JP2011114775A

JP2011114775A - 圧電振動素子搭載装置

Info

Publication number: JP2011114775A
Application number: JP2009271542A
Authority: JP
Inventors: Yuji Aisaka; 祐司逢坂
Original assignee: Kyocera Crystal Device Corp
Current assignee: Kyocera Crystal Device Corp
Priority date: 2009-11-30
Filing date: 2009-11-30
Publication date: 2011-06-09
Anticipated expiration: 2029-11-30
Also published as: JP5654745B2

Abstract

【課題】搭載時間を短縮し、生産性を向上させる圧電振動素子搭載装置の提供。
【解決手段】圧電振動素子を配列した圧電振動素子配列治具ＸＪを移動させ所定の位置で停止させる第１の搬送手段２１０と、素子搭載部材を配列した素子搭載部材配列治具を移動させ所定の位置で停止させる第２の搬送手段２２０と、圧電振動素子配列治具内の圧電振動素子を取り出し、素子搭載部材に設けられた素子搭載パッドに搭載する為の第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂとを有する搭載手段２３０と、第１のノズルと第２のノズルによって吸着された圧電振動素子を認識する為の第１のカメラ２４１と、素子搭載部材の素子搭載パッドを認識する為の第２のカメラ２４２と、を有する認識手段２４０と、認識手段２４０から得た画像データによって、圧電振動素子の位置ずれ幅を求め、この位置ずれを補正する為に搭載手段２３０を制御する制御手段２５０と、を備えている。
【選択図】図３

Description

本発明は、素子搭載部材に圧電振動素子を搭載する為の圧電振動素子搭載装置に関する。

従来の圧電振動素子搭載装置は、圧電振動素子を素子搭載部材の素子搭載パッドに搭載するための装置である。
このような従来の圧電振動素子搭載装置は、第１の搬送手段と、第２の搬送手段と、認識手段と、搭載手段と、制御手段により構成されている。
第１の搬送手段は、圧電振動素子を配列した圧電振動素子配列治具を所定の位置に移動させ所定の位置で停止させる役割を果たす。
第２の搬送手段は、素子搭載部材を配列した素子搭載部材配列治具を所定の位置に移動させ所定の位置で停止させる役割を果たす。
認識手段は、カメラを備え、前記カメラによって保持台に配置された圧電振動素子配列治具に収容されている圧電振動素子や素子搭載部材配列治具に収容されている素子搭載部材の素子搭載パッドを認識する役割を果たす。
搭載手段は、ノズルと稼動部とにより構成され、前記ノズルによって圧電振動素子を圧電振動素子配列治具から取り出し、取り出された圧電振動素子を、素子搭載部材整列治具の各素子搭載部材の素子搭載パッドに搭載する役割を果たす。
制御手段は、認識手段から得た情報によって搭載手段を制御する役割を果たす。このような圧電振動素子搭載装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００６−２２９８３７号公報

しかしながら、従来の圧電振動素子搭載装置では、搭載手段の１つのノズルにて１つの圧電振動素子を圧電振動素子配列治具から取り出し、保持台に配置された素子搭載部材配列治具内の素子搭載部材の凹部空間底内に設けられている素子搭載パッドに搭載しているため、すべての素子搭載部材に圧電振動素子を搭載することに非常に時間を費やし、生産性を低下させるといった課題があった。
また、従来の圧電振動素子搭載装置では、ノズルにて圧電振動素子を圧電振動素子配列治具から取り出す際に、圧電振動素子の位置ずれを起こし、その状態のままで素子搭載部材の素子搭載パッドに搭載されるので、生産性を低下させているといった課題があった。

本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、圧電振動素子の搭載時間を短縮し、生産性を向上させる圧電振動素子搭載装置を提供することを課題とする。

