JP2006220872A - 光学フィルタ、光学フィルタの製造方法および撮像装置 - Google Patents

光学フィルタ、光学フィルタの製造方法および撮像装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 赤外線を良好にカットするとともに、その製造が容易でかつ薄型化を図ることができる光学フィルタ、光学フィルタの製造方法および光学フィルタを用いた撮像装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも2枚の赤外線を吸収する基材3a,3bと、赤外線を反射する少なくとも1つの赤外線カット層5aとを有し、基材3a,3bが、赤外線カット層5aを間に挟んで接合されていることを特徴とする。
【選択図】 図1

Description

本発明は、光学フィルタ、光学フィルタの製造方法および撮像装置に関する。
近年、撮像素子としてCCD(Charge Coupled Devices)やCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等を有する電子撮像光学系が備えられたデジタルビデオカメラやデジタルカメラ、内視鏡等が注目されている。
上述のCCDやCMOSからなる電子撮像素子は可視域(一般的に、波長が約380nmから約750nm程度の帯域をいう。)より長波長側の領域、いわゆる赤外線領域においても高い感度を有しているため、受光した赤外線により解像度の低下や画像の劣化が生じることが知られている。そのため、CCDやCMOSなどの撮像素子を用いた電子撮像光学系に用いられる赤外線を除去する赤外線カットフィルタ等が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
特開2003−029027号公報 特開2004−173139号公報
上述の特許文献1においては、基板の両面に多層膜を形成した近赤外線カットフィルタや、複数枚の基板を有しその基板の間に多層膜を配置した近赤外線カットフィルタなどが開示されている。このように複数の多層膜を用いることにより、可視光領域から近赤外線にかけての領域の透過特性を漸減させることが容易になっていた。また、このような特性を有する近赤外線カットフィルタを安定して生産することができた。
特許文献2においては、赤外線カットフィルタを第1光学ローパスフィルタおよび第2光学ローパスフィルタで挟んだ光学フィルタが開示されている。
しかしながら、上述の近赤外線カットフィルタや光学フィルタにおいては、赤外線をカットする機能を多層膜や、赤外線カットフィルタのみに持たせていた。そのため、所定の赤外線をカットする性能を確保するため、多層膜等に所定の膜厚が必要とされ、近赤外線カットフィルタ等の薄型化を図りにくいという問題があった。
また、多層膜等の膜厚が厚くなると、多層膜等が形成された基板等に反りが生じるため、所定の性能を発揮させにくくなると共に、その製造が困難になるという問題があった。さらに、上記の反りを防止するため基板を所定の厚さより薄くすることが困難で、近赤外線カットフィルタ等の薄型化を図りにくいという問題があった。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、赤外線を良好にカットするとともに、その製造が容易でかつ薄型化を図ることができる光学フィルタ、光学フィルタの製造方法および光学フィルタを用いた撮像装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明は、少なくとも2枚の赤外線を吸収する基材と、赤外線を反射する少なくとも1つの赤外線カット層と、を有し、前記基材が、前記赤外線カット層を間に挟んで接合されている光学フィルタを提供する。
本発明によれば、赤外線を吸収する基材を使用するため、例えば、赤外線を吸収しない基材を使用した場合と比較して、赤外線カット層の層厚を薄くすることができる。つまり、赤外線の一部を基材に吸収させることにより、赤外線カット層において反射させる赤外線の割合を減少させることができ、そのため、赤外線カット層の層厚を薄くすることができる。
赤外線カット層は基材に挟まれているため、赤外線カット層に傷がつくことを防止でき、その傷の部分から赤外線が透過することを防止できる。また、赤外線カット層に傷がつくことを防止できるため、光学フィルタの製造をより容易にすることができる。
例えば、本発明の光学フィルタを用いたデジタルカメラ等を製造する際に、赤外線カット層に傷がつくことを防止でき、その傷の部分から赤外線が透過することを防止できる。その結果、電子撮像素子により撮像された画像において、透過した赤外線による色ムラが発生することを防止できる。
赤外線カット層を基材に挟むことにより、外気との接触を遮断してその湿気を吸収しにくくすることができる。そのため、基材と赤外線カット層との膨張率の違いによる光学フィルタの反りの発生を防止することができる。また、赤外線カット層の層厚を薄くできるため、光学フィルタの反りを防止しやすくすることができる。
また、外気との接触を遮断してその湿気を吸収しにくくすることにより、赤外線カット層の特性変化を防止でき、光学フィルタの特性がシフトすることを防止できる。
上記発明においては、前記基材が赤外線を吸収する樹脂から形成されていることが望ましい。
本発明によれば、基材が赤外線を吸収する樹脂から形成されているため、光学フィルタの軽量化を図ることができると共に、安価に製造することができる。
本発明は、少なくとも2枚の透明な基材と、赤外線を反射する赤外線カット層と、を有し、前記赤外線カット層が、前記基材の間にのみ配置されている光学フィルタを提供する。
本発明によれば、赤外線カット層は基材に挟まれているため、赤外線カット層に傷がつくことを防止でき、その傷の部分から赤外線が透過することを防止できる。
また、赤外線カット層を基材に挟むことにより、外部の湿気を吸収しにくくすることができる。そのため、基材と赤外線カット層との膨張率の違いによる光学フィルタの反りの発生を防止することができる。
上記発明においては、前記赤外線カット層が、屈折率の異なる複数の薄膜層を積層させた多層構造を有するものであって、前記赤外線カット層における積層された層の数が20層以下であることが望ましい。より好ましくは、前記赤外線カット層が、高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層させた多層構造を有するものであることが望ましい。
