、本発明において、「透過させる」とは、波長分離を目的とした場合、８５％以上の透過率で透過させることをいい、光量分岐を目的とした場合、任意の透過率で透過させることをいう。

第１及び第２の透光性部材のそれぞれの材質も特に限定されない。第１及び第２の透光性部材のそれぞれは、例えば、ガラス、樹脂またはセラミックからなるものであってもよい。第１及び第２の透光性部材は、ガラスからなるものであることが好ましい。ガラスは、光学特性の温度依存性、耐湿性等の信頼性が良好であり、延伸成形、研磨加工により高精度の母材を作製できる。このため、ガラスにより第１及び第２の透光性部材を形成することにより、高い生産性を実現することができる。

第１及び第２の透光性部材のそれぞれの形状寸法も特に限定されない。第１及び第２の透光性部材のそれぞれは、例えば、プリズムであってもよいし、板であってもよいし、レンズであってもよい。また、第１及び第２の透光性部材のそれぞれは、例えば、光入出面が光学的パワーを有するプリズム等の光学素子であってもよい。なお、本発明において、「プリズム」とは、三角形状の一対の端面と、３つの側面とを有する略三角柱状の透光性部材をいう。プリズムの各端面は、直角三角形でなくてもよい。また、プリズムの一対の端面は、平行でなくてもよい。プリズムの角部や稜線部は、面取り状またはＲ面取り状であってもよい。

本発明において、光学的機能膜は、光学部品が有する機能の少なくとも一部を担う膜である。光学的機能膜の構成は、光学部品に要求される機能に応じて適宜設計することができる。例えば、光学部品が波長分離素子である場合は、光学的機能膜を波長分離膜とすることができる。

上述のように、本発明において、光学的機能膜は、接着剤層により接着されている第１及び第２の多層膜を備えている。ここで、一般的に、接着剤層は、光学的機能を担っていないため、光学的機能膜の光学的機能は、実質的に第１及び第２の多層膜により付与されている。

多層膜の層構成は、実現しようとする光学的機能膜の機能に応じて適宜設計することができる。例えば、光学的機能膜が波長分離膜である場合には、第１及び第２の多層膜のそれぞれを、相対的に低い屈折率を有する低屈折率層と、相対的に高い屈折率を有する高屈折率層とが交互に積層された多層膜とすることができる。

なお、低屈折率層と高屈折率層とは、相対的に定義される層である。すなわち、低屈折率層とは、高屈折率層よりも低い屈折率を有する層であり、逆に高屈折率層は、低屈折率層よりも高い屈折率を有する層である。

低屈折率層は、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、フッ化アルカリ土類金属等により形成することができる。

一方、高屈折率層は、例えば、酸化チタン、酸化ニオブ、酸化タングステン、酸化鉛、酸化ランタン、酸化タンタル、酸化ジルコン、硫化亜鉛等により形成することができる。

なお、第１または第２の多層膜を構成している複数の低屈折率層の全てが実質的に同じ屈折率を有している必要はない。例えば、第１または第２の多層膜を構成している複数の低屈折率層には、屈折率が相互に異なる材料からなる層が存在してもよい。同様に、第１または第２の多層膜を構成している複数の高屈折率層の全てが実質的に同じ屈折率を有している必要はない。例えば、第１または第２の多層膜を構成している複数の高屈折率層には、屈折率が相互に異なる材料からなる層が存在してもよい。

本発明において、第１の多層膜の最も接着剤層側に位置する第１の最外層と、第２の多層膜の最も接着剤層側に位置する第２の最外層との少なくとも一方は、接着剤層と実質的に同じ屈折率を有することが好ましい。第１の最外層と第２の最外層の両方が、接着剤層と実質的に同じ屈折率を有することがより好ましい。この場合、接着剤層の界面における不要な屈折や反射を抑制することができるため、高い光学性能を実現することができる。なお、本発明において、「実質的に同じ屈折率を有する」とは、屈折率差が、±５％以内であることをいう。

