JP2011114921A - 電動アクチュエータ - Google Patents

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Abstract

【課題】外部環境から回転センサを保護すると共に、位置検出機構を備えた廉価で汎用性のある電動アクチュエータを提供する。
【解決手段】電動モータ3の回転運動を駆動軸7の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構8を備え、ハウジング2に開口部21が設けられ、この開口部21を塞ぐように合成樹脂からなるセンサケース22が取り付けられ、このセンサケース22の凹み部27に回転センサ9が配設されて樹脂モールドされると共に、駆動軸7に突設されたピン12に係合する揺動リンク13が、駆動軸7の直線運動に連動して振り子運動可能に配設され、この振り子運動の基準点となる回転軸17の端部に磁石18が取り付けられ、この磁石18に回転センサ9が所定のエアギャップを介して対峙し、駆動軸7の位置を検出するようにした。
【選択図】図3

Description

本発明は、一般産業用の電動機、自動車、船舶等の駆動部に使用されるボールねじ機構を備えた電動アクチュエータ、詳しくは、位置検出機能を備え、電動モータからの回転入力をボールねじ機構を介して駆動軸の直線運動に変換する電動アクチュエータに関するものである。
各種駆動部に使用される電動アクチュエータにおいて、電動モータの回転運動を軸方向の直線運動に変換する機構として、台形ねじあるいはラックアンドピニオン等の歯車機構が一般的に使用されている。これらの変換機構は、滑り接触部を伴うため動力損失が大きく、電動モータの大型化や消費電力の増大を余儀なくされている。そのため、より効率的なアクチュエータとしてボールねじ機構が採用されるようになってきた。
例えば、内燃機関でスクリューを駆動する比較的小型の船舶においては、前進方向へのスクリューの回転と、後進方向へのスクリューの回転との切換は、操作者により操作されたレバーに接続されたワイヤを使用し、このワイヤ介してドグクラッチを切り換え、前進用ギヤあるいは後進用ギヤに係合させることで行われている。然しながら、近年、省力化のため電動にてドグクラッチの切換を行う電動アクチュエータが開発されている。
ここで、電動アクチュエータにおいては、船用の前後進切り換えにおけるドグクラッチの位置を精度良く検出して動作を行う必要がある。例えば、移動軸のストロークに応じて、センサ用ギアを介してポテンションメータに回転角度を伝達し、それにより移動軸の絶対位置を検出してストロークを求める方法が考えられるが、これでは、移動軸のストロークが長くなればなるほど、センサ用ギア比を大きくしなければならず、結果的にギアサイズが大きくなったり、センサ用ギアを多段にする必要が生じ、電動アクチュエータの大型化を招く。また、センサ用ギアのガタやピッチ誤差により、ポテンションメータで検出される回転角度の精度が低下する恐れがある。さらに、ギアの寸法精度や組み付け精度を向上させたとしても、電動アクチュエータ内等、モータの発熱により環境温度が高くなる場所でポテンションメータを使用すると、ゼロ点シフト等が生じて高い検出精度が得られない恐れもある。これに対し、ポテンションメータをハウジング外に取り付ければ、常温の環境でポテンションメータを使用できるが、その結果、海水や燃料等を被りやすくなるため、防水・耐油構造にしたりしたりする必要が生じ、さらには電磁波遮蔽構造を別に設ける必要があり、コスト高を招く恐れがある。
こうした問題を解決した電動アクチュエータとして、図5に示すようなものが知られている。この電動アクチュエータ100は、円筒状のハウジング101と、このハウジング101に取り付けられた電動モータ102とを有している。
ハウジング101は、ハウジング本体101Aと、その端面に組み付けられたカバー部材101Bと、モータブラケット101Cとからなる。ハウジング本体101Aの内部には、モータ室101aとねじ軸室101bとを有し、モータ室101a内には、電動モータ102が配置されている。電動モータ102は、板状のモータブラケット101Cに固定されている。モータブラケット101Cは、玉軸受114の外輪をハウジング本体101Aとの間に挟み込み、かつハウジング本体101Aのモータ室101aとねじ軸室101bを塞ぐようにして取り付けられている。
電動モータ102の回転軸102aは、モータブラケット101Cから突出しており、その端部には第1ギヤ103が圧入により相対回転不能に取り付けられている。モータブラケット101Cに植設された長軸104の周囲には、樹脂製の第2ギヤ105が回転自在に配置され、第1ギヤ103および第3ギヤ106に噛合している。樹脂製の第3ギヤ106は、ねじ軸107の端部にセレーション結合で相対回転不能に取り付けられている。ねじ軸107は、左端側に雄ねじ溝107aが形成され、ハウジング本体101Aに対して、図で右端側を玉軸受114により回転自在に支持されている。
