JP2011095040A

JP2011095040A - 試験装置および試験モジュール

Info

Publication number: JP2011095040A
Application number: JP2009247731A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Minegishi; 敏之峰岸; Norio Arakawa; 則雄荒川
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2009-10-28
Filing date: 2009-10-28
Publication date: 2011-05-12

Abstract

【課題】制御装置を効率良く動作させる。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験する試験ユニットと、試験ユニットに対して処理の実行を要求する制御装置と、を備え、試験ユニットは、制御装置から要求された処理を完了するまでの予測時間を示す状態情報を制御装置に送信し、制御装置は、試験ユニットから受信した状態情報に示された予測時間に基づいて、処理の完了を試験ユニットに確認するタイミングを決定する試験装置を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、試験装置および試験モジュールに関する。

被試験デバイス（ＤＵＴ）を試験する試験装置は、複数の試験ユニットと、制御装置とを備える。複数の試験ユニットのそれぞれは、ＤＵＴと接続される。そして、複数の試験ユニットのそれぞれは、接続されたＤＵＴとの間で信号を授受して、ＤＵＴを試験する。

制御装置は、複数の試験ユニットのそれぞれを制御する。より詳しくは、制御装置は、プログラムに従って複数の試験ユニットのそれぞれに命令を与えて、複数の試験ユニットのそれぞれに処理を実行させる。制御装置は、一例として、ＤＵＴとの間を接続するリレーの切替処理の実行、電圧の設定処理の実行および試験処理の実行等を、プログラムに従って複数の試験ユニットのそれぞれに要求する。

ところで、制御装置は、試験ユニットに処理の実行を要求した後、当該処理が完了したか否かポーリングによって確認する場合がある。しかし、制御装置は、ポーリングを行う場合、処理が完了したことを示すフラグを試験ユニットから当該処理が完了するまで繰返して読み出さなければならない。

従って、制御装置は、ポーリング中においてはＣＰＵまたはＭＰＵの処理能力がフラグ読出しに占有されるので、他の処理を実行することができなかった。また、ポーリング中においては制御装置から試験ユニットへのアクセスが短い間隔で繰返し行われるので、制御装置と試験ユニットとの間を接続するバスが動作し続ける。従って、試験装置は、消費電力も大きくなってしまっていた。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記被試験デバイスを試験する試験ユニットと、前記試験ユニットに対して処理の実行を要求する制御装置と、を備え、前記試験ユニットは、前記制御装置から要求された処理を完了するまでの予測時間を示す状態情報を前記制御装置に送信する試験装置、および、試験モジュールを提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。制御装置１４と試験ユニット２０との間でのアクセスの一例を示す。本実施形態に係る試験ユニット２０の機能構成の一例および制御装置１４を示す。本実施形態に係る制御装置１４におけるポーリングの処理フローを示す。本実施形態に係る制御装置１４が複数の試験ユニット２０に対してポーリングを行う場合の第１の処理フローを示す。本実施形態に係る制御装置１４が複数の試験ユニット２０に対してポーリングを行う場合の第２の処理フローを示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。本実施形態に係る試験装置１０は、被試験デバイス（ＤＵＴ）を試験する。

試験装置１０は、本体部１２と、制御装置１４とを備える。本体部１２は、例えばテストヘッド等であって、内部に少なくとも１つの試験モジュール１６が装填される。

各試験モジュール１６は、少なくとも１つの試験ユニット２０を有する。それぞれの試験ユニット２０は、被試験デバイスの端子と接続される。それぞれの試験ユニット２０は、接続された被試験デバイスの端子との間で信号を伝送して、接続された被試験デバイスを試験する。

制御装置１４は、少なくとも１つの試験モジュール１６が有するそれぞれの試験ユニット２０を制御する。より詳しくは、制御装置１４は、プログラムに従ってそれぞれの試験ユニット２０に命令を与えて、複数の試験ユニット２０のそれぞれに処理の実行を要求する。制御装置１４は、一例として、被試験デバイスとの間を接続するリレーの切替処理の実行、発生する電圧の設定処理の実行および試験処理の実行等を、プログラムに従って複数の試験ユニット２０のそれぞれに要求する。

以上のような試験装置１０は、被試験デバイスの端子に接続されたそれぞれの試験ユニット２０に対して、制御装置１４がプログラムに従って処理の実行の要求を与える。これにより、試験装置１０は、被試験デバイスの端子に接続されたそれぞれの試験ユニット２０を動作させて、被試験デバイスを試験することができる。

