JP2011100923A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基板1の上に第1の開溝11を有するパターンにて下部電極2を成膜し、次いで、有機薄膜よりなるp層3を成膜する。有機薄膜よりなるi層4及びn層5を形成した後、第2の開溝12を波長200〜800nmのレーザスクライブにより形成する。次いで、上部電極6を成膜した後、第3の開溝13を波長200〜800nm特に好ましくは250〜600nmのレーザスクライブにより形成する。
【選択図】図1
Description
有機薄膜起電力層は、有機半導体により形成される。有機半導体は半導体特性により、p型、n型に分けられる。p型、n型は、電気伝導に寄与するのが、正孔、電子いずれであるかを示しており、材料の電子状態、ドーピング状態、トラップ状態に依存する。したがって、p型、n型は必ずしも明確に分類できない場合があり、同一物質でp型、n型両方の特性を示すものもある。
下部電極及び上部電極としては導電性を有する材料により形成することが可能であり、例えば、白金、金、銀、アルミニウム、クロム、ニッケル、銅、チタン、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ナトリウム等の金属あるいはそれらの合金;酸化インジウムや酸化タングステン、酸化錫等の金属酸化物、あるいはその複合酸化物(ITO、IWO、IZOなど);ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン等の導電性高分子;前記導電性高分子に、塩酸、硫酸、スルホン酸等の酸、FeCl3等のルイス酸、ヨウ素等のハロゲン原子、ナトリウム、カリウム等の金属原子などのドーパントを含有させたもの;金属粒子、カーボンブラック、フラーレン、カーボンナノチューブ等の導電性粒子をポリマーバインダー等のマトリクスに分散した導電性の複合材料などが挙げられる。なかでも、正孔を捕集する電極には、Au、ITO等の深い仕事関数を有する材料が好ましい。一方、電子を捕集する電極には、Alのような浅い仕事関数を有する材料が好ましい。仕事関数を最適化することにより、光吸収により生じた正孔及び電子を良好に捕集する利点がある。
本発明の太陽電池は、バッファ層、バリア層、防食層、水分や酸素の捕捉材層など、上記以外の層を備えてもよい。
厚さ約0.7mmのガラス基板上に、インジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を堆積したもの(シート抵抗15Ω/□以下)を、通常のフォトリソグラフィ技術と塩酸エッチングとを用いて2mm幅のストライプにパターニングして、透明補助電極を形成した。パターン形成した透明補助電極を、界面活性剤による超音波洗浄、超純水による水洗、超純水による超音波洗浄の順で洗浄後、窒素ブローし、120℃で10分間加熱乾燥させた。
まず、窒素雰囲気下で上記基板を180℃で3分間加熱処理した。そして、クロロホルム/クロロベンゼンの1:2混合溶媒(重量)に下記化合物(A)を0.5重量%溶解した液を濾過後、1500rpmで上記PEDOT:PSSの膜上にスピンコートし、180℃で20分間加熱し、下記化合物(B)の膜を得た。
クロロホルム/クロロベンゼンの1:1混合溶媒(重量)にポルフィリン化合物である化合物(A)を0.6重量%溶解した液と、フラーレン誘導体であるフロンティアカーボン社製PCBNB(下記化合物(C))を1.4重量%溶解した液を調製し、それを重量比1:1で混合し、濾過後、1500rpmで上記ポルフィリン化合物である化合物(B)の膜上にスピンコートし、180℃で20分間加熱し(B)と(C)の混合膜よりなるi層を成膜した。
トルエンに化合物(C)を1.2重量%溶解した液を濾過後、3000rpmで上記化合物(B)と(C)混合膜上にスピンコートし、65℃で10分間加熱し、化合物(C)の膜よりなるn層を成膜した。
次に、上記一連の有機層を成膜した基板を、透明補助電極のストライプパターンに対して直交するように2mm幅のシャドーマスクと密着させて、真空蒸着装置内に設置した。そして、フッ化リチウム(LiF)を蒸着速度約0.01nm/秒で、膜厚0.5nmになるよう有機層上に蒸着した。引き続き、アルミニウムを蒸着速度0.2nm/秒でLiF層上に膜厚80nmとなるように蒸着し、金属電極よりなる裏面電極6を形成した。
[実施例2]
厚さ約0.7mmのガラス基板上に、インジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を堆積したもの(シート抵抗15Ω/□以下)を、通常のフォトリソグラフィ技術と塩酸エッチングとを用いて2mm幅のストライプにパターニングして、透明補助電極を形成した。パターン形成した透明補助電極を、界面活性剤による超音波洗浄、超純水による水洗、超純水による超音波洗浄の順で洗浄後、窒素ブローし、120℃で10分間加熱乾燥させた。
クロロホルム/クロロベンゼンの1:1混合溶媒(重量)にポリ(3−ヘキシルチオフェン)(Rieke
Metal製、数平均分子量64000)を1重量%、フラーレン誘導体であるフェニルC61ブチル酸メチルエステル(フロンティアカーボン社製E100)を1重量%溶解した液を調製し、濾過後、1500rpmで下部電極2上にスピンコートし、180℃で20分加熱し、厚さ250nmのバルクヘテロ接合型有機半導体よりなる有機薄膜起電力層を成膜した。第1の開溝11はこの有機薄膜起電力層の材料によって埋められた。
次に、上記一連の有機層を成膜した基板を、スパッタリング装置内に設置した。そして、インジウムタングステンオキサイド(IWO、住友金属鉱山製)を成膜速度約0.05nm/秒で、膜厚150nmになるよう有機薄膜起電力層上に成膜して上部電極6を形成した。
2 下部電極
3 p層
4 i層
5 n層
6 上部電極
11 第1の開溝
12 第2の開溝
13 第3の開溝
Claims (2)
- 絶縁基板上に少なくとも下部電極、有機薄膜起電力層及び上部電極を成膜する工程と、成膜された膜をレーザスクライブによって分割する工程とを有する太陽電池の製造方法において、
有機薄膜起電力層を分割するためのレーザとして波長200〜800nmのレーザを用いることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項1において、レーザスクライブによって有機薄膜起電力層の構成材料が除去されることによって、その上の上部電極の構成材料が除去されることを特徴とする太陽電池の製造方法。
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