ねじ軸107は、円筒状のナット115を貫通している。ナット115の内周面には、雄ねじ溝107aに対向して雌ねじ溝115aが形成され、両ねじ溝107a、115aによって形成される螺旋状の転走路には多数のボール116が転動自在に配置され、ボールねじ機構を構成している。ナット115は、ハウジング本体101Aに対して回り止めが設けられ、ねじ軸室101b内において、軸線方向に相対移動可能で、相対回転不能となっている。なお、ボールねじ機構と移動軸117とで駆動機構を構成している。
ねじ軸107の左端は、丸軸状の移動軸117に形成された袋孔117a内に侵入している。移動軸117の右端は、ナット115に対して同軸に嵌合し、ピンで連結されて一体的に移動するようになっている。ハウジング本体101Aに対して、移動軸117はブッシュ118により軸線方向に移動可能に支持されている。ハウジング本体101Aから突出した駆動軸117の端部には、リンク部材(図示せず)に連結するための孔117bが形成されている。
図6は、電動モータ102の内部構造の概略図、図7は、図6の構成をVII−VII線で切断して矢印方向に見た図である。図6、図7において、ロータ102dを取り付けた回転軸102aには、環状マグネットMGが一体的に回転するように取り付けられている。環状マグネットMGは、回転軸102aを挟んで半環状部MGsと半環状部MGnとに着磁されている。環状部MGsは外周側にS極を有し、環状部MGnは外周側にN極を有する。環状マグネットMGに近接して、第1のセンサSAと第2のセンサSBとが、回転軸102aの軸線回りに90度位相をずらせて、モータハウジング102cの内壁に取り付けられている。
移動軸117のストロークは、電動モータ102の回転軸102aの回転量と、減速ギア103、105、106のギア比と、ボールねじ機構のリードにより決定されるが、このうちギア比とリードは既知であるので、回転軸102aの回転量が正確に測定できれば、ドグクラッチ(図示せず)の位置検出が可能となる。すなわち、センサSAの波形に対して、センサSBの波形の位相が進んだ時は、環状マグネットMGが時計回り(CW)方向に回転していることが分かる。一方、センサSAの波形に対して、センサSBの波形の位相が遅れた時は、環状マグネットMGが反時計回り(CCW)方向に回転していることが分かる。したがって、センサSA、SBの出力信号に基づいて、制御装置ECUは、意同軸117のストロークと移動方向とを精度良く求めることができる(例えば、特許文献1参照。)。
特開2008−274971号公報
こうした従来の電動アクチュエータ100では、アクチュエータを有する電動モータ102のハウジング101の内部に、電動モータ102の回転に応じたパルス状の信号を出力するセンサSA、SBを備え、これらのセンサSA、SBからの出力に基づいて移動軸117のストロークと方向を求める制御装置が配置されているので、外部環境からセンサSA、SBを保護することができると共に、システムとしての信頼性を向上させることができる。
然しながら、電動モータ102のハウジング101の中にセンサSA、SBを配設する構造および技術は、専門的な知識や専門的な設計手法が必要となるため、電動モータ102自体が特殊なものとなって汎用性を失う。また、電動モータ102に要求される性能が異なるアプリケーションでは、電動モータ102を兼用して標準化することができなくなるため、アクチュエータのコストが高騰するという問題が内在している。
本発明は、こうした従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、外部環境から回転センサを保護すると共に、位置検出機構を備えた廉価で汎用性のある電動アクチュエータを提供することを目的とする。
係る目的を達成すべく、本発明のうち請求項1に記載の発明は、円筒状のハウジングと、このハウジングに取り付けられた電動モータと、この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構と、前記駆動軸の位置検出をする回転センサとを備えた電動アクチュエータにおいて、前記ボールねじ機構が、前記電動モータに連結され、前記駆動軸と一体に、前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸と、このねじ軸に多数のボールを介して外挿され、前記ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットとで構成されると共に、前記駆動軸に突設されたピンに係合する揺動リンクが、前記駆動軸の直線運動に連動して振り子運動可能に配設され、この振り子運動の基準点となる回転軸の端部に磁石が取り付けられ、この磁石に所定のエアギャップを介して対峙した回転センサによって前記駆動軸の位置を検出する。
