JP2011114124A - 超音波ボンディング用アルミニウムリボン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウムの金属またはアルミ基合金からなる超音波ボンディング用リボンであって、そのアルミニウム純度が99.99質量%以上であり、かつ、アルミニウムリボンの鏡面光沢面上に蒸発乾固された分子量500以下の非イオン性界面活性剤の総有機炭素量が100〜1000μg/m2である、超音波ボンディング用アルミニウムリボン。
【選択図】なし
Description
超音波印加の効果は、ワイヤ(リボン)変形に伴う接合面積の拡大と、アルミニウムリボンに自然に形成された1ナノメートル(nm)程度の酸化膜を破壊・除去することによりアルミニウム(Al)等の金属素地を露出させ、相接するアルミニウム(Al)やニッケル(Ni)等のボンディングパッドとアルミニウムリボンとの界面における塑性流動に伴うこれら密着した素地面の拡大と共に拡散接合によって両者を原子間結合させることにある。
第一の方法は、予め薄肉の板状にロール圧延されたアルミニウム合金からなる薄板材を、例えばロータリーカッターのような切断装置やプレス装置によって、所定の幅と長さに切り出し、この切り出されたアルミニウム合金からなる薄板材をさらに薄テープ状に圧延加工し、最終的に所定の形状のアルミニウムリボンとして成形するものである。
第二の方法は、最終的な極薄のテープ状態までロール圧延したアルミニウム合金からなるテープ状素材(厚さに対する幅の比は25程度)の両端耳部をスリッター加工やプレス加工などによって取り除き、最終的な所定幅形状のアルミニウムリボンとして成形するものである。
ワイヤボンディング(ボールボンディング)においては、ワイヤ先端のボールを予め加熱した電極パッド上に押圧して超音波振動を印加すると、その機械的な摩擦によりボール表面のアルミニウム酸化膜が破壊されて金属素地が露出し、同時に摩擦に伴う発熱と押圧力によってボールが変形して、これらのいわゆる金属素地の新生面が拡大して、接合面を形成する。
ワイヤボンディングにおいてはこのような過程を経て、ワイヤと電極パッドとが接合され、接合面はボールが圧着された状態で新生面の拡大に伴って形成されるため、確実にかつ強固な接合が得られる。
これに対して、アルミニウムリボンを電極パッドに接合する場合、電極パッドに接するその接合部は平坦な面であって、超音波を印加する超硬ツールを押圧しても電極パッドと接触する界面はその面に沿ってほとんど変形することはない。
このため、電極パッドとの接合面全体にわたって厳密に接合条件を維持することが重要となるが、印加可能な荷重や超音波エネルギーの範囲では、微細な凹凸や不均一さが影響し、これらの接合条件を保つことは困難であった。
例えば、上記の極薄テープの加工方法では、一般的に圧延加工の際に機械油を使用しているため、加工後に洗浄しても検出限界以下の油膜がアルミニウムリボン上に不均一に分布して残り、アルミニウムリボンを超音波アルミニウムリボンとして使用する時のボンディング条件が不安定になっていた。このため化学エッチングによりアルミニウムリボンの表面を酸洗いすることも試みられたが、化学エッチングするとアルミニウムリボンの表面にエッチングによる微視的なエッチピットが発生し、この凹凸によって超音波ボンディング時のボンディング条件が不安定になっていた。
このため、アルミニウムリボンの切断面またはせん断面に出たツノやバリがリボン端面に残ってボンディング時にガイドやツールに引っかかったり、フレーク状になって圧延ロール表面に付着してアルミニウムリボンの表面に凹凸が生じたりする。
よって、アルミニウムリボンを圧延加工段階のまま硬質状態に保って超音波ボンディングしていたが、ボンディング時に大きなエネルギーを必要とし、ボンディング条件が不安定になるとともに接合強度が低いという欠点を有していた。
このため、アルミニウムリボンのボンディング条件を安定させ、安定したボンディング強度(接合強度)を得ようとして、様々な機械的形状のアルミニウムリボンが考えられた。