図２は、制御装置１４と試験ユニット２０との間でのアクセスの一例を示す。例えば、試験ユニット２０に対してリレーの切替処理および電圧の設定処理等を行う場合、図２に示されるようなアクセス制御を行う。

まず、制御装置１４は、試験ユニット２０に処理の実行を要求する（Ｓ１００）。その後、制御装置１４は、ポーリングを行う（Ｓ１１０）。そして、制御装置１４は、ポーリングにおいて処理が完了したことを確認すると、次の新たな処理を実行する（Ｓ１２０）。

また、ポーリング（Ｓ１１０）においては、制御装置１４は、処理の実行を要求した試験ユニット２０に対して、処理の完了を確認する確認要求を送信する（Ｓ１１１，Ｓ１１３）。試験ユニット２０は、制御装置１４から確認要求を受信したことに応じて、例えばレジスタ等に書き込まれている状態情報を制御装置１４に送信する（Ｓ１１２，Ｓ１１４）。

ここで、試験ユニット２０は、要求された処理が未だ完了していない場合には、制御装置１４から要求された処理を完了するまでの予測時間を示す状態情報を制御装置１４に送信する（Ｓ１１２）。一方、試験ユニット２０は、要求された処理が既に完了している場合には、処理が完了したことを示す状態情報を送信する（Ｓ１１４）。例えば、試験ユニット２０は、処理が完了したことを示す状態情報として、予測時間が０を示す状態情報を制御装置１４に送信する。

制御装置１４は、予測時間を示す状態情報を試験ユニット２０から受信した場合（Ｓ１１２）、当該試験ユニット２０から受信した状態情報に示された予測時間に基づいて、処理の完了を試験ユニット２０に確認するタイミングを決定する。そして、制御装置１４は、予測時間に応じたタイミングにおいて、確認要求を再度送信する（Ｓ１１３）。

また、制御装置１４は、予測時間を示す状態情報を受信してから、予測時間に応じたタイミングにおいて確認要求を再度送信するまでの期間において、ポーリング以外の他の処理を実行してもよい。これに代えて、制御装置１４は、他の処理を実行せずに、処理を待機していてもよい。

そして、制御装置１４は、処理が完了したことを示す状態情報を試験ユニット２０から受けた場合には（Ｓ１１４）、次の新たな処理を実行する（Ｓ１２０）。

このような制御装置１４は、試験ユニット２０の処理が完了するタイミングで確認要求を送信することができる。これにより、従って、本実施形態に係る試験装置１０によれば、ポーリング中において制御装置１４から短い間隔で繰返して確認要求が送信されないので、制御装置１４の能力が確認要求の送信に占有されない。よって、試験装置１０によれば、制御装置１４にポーリングと並行して他の処理を実行させることができる。また、試験装置１０によれば、ポーリング中における制御装置１４と試験ユニット２０との間のアクセス量を少なくするので、消費電力を小さくすることができる。

また、制御装置１４は、一の試験ユニット２０に対して複数の処理を並行してまたは連続して実行させてもよい。そして、試験ユニット２０は、複数の処理の実行の要求を受けた場合、要求された複数の処理の全てが完了するまでの予測時間を示す状態情報を制御装置１４に送信してもよい。これにより、制御装置１４は、要求した複数の処理の全てが完了すると予測されるタイミングにおいて、次の確認要求を送信することができる。従って、制御装置１４は、試験ユニット２０に複数の処理を実行させた場合において効率良くポーリングをすることができる。

また、試験ユニット２０は、一例として、処理が少なくとも完了しない期間を予測時間として示す状態情報を制御装置１４に送信してもよい。例えば、試験ユニット２０は、予測時間として所定時間（例えば１ｍ秒）を示した状態情報を制御装置１４に送信してもよい。これにより、試験ユニット２０は、要求された処理が完了する時刻が確実には予測できない場合であっても、少なくとも未だ処理が完了していないことが確実な期間中には、次の確認要求を送信させなくすることができる。

図３は、本実施形態に係る試験ユニット２０の機能構成および制御装置１４を示す。試験ユニット２０は、一例として、インターフェイス部３２と、試験部３４と、状態情報レジスタ３６と、管理部３８と、送信部４０とを含む。インターフェイス部３２は、制御装置１４との間でデータの送受信を行う。