接着剤層は、通常、１．５程度の低い屈折率を有する。このため、第１の最外層と第２の最外層との少なくとも一方が低屈折率層であることが好ましい。さらには、第１の最外層と第２の最外層との両方が低屈折率層であることがより好ましい。この場合、上記低屈折率層は、フッ化マグネシウム、酸化ケイ素、酸化アルミニウムにより形成されていることが好ましい。これらは、接着剤層との接着性が良好であり、且つ高い機械的強度を有するためである。

本発明において、接着剤層は、特に限定されない。接着剤層としては、例えば、アクリル系樹脂やエポキシ系樹脂等が使用可能である。また、接着剤層は、エネルギー線硬化性樹脂からなるものであってもよい。ここで、「エネルギー線硬化性樹脂」とは、エネルギー線を照射することにより硬化する樹脂である。エネルギー線硬化性樹脂の具体例としては、光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂等が挙げられる。

接着剤層の厚みは、特に限定されないが、５μｍ〜１０μｍの範囲内にあることが好ましい。接着剤層の厚みが厚すぎると、接着剤層における光吸収が増大したり、耐候性が劣化したりする傾向にある。また、接着剤層の厚みが薄すぎると、接着性が低下する傾向にある。

なお、接着剤層の屈折率と、第１及び第２の多層膜の少なくとも一方の最外層との屈折率が実質的に同じである場合は、接着剤層の層厚が変化しても、光学部品の光学特性は実質的に変化しない。すなわち、第１の多層膜と第２の多層膜との間に接着剤層が介在している場合であっても、第１の多層膜と第２の多層膜とは、光学的機能膜として一体的に機能させることができる。

本発明によれば、低コストで製造できると共に、高い光学機能を実現し得る光学部品を提供できる。

第１の実施形態に係る光学部品の略図的側面図である。 図１におけるＩＩ部分を拡大した略図的断面図である。 母材の略図的斜視図である。 多層膜の成膜工程を説明するための略図的側面図である。 接着工程を説明するための略図的斜視図である。 分断工程を説明するための略図的斜視図である。 第２の実施形態に係る光学部品の略図的側面図である。 実施例に係る光学部品の光透過率と、比較例に係る光学部品の光透過率とを表すグラフである。 実施例に係る光学部品の反射特性と、比較例に係る光学部品の反射特性とを表すグラフである。 上記の特許文献１に記載の波長分離素子の略図的側面図である。

以下、本発明を実施した好ましい形態について、図１に示す光学部品１と図７に示す光学部品２とを例に挙げて詳細に説明する。但し、光学部品１，２は、単なる例示である。従って、本発明に係る光学部品は、光学部品１，２に何ら限定されない。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る光学部品の略図的側面図である。図２は、図１におけるＩＩ部分を拡大した略図的断面図である。

図１に示す光学部品１は、入射光２０のうち、第１の波長域の光２１を透過させる一方、第１の波長域とは異なる第２の波長域の光２２を反射させる波長分離素子である。

光学部品１は、第１の透光性部材１１と、第２の透光性部材１２とを備えている。第１及び第２の透光性部材１１，１２のそれぞれは、ガラス等の透光性材料からなるものである。本実施形態では、第１及び第２の透光性部材１１，１２のそれぞれは、略三角柱状である。具体的には、本実施形態では、第１の透光性部材１１と第２の透光性部材１２とは、同一材料からなり、且つ同一形状を有している。

第１の透光性部材１１の斜面１１ａと、第２の透光性部材１２の斜面１２ａとの間には、光学的機能膜１３が設けられている。第１の透光性部材１１の斜面１１ａと、第２の透光性部材１２の斜面１２ａとは、光学的機能膜１３を介して接合されている。

光学的機能膜１３は、入射光２０のうち、第１の波長域の光２１を透過させる一方、第１の波長域とは異なる第２の波長域の光２２を反射させる波長分離膜である。

光学的機能膜１３は、第１の多層膜１３ａと、第２の多層膜１３ｂとを備えている。第１の多層膜１３ａは、第１の透光性部材１１の斜面１１ａの上に形成されている。一方、第２の多層膜１３ｂは、第２の透光性部材１２の斜面１２ａの上に形成されている。第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとは、接着剤層１３ｃによって接着されている。