この接続ストラップは、薄板の両端に電極パッドに対する接合部を設け、その間を電極パッド間を跨ぐアーチとして形成し、複数の突出部を備えた超音波印加用ホーンを備えたボンディングツールにより押圧と同時に超音波を印加して接合するものであるが、その接続部が平面状をしており、ボンディングの初期に接触する微視的部分の位置、大きさが均一かつ一定でないため、接合強度が安定しないというボンディング条件の不安定性を格別解決するものではない。
また、特開2007−194270号公報(特許文献2)には、アルミニウムリボンの接合部位の電極パッドに接合する面に複数の凸条を形成したものが提案されている。これはこれらの凸条が加圧と超音波印加に伴ってその先端から変形することにより、ボンディングワイヤの場合の先端の圧着ボールと同様の効果をもたらすことを意図するもので、この方法では、初期の塑性流動を発生させやすいため、比較的小さな荷重および超音波エネルギにより、接合面が平坦なリボンと比べて安定した接合強度の確保を実現できると考えられる。
しかし、半導体デバイスを超音波ボンディングにより接続するためのアルミニウムリボンの場合には、その表裏面で超音波による接合条件が異なるにもかかわらず1秒間に数個の割合で自動的に超音波ボンディングして行き、これが何万回も同一条件で接合されていく必要がある。
このようにアルミニウムリボンの外形的な形状を機械的に変化させる従来のやり方では、当初その効果を発揮しても、さらに続けて何万回もの超音波ボンディングを行うと、これらの接合条件が維持されず、接続不良が頻発するようになる。
これらの海島状模様を形成したアルミニウム酸化物層は超硬ツールとアルミニウムリボンとの接触状態を不均一とし、超音波エネルギの印加に伴って両者界面に部分的な発熱、温度上昇を生じて一層これらの酸化物層の堆積を進行させると共に、超硬ツールからアルミニウムリボン界面への超音波振動エネルギーの伝達を不均一として、接合過程に悪影響をもたらす。
このため、このような海島状模様の形成と共にアルミニウムリボンの接合強度のばらつきが生じるものである。
よって、本発明は、超音波ボンディングを繰り返し行っても超硬ツールにこれらのアルミニウム又はアルミニウム酸化物による海島状の模様が形成されず、超硬ツールからアルミニウムリボン界面への超音波振動エネルギーの伝達が均一に行われて温度分布が均一であり、接合部位全体にわたって均一な接合条件が維持されて、より安定した接合強度を実現できるアルミニウムリボンを提供することを本発明の課題とする。
特許文献1に記載の潤滑剤成分について、アルミニウムリボンの超音波ボンディング性との関連について試みた。すなわち、潤滑剤成分として、パラフィン系鉱油、ポリプロピレングリコール、脂肪酸せっけん、パーム油等を用いた。アルミニウムワイヤの場合は超音波接合時に新生面が拡大して新たな接合となるが、アルミニウムリボンの場合はこのような現象が期待できないので、リボンに接する超硬ツール側に汚れが蓄積され、数千回接合すると、接合強度にばらつきが生じ始め、接合強度が高くかつ安定したものを得ることができなかった。
これらの例では、潤滑成分は潤滑成分自体が超硬ツールの汚染をもたらし、却って逆効果でもあった。
そのほか、ボンディングワイヤについて、その表面の改質を図る界面活性剤被膜を形成することについて、特公平2−11016号公報には金又は金合金のボンディングワイヤに平均膜厚0.5μm〜50オングストロームの界面活性剤の被膜を形成することにより、スプールに多層巻きされたワイヤ同士の接着現象を防止すること、及び特開2002−241782号公報には、HLB値が10〜20m平均分子量が350〜20,000である非イオン性界面活性剤水溶液を高純度Auの伸線加工用潤滑剤として用いるとボンディング時にキャピラリー内に有機物の堆積が無いことが開示されている。