本発明の圧電振動素子搭載装置は、圧電振動素子を配列した圧電振動素子配列治具を所定の位置に移動させ所定の位置で停止させる第１の搬送手段と、素子搭載部材を配列した素子搭載部材配列治具を所定の位置に移動させ所定の位置で停止させる第２の搬送手段と、圧電振動素子配列治具内の圧電振動素子を取り出し、素子搭載部材に設けられた素子搭載パッドに搭載するための第１のノズルと第２のノズルとを有する搭載手段と、第１のノズルと第２のノズルによって吸着された圧電振動素子を認識するための第１のカメラと、素子搭載部材に形成された素子搭載パッドを認識するための第２のカメラと、を有する認識手段と、認識手段から得た画像データによって、圧電振動素子の位置ずれ幅を求め、この位置ずれを補正するために搭載手段を制御する制御手段と、を備えていることを特徴にするものである。

また、搭載手段には、前記第１のノズルと前記第２のノズルのＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を補正するための第１の可動部と、前記第１のノズルのθ方向と前記第２のノズルのＸ方向、θ方向を補正するための第２の可動部と、が設けられていることを特徴とする。

本発明の圧電振動素子搭載装置は、第１のノズルと第２のノズルの２つのノズルにて圧電振動素子を圧電振動素子配列治具から取り出し、素子搭載部材配列治具に収容されている２つの素子搭載部材に設けられた素子搭載パッドに搭載することができるため、素子搭載部材に圧電振動素子を搭載する時間を短縮することができ、生産性を向上させることが可能となる。
また、第１のノズルと第２のノズルによって吸着された圧電振動素子を認識するための第１のカメラと、素子搭載部材に設けられた素子搭載パッドを認識するための第２のカメラと、を有する認識手段と、認識手段から得た画像データによって、水晶振動素子の位置ずれ幅を求め、この位置ずれを補正するために搭載手段を制御する制御手段と、を備えていることによって、圧電振動素子の位置ずれを補正し、素子搭載部材の素子搭載パッドに搭載されるので、圧電振動素子の位置ずれを防ぐことができるので、生産性を向上させることができる。

また、搭載手段には、第１のノズルと第２のノズルのＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を補正するための第１の可動部と、前記第１のノズルと前記第２のノズルのθ方向を補正するための第２の可動部が設けられていることによって、前記素子搭載部材にノズルが接触することを防止することができるため、生産性を向上させることが可能となる。

本発明の実施形態に係る圧電振動素子搭載装置にて製造された圧電振動子を示す分解斜視図である。図１のＡ−Ａ断面図である。本発明の実施形態に係る圧電振動素子搭載装置の一例を示す斜視図である。図３に示す圧電振動素子搭載装置の部分拡大図である。本発明の実施形態に係る圧電振動素子搭載装置の認識手段が撮影した第１画像データを示す平面図である。本発明の実施形態に係る圧電振動素子搭載装置の認識手段が撮影した第２画像データを示す平面図である。本発明の実施形態に係る圧電振動素子搭載装置の搭載手段の第１ノズル及び第２ノズルを示す断面図である。

以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
尚、説明を明りょうにするため説明に不必要な構造体の一部は図示していない。更に図示した寸法も一部誇張して示している。

（圧電振動子）
圧電振動子１００は、素子搭載部材１１０と圧電振動素子１２０と蓋部材１３０で主に構成されている。この圧電振動子１００は、前記素子搭載部材１１０に形成されている凹部空間Ｋ１内に圧電振動素子１２０が搭載され、その凹部空間Ｋ１が蓋部材１３０により気密封止された構造となっている。

圧電振動素子１２０は、図１及び図２に示すように、水晶素板１２１に励振用電極１２２を被着形成したものであり、外部からの交番電圧が励振用電極１２２を介して水晶素板１２１に印加されると、所定の振動モード及び周波数で励振を起こすようになっている。
水晶素板１２１は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状で平面形状が例えば四角形となっている。
励振用電極１２２は、前記水晶素板１２１の表裏両主面に金属を所定のパターンで被着・形成したものである。
このような圧電振動素子１２０は、その両主面に被着されている励振用電極１２２から延出する引き出し電極１２３と後述する凹部空間Ｋ１内底面に形成されている後述する２個一対の素子搭載パッドＰとを、導電性接着剤ＤＳを介して電気的且つ機械的に接続することによって凹部空間Ｋ１に搭載される。このときの引き出し電極１２３が設けられた一辺とは反対側の端辺を圧電振動素子１２０の自由端である先端部とする。