試験部３４は、インターフェイス部３２が制御装置１４から受け取った命令に応じた処理を実行する。試験部３４は、一例として、制御装置１４から受け取った命令に応じて、各種の設定処理（例えば、被試験デバイスとの間のリレーの切替および発生電圧の設定等）を実行する。また、試験部３４は、一例として、制御装置１４から受け取った命令に応じて被試験デバイスと信号を送受信して、被試験デバイスを試験する。

状態情報レジスタ３６は、状態情報を格納する。管理部３８は、状態情報レジスタ３６に状態情報を書き込む。送信部４０は、インターフェイス部３２が制御装置１４から確認要求を受信したことに応じて、状態情報レジスタ３６に格納された状態情報をインターフェイス部３２を介して制御装置１４へ送信する。

ここで、管理部３８は、インターフェイス部３２が処理の実行を指示する命令を制御装置１４から受信したことに応じて、当該命令により実行を指示された処理に対応する予測時間を示す状態情報を状態情報レジスタ３６に書き込む。例えば、管理部３８は、命令の種類毎に、処理が完了するまでに要する予測時間を記述したテーブルを有する。そして、管理部３８は、受信した命令に対応する予測時間をテーブルから読み出して、読み出した予測時間を示す状態情報を状態情報レジスタ３６に書き込む。これにより、試験ユニット２０は、制御装置１４から処理の確認要求を受信した場合に、要求された処理を完了するまでの予測時間を示す状態情報を制御装置１４に送信することができる。

また、管理部３８は、試験部３４が制御装置１４から要求された処理を完了した場合、状態情報レジスタ３６に格納された状態情報を処理が完了したことを示す状態情報に書き替える。管理部３８は、一例として、処理が完了したことを示す状態情報として、予測時間が０を示す状態情報に書き替える。これにより、試験ユニット２０は、制御装置１４から処理の確認要求を受信した場合に、要求された処理が完了していれば、処理が完了したことを示す状態情報を制御装置１４に送信することができる。

また、管理部３８は、一例として、試験部３４による処理中において、状態情報レジスタ３６に格納された状態情報を、現時点の処理状況に応じた予測時間を示す状態情報に書き替えてもよい。例えば、管理部３８は、一定時間毎に状態情報を書き替えてもよい。これにより、試験ユニット２０は、より正確な予測時間を示す状態情報を制御装置１４に送信することができる。なお、この場合において、管理部３８は、処理状況の変更等に応じて、現在の予測時間より延長した予測時間を示す状態情報に書き替えてもよい。

また、管理部３８は、一例として、複数の処理の実行を指示する命令を制御装置１４から受けた場合、命令により実行を指示された複数の処理の全てが完了するまでの予測時間を示す状態情報を状態情報レジスタ３６に書き込んでもよい。これにより、試験ユニット２０は、複数の処理の実行の要求を受けた場合、要求された複数の処理の全てが完了するまでの予測時間を示す状態情報を制御装置１４に送信することができる。

なお、この場合、管理部３８は、複数の処理の合計の予測時間を示す状態情報を状態情報レジスタ３６に書き込んでもよい。また、例えば、管理部３８は、複数の処理のそれぞれの予測時間のうち、最も長い予測時間を示す状態情報を状態情報レジスタ３６に書き込んでもよい。

図４は、本実施形態に係る制御装置１４におけるポーリングの処理フローを示す。ポーリングにおいて、まず、制御装置１４は、対象の試験ユニット２０に対して確認要求を送信して、当該試験ユニット２０から予測時間が示された状態情報を取得する（Ｓ１１）。なお、本例においては、処理が完了している場合には、予測時間が０を示す状態情報が試験ユニット２０から送信される。

続いて、制御装置１４は、試験ユニット２０から得た状態情報に示された予測時間が０以下であるか否かを判断する（Ｓ１２）。予測時間が０以下である場合には（Ｓ１２のＹｅｓ）、制御装置１４は、対象の試験ユニット２０が、要求した処理を既に完了していると判断して、当該ポーリングの処理を抜けて次の処理を実行する。

予測時間が０より大きい場合には（Ｓ１２のＮｏ）、制御装置１４は、状態情報を受信してからの経過時間が予測時間より大きくなったか否かを判断する（Ｓ１３）。制御装置１４は、一例として、タイマ等により、状態情報を受信してからの経過時間が予測時間より大きくなったか否かを判断する。

制御装置１４は、経過時間が予測時間に達するまでの期間において（Ｓ１３のＮｏ）、ポーリング以外の他の処理を実行する（Ｓ１４）。そして、制御装置１４は、経過時間が予測時間より大きくなった場合には（Ｓ１３のＹｅｓ）、処理をステップＳ１１に戻して、再度確認情報を送信して、試験ユニット２０から状態情報を取得する。