さらに、特開2008−172009号公報には、純金ワイヤに金非イオン性界面活性剤の単分子の吸着層を形成することにより、有機物がクランパーやキャピラリーに転着せず、ワイヤ同士の接合防止及び繰り出し性が維持されること、が記載されている。
アルミニウムリボン表面の改質手段として、被イオン性界面活性剤が極めて薄い被膜層として強固な被膜形成能を有することから、これら被イオン性界面活性剤について上記効果を達成する条件を調べた。
その結果、アルミニウムリボンの鏡面光沢面上に蒸発乾固された分子量500以下の非イオン性界面活性剤の総有機炭素量が100〜1000μg/m2であるようにすれば、これらの課題を達成できることがわかった。
本発明の超音波ボンディングに使用する平圧延された鏡面光沢のアルミニウムリボンは、アルミニウムの金属または基合金に含まれるアルミニウムが純度99.99質量%以上で不純物が0.01質量%未満であり、このようなアルミニウムリボンは超音波ボンディング時に上述した現象が生じやすい。
先ず、超硬ツールとアルミニウムリボンとの界面において、界面活性剤はその潤滑性のため一定以上の被膜厚さになると超硬ツールとアルミニウムリボンとの間で超硬ツールの超音波振動に対して当接しているアルミニウムリボンが十分に追従できなくなり、超音波振動に伴ってすべりのために却って摩擦を生じて発熱するようになる。
一方純度の高いアルミニウムは融点が低く、また柔らかいためにこれらの超音波振動に伴う発熱と超音波振動によってその表層が剥ぎ取られ、酸化を伴って超硬ツールに付着するようになる。一旦このような現象が起こると、さらにその影響が増大、拡大してアルミニウム及びアルミニウム酸化物の堆積が進行して、ついに前記したような海島状の模様を呈するようになる。これらの堆積層が介在すると超硬ツールからアルミニウムリボン界面に対する超音波振動エネルギーの伝達が不均一になると共に充分に行われず、接合面全体の接合条件が不均一になる。
これに対して、本発明の上記の非イオン性界面活性剤の被膜条件が満たされると、超硬ツールからアルミニウムリボンに対する超音波振動に対して追従できるため、異常な発熱を生じることなく、これらの堆積層を生じることなく、数万回にわたる超音波接合が当初の条件と変わらずに行うことができる。
また、非イオン性界面活性剤は、アルミニウムリボンの超硬ツールとの当接面と反対側の電極との接合面においては、その被膜が厚く介在することによって接合性を損なう。アルミニウムリボンと電極との界面では、アルミニウムリボンは超音波振動に伴う摩擦によって、機械的な接触と発熱によって接合するのであるが、超硬ツールとの界面とは異なり接合相手側の電極が固定された状態にあり、しかも接合する両者の材質には超硬ツールとアルミニウムのように硬さなどの材質上の差が無いため、潤滑性のある界面活性剤が存在しなくとも相互間で摩擦に伴って超音波エネルギーが発散されて接合される。
非イオン性界面活性剤は分解温度が低く、溶媒に可溶性のものが望ましい。溶媒は一般に純水であるが、非イオン性界面活性剤が純水に溶解しない場合はアルコール類と純水の混合溶媒を用いることができる。アルコール類はアルコール基があるので、アルミニウムリボン表面にある空気中の水分や伸線加工等によって持ち込まれた水分がその面でアルミニウムの水酸化物(AlO(OH))を形成することがなくなるとともに、アルコール基はアルミニウムとアルコキシド化合物を形成する可能性がある。
また、非イオン性界面活性剤を陰イオン性界面活性剤と合わせて用いることによって非イオン性界面活性剤を均一に分散することができる。陰イオン界面活性剤としてはドデシルベンゼンスルホン酸アンモニウムがあるが、通常は非イオン性界面活性剤と陰イオン性界面活性剤とが混合されて市販されている。
また、本発明の非イオン性界面活性剤において、総有機炭素量が30〜1000μg/m2であることとしたのは、ナノオーダーの平均膜厚をアルミニウムリボンの鏡面光沢面上に形成するためである。ナノオーダーの平均膜厚は、薄すぎて精度よく簡便に測定することが困難であるため、総有機炭素量によって特定することにしたのである。総有機炭素量が30〜1000μg/m2と極少量なのは、超音波ボンディング時に超硬ツールの表面のカーボン汚染をできるだけ避けるためである。