図１及び図２示すように、素子搭載部材１１０は、基板部１１１と、枠部１１２と、素子搭載パッドＰと、外部接続用電極端子Ｇとで主に構成されている。
この素子搭載部材１１０は、基板部１１１の一方の主面に枠部１１２が設けられて、凹部空間Ｋ１が形成されている。
尚、この素子搭載部材１１０を構成する基板部１１１は、例えばアルミナセラミックス、ガラス−セラミック等のセラミック材料を複数積層することよって形成されている。また、基板部１１０ａは、セラミック材が積層した構造となっている。
枠部１１２は、例えば、シールリングを用いている。この場合、枠部１１２は、４２アロイやコバール等の金属から成り、中心が打ち抜かれた枠状になっている。
また、枠部１１２は、基板部１１１の一方の主面の外周を囲繞するように設けられた封止用導体膜ＨＭの主面にロウ付けなどにより接合される。
凹部空間Ｋ１内で露出した基板部１１１の一方の主面には、２個一対の素子搭載パッドＰが設けられている。
素子搭載部材１１０の基板部１１１の他方の主面の４隅には、外部接続用電極端子Ｇが設けられている。
基板部１１０ａの内層には、配線パターン（図示せず）等が設けられている。この配線パターンにより素子搭載パッドＰは、素子搭載部材１１０の基板部１１０ａの他方の主面に設けられている外部接続用電極端子Ｇと接続している。
尚、素子搭載部材１１０は、平板でも良い。つまり、枠部１１０ｂを除く基板部１１０ａで構成しても良い。

蓋部材１３０は、例えば、Ｆｅ−Ｎｉ合金（４２アロイ）やＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金（コバール）などからなる。このような蓋部材１３０は、凹部空間Ｋ１を、窒素ガス雰囲気中や真空雰囲気中などで気密封止される。具体的には、蓋部材１３０は、窒素雰囲気中や真空雰囲気中で、素子搭載部材１１０の枠部１１２上に載置され、枠部１１２の表面の金属と蓋部材１３０の金属の一部とが溶接されるように所定電流を印加してシーム溶接を行うことにより、枠部１１２に接合される。
尚、蓋部材１３０の一方の主面に、凹部を形成したものを用いても良い。

前記導電性接着剤ＤＳは、シリコーン樹脂等のバインダーの中に導電フィラーとして導電性粉末が含有されているものであり、導電性粉末としては、例えばアルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、ニッケル鉄（ＮｉＦｅ）、のうちのいずれかまたはこれらの組み合わせを含むものが用いられている。

（圧電振動素子搭載装置）
圧電振動素子搭載装置２００は、図３及び図４に示すように、圧電振動素子配列治具ＸＪを所定の位置に移動させる第一の搬送手段２１０と、素子搭載部材配列治具ＴＪを移動させ所定の位置で停止させる第二の搬送手段２２０と、第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂとを有する搭載手段２３０と、第１のノズル２３１ａと前記第２のノズル２３１ｂによって吸着された圧電振動素子１２０を認識するための第１のカメラ２４１と、前記素子搭載部材１１０に設けられた素子搭載パッドＰを認識するための第２のカメラ２４２と、を有する認識手段２４０と、認識手段２４０から得た画像データによって、圧電振動素子１２０の位置ずれ幅を求め、この位置ずれを補正するために前記搭載手段２３０を制御する制御手段２５０と、を備えている。