このように、電動モータの回転力を伝達する減速機構と、この減速機構を介して電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構と、駆動軸の位置検出をする回転センサを備えた電動アクチュエータにおいて、ボールねじ機構が、電動モータに連結され、駆動軸と一体に、ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸と、このねじ軸に多数のボールを介して外挿され、ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットとで構成されると共に、駆動軸に突設されたピンに係合する揺動リンクが、駆動軸の直線運動に連動して振り子運動可能に配設され、この振り子運動の基準点となる回転軸の端部に、径方向にNS磁極が着磁された磁石が取り付けられ、この磁石に所定のエアギャップを介して対峙した回転センサによって駆動軸の位置を検出するようにしたので、外部環境から回転センサおよびその周辺部を遮断し、保護することができると共に、位置検出機構を備えた廉価で汎用性のある電動アクチュエータを提供することができる。
また、請求項2に記載の発明のように、前記ハウジングに非磁性体からなるセンサケースが取り付けられ、このセンサケースに前記回転センサが配設され、前記センサケースを介して検出角を計測するようにすれば、潤滑グリースの飛散やコンタミ等の影響を受けず、内部環境から回転センサおよびその周辺部を保護することができる。
また、請求項3に記載の発明のように、前記センサケースの前記磁石と対峙する部分を貫通させ、非磁性体からなる板状の壁によって当該センサケースが閉塞され、前記回転センサが前記板状の壁を介して検出角を計測するようにすれば、回転センサと磁石とのエアギャップ調整を容易にすることができる。
また、請求項4に記載の発明のように、前記ハウジングに開口部が設けられ、この開口部を塞ぐように前記センサケースが取り付けられていれば、揺動リンクの取り付けが容易となり、組立作業が簡素化できる。
また、請求項5に記載の発明のように、前記回転軸の一端部が前記ハウジングに装着された軸受で支持されると共に、前記センサケースの内壁に円筒状の凹所が形成され、この凹所に前記回転軸の他端部が収容されていれば、回転軸を凹所と軸受とで安定した姿勢で両持ち支持することができると共に、凹所によって、コンタミ中の鉄粉等が磁石に付着するのを防止することができ、信頼性を向上させることができる。
また、請求項6に記載の発明のように、前記センサケースに凹み部が形成され、この凹み部に前記回転センサが配設されて当該凹み部が樹脂モールドされていれば、外部環境から回転センサおよびその周辺部を遮断し、保護することができる。
また、請求項7に記載の発明のように、前記回転センサが、磁気センサと信号処理回路とが集積され絶対角度を検出する機能が組み込まれた半導体センサで構成されていれば、自動車等の車両の厳しい使用条件における振動等が生じても長期間に亘って安定した検出精度を確保することができ、信頼性を向上させることができる。
また、請求項8に記載の発明のように、前記回転センサからの出力が電圧とデジタル信号の両方が得られるものであれば、システムに応じてデジタル信号とアナログ信号を自在に選択することができ、設計自由度を高めることができる。
また、請求項9に記載の発明のように、前記センサケースが熱可塑性の合成樹脂から射出成形によって形成されていれば、複雑な形状を廉価に成形することができると共に、回転センサの感知精度に影響を及ぼすことがない。
また、請求項10に記載の発明のように、前記揺動リンクが、前記駆動軸のピンに係合する第1のリンク部材と、この第1のリンク部材に枢軸を介して屈曲自在に結合された第2のリンク部材とで構成されていれば、この揺動リンクによって駆動軸の回転を阻止し、駆動軸の軸方向の移動を妨げないように振り子運動が可能となると共に、一層コンパクトな電動アクチュエータを提供することができる。
本発明に係る電動アクチュエータは、円筒状のハウジングと、このハウジングに取り付けられた電動モータと、この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構と、前記駆動軸の位置検出をする回転センサとを備えた電動アクチュエータにおいて、前記ボールねじ機構が、前記電動モータに連結され、前記駆動軸と一体に、前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸と、このねじ軸に多数のボールを介して外挿され、前記ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットとで構成されると共に、前記駆動軸に突設されたピンに係合する揺動リンクが、前記駆動軸の直線運動に連動して振り子運動可能に配設され、この振り子運動の基準点となる回転軸の端部に、径方向にNS磁極が着磁された磁石が取り付けられ、この磁石に所定のエアギャップを介して対峙した回転センサによって前記駆動軸の位置を検出するようにしたので、外部環境から回転センサおよびその周辺部を遮断し、保護することができると共に、位置検出機構を備えた廉価で汎用性のある電動アクチュエータを提供することができる。