添加元素として許容され得る元素には、ニッケル(Ni)、シリコン(Si)、マグネシウム(Mg)、銅(Cu)、ホウ素(B)、インジウム(In)、リチウム(Li)、ベリリウム(Be)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)、イットリウム(Y)、ランタン(La)、セリウム(Ce)、ネオジウム(Nd)、ビスマス(Bi)などの元素を挙げることができる。アルミニウムリボンの結晶粒径に対して効き目の強い添加元素はニッケル(Ni)、シリコン(Si)、マグネシウム(Mg)および銅(Cu)である。
純度99.99質量%以上のアルミニウム合金における残部のアルミニウムには0.01質量%未満の不可避的不純物が含まれる。不可避的不純物がアルミニウム(Al)元素に及ぼす影響は定かでないので、不可避的不純物はできるだけ少ないことが好ましい。純度99.99質量%以上のアルミニウム(Al)であれば、上記の添加元素の組み合わせの種類や量によらず、200〜450℃の熱処理温度および毎分10〜100mの線速度で蒸発固着は問題ない。母合金として純度99.999質量%以上のアルミニウム(Al)であれば、より好ましいのはもちろんである。
添加元素が、10〜300質量ppmのニッケル(Ni)であることが、特に好ましい。
特に、アルミニウムリボンの結晶粒径の調整しやすさから、純度99.9質量%以上のアルミニウム合金であって、添加元素としてニッケル(Ni)10〜300質量ppmを含み、かつ、その残部が純度99.99質量%以上のアルミニウム(Al)、より好ましくはその残部が純度99.999質量%以上のアルミニウム(Al)であることが特に好ましい。
表1に示す合金組成(調合原料のアルミニウムは純度99.999質量%のアルミニウム(Al)を用いたが、純度99.99質量%のアルミニウム(Al)も同様な結果であった。)および所定の線径のボンディングワイヤを出発材料として用い、表1に示すアルミニウムリボンの実施例1〜20および比較例1〜5を準備した。
次いで、これらのアルミニウムリボンは、圧延装置(図示しない)を用いて一段階加熱圧延処理をし、表面粗さはRz=0.5マイクロメートル(μm)、結晶粒径の平均値は10マイクロメートル(μm)、厚さ120マイクロメートル(μm)、幅/厚さのアスペクト比11とした。次いで、これらのアルミニウムリボンは80℃の純水温湯で2度洗浄した。その後、所定のアルミニウムリボンを線速度80m/分でクリンスルーLC−841(花王(株))の非イオン性界面活性剤の5,000倍純水希釈溶液(「ア液」)に室温で0.8秒程度浸漬した後、連続して線速度80m/分で320℃の熱処理炉に0.4秒間通過させ、アルミニウムリボンから非イオン性界面活性剤溶液を蒸発固着したものである。
同様にして、エリーズK1000(旭化成工業(株))の10,000倍純水希釈溶液(「イ液」)に50℃で0.6秒程度浸漬した後、連続して線速度100m/分で400℃の熱処理炉に0.4秒間通過させ、アルミニウムリボンから非イオン性界面活性剤溶液を蒸発固着した。
同様にして、サンウォッシュFM−550(ライオン(株))の50,000倍純水希釈溶液(「ウ液」)に室温で0.2秒程度浸漬した後、連続して線速度100m/分で250℃の熱処理炉に0.6秒間通過させ、アルミニウムリボンから非イオン性界面活性剤溶液を蒸発固着した。
同様にして、サンウォッシュFM− 200(非イオン性界面活性剤と陰イオン性界面活性剤との混合物を主成分とする)(ライオン(株))の3,000倍純水希釈溶液(「エ液」)に室温で1.0秒程度浸漬した後、連続して線速度80m/分で250℃の熱処理炉に0.6秒間通過させ、アルミニウムリボンから非イオン性界面活性剤溶液を蒸発固着した。