接着剤層１３ｃは、第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとを接着可能なものである限りにおいて特に限定されない。本実施形態では、接着剤層１３ｃは、アクリル系紫外線硬化樹脂により形成されている。

接着剤層１３ｃの厚みｔ１３ｃ（図２を参照）は、本実施形態では、５μｍ〜１０μｍの範囲内とされている。但し、接着剤層１３ｃの厚みｔ１３ｃは、特に限定されない。接着剤層１３ｃの厚みｔ１３ｃは、光学的機能膜１３の光学特性に実質的に影響を及ぼさないためである。

次に、主として図２を参照しながら、第１及び第２の多層膜１３ａ、１３ｂについて説明する。

図２に示すように、第１及び第２の多層膜１３ａ、１３ｂのそれぞれは、相対的に低い屈折率を有する低屈折率層１５と、相対的に高い屈折率を有する高屈折率層１６とが交互に積層された多層膜である。本実施形態では、第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとは、同一の膜構成を有している。

高屈折率層１６は、例えば、酸化チタン、酸化ニオブ、酸化タングステン、酸化鉛、酸化ランタン、酸化タンタル、酸化ジルコン、硫化亜鉛等により形成することができる。

低屈折率層１５は、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、フッ化アルカリ土類金属等により形成することができる。なかでも、低屈折率層１５は、酸化ケイ素、フッ化マグネシウムからなるものであることがより好ましい。

第１の多層膜１３ａの最も接着剤層１３ｃ側に位置している第１の最外層は、低屈折率層１５ａにより構成されている。第２の多層膜１３ｂの最も接着剤層１３ｃ側に位置している第２の最外層は、低屈折率層１５ｂにより構成されている。本実施形態において、第１及び第２の最外層を構成している低屈折率層１５ａ、１５ｂのそれぞれは、接着剤層１３ｃと実質的に同じ屈折率を有している。

また、第１の多層膜１３ａのうちの斜面１１ａ上に形成されている最外層は、低屈折率層１５ｃにより構成されている。同様に、第２の多層膜１３ｂの斜面１２ａ上に形成されている最外層も低屈折率層１５ｄにより構成されている。第１または第２の透光性部材１１，１２上に形成されている最外層を低屈折率層にすれば、第１及び第２の多層膜１３ａ、１３ｂの第１または第２の透光性部材１１，１２に対する密着性を高めることができる。この密着性を高める観点から、低屈折率層１５ｃ、１５ｄのそれぞれは、酸化ケイ素であることが好ましい。

次に、本実施形態に係る光学部品１の製造方法について、図３〜図６を参照しながら説明する。

まず、図３に示す略三角柱状の母材３０を複数用意する。この母材３０は、後述する分断工程等を経て、第１及び第２の透光性部材１１，１２になるものである。次に、図４に示すように、複数の母材３０を、図示しない成膜装置中に設置し、母材３０の斜面３０ａに第１及び第２の多層膜１３ａ、１３ｂと同一構成を有している多層膜３１（図５を参照）を形成する（第１及び第２の多層膜形成工程）。多層膜３１の形成方法は特に限定されない。例えば、スパッタ法や蒸着法等により多層膜３１を形成することができる。

次に、図５に示すように、多層膜３１が形成された一対の母材３０同士を、図示しない接着剤により貼り合わせる（接着工程）。その後、図６に示すように、母材３０を長さ方向において複数に分断する（分断工程）。以上の工程により、光学部品１を製造することができる。

上記のように、本実施形態では、光学的機能膜１３が、互いに接着剤層１３ｃにより接着されている第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとにより構成されている。このため、光学的機能膜１３の層数を、成膜装置により成膜できる層数の最大値の２倍まで増大させることができる。従って、光学部品１の光学機能を高めることができる。具体的には、フィルタ特性の急峻性が高い光学部品を作製することができる。