本発明によれば、赤外線カット層が、屈折率の異なる複数の薄膜層を積層させた多層構造を有する干渉フィルタを構成するため、赤外線カット層に入射した光のうちの赤外線を反射することができる。さらには、赤外線カット層が、高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層させた多層構造を有する干渉フィルタとして構成されることにより、赤外線カット層に入射した光のうちの赤外線を反射することができる。
赤外線カット層を構成する屈折率の異なる複数の薄膜層の層数が20層以下であるため、光学フィルタの反りの発生を防止しやすくできるとともに、光学フィルタを薄型化することができる。
上記発明においては、前記基材が平板状に形成されていることが望ましい。
本発明によれば、基材が平板状に形成されているため、赤外線カット層を均一な厚さに形成しやすくできる。そのため、光学フィルタにおいて、光が透過する領域によって赤外線をカットする特性がばらつくことを防止できる。
上記発明においては、750nmから850nmの波長帯域における光の透過率が、500nmから550nmの波長帯域における光の透過量の平均値を基準として、約10%以下であることが望ましい。
本発明によれば、例えば、CCD等の電子撮像素子に入射する光の赤外線カットに本発明の光学フィルタを用いる場合、750nmから850nmの波長帯域における光の透過率が、500nmから550nmの波長帯域における光の透過量の平均値を基準として、約10%以下であるため、電子撮像素子における解像度の低下や画像の劣化が生じることを防止できる。
本発明は、赤外線を吸収する第1の基材の一方の面に赤外線カット層を形成する形成工程と、第2の基材を赤外線カット層に対向配置させ、前記第2の基材と、前記赤外線カット層とを接合する接合工程と、を有する光学フィルタの製造方法を提供する。
本発明によれば、第1の基材の一方の面に赤外線カット層を形成した後に、第2の基材と赤外線カット層とを接合するため、基材の間に赤外線カット層が挟まれた光学フィルタを容易に製造することができる。
上記発明においては、前記形成工程において、屈折率の異なる複数の薄膜層を積層して前記赤外線カット層を形成し、積層される層の数が20層以下であることが望ましい。より好ましくは、前記赤外線カット層が、高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層して形成されることが望ましい。
本発明によれば、赤外線カット層が、屈折率の異なる複数の薄膜層を積層して形成されるため、赤外線カット層に入射した光のうちの赤外線を反射することができる。さらには、赤外線カット層が、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層して干渉フィルタとして形成されることため、赤外線カット層に入射した光のうちの赤外線を反射することができる。
赤外線カット層を構成する屈折率の異なる複数の薄膜層の層数が20層以下であるため、光学フィルタの反りの発生を防止しやすくできるとともに、光学フィルタを薄型化することができる。
上記発明においては、前記基材が平板状に形成されていることが望ましい。
本発明によれば、基材が平板状に形成されているため、赤外線カット層を均一な厚さに形成しやすくできる。そのため、光学フィルタにおいて、光が透過する領域によって赤外線をカットする特性がばらつくことを防止できる。
本発明は、屈折率を有する光学素子を備える光学系と、上記本発明の光学フィルタ、または上記本発明の光学フィルタの製造方法により製造された光学フィルタと、前記光学系の像側に配置され、前記光学フィルタを透過した光が入射される電子撮像素子と、を備える撮像装置を提供する。
本発明の光学フィルタを撮像装置に用いることにより、撮像装置を製造する際に、赤外線カット層に傷がつくことを防止でき、その傷の部分から赤外線が電子撮像素子に入射することが防止できる。その結果、電子撮像素子により撮像された画像において、透過した赤外線による色ムラが発生することを防止できる。また、赤外線カット層に傷がつくことを防止できるため、撮像装置の製造を容易にすることができる。
本発明の光学フィルタ、光学フィルタの製造方法および撮像装置によれば、赤外線を良好にカットするとともに、その製造が容易で、かつ、光学フィルタおよび撮像装置の薄型化を図ることができるという効果を奏する。
[赤外線カットフィルタ]
〔第1の実施形態〕
以下、本発明に係る赤外線カットフィルタにおける第1の実施形態について図1から図3を参照して説明する。
図1は、本実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。
赤外線カットフィルタ(光学フィルタ)1Aは、図1に示すように、赤外線を吸収する2枚の赤外線吸収フィルタ(基材、第1の基材)3a、赤外線吸収フィルタ(基材、第2の基材)3bと、赤外線を反射する赤外線カットコート(赤外線カット層)5aと、光の反射を抑える反射防止コート7と、から概略構成されている。
赤外線吸収フィルタ3a,3bはガラスまたはプラスチック等の樹脂から形成された板状の部材であり、例えば、呉羽化学工業株式会社製のルミクル(登録商標)を例示することができる。
以下の表に、本実施形態において用いる赤外線吸収フィルタ3a,3bの各波長の光に対する透過率(T%)を示す。
Figure 2006220872
赤外線カットコート5aは、屈折率の異なる酸化チタン(TiO)の層(薄膜層、高屈折率層)と酸化シリコン(SiO)の層(薄膜層、低屈折率層)とが交互に積層された多層膜として形成され、本実施形態においては酸化チタン層と酸化シリコン層が14層積層されたものに適用して説明する。赤外線カットコート5aの膜厚などの詳細なデータを以下の表に示す。
Figure 2006220872
反射防止コート7も、屈折率の異なる酸化チタン(TiO)の層(薄膜層、高屈折率層)と酸化シリコン(SiO)の層(薄膜層、低屈折率層)とを交互に積層したものであり、本実施形態においては酸化チタン層と酸化シリコン層が5層積層されたものに適用して説明する。反射防止コート7の膜厚などの詳細なデータを以下の表に示す。
Figure 2006220872
次に、赤外線カットフィルタ1Aの製造方法について説明する。