また、この圧電振動素子搭載装置２００は、図３及び図４に示すように、第１の搬送手段２１０と第２の搬送手段２２０とが平行となるように備えられ、第１の搬送手段２１０と第２の搬送手段２２０との間に認識手段２４０の第１のカメラ２４１が備えられ、また、第１の搬送手段Ｈ２１０と第２の搬送手段２２０とを跨ぐように第１のガイドレールＲ１が設けられ、この第１のガイドレールＲ１に前記搭載手段１２０と前記認識手段２４０の第２のカメラ２４２とが備えられている。また、第１の搬送手段２１０と第２の搬送手段２２０とを平行になるように第２のガイドレールＲ２が設けられており、支柱ＰＬを介して第１のガイドレールＲ１が備えられている。
なお、この圧電振動素子搭載装置２００において、素子搭載部材配列治具ＴＪの移動方向、つまり、第２の搬送手段２２０の搬送方向をＹ方向、平行となる第１の搬送手段２１０と第２の搬送手段２２０とに直交する方向をＸ方向、このＸ方向とＹ方向の両方に直行する方向をＺ方向とする。また、このＸ方向の軸線とＹ方向の軸線とが交わってなす角度の方向をθ方向とする。

第１の搬送手段２１０は、圧電振動素子配列治具ＸＪを所定の位置に移動させる役割を果たす。
この第１の搬送手段２１０上に圧電振動素子配列治具ＸＪが載置され、後述する素子搭載手段１２０が移動してくる位置の下に素子搭載部材１１０の凹部空間Ｋ１の所定の列が位置するように、圧電振動素子配列治具ＸＪを移動させる。つまり、Ｙ方向に圧電振動素子配列治具ＸＪを搬送することができる。

第２の搬送手段２２０は、素子搭載部材配列治具ＴＪを移動させ所定の位置で停止させる役割を果たす。
この第２の搬送手段２２０は、例えば、第１の搬送手段２１０と同一方向に素子搭載部材配列治具ＴＪを移動させることができるようになっている。つまり、Ｙ方向に素子搭載部材配列治具ＴＪを搬送することができる。この第２の搬送手段２２０上に素子搭載部材配列治具ＴＪが載置され、後述する搭載手段２３０が移動してくる位置の下に圧電振動素子１２０が位置するように、素子搭載部材配列治具ＴＪを移動させる。

また、圧電振動素子配列治具ＸＪは、励振用電極１２２が形成されている圧電振動素子１２０を整列させるための治具である。また、素子搭載部材配列治具ＴＪは、素子搭載部材１１０を整列させるための治具である。

前記搭載手段２３０は、第１のガイドレールＲ１に備えられている。
前記搭載手段２３０は、第１のノズル２３１ａと、第２のノズル２３１ｂと、ノズル配置部２３２と、第１の可動部２３３と、第２の可動部２３４とで構成されている。
また、第１の可動部２３３は、Ｘ方向可動部２３３ａと、Ｙ方向可動部２３３ｂと、Ｚ方向可動部２３３ｃとで構成されている。
また。第２の可動部２３４は、回動部２３４ａと、可動回動部２３４ｂとで構成されている。
また、前記搭載手段２２０は、圧電振動素子配列治具ＸＪに配列されている圧電振動素子１２０を吸着し、素子搭載部材配列治具ＴＪに配列されている素子搭載部材１１０の凹部空間Ｋ１内に設けられた素子搭載パッドＰに搭載するための第１ノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂを有する。
第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂは、搭載手段２３０のノズル配置部２３２に並列に配置されている。また、前記第１のノズル２３１ａと前記第２のノズル２３１ｂは、真空ポンプ（図示せず）と連結しており、前記真空ポンプ（図示せず）が動作することで、第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂに設けられている吸着孔ＫＨ（図７参照）から空気が吸い込まれる。よって、圧電振動素子配列治具ＸＪに配列されている圧電振動素子１２０は、第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂに吸着される。