本発明に係る電動アクチュエータの一実施形態を示す縦断面図である。 図1のボールねじ機構を示す断面図である。 図1のIII−III線に沿った断面図である。 本発明に係るセンサケースを示す正面図である。 従来の電動アクチュエータを示す縦断面図である。 図5の電動モータの内部構造を示す概略図である。 図6のVII−VII線で切断して矢印方向に見た図である。
円筒状のハウジングと、このハウジングに取り付けられた電動モータと、この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構と、前記駆動軸の位置検出をする回転センサとを備えた電動アクチュエータにおいて、前記ボールねじ機構が、前記電動モータに連結され、前記駆動軸と一体に、前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸と、このねじ軸に多数のボールを介して外挿され、前記ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットとで構成されると共に、前記ハウジングに開口部が設けられ、この開口部を塞ぐように合成樹脂からなるセンサケースが取り付けられ、このセンサケースの凹み部に回転センサが配設されて樹脂モールドされ、前記駆動軸に突設されたピンに係合する揺動リンクが、前記駆動軸の直線運動に連動して振り子運動可能に配設され、この振り子運動の基準点となる回転軸の端部に、径方向にNS磁極が着磁された磁石が取り付けられ、この磁石に前記回転センサが所定のエアギャップを介して対峙し、前記駆動軸の位置を検出するようにした。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明に係る電動アクチュエータの一実施形態を示す縦断面図、図2は、図1のボールねじ機構を示す断面図、図3は、図1のIII−III線に沿った断面図、図4は、本発明に係るセンサケースを示す正面図である。
この電動アクチュエータ1は、円筒状のハウジング2と、このハウジング2に取り付けられた電動モータ3と、この電動モータ3の回転力をモータ軸3aを介して伝達する一対の平歯車4、5からなる減速機構6と、この減速機構6を介して電動モータ3の回転運動を駆動軸7の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構8と、駆動軸7の位置検出をする回転センサ9(図3参照)とを備えている。
ハウジング2は、第1のハウジング2aと、その端面に組み付けられた第2のハウジング2bとからなる。第1のハウジング2aの内部には電動モータ3が配置されている。電動モータ3は、円板状のモータブラケット10に固定されている。モータブラケット10は、第1のハウジング2aと第2のハウジング2bを塞ぐようにして取り付けられ、玉軸受11の外輪が内嵌されている。この玉軸受11は、後述するボールねじ機構8のナット24を回転自在に支承している。
電動モータ3のモータ軸3aはモータブラケット10から突出しており、その端部には小平歯車4が圧入により相対回転不能に取り付けられている。大平歯車5は、ボールねじ機構8を構成するナット24に固定され、小平歯車4に噛合している。
第2のハウジング2bの内部には駆動軸7が収容されている。この駆動軸7にはピン12が突設され、揺動リンク13が連結されている。揺動リンク13は、第1のリンク部材14と、この第1のリンク部材14に枢軸15を介して屈曲自在に結合された第2のリンク部材16からなり、振り子機構を構成している。この揺動リンク13によって駆動軸7の回転を阻止し、駆動軸7の軸方向の移動を妨げないように振り子運動が可能となると共に、コンパクトな電動アクチュエータ1を提供することができる。
第2のリンク部材16の他端には振り子基準点をなす回転軸17が回転自在に挿入され、この回転軸17の端部に磁石18が取り付けられている。なお、第2のハウジング2bには摺動用ブッシュ19とオイルシール20が装着され、第2のハウジング2bに対して駆動軸7を回転不可で軸方向移動可能に支持案内すると共に、外部から雨水等の異物が内部に侵入するのを防止している。