図2は、本実施形態の赤外線カットフィルタの製造方法を説明する図である。図2(a)は、赤外線吸収フィルタに赤外線カットコート等を形成する工程を説明する図であり、図2(b)は、赤外線カットコート等が形成された赤外線吸収フィルタ3a,3bを接合する工程を説明する図である。
まず、図2(a)に示すように、赤外線吸収フィルタ3aの内側の面(一方の面)2に赤外線カットコート5aを形成し、外側の面4に反射防止コート7を形成する。また、赤外線吸収フィルタ3bの外側の面6に反射防止コート7を形成する(形成工程)。
赤外線カットコート5aおよび反射防止コート7の形成方法としては蒸着を例示することができる。
その後、図2(b)に示すように、赤外線吸収フィルタ3aに形成された赤外線カットコート5aと、赤外線吸収フィルタ3bの内側の面(対向面)8と、を接合する(接合工程)。
接合の方法としては、接着剤による接合を例示することができる。本実施形態においては、接着剤による接合に適用して説明し、赤外線カットコート5aと赤外線吸収フィルタ3bとの間には、接着剤の層である接合層9が形成されることになる。
なお、上述のように、赤外線吸収フィルタ3aに赤外線カットコート5aを形成してもよいし、赤外線吸収フィルタ3bに赤外線カットコート5aを形成してもよく、特に限定しない。
次に、上述の赤外線カットフィルタ1Aによる作用について説明する。
例えば、赤外線吸収フィルタ3a側(図1中の左側)から赤外線カットフィルタ1Aに入射する光は、まず、反射防止コート7を透過して赤外線吸収フィルタ3aに入射する。反射防止コート7が光の入射面に形成されていることにより、赤外線吸収フィルタ3aにおいて入射する光の反射が防止されている。
入射した光の赤外線の一部は赤外線吸収フィルタ3aに吸収され、残りの光は赤外線吸収フィルタ3aを透過し、赤外線カットコート5aに入射する。赤外線吸収フィルタ3aを透過した赤外線の一部は、赤外線カットコート5aにおいて反射され、残りの赤外線を含む光は赤外線カットコート5aを透過し、赤外線吸収フィルタ3bに入射する。赤外線カットコート5aを透過した赤外線の一部は赤外線吸収フィルタ3bに吸収され、残りの赤外線を含む光は赤外線カットフィルタ1Aから出射される。
図3は、本実施形態における赤外線カットフィルタ1Aにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフである。
このようにして赤外線を吸収および反射する赤外線カットフィルタ1Aの各波長に対する透過率は、図3に示す通りであり、750nmから850nmの波長帯域における光の透過率は、500nmから550nmの波長帯域における光の透過量の平均値を基準として、約10%以下となっている。
上記の構成によれば、赤外線を吸収する赤外線吸収フィルタ3a,3bを使用するため、例えば、赤外線を吸収しない基板を使用した場合と比較して、赤外線カットコート5aの層厚を薄くすることができる。
つまり、赤外線の一部を赤外線吸収フィルタ3a,3bに吸収させることにより、赤外線カットコート5aにおいて反射させる赤外線の割合を減少させることができる。そのため、赤外線カットコート5aの層厚を薄くすることができ、赤外線カットフィルタ1Aの薄型化を図ることができる。
赤外線カットコート5aは赤外線吸収フィルタ3a,3bに挟まれているため、赤外線カットコート5aに傷がつくことを防止でき、その傷の部分から赤外線が透過することを防止できる。また、赤外線カットコート5aに傷がつくことを防止できるため、赤外線カットフィルタ1Aの製造をより容易にすることができる。
赤外線カットコート5aを赤外線吸収フィルタ3a,3bに挟むことにより、外気との接触を遮断してその湿気を吸収しにくくすることができる。そのため、赤外線吸収フィルタ3a,3bと赤外線カットコート5aとの膨張率の違いによる赤外線カットフィルタ1Aの反りの発生を防止することができる。
また、赤外線カットコート5aの層厚を薄くできるため、赤外線カットフィルタ1Aの反りを防止しやすくすることができる。
さらに、外気との接触を遮断してその湿気を吸収しにくくすることにより、赤外線カットフィルタ1Aの特性変化を防止でき、赤外線カットフィルタ1Aの特性がシフトすることを防止できる。
赤外線吸収フィルタ3aの内側の面2の上に赤外線カットコート5aが形成され、その赤外線吸収フィルタ3aと赤外線吸収フィルタ3bとの間に接合層9が配置されているので、赤外線吸収フィルタ3aと赤外線吸収フィルタ3bとの間に赤外線カット層を配置した状態で結合することができる。
樹脂などの高温に対する耐久性が低い材料を赤外線吸収フィルタ3a,3bに用いる場合では、赤外線吸収フィルタ3aの内側の面2上に赤外線カットコート5aを高温環境下で蒸着形成できないため、赤外線カットコート5aの強度が低下する。かかる場合においても、赤外線カットコート5aを赤外線吸収フィルタ3a,3bに挟むため、赤外線カットコート5aに傷がつくことを防止できる。
赤外線吸収フィルタ3a,3bが平板状に形成されているため、赤外線カットコート5aを均一な厚さに形成しやすくできる。そのため、赤外線カットフィルタ1Aにおいて、光が透過する領域によって赤外線をカットする特性がばらつくことを防止できる。
また、赤外線吸収フィルタ3a,3bを樹脂から形成する場合には、赤外線カットフィルタ1Aの軽量化を図ることができると共に、安価に製造することができる。
〔第2の実施形態〕
次に、本発明に係る赤外線カットフィルタにおける第2の実施形態について図4および図5を参照して説明する。
図4は、本実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。
なお、第1の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。
赤外線カットフィルタ(光学フィルタ)1Bは、図4に示すように、赤外線を吸収する3枚の赤外線吸収フィルタ(基材)3a,3b,3cと、赤外線を反射する赤外線カットコート(赤外線カット層)5bと、光の反射を抑える反射防止コート7と、から概略構成されている。
赤外線吸収フィルタ3cは、赤外線吸収フィルタ3a,3bと同一の材質および形状の部材であり、各波長の光に対する透過率(T%)も同一である。
赤外線カットコート5bは、屈折率の異なる酸化チタン(TiO)の層(薄膜層、高屈折率層)と酸化シリコン(SiO)の層(薄膜層、低屈折率層)とが交互に積層された多層膜として形成され、本実施形態においては酸化チタン層と酸化シリコン層が10層積層されたものに適用して説明する。赤外線カットコート5bの膜厚などの詳細なデータを以下の表に示す。