これら搭載手段２３０は、Ｚ方向に往復して移動可能であり、圧電振動素子配列治具ＸＪから圧電振動素子１２０を吸着するとき、及び素子搭載部材１１０に搭載するときにＺ方向に移動する。また、素子搭載部材１１０に移動するとき、及び新たに圧電振動素子１２０を吸着するときにＸ方向に移動する。

第１のノズル２３１ａは、圧電振動素子配列治具ＸＪに配列されている圧電振動素子１２０と向かい合うようにして、ノズル配置部２３２の先端部に配置されている。また、第１のノズル２３１ａは、Ｘ方向可動部２３３ａと、Ｙ方向可動部２３３ｂと、Ｚ方向可動部２３３ｃと、回動部２３４ａ（図４参照）とによって、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向に動作することができるようになっている。
第２のノズル２３１ｂは、ノズル配置部２３２の先端部に、前記第１のノズル２３１ａと並列に配置されている。また、第２のノズル２３１ｂは、Ｘ方向可動部２３３ａと、Ｙ方向可動部２３３ｂと、Ｚ方向可動部２３３ｃと、可動回動部２３４ｂ（図４参照）とによって、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向に動作することができるようになっている。

このようにすることで、搭載手段２３０は、圧電振動素子配列治具ＸＪにＸ方向に整列された複数の圧電振動素子１２０を２つ同時に吸着し、素子搭載部材１１０の凹部空間Ｋ１に設けられた素子搭載パッドＰに搭載する。
この素子搭載パッドＰには、導電性接着剤ＤＳが付着されている。したがって、搭載手段２３０は、素子搭載パッドＰ上の導電性接着剤ＤＳに圧電振動素子１２０を載せることとなる。これにより、素子搭載部材１１０に圧電振動素子１２０を搭載することができる。

前記認識手段２４０は、第１のカメラ２４１と第２のカメラ２４２とによって構成されている。
第１のカメラ２４１は、第１の搬送手段１１０と第２の搬送手段１２０との間に設けられている。つまり、第１のカメラ２４１は、圧電振動素子配列治具ＸＪと素子搭載部材配列治具ＴＪの間に設けられている。第１のカメラ２４１は、図４に示すように、第１のノズル２３１ａ及び第２のノズル２３１ｂに吸着した圧電振動素子１２０ａ、１２０ｂの位置状態を示す第１の画像データを取得するために撮影するためのものである。これにより、第１の画像データから圧電振動素子１２０ａ、１２０ｂのＸ方向、Ｙ方向、θ方向の位置ずれを数値データとして取得する。
第２のカメラ２３１ｂは、素子搭載部材配列治具ＴＪに配列されている素子搭載部材１１０の凹部空間Ｋ１側から撮影できるように設けられている。また、第２のカメラ２３１ｂは、図５に示すように、素子搭載部材配列治具ＴＪに配列されていると隣り合う２つの内の一方の素子搭載部材１１０ａの中心点Ｃ１と他方の素子搭載部材１１０ｂの中心軸Ｃ２との間隔Ｗ１の状態を示す第２の画像データを撮影するためのものである。
また、第２のカメラ２４２は、第２の画像データを撮影後、搭載手段２３０と衝突しないように移動することができる。
第１のカメラ２４１と第２のカメラ２４２によって撮影された第１画像データと第２の画像データは、記憶部２５０に記憶される。

前記記憶部２５０は、前記認識手段２４０の第１のカメラ２４１から得た第１の画像データと、第２のカメラ２４２から得た第２の画像データとを記憶する役割を果たす。

また、前記制御手段２６０は、コンピュータにより構成されており、搭載手段１２０と、認識手段２４０と、記憶部２５０に接続されている。制御手段２６０は、圧電振動素子搭載装置２００全体の制御を行なうものである。
つまり、前記制御手段２６０は、前記認識手段２４０から得た第１の画像データ及び第２の画像データによって数値データを求め、前記数値データを基にして、搭載手段２３０の第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂの位置ずれを補正するように制御する役割を果たす。