また、多層膜３１の良品率は、多層膜３１の２倍の層数を有する多層膜の良品率よりもはるかに高い。従って、光学部品１は、高い良品率で製造可能である。

さらに、多層膜３１の膜応力は、多層膜３１の２倍の層数を有する多層膜の膜応力よりもはるかに小さいため、第１及び第２の透光性部材１１，１２または第１及び第２の透光性部材の母材に不当な応力が残留しにくくなる。このため、第１及び第２の透光性部材１１，１２の接合精度が向上すると共に、第１及び第２の透光性部材の母材を分断する際に、母材の変形等を抑制することができる。従って、高い形状精度で光学部品１を製造することができる。

また、本実施形態では、第１及び第２の多層膜１３ａ、１３ｂ（多層膜３１）を同一工程で成膜するため、光学的機能膜１３の作製コスト及び作製に要する時間を低減することができる。その結果、光学部品１の製造に要する時間及び製造コストも低減することができる。

本実施形態では、第１及び第２の多層膜１３ａ、１３ｂのそれぞれの最も接着剤層側に位置する最外層が低屈折率層１５ａ、１５ｂにより構成されている。そして、低屈折率層１５ａ、１５ｂの屈折率と、接着剤層１３ｃの屈折率とは、実質的に同じである。このようにすることにより、第１及び第２の多層膜１３ａ、１３ｂが、光学的機能膜として一体的に機能させることができる。また、このようにすれば、接着剤層１３ｃの界面における不要な屈折や反射を抑制できるため、光学機能の低下を抑制することができる。

さらに本実施形態では、低屈折率層１５ａ、１５ｂが酸化ケイ素、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウムにより形成されている。これらは、接着剤層１３ｃとの接着性が良好であり、且つ高い機械的強度を有する。従って、光学部品１の機械的耐久性を高めることができる。

なお、上記第１の実施形態では、第１及び第２の透光性部材１１，１２のそれぞれがプリズムにより構成されている場合について説明したが、本発明において第１及び第２の透光性部材のそれぞれの形状は特に限定されない。例えば、第１及び第２の透光性部材の一方がプリズムで、他方が板状であってもよい。また、図７に示すように、第１及び第２の透光性部材１１，１２のそれぞれが板状であってもよい。

（実施例１）
下記に示す設計により、図１に示す光学部品１を作製し、光入射角度４５°における光透過率（光２１の強度／光２０の強度）を、分光光度計を用いて測定した。また、比較例として、第２の多層膜を形成しないこと以外は、実施例と同様にして光学部品を作製し、光透過率（Ｐ偏光）を測定した。測定結果を図８に示す。なお、図８において、実線が実施例１のデータを示し、破線が比較例１のデータを示している。

図８に示す結果から分かるように、２２層の第１の多層膜１３ａに加えて、２２層の第２の多層膜１３ｂを設けることにより、フィルタ特性の急峻性を高めることができる。なお、今回の測定結果は、第１の透光性部材１１の表面上のみに表１に記載の多層膜を２回成膜した場合の測定結果と同様であり、また第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとを同一工程で形成することにより、成膜時間を約半分とすることができた。

なお、実施例１及び比較例１では、第１及び第２の透光性部材１１，１２として、ＢＫ−７またはその相当品（屈折率１．５２）を使用した。

実施例１及び比較例１では、第１及び第２の多層膜の膜構成は、共に表１に示す通りである。

（実施例２）
下記に示す設計により、図１に示す光学部品１を作製し、光入射角度４９°における反射特性を評価した。また、比較例として、第２の多層膜を形成しないこと以外は、実施例と同様にして光学部品を作製し、反射特性を評価した。測定結果を図９に示す。なお、図９において、実線が実施例２のデータを示し、破線が比較例２のデータを示している。

図９に示す結果から分かるように、４層の第１の多層膜１３ａに加えて、４層の第２の多層膜１３ｂを設けることにより、反射光の消光比（Ｓ偏光とＰ偏光の光量差）を大きくすることができる。なお、今回の測定結果は、第１の透光性部材１１の表面上のみに表２に記載の多層膜を２回成膜した場合の測定結果と同様であったり、また第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとを同一工程で形成することにより、成膜時間を約半分とすることができた。