本実施形態では、第2のハウジング2bには開口部21が設けられ、この開口部21を塞ぐようにセンサケース22が取り付けられている。これにより、揺動リンク13の取り付けが容易となり、組立作業が簡素化できる。センサケース22は、回転センサ9の感知精度に影響を及ぼすことがない、PA(ポリアミド)66等の熱可塑性の合成樹脂、あるいはアルミ合金、オーステナイト系ステンレス鋼(JIS規格のSUS304系)等の非磁性体材料から形成されている。特に、合成樹脂から射出成形によって形成されていれば、複雑な形状を廉価に成形することができる。
ボールねじ機構8は、図2に示すように、外周に螺旋状のねじ溝23aが形成されたねじ軸23と、このねじ軸23のねじ溝23aに対向し、内周に螺旋状のねじ溝24aが形成されたナット24と、両ねじ溝23a、24aによって形成される螺旋状の空間に転動自在に収容された多数のボール25とで構成されている。ナット24の外周には前述した大平歯車5が圧入固定されると共に、第1のハウジング2aとモータブラケット10に嵌合された玉軸受11が止め輪26を介して位置決め固定され、軸方向に相対移動不可で、相対回転可能となっている。
ここで、図1において、電動モータ3が駆動されると、減速機構6を介してボールねじ機構8のナット24に減速して伝達され、ねじ軸23が軸方向に直線運動をする。そして、このねじ軸23と同軸上に一体に形成された駆動軸7の直線運動に連動される。この駆動軸7の直動運動に伴い、揺動リンク13の各リンク部材14、16が揺動して直動範囲を規制する。この時、回転軸17が所定の検出角の範囲で回転する。すなわち、駆動軸7の直動範囲の任意の位置で、後述する回転センサ9で検出角を計測することによって駆動軸7の位置を直接検出することができる。
回転センサ9は、図3および図4に示すように、センサケース22に配設されている。すなわち、第2のハウジング2bに固定ボルト29を介して取り付けられたセンサケース22に鍵穴状の凹み部27が形成され、この凹み部27に回転センサ9が配設されている。回転軸17は、第2のリンク部材16に嵌挿されると共に、第2のハウジング2bに対して針状ころ軸受28を介して回転自在に支承され、その先端部に磁石18が固定されている。回転センサ9は、この磁石18に所定のエアギャップを介して対峙した状態で配設されている。
鍵穴状の凹み部27は、円状部27aと半円部27bで構成されている。そして、円状部27aの中心に、磁石18の中心と回転センサ9の中心が一致するように配置され、センサ基盤9aからのセンサ電源用および出力用のハーネス30が、鍵穴状の凹み部22aの円状部27aから半円部27bを越えて延び、外部に配設された制御装置(図示せず)に接続されている。回転センサ9からの出力はアナログ電圧とデジタル信号の両方が得られるものであれば、システムに応じてデジタル信号とアナログ信号が選択できるため望ましい。なお、ここでは、凹み部27として鍵穴形状を例示したが、これに限らず、回転センサ9の中心位置が設定し易い形状であれば良く、例えば、楕円形状や矩形状であっても良い。
前述したように、凹み部27には回転センサ9が配設されているが、この回転センサ9は樹脂モールドされている。これにより、外部環境から回転センサ9およびその周辺部を遮断し、保護することができると共に、位置検出機構を備えた廉価で汎用性のある電動アクチュエータ1を提供することができる。ここでは、凹み部27はセンサケース22の内壁に貫通させずに形成されているので、潤滑グリースの飛散やコンタミ等の影響を受けず、内部環境から回転センサ9およびその周辺部を保護することができる。なお、図示はしないが、センサケース22を貫通させ、合成樹脂等の非磁性体からなる板状の壁によって閉塞するようにしても良い。これにより、回転センサ9と磁石18とのエアギャップ調整を容易にすることができる。
また、センサケース22の内壁には円筒状の凹所22aが形成され、回転軸17の先端部が収容されている。これにより、回転軸17をガイドすることができ、組立性を向上させることができると共に、回転軸17をこの凹所22aと針状ころ軸受28とで安定した姿勢で両持ち支持することができる。さらに、この凹所22aによって、コンタミ中の鉄粉等が磁石18に付着するのを防止することができ、信頼性を向上させることができる。
回転センサ9は非接触式のホールICで構成されていても良いが、ここでは、耐震性に優れ、磁気センサと信号処理回路とが集積され絶対角度を検出する機能が組み込まれた半導体センサが採用されている。これにより、自動車等の車両の厳しい使用条件における振動等が生じても長期間に亘って安定した検出精度を確保することができ、信頼性を向上させることができる。
以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、本発明はこうした実施の形態に何等限定されるものではなく、あくまで例示であって、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。