Ｘ方向においては、図６及び図７に示すように、前記制御手段２６０は、第２の画像データで認識した素子搭載部材配列治具ＴＪに配列されている隣り合う２つの内の一方の素子搭載部材１１０ａの中心点Ｃ１と他方の素子搭載部材１１０ｂの中心点Ｃ２との間隔Ｗ１に合わせて、第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂとの間隔ＷＮ１を補正する。
第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂとの間隔ＷＮ１は、可動回動部２３４ｂ（図４参照）によって、例えば、４〜１３ｍｍの間隔で補正することができる。
Ｘ方向可動部２３３ａと、Ｙ方向可動部２３３ｂと、Ｚ方向可動部２３３ｃと、回動部２３４ａと、可動回動部２３４ｂとは、例えば、モータを備えて構成されている。

図５（ａ）に示すように、前記制御手段２６０は、第１の画像データから、第１のノズル２３１ａの中心点ＣＰ１ａを求め、前記中心点ＣＰ１ａを通り、圧電振動素子１２０ａの長手方向の辺と平行になるように軸線ＪＳ１を求める。前記軸線ＪＳ１と前記中心点ＣＰ１ａを通る軸線ＪＳ２との位置ずれ角度θ１を求める。
また同様に、図５（ａ）に示すように、第１の画像データから、第２のノズル２３１ｂの中心点ＣＰ１ｂを求め、前記中心点ＣＰ１ｂを通り、圧電振動素子１２０ｂの長手方向の辺と平行になるような軸線ＪＳ１を求める。前記軸線ＪＳ１と前記中心点ＣＰ１ｂを通る軸線ＪＳ２との位置ずれ角度θ２を求める。

図５（ｂ）に示すように、第１のノズル２３１ａの軸線ＪＳ１が軸線ＪＳ２に重なるように、回動部２３４ａによって、第１のノズル２３１ａを位置ずれ角度θ１だけ回転させる。
図５（ｂ）に示すように、第２のノズル２３１ｂの軸線ＪＳ１が軸線ＪＳ２に重なるように、可動回動部２３４ｂによって、第２のノズル２３１ｂを位置ずれ角度θ２だけ回転させる。

図５（ｂ）に示すように、第１の画像データから圧電振動素子１２０ａの中心点ＣＰ２ａを求め、前記第１のノズル２３１ａの中心点ＣＰ１ａと圧電振動素子１２０ａの中心点ＣＰ２ａとのＸ軸方向の位置ずれ幅△Ｘ１及びＹ軸方向の位置ずれ幅△Ｙ１を求める。
また、図５（ｂ）に示すように、第１の画像データから圧電振動素子１２０ｂの中心点ＣＰ２ｂを求め、前記第２のノズル２３１ｂの中心点ＣＰ１ｂと圧電振動素子１２０ｂの中心点ＣＰ２ｂとのＸ軸方向の位置ずれ幅△Ｘ２及びＹ軸方向の位置ずれ幅△Ｙ２を求める。

求められた第１のノズル２３１ａのＸ軸方向の位置ずれ幅△Ｘ１、第１のノズル２３１ａのＹ軸方向の位置ずれ幅△Ｙ１、前記第２のノズル２３１ｂのＸ軸方向の位置ずれ幅△Ｘ２、前記第２のノズル２３１ｂのＹ軸方向の位置ずれ幅△Ｙ２を記憶部２５０に記憶させると共に、第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂを動かすことで、各圧電振動素子１２０ａ、１２０ｂの位置ずれ幅の分だけ補正する。