なお、実施例２及び比較例２において、第１及び第２の透光性部材１１，１２として、ＢＫ−７またはその相当品（屈折率１．５２）を使用した。

実施例２及び比較例２における第１及び第２の多層膜の膜構成は、共に表２に示す通りである。

１，２…光学部品
１１…第１の透光性部材
１１ａ…第１の透光性部材の斜面
１２…第２の透光性部材
１２ａ…第２の透光性部材の斜面
１３…光学的機能膜
１３ａ…第１の多層膜
１３ｂ…第２の多層膜
１３ｃ…接着剤層
１５…低屈折率層
１５ａ…第１の多層膜の最も接着剤層側の第１の最外層を構成する低屈折率層
１５ｂ…第２の多層膜の最も接着剤層側の第２の最外層を構成する低屈折率層
１５ｃ…第１の多層膜の最も第１の透光性部材側の低屈折率層
１５ｄ…第２の多層膜の最も第２の透光性部材側の低屈折率層
１６…高屈折率層
２０…入射光
２１…透過光
２２…反射光
３０…母材
３０ａ…母材の斜面
３１…多層膜

Claims (13)

1. 第１の透光性部材と、
   第２の透光性部材と、
   前記第１の透光性部材と前記第２の透光性部材との間に設けられている光学的機能膜とを備え、
   前記光学的機能膜が、前記第１の透光性部材の上に形成されている第１の多層膜と、前記第２の透光性部材の上に形成されている第２の多層膜と、前記第１の多層膜と前記第２の多層膜とを接着している接着剤層とを有する光学部品。
2. 前記第１の多層膜の最も前記接着剤層側に位置する第１の最外層と、前記第２の多層膜の最も前記接着剤層側に位置する第２の最外層との少なくとも一方が、前記接着剤層と実質的に同じ屈折率を有する請求項１に記載の光学部品。
3. 前記第１の最外層と前記第２の最外層との両方が、前記接着剤層と実質的に同じ屈折率を有する請求項２に記載の光学部品。
4. 前記第１の多層膜と前記第２の多層膜との両方が、相対的に低い屈折率を有する低屈折率層と、相対的に高い屈折率を有する高屈折率層とが交互に積層された多層膜であり、
   前記第１の最外層と前記第２の最外層との少なくとも一方が前記低屈折率層である請求項２または３に記載の光学部品。
5. 前記第１の最外層と前記第２の最外層との少なくとも一方を構成している低屈折率層が、フッ化マグネシウム、酸化ケイ素、酸化アルミニウムからなる請求項４に記載の光学部品。
6. 前記第１の多層膜の少なくとも一部が、前記第２の多層膜と同一の膜構成を有する請求項１〜５のいずれか一項に記載の光学部品。
7. 前記第１の多層膜と前記第２の多層膜とが、同一の膜構成を有する請求項６に記載の光学部品。
8. 前記接着剤層の厚みが、１〜２５μｍの範囲内にある請求項１〜７のいずれか一項に記載の光学部品。
9. 前記光学的機能膜が、第１の波長領域の光を透過させる一方、第１の波長領域とは異なる第２の波長領域の光を反射させる波長分離膜である請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学部品。
10. 前記第１の透光性部材と前記第２の透光性部材との少なくとも一方は、プリズムまたは板である請求項１〜９のいずれか一項に記載の光学部品。
11. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光学部品の製造方法であって、
    前記第１の透光性部材の上に前記第１の多層膜を形成する第１の多層膜形成工程と、
    前記第２の透光性部材の上に前記第２の多層膜を形成する第２の多層膜形成工程と、
    前記第１の多層膜と前記第２の多層膜とを前記接着剤層により接着する接着工程とを備える光学部品の製造方法。
12. 前記第１の多層膜形成工程と前記第２の多層膜形成工程とを同一工程で行う請求項１１に記載の光学部品の製造方法。
13. 前記第１の多層膜と前記第２の多層膜とが同一の膜構成を有する請求項１１に記載の光学部品の製造方法。

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