本発明に係る電動アクチュエータは、一般産業用の電動機、自動車、船舶等の駆動部に使用され、位置検出機能を備え、電動モータからの回転入力をボールねじ機構を介して駆動軸の直線運動に変換するボールねじ機構を備えた電動アクチュエータに適用できる。
1 電動アクチュエータ
2 ハウジング
2a 第1のハウジング
2b 第2のハウジング
3 電動モータ
3a モータ軸
4 小平歯車
5 大平歯車
6 減速機構
7 駆動軸
8 ボールねじ機構
9 回転センサ
9a センサ基盤
10 モータブラケット
11 玉軸受
12 ピン
13 揺動リンク
14 第1のリンク部材
15 枢軸
16 第2のリンク部材
17 回転軸
18 磁石
19 摺動用ブッシュ
20 オイルシール
21 開口部
22 センサケース
22a 凹所
23 ねじ軸
23a、24a ねじ溝
24 ナット
25 ボール
26 止め輪
27 凹み部
27a 円状部
27b 半円部
28 針状ころ軸受
29 固定ボルト
30 ハーネス
100 電動アクチュエータ
101 ハウジング
101A ハウジング本体
101B カバー部材
101C 電動モータブラケット
101a モータ室
101b ねじ軸室
102 電動モータ
102a 回転軸
102c モータハウジング
102d ロータ
103 第1ギヤ
104 長軸
105 第2ギヤ
106 第3ギヤ
107 ねじ軸
107a 雄ねじ溝
114 玉軸受
115 ナット
115a 雌ねじ溝
116 ボール
117 移動軸
117a 袋孔
117b 孔
118 ブッシュ
MG 環状マグネット
MGs、MGn 半環状部
SA 第1のセンサ
SB 第2のセンサ

Claims (10)

  1. 円筒状のハウジングと、
    このハウジングに取り付けられた電動モータと、
    この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、
    この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構と、
    前記駆動軸の位置検出をする回転センサとを備えた電動アクチュエータにおいて、
    前記ボールねじ機構が、前記電動モータに連結され、前記駆動軸と一体に、前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸と、このねじ軸に多数のボールを介して外挿され、前記ハウジングに装着された転がり軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持されたナットとで構成されると共に、
    前記駆動軸に突設されたピンに係合する揺動リンクが、前記駆動軸の直線運動に連動して振り子運動可能に配設され、この振り子運動の基準点となる回転軸の端部に磁石が取り付けられ、この磁石に所定のエアギャップを介して対峙した回転センサによって前記駆動軸の位置を検出することを特徴とする電動アクチュエータ。
  2. 前記ハウジングに非磁性体からなるセンサケースが取り付けられ、このセンサケースに前記回転センサが配設され、前記センサケースを介して検出角を計測するようにした請求項1に記載の電動アクチュエータ。
  3. 前記センサケースの前記磁石と対峙する部分を貫通させ、非磁性体からなる板状の壁によって当該センサケースが閉塞され、前記回転センサが前記板状の壁を介して検出角を計測するようにした請求項1に記載の電動アクチュエータ。
  4. 前記ハウジングに開口部が設けられ、この開口部を塞ぐように前記センサケースが取り付けられている請求項2または3に記載の電動アクチュエータ。
  5. 前記回転軸の一端部が前記ハウジングに装着された軸受で支持されると共に、前記センサケースの内壁に円筒状の凹所が形成され、この凹所に前記回転軸の他端部が収容されている請求項2乃至4いずれかに記載の電動アクチュエータ。
  6. 前記センサケースに凹み部が形成され、この凹み部に前記回転センサが配設されて当該凹み部が樹脂モールドされている請求項2乃至5いずれかに記載の電動アクチュエータ。
  7. 前記回転センサが、磁気センサと信号処理回路とが集積され絶対角度を検出する機能が組み込まれた半導体センサで構成されている請求項1乃至6いずれかに記載の電動アクチュエータ。
  8. 前記回転センサからの出力が電圧とデジタル信号の両方が得られるものである請求項7に記載の電動アクチュエータ。
  9. 前記センサケースが熱可塑性の合成樹脂から射出成形によって形成されている請求項1乃至6いずれかに記載の電動アクチュエータ。
  10. 前記揺動リンクが、前記駆動軸のピンに係合する第1のリンク部材と、この第1のリンク部材に枢軸を介して屈曲自在に結合された第2のリンク部材とで構成されている請求項1に記載の電動アクチュエータ。
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