本発明の圧電振動素子搭載装置２００は、第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂにて２つの圧電振動素子１２０ａ、１２０ｂを圧電振動素子配列治具ＸＪから取り出し、素子搭載部材配列治具ＴＪに収容されている２つの素子搭載部材１１０ａ、１１０ｂの凹部空間Ｋ１内の素子搭載パッドＰに搭載することができるため、素子搭載部材１１０に圧電振動素子１２０を搭載する時間を短縮することができ、生産性を向上させる可能となる。
また、本発明の圧電振動素子搭載装置２００は、第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂによって吸着された圧電振動素子１２０を認識するための第１のカメラ２４１と、素子搭載部材１１０に設けられた素子搭載パッドＰを認識するための第２のカメラ２４２と、を有する認識手段２３０と、認識手段２４０から得た画像データによって、水晶振動素子１２０の位置ずれ幅を求め、この位置ずれを補正するために搭載手段２３０を制御する制御手段２６０と、を備えていることによって、圧電振動素子１２０の位置ずれを補正し、素子搭載部材１１０の素子搭載パッドＰに搭載されるので、圧電振動素子１２０の位置ずれを防ぐことができるので、生産性を向上させることができる。
また、搭載手段２３０には、第１のノズル２３１ａと第２のノズル２３１ｂのＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を補正するための第１の可動部２３３と、前記第１のノズル２３１ａと前記第２のノズル２３１ｂのＸ方向、θ方向を補正するための第２の可動部２３４が設けられていることによって、前記素子搭載部材１１０ａ、１１０ｂに２つの第１のノズル２３１ａ、第２のノズル２３１ｂが接触することを防止することができるため、生産性を向上させることが可能となる。

尚、本発明は前記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。

２１０・・・第１の搬送手段
２２０・・・第２の搬送手段
２３０・・・搭載手段
２３１ａ・・・第１のノズル
２３１ｂ・・・第２のノズル
２３２・・・ノズル配置部
２３３・・・第１の可動部
２３３ａ・・・Ｘ方向可動部
２３３ｂ・・・Ｙ方向可動部
２３３ｃ・・・Ｚ方向可動部
２３４・・・第２の可動部
２３４ａ・・・回動部
２３４ｂ・・・可動回動部
２４０・・・認識手段
２４１・・・第１のカメラ
２４２・・・第２のカメラ
２５０・・・記憶部
２６０・・・制御手段
２００・・・圧電振動素子搭載装置
Ｒ１・・・第１のガイドライン
Ｒ２・・・第２のガイドライン
ＰＬ・・・支柱
ＸＪ・・・圧電振動素子配列治具
１２０、１２０ａ、１２０ｂ・・・圧電振動素子
ＴＪ・・・素子搭載部材配列治具
１１０、１１０ａ、１１０ｂ・・・素子搭載部材
１１１・・・基板部
１１２・・・枠部
Ｋ１・・・凹部空間
Ｐ・・・素子搭載パッド
Ｇ・・・外部接続用電極端子
ＤＳ・・・導電性接着剤
１３０・・・蓋部材
１００・・・圧電振動子

Claims

圧電振動素子を配列した圧電振動素子配列治具を所定の位置に移動させ所定の位置で停止させる第１の搬送手段と、
素子搭載部材を配列した素子搭載部材配列治具を所定の位置に移動させ所定の位置で停止させる第２の搬送手段と、
前記圧電振動素子配列治具内の圧電振動素子を取り出し、前記素子搭載部材に設けられた素子搭載パッドに搭載するための第１のノズルと第２のノズルとを有する搭載手段と、
前記第１のノズルと前記第２のノズルによって吸着された圧電振動素子を認識するための第１のカメラと、前記素子搭載部材に設けられた素子搭載パッドを認識するための第２のカメラと、を有する認識手段と、
前記認識手段から得た画像データによって、圧電振動素子の位置ずれ幅を求め、この位置ずれを補正するために前記搭載手段を制御する制御手段と、を備えていることを圧電振動素子搭載装置。
前記搭載手段には、前記第１のノズルと前記第２のノズルのＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を補正するための第１の可動部と、
前記第１のノズルのθ方向と前記第２のノズルのＸ方向、θ方向を補正するための第２の可動部と、が設けられていることを特徴とする請求項１記載の圧電振動素子搭載装置。