Figure 2006220872
赤外線カットフィルタ1Bの製造方法については第1の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
また、赤外線カットフィルタ1Bの作用は、赤外線吸収フィルタ3cおよび赤外線カットコート5bが追加されている点を除けば、第1の実施形態と同様であるので、図5に本実施形態における赤外線カットフィルタ1Bにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフを示して、その説明を省略する。
上記の構成によれば、第1の実施形態に係る赤外線カットフィルタ1Aと比較して、赤外線カットコート5bの積層数が少ないため、赤外線吸収フィルタ3a等の上に赤外線カットコート5bを形成した際における反りの発生を防止しやすい。
〔第3の実施形態〕
次に、本発明に係る赤外線カットフィルタにおける第3の実施形態について図6および図7を参照して説明する。
図6は、本実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。
なお、第1の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。
赤外線カットフィルタ(光学フィルタ)1Cは、図6に示すように、赤外線を吸収する2枚の赤外線吸収フィルタ3a,3bと、赤外線を反射する赤外線カットコート5aと、から概略構成されている。
赤外線カットフィルタ1Cの製造方法については、反射防止コートが形成されていない点を除けば、第1の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
また、赤外線カットフィルタ1Cの作用も、反射防止コートが形成されていない点を除けば第1の実施形態と同様であるので、図7に本実施形態における赤外線カットフィルタ1Cにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフを示して、その説明を省略する。
上記の構成によれば、第1の実施形態に係る赤外線カットフィルタ1Aと比較して、反射防止コートを形成しないため、製造工程を削減することができ、より安価に製造することができる。
〔第4の実施形態〕
次に、本発明に係る赤外線カットフィルタにおける第4の実施形態について図8および図9を参照して説明する。
図8は、本実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。
なお、第2の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。
赤外線カットフィルタ(光学フィルタ)1Dは、図8に示すように、赤外線を吸収する3枚の赤外線吸収フィルタ3a,3b,3cと、赤外線を反射する赤外線カットコート5bと、から概略構成されている。
赤外線カットフィルタ1Dの製造方法については、反射防止フィルタが形成されていない点を除けば、第2の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
また、赤外線カットフィルタ1Dの作用も、反射防止フィルタが形成されていない点を除けば第2の実施形態と同様であるので、図9に本実施形態における赤外線カットフィルタ1Dにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフを示して、その説明を省略する。
上記の構成によれば、第2の実施形態に係る赤外線カットフィルタ1Bと比較して、反射防止コートを形成しないため、製造工程を削減することができ、より安価に製造することができる。
〔第5の実施形態〕
次に、本発明に係る赤外線カットフィルタにおける第5の実施形態について図10および図11を参照して説明する。
図10は、本実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。
赤外線カットフィルタ(光学フィルタ)1Eは、図10に示すように、使用波長域に対して透明な2枚の基板(基材、第1の基材)3d、基板(基材、第2の基材)3eと、赤外線を反射する赤外線カットコート(赤外線カット層)5eと、光の反射を抑える反射防止コート7と、から概略構成されている。
基板3d,3eは、ガラスまたは樹脂などから形成された板状の部材である。
赤外線カットコート5eは、屈折率の異なる酸化チタン(TiO)の層(薄膜層、高屈折率層)と酸化シリコン(SiO)の層(薄膜層、低屈折率層)とが交互に積層された多層膜として形成され、本実施形態においては酸化チタン層と酸化シリコン層が43層積層されたものに適用して説明する。赤外線カットコート5eの膜厚などの詳細なデータを以下の表に示す。
Figure 2006220872
赤外線カットフィルタ1Eの製造方法については、赤外線吸収フィルタ3a,3bが基板3d,3eに変更された点を除けば、第1の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
次に、上述の赤外線カットフィルタ1Eによる作用について説明する。
図11は、本実施形態における赤外線カットフィルタ1Eにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフである。
例えば、基板3d側(図10中の左側)から赤外線カットフィルタ1Eに入射する光は、まず、反射防止コート7を透過して基板3dに入射する。反射防止コート7が光の入射面に形成されていることにより、基板3dにおいて入射する光が反射されることを防止できる。
入射した光は基板3dを透過して、赤外線の一部が赤外線カットコート5eにおいて反射される。残りの赤外線を含む光は赤外線カットコート5e、および基板3eを透過して赤外線カットフィルタ1Eから出射される。
このようにして赤外線を反射する赤外線カットフィルタ1Eの各波長に対する透過率は、図11に示す通りであり、750nmから850nmの波長帯域における光の透過率は、500nmから550nmの波長帯域における光の透過量の平均値を基準として、約10%以下となっている。
上記の構成によれば、使用波長域に対して透明なガラスまたは樹脂などを基板3d,3eとして用いるため、赤外線吸収フィルタ3a,3bを用いる場合と比較して、赤外線カットフィルタ1Eを安価に製造することができる。
〔第6の実施形態〕