表1に示すアルミニウムリボンのループ長は50mmで、ループ高さは30mmとし、通常条件よりもリボンが経路やツールから受ける摺動抵抗が大きくなるような条件に設定した。
ボンディングは、オーソダイン社(Orthodyne Electronics Co.)製全自動リボンボンダ3600R型にて、表1に示すアルミニウムリボンを純度99.99質量%のアルミニウム(Al)板(厚さ5mm)上に超音波ボンディングを実施した。
ボンディング条件は、80kHzの周波数で、潰れ幅がリボン幅の1.05倍になるよう荷重および超音条件を調整した。超硬ツールおよびボンディングガイドは、リボンサイズに合致したオーソダイン社製の付属のものを使用した。
接合強度は、リボン側面よりDAGE製万能ボンドテスターPC400型にて接合部側面からのシェア強度測定を実施した。信頼性試験として、ボンディング済みの基板を150℃×1000時間で暴露した後のシェア強度を測定した。
そして、信頼性試験後のシェア強度を試験実施前のシェア強度で除した値を信頼性試験後の強度比と定義し、これで評価を行った。
シェア強度は、初期の接合強度(シェア強度)について第一ボンド及び第2ボンドが、1st/2nd:4000−5000gf(目標値:4500gf)であって、ボンディングにより接合される電極パッドのサイズによって異なるが、一般的なサイズにおいて求められるシェア強度(3〜6kgf)の値を満たす結果が得られており、ボンディング回数を2万回まで繰り返しボンディングした場合について、信頼性試験後の接合強度比により、評価した。
その判定結果を測定値Bから測定値Dまで表1に併記した。測定値Aは基準値であるが、測定値Eに関して実施例は全て信頼性試験後の強度比が測定値Aに対して0.9以上であって一律に合格であったのに対して、比較例は全て不合格であるため、表示を省いた。
なお、信頼性の強度比試験後にアルミニウムリボンを溶解・はく離して接合個所を観察したところ、実施例1〜20の接合個所は接合面全体が均質な接合痕を呈していた。また、比較例1〜5の接合個所の接合痕も測定値Aのものは接合面全体が均質な接合根を呈していたが、測定値C、DおよびEのものは接合されておらず、比較例4と5の測定値Bのものは部分的にしか接合されていなかった。
Claims (6)
- アルミニウム金属またはアルミニウム基合金からなるアルミニウムリボンであって、その材質が、純度99.99質量%以上のアルミニウム、またはこのアルミニウム純金属99.9質量%以上と0.1質量%未満の添加元素とからなるアルミニウム基合金であって、かつ、このアルミニウム純金属またはこのアルミニウム基合金の表面粗さがRz≦2マイクロメートル(μm)の鏡面圧延仕上げされ、該アルミニウムリボンの鏡面上に非イオン性界面活性剤が蒸発固着され、その総有機炭素量が30〜1000μg/m2であることを特徴とする超音波ボンディング用アルミニウムリボン。
- 上記蒸発固着の温度が、超音波ボンディング時の加熱温度よりも高い温度でなされたものであることを特徴とする請求項1に記載の超音波ボンディング用アルミニウムリボン。
- 蒸発固着された非イオン性界面活性剤が、非イオン性界面活性剤の溶解したアルコールと純水とからなる水溶液から蒸発固着されたものであることを特徴とする請求項1に記載の超音波ボンディング用アルミニウムリボン。
- 添加元素が、ニッケル(Ni)、シリコン(Si)、マグネシウム(Mg)および銅(Cu)のうちの少なくとも1種を合計で5〜700質量ppmであることを特徴とする請求項1に記載の超音波ボンディング用アルミニウムリボン。
- 非イオン性界面活性剤が、陰イオン性界面活性剤と併用されていることを特徴とする請求項1記載の超音波ボンディング用アルミニウムリボン。
- 非イオン性界面活性剤が、アミド型非イオン性界面活性剤であることを特徴とする請求項1に記載の超音波ボンディング用アルミニウムリボン。
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