次に、本発明に係る赤外線カットフィルタにおける第6の実施形態について図12および図13を参照して説明する。
図12は、本実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。
なお、第5の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。
赤外線カットフィルタ(光学フィルタ)1Fは、図12に示すように、使用波長域に対して透明な3枚の基板(基材)3d,3e,3fと、赤外線を反射する赤外線カットコート(赤外線カット層)5f,5gと、光の反射を抑える反射防止コート7と、から概略構成されている。
基板3fは、基板3d,3eと同様にガラスまたは樹脂などから形成された板状の部材である。
赤外線カットコート5f,5gは、屈折率の異なる酸化チタン(TiO)の層(薄膜層、高屈折率層)と酸化シリコン(SiO)の層(薄膜層、低屈折率層)とが交互に積層された多層膜として形成され、本実施形態においては酸化チタン層と酸化シリコン層が19層積層されたものに適用して説明する。
赤外線カットコート5fは、波長の短い赤外線をカットする短波カット用の赤外線カットコートであり、赤外線カットコート5gは、波長の長い赤外線をカットする長波カット用の赤外線カットコートである。赤外線カットコート5fの膜厚などの詳細なデータを以下の上側の表に示し、赤外線カットコート5gの膜厚などの詳細なデータを以下の下側の表に示す。
Figure 2006220872
Figure 2006220872
赤外線カットフィルタ1Fの製造方法については第5の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
次に、上述の赤外線カットフィルタ1Fによる作用について説明する。
図13は、本実施形態における赤外線カットフィルタ1Fにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフである。
例えば、基板3d側(図11中の左側)から赤外線カットフィルタ1Fに入射する光は、まず、反射防止コート7を透過して基板3dに入射する。反射防止コート7が光の入射面に形成されていることにより、基板3dにおいて入射する光が反射されることを防止できる。
入射した光は基板3dを透過して、波長の短い赤外線の一部が赤外線カットコート5fにおいて反射される。残りの赤外線を含む光は赤外線カットコート5f、および基板5eを透過する。基板3eを透過した光は赤外線カットコート5gに入射し、波長の長い赤外線の一部が反射され、残りの赤外線を含む光は赤外線カットコート5g、および基板3fを透過し、赤外線カットフィルタ1Fから出射される。
このようにして赤外線を反射する赤外線カットフィルタ1Fの各波長に対する透過率は、図13に示す通りであり、750nmから850nmの波長帯域における光の透過率は、500nmから550nmの波長帯域における光の透過量の平均値を基準として、約10%以下となっている。
なお、赤外線カットフィルタ1Fは、図13に示すように、約360nm以上の波長を有する紫外線を透過させることができる。
上記の構成によれば、異なる赤外線反射特性を有する赤外線カットコート5fと赤外線カットコート5gを用いることにより、赤外線カットコートが一層の場合と比較して、赤外線カットフィルタ1Fの特性をより自由に設計することができる。
なお、上述のように、赤外線カットコート5fと赤外線カットコート5gとの間に基板3eが配置される構成であってもよいし、図14に示すように、赤外線カットコート5fと赤外線カットコート5gとの間に接合層9が配置される構成であってもよい。この場合、接合層9は使用波長域に対して透明な材料であり、かつ、その層厚が各赤外線カットコート5f,5gに影響を与えないよう十分な厚さに形成されていることが望ましい。
[光学系]
〔単焦点光学系〕
次に、本発明の赤外線カットフィルタを用いた単焦点光学系の一実施形態について図15から図17を参照しながら説明する。
図15は、本発明の赤外線カットフィルタを用いた単焦点光学系の無限遠物点合焦時のレンズ断面図である。
単焦点光学系(撮像装置)50は、図15に示すように、結像レンズ系(光学系)Lと、像を撮像する電子撮像素子51と、電子撮像素子51のカバーガラスを兼用する赤外線カットフィルタ(光学フィルタ)53と、から概略構成されている。
赤外線カットフィルタ53は、上述の第1の実施形態から第6の実施形態に係る赤外線カットフィルタのいずれかを用いたものである。また、電子撮像素子51としては、CCDやCMOSなどを用いることができる。
結像レンズ系Lは、絞り54と、物体側(図15中において左側)に凸面を向けた物体側面非球面の第1正メニスカスレンズL1と、両凸の像面側面非球面の第2正レンズL2と、両凹の両面非球面の第3負レンズL3と、から構成されている。
本実施形態では、第1レンズL1から第3レンズL3は全てプラスチックから構成されたものに適用して説明する。
なお、本実施形態における結像レンズ系Lの仕様は、焦点距離f=3.83mm、像高2.30mmであり、Fナンバー=2.98、全画角2ω=63.0°である。
以下に、本実施形態の結像レンズ系Lのデータを示す。
fは全系焦点距離、FNOはFナンバー、2ωは画角、WEは広角端、STは中間状態、TEは望遠端、r1 、r2 …は各レンズ面の曲率半径、d1 、d2 …は各レンズ面間の間隔、nd1、nd2…は各レンズのd線の屈折率、νd1、νd2…は各レンズのアッベ数である。
また、非球面形状は、xを光の進行方向を正とした光軸とし、yを光軸と直交する方向にとると、下記の式にて表される。
x=(y2 /r)/[1+{1−(K+1)(y/r)2 1/2
+A44 +A6 6 +A8 8
ただし、rは光軸上の曲率半径、Kは円錐係数、A4 、A6 、A8 はそれぞれ4次、6次、8次の非球面係数である。
1= ∞ (絞り) d1=0.10
2= 1.365(非球面) d2=0.63 nd1=1.50913 νd1=56.20
3= 2.622 d3=0.46
4= 2.750 d4=0.70 nd2=1.50913 νd2=56.20
5=-47.775(非球面) d5=0.60
6= -5.474(非球面) d6=0.62 nd3=1.57268 νd3=33.51
7= 2.645(非球面) d7=0.40
8= ∞ d8=0.50 nd4=1.51633 νd4=64.14
9=∞
非球面係数
第2面
K= -0.664
4= 7.93801×10-3
6= 1.59402×10-2
8= -2.69710×10-3
第5面
K= 612.567
4= -2.69780×10-2
6= -1.22057×10-2
8= 4.19450×10-2
第6面
K= -43.850
4= -4.22561×10-1
6= -5.25463×10-2
8= -7.90009×10-2
第7面
K= 0.000
4= -2.59494×10-1
6= 5.15201×10-2
8= -4.92327×10-3
上記の構成によれば、本発明の赤外線カットフィルタ53を用いることにより、単焦点光学系50の製造を容易にするとともに、光軸方向に薄型化することができる。
また、単焦点光学系50を製造する際に、赤外線カットフィルタ53の赤外線カットコートに傷がつくことを防止でき、その傷の部分から赤外線が透過することを防止できる。その結果、電子撮像素子51により撮像された画像において、透過した赤外線による色ムラが発生することを防止できる。
なお、上述のように、赤外線カットフィルタ53が電子撮像素子51のカバーガラスを兼用してもよいし、図16に示すように、赤外線カットフィルタ53とカバーガラス55とを別々に設けて、赤外線カットフィルタ53がローパスフィルタを兼用してもよい。
また、図17に示すように、赤外線カットフィルタ53とカバーガラス55とローパスフィルタ57とを別々に設けてもよい。
〔自由曲面光学系〕
次に、本発明の赤外線カットフィルタを用いた自由曲面光学系について図18から図20を参照しながら説明する。
図18は、本発明の赤外線カットフィルタを用いた自由曲面光学系の一実施形態を説明する断面図である。
まず、本実施例の説明に用いる構成パラメータについて、図18を用いながら説明する。
本実施形態の構成パラメータは、図18に示すように、順光線追跡で、軸上主光線ML1を、物体中心から光学系の絞り61の中心を垂直に通り、電子撮像素子51中心に至る光線で定義されている。そして、光学系の最も物体側の第1面(図18の場合は、第11面11)の軸上主光線ML1と交差する位置を偏心光学系の偏心光学面の原点として、軸上主光線ML1に沿う方向をZ軸方向とし、物体から第1面に向かう方向をZ軸正方向とし、光軸が折り曲げられる平面をY−Z平面とし、原点を通りY−Z平面に直交する方向をX軸方向とし、図18の紙面の表から裏へ向かう方向をX軸正方向とし、X軸、Z軸と右手直交座標系を構成する軸をY軸とする。
本実施形態においては、このY−Z平面内で各面の偏心を行っており、また、各回転非対称自由曲面の唯一の対称面をY−Z面としている。
偏心面については、光学系の原点の中心からその面の面頂位置の偏心量(X軸方向、Y軸方向、Z軸方向をそれぞれX,Y,Z)と、その面の中心軸(自由曲面については、後記の引用文献の(a)式のZ軸)のX軸、Y軸、Z軸それぞれを中心とする傾き角(それぞれα,β,γ(°))とが与えられている。その場合、αとβの正はそれぞれの軸の正方向に対して反時計回りを、γの正はZ軸の正方向に対して時計回りを意味する。
なお、面の中心軸のα,β,γの回転のさせ方は、面の中心軸とそのXYZ直交座標系を、まずX軸の回りで反時計回りにα回転させ、次に、その回転した面の中心軸を新たな座標系のY軸の回りで反時計回りにβ回転させると共に1度回転した座標系もY軸の回りで反時計回りにβ回転させ、次いで、その2度回転した面の中心軸を新たな座標系の新たな座標系のZ軸の回りで時計回りにγ回転させるものである。
本実施形態の光学系を構成する光学作用面の中、特定の面とそれに続く面が共軸光学系を構成する場合には、面間隔が与えられており、その他、媒質の屈折率、アッベ数が慣用法に従って与えられている。
また、本発明で用いられる自由曲面の面の形状は、例えば米国特許第6,124,989号(特開2000−66105号)の(a)式により定義される自由曲面であり、その定義式のZ軸が自由曲面の軸となる。
なお、データの記載されていない自由曲面に関する項は0である。屈折率、アッベ数については、d線(波長587.56nm)に対するものを表記してある。長さの単位はmmである。
したがって、図18は、本実施形態の自由曲面光学系における軸上主光線を含むY−Z断面図となる。
自由曲面光学系(撮像装置)60は、図18に示すように、プリズムを有するプリズム光学系(光学系)Pと、像を撮像する電子撮像素子51と、電子撮像素子51のカバーガラスを兼用する赤外線カットフィルタ53と、から概略構成されている。から概略構成されている。
プリズム光学系Pは、物体側から光の通る順に、前群を構成する第1プリズム10と、絞り61と、後群を構成する第2プリズム20と、から構成されている。
第1プリズム10は、図18に示すように、第11面11から第13面13により構成され、その第11面11は第1透過面、第12面12は第1反射面、第13面13は第2透過面である。
これらの面は、物体からの光線が第1透過面である第11面11を透過し、第1反射面である第12面12で内面反射され、第2透過面である第13面13を透過し、第2プリズム20に向けて出射するように配置されている。
第2プリズム20は第21面21から第24面24により構成され、その第21面21は第1透過面、第22面22は第1反射面、第23面23は第2反射面、第24面24は第2透過面である。
これらの面は、第1プリズム10からの光線が第1透過面である第21面21を透過し、第1反射面である第22面22で内面反射され、第2反射面である第23面23で内面反射され、第2透過面である第24面24を透過し、撮像ユニット30に向けて出射するように配置されている。
また、第2プリズム20の第21面21と第22面22とは、プリズム媒質を挟んで対向配置され、第23面23と第24面24とがプリズム媒質を挟んで対向配置されている。さらに、これらの面は、第21面21と第22面22とを結ぶ光路が、第23面23と第24面24とを結ぶ光路とプリズム内で交差するように配置されている。
なお、上述の第1プリズム10および第2プリズム20からなる結像光学系においては、中間像を形成していない。
また、第1プリズム10の第11面11および第12面12は自由曲面から構成され、第13面13は平面から構成されている。第2プリズム20の第21面21は平面から構成され、第22面22から第24面24は自由曲面から構成されている。
上述の実施形態は、例えば、撮像面のサイズが4.8mm×3.6mmであり、撮影画角が水平画角51.3°、垂直画角が39.6°、入射瞳径がφ1.77mmであり、Fナンバーは2.8相当の実施形態に適用することができる。
なお、上述の実施形態はその他のサイズ等の実施形態へ適用しても構わず、特に限定するものではない。
以下に、第1プリズム10および第2プリズム20の数値データを示す。表中の“FFS”は自由曲面を示し、“RE”は反射面を示している。
面番号 曲率半径 面間隔 偏心 屈折率 アッベ数
物体面 ∞ ∞
1 FFS[1] 1.5254 55.8
2 FFS[2](RE) 偏心(1) 1.5254 55.8
3 ∞ 偏心(2)
4 ∞(絞り) 偏心(3)
5 ∞ 偏心(4) 1.5254 55.8
6 FFS[3](RE) 偏心(5) 1.5254 55.8
7 FFS[4](RE) 偏心(6) 1.5254 55.8
8 FFS[5] 偏心(7)
9 ∞ 偏心(8) 1.5230 55.0
10 ∞ 偏心(9)
像面 ∞ 偏心(10)
FFS[1]
4 -8.3188×10-36 3.4101×10-28 -1.4706×10-3
10 -1.1420×10-311 -6.5609×10-513 -1.7003×10-4
15 2.9132×10-417 9.7267×10-519 1.5357×10-5
21 -7.7116×10-6
FFS[2]
4 -6.7737×10-46 9.5729×10-38 -4.6635×10-5
10 3.2706×10-411 4.7807×10-513 -1.7131×10-6
15 5.7208×10-517 1.8852×10-519 -1.0239×10-5
21 5.2505×10-6
FFS[3]
4 1.8027×10-26 1.9843×10-28 2.7422×10-4
10 6.5409×10-411 -5.5779×10-513 7.9255×10-6
15 -1.3926×10-517 -1.0429×10-519 -2.8931×10-5
21 3.4435×10-7
FFS[4]
4 1.5424×10-26 1.1204×10-28 -1.0357×10-4
10 3.0996×10-411 5.5084×10-513 4.6769×10-5
15 2.6581×10-517 1.3231×10-519 -3.7769×10-5
21 -2.3725×10-7
FFS[5]
4 3.0719×10-26 -1.8684×10-38 -2.1354×10-2
10 1.9201×10-311 -2.9223×10-313 4.3539×10-3
15 2.0659×10-317 2.8765×10-319 -4.0186×10-4
21 2.7366×10-4
偏心(1)
X 0.00 Y 0.00 Z 3.81
α -41.81 β 0.00 γ 0.00
偏心(2)
X 0.00 Y 3.26 Z 3.44
α 90.00 β 0.00 γ 0.00
偏心(3)
X 0.00 Y 3.55 Z 3.39
α 90.00 β 0.00 γ 0.00
偏心(4)
X 0.00 Y 3.85 Z 3.34
α 90.00 β 0.00 γ 0.00
偏心(5)
X 0.00 Y 10.20 Z 2.63
α -103.66 β 0.00 γ 0.00
偏心(6)
X 0.00 Y 6.85 Z 0.39
α 28.25 β 0.00 γ 0.00
偏心(7)
X 0.00 Y 6.87 Z 5.55
α 0.59 β 0.00 γ 0.00
偏心(8)
X 0.00 Y 6.87 Z 5.87
α 0.00 β 0.00 γ 0.00
偏心(9)
X 0.00 Y 6.87 Z 6.42
α 0.00 β 0.00 γ 0.00
偏心(10)
X 0.00 Y 6.87 Z 7.12
α 0.00 β 0.00 γ 0.00
上記の構成によれば、本発明の赤外線カットフィルタ53を用いることにより、自由曲面光学系60の製造を容易にするとともに、光軸方向に薄型化することができる。
また、自由曲面光学系60を製造する際に、赤外線カットフィルタ53の赤外線カットコートに傷がつくことを防止でき、その傷の部分から赤外線が透過することを防止できる。その結果、電子撮像素子51により撮像された画像において、透過した赤外線による色ムラが発生することを防止できる。
なお、上述のように、赤外線カットフィルタ53が電子撮像素子51のカバーガラスを兼用してもよいし、図19に示すように、赤外線カットフィルタ53とカバーガラス55とを別々に設けて、赤外線カットフィルタ53がローパスフィルタを兼用してもよい。
また、図20に示すように、赤外線カットフィルタ53とカバーガラス55とローパスフィルタ57とを別々に設けてもよい。
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、本発明の赤外線カットフィルタを単焦点光学系に適応して説明したが、本発明は単焦点光学系に限られることなく、ズーム光学系など、その他各種の光学系に適応できるものである。
また、上記実施の形態では、高屈折率層(TiO)と低屈折率層(SiO)とを交互に積層させて赤外カットコートを形成しているが、本発明はこれに限らず、高屈折率層、中間屈折率層、低屈折率層を交互に積層させて形成してもよい。
以上の光学フィルタは、特許請求の範囲に記載の構成の他に、以下のような構成とすることができる。
[1] 前記少なくとも2枚の基板のうちの1枚の基材の一方の面に前記赤外線カット層が形成され、
前記赤外線カット層に対向する他の基材と、前記赤外線カット層との間に、前記他の基材と前記赤外線カット層とを接合する接合層が配置されている請求項1から7のいずれかに記載の光学フィルタ。
上記構成によれば、少なくとも2枚の基板のうちの1枚の基材の一方の面の上に赤外線カット層が形成され、その赤外線カット層と他の基材との間に接合層が配置されているので、上記1枚の基材と他の基材との間に赤外線カット層を配置した状態で結合することができる。
例えば、樹脂などの高温に対する耐久性が低い材料を基材に用いる場合では、上記1枚の基材の一方の面上に赤外線カット層を高温環境下で形成できないため、赤外線カット層の強度が低下する。かかる場合においても、赤外線カット層を基材に挟むため、赤外線カット層に傷がつくことを防止できる。
なお、接合層は少なくとも使用波長域に対して透明であることが望ましい。
[2] 前記少なくとも2枚の基板のうちの1枚の基材の一方の面と、該一方の面に対向する他の基材の対向面とに、それぞれ前記赤外線カット層が形成され、
前記一方の面に形成された赤外線カット層と、前記対向面に形成された赤外線カット層との間に、両赤外線カット層を接合する接合層が配置されている請求項1から7のいずれかに記載の光学フィルタ。
上記構成によれば、少なくとも2枚の基板のうちの1枚の基材の一方の面の上および他の基材の対向面の上に、それぞれ赤外線カット層が形成され、両赤外線カット層の間に接合層が配置されているので、上記1枚の基材と他の基材との間に赤外線カット層を配置した状態で結合することができる。
なお、接合層は少なくとも使用波長域に対して透明であることが望ましい。
本発明に係る第1の実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。 図1の赤外線カットフィルタの製造方法を説明する図である。 図1の赤外線カットフィルタにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフである。 本発明に係る第2の実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。 図4の赤外線カットフィルタにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフである。 本発明に係る第3の実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。 図6の赤外線カットフィルタにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフである。 本発明に係る第4の実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。 図8の赤外線カットフィルタにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフである。 本発明に係る第5の実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。 図10の赤外線カットフィルタにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフである。 本発明に係る第6の実施形態における赤外線カットフィルタの構成を説明する図である。 図12の赤外線カットフィルタにおける各波長に対する透過率(T%)を示すグラフである。 図12の赤外線カットフィルタの別の実施形態の構成を説明する図である。 本発明の赤外線カットフィルタを用いた単焦点光学系の無限遠物点合焦時のレンズ断面図である。 図15の単焦点光学系の別の実施形態の構成を説明する図である。 図15の単焦点光学系の更に別の実施形態の構成を説明する図である。 本発明の赤外線カットフィルタを用いた自由曲面光学系の一実施形態を説明する断面図である。 図18の自由曲面光学系の別の実施形態の構成を説明する図である。 図18の自由曲面光学系の更に別の実施形態の構成を説明する図である。
符号の説明
1A,1B,1C,1D,1E,1F 赤外線カットフィルタ(光学フィルタ)
2 内側の面(一方の面)
3a 赤外線吸収フィルタ(基材、第1の基材)
3b 赤外線吸収フィルタ(基材、第2の基材)
3c 赤外線吸収フィルタ(基材)
3d 基板(基材、第1の基材)
3e 基板(基材、第2の基材)
3f 基板(基材)
5a,5b,5e,5f,5g 赤外線カットコート(赤外線カット層)
8 内側の面(対向面)
9 接合層
50 単焦点光学系(撮像装置)
51 電子撮像素子
53 赤外線カットフィルタ(光学フィルタ)
60 自由曲面光学系(撮像装置)
L 結像レンズ系(光学系)
P プリズム光学系(光学系)

Claims (12)

  1. 少なくとも2枚の赤外線を吸収する基材と、赤外線を反射する少なくとも1つの赤外線カット層と、を有し、
    前記基材が、前記赤外線カット層を間に挟んで接合されている光学フィルタ。
  2. 前記基材が赤外線を吸収する樹脂から形成されている請求項1記載の光学フィルタ。
  3. 少なくとも2枚の透明な基材と、赤外線を反射する赤外線カット層と、を有し、
    前記赤外線カット層が、前記基材の間にのみ配置されている光学フィルタ。
  4. 前記赤外線カット層が、屈折率の異なる複数の薄膜層を積層させた多層構造を有するものであって、
    前記赤外線カット層における積層された層の数が20層以下である請求項1から5のいずれかに記載の光学フィルタ。
  5. 前記赤外線カット層が、高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層させた多層構造を有するものである請求項4記載の光学フィルタ。
  6. 前記基材が平板状に形成されている請求項1から5のいずれかに記載の光学フィルタ。
  7. 750nmから850nmの波長帯域における光の透過率が、500nmから550nmの波長帯域における光の透過量の平均値を基準として、約10%以下である請求項1から6のいずれかに記載の光学フィルタ。
  8. 赤外線を吸収する第1の基材の一方の面に赤外線カット層を形成する形成工程と、
    第2の基材を赤外線カット層に対向配置させ、
    前記第2の基材と、前記赤外線カット層とを接合する接合工程と、を有する光学フィルタの製造方法。
  9. 前記形成工程において、
    屈折率の異なる複数の薄膜層を積層して前記赤外線カット層を形成し、
    積層される層の数が20層以下である請求項8記載の光学フィルタの製造方法。
  10. 前記赤外線カット層が、高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層して形成される請求項9記載の光学フィルタの製造方法。
  11. 前記基材が平板状に形成されている請求項8から10のいずれかに記載の光学フィルタの製造方法。
  12. 屈折率を有する光学素子を備える光学系と、
    請求項1から請求項7のいずれかに記載された光学フィルタ、または請求項8から請求項11のいずれかに記載された光学フィルタの製造方法により製造された光学フィルタと、
    前記光学系の像側に配置され、前記光学フィルタを透過した光が入射される電子撮像素子と、を備える撮像装置。
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