これにより、制御装置１４は、試験ユニット２０から受信した状態情報に示された予測時間に応じたタイミングにおいて試験ユニット２０に確認要求を再度送信することができる。なお、制御装置１４は、状態情報を受信してからの経過時間が予測時間より大きくなる直前（例えば、制御装置１４と試験ユニット２０との間の命令の伝搬時間分前の時刻）において、次の確認要求を試験ユニット２０へ送信してもよい。これにより、制御装置１４は、確認要求を試験ユニット２０が処理を完了した直後に試験ユニット２０へ到達させることができる。

図５は、本実施形態に係る制御装置１４が複数の試験ユニット２０に対してポーリングを行う場合の第１の処理フローを示す。制御装置１４は、複数の試験ユニット２０に対して並行に処理の実行を要求してもよい。この場合、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のそれぞれに対してポーリングを行う。ここで、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０の全てにおいて処理が完了したことを条件として次の処理を実行する場合には（即ち、ＡＮＤ条件で次の処理を実行する場合には）、例えば、図５に示されるポーリングの処理フローを実行する。

まず、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のそれぞれに対して確認要求を送信して、複数の試験ユニット２０のそれぞれから状態情報を取得する（Ｓ２１）。続いて、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のそれぞれから得た状態情報に示された予測時間が、全て０以下であるか否かを判断する（Ｓ２２）。全ての予測時間が０以下である場合には（Ｓ２２のＹｅｓ）、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０の全てが要求した処理を既に完了していると判断して、当該ポーリングの処理を抜けて次の処理を実行する。

何れかの試験ユニット２０から得た状態情報に示された予測時間が０より大きい場合には（Ｓ２２のＮｏ）、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のそれぞれから得た状態情報に示された予測時間のうち最も長い予測時間を検出する（Ｓ２３）。続いて、制御装置１４は、状態情報を受信してからの経過時間が、最も長い予測時間より大きくなったか否かを判断する（Ｓ２４）。

制御装置１４は、経過時間が最も長い予測時間に達するまでの期間において（Ｓ２４のＮｏ）、ポーリング以外の他の処理を実行する（Ｓ２５）。そして、制御装置１４は、経過時間が最も長い予測時間より大きくなった場合には（Ｓ２４のＹｅｓ）、処理をステップＳ２１に戻して、再度、複数の試験ユニット２０のそれぞれに確認情報を送信して、複数の試験ユニット２０のそれぞれから状態情報を取得する。

以上のように、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のそれぞれから受信した状態情報に示された予測時間のうち最も長い予測時間に応じたタイミングにおいて、複数の試験ユニット２０のそれぞれに確認要求を再度送信する。これにより、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０に要求した処理が全て完了したことを条件として次の処理を実行する場合において、効率良くポーリングを実行することができる。

図６は、本実施形態に係る制御装置１４が複数の試験ユニット２０に対してポーリングを行う場合の第２の処理フローを示す。また、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のうちの少なくとも１つにおいて処理が完了したことを条件として次の処理を実行する場合には（即ち、ＯＲ条件で次の処理を実行する場合）、例えば、図６に示されるポーリングの処理フローを実行する。

まず、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のそれぞれに対して確認要求を送信して、複数の試験ユニット２０のそれぞれから状態情報を取得する（Ｓ３１）。続いて、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のそれぞれから得た状態情報に示された予測時間に、０以下の予測時間が含まれているか否かを判断する（Ｓ３２）。０以下の予測時間が含まれている場合には（Ｓ３２のＹｅｓ）、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のうちの少なくとも１つ試験ユニット２０が要求した処理を既に完了していると判断して、当該ポーリングの処理を抜けて次の処理を実行する。

０以下の予測時間が含まれていない場合には（Ｓ３２のＮｏ）、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のそれぞれから得た状態情報に示された予測時間のうち最も短い予測時間を検出する（Ｓ３３）。続いて、制御装置１４は、状態情報を受信してからの経過時間が、最も短い予測時間より大きくなったか否かを判断する（Ｓ３４）。

制御装置１４は、経過時間が最も短い予測時間に達するまでの期間において（Ｓ３４のＮｏ）、ポーリング以外の他の処理を実行する（Ｓ３５）。そして、制御装置１４は、経過時間が最も短い予測時間より大きくなった場合には（Ｓ３４のＹｅｓ）、処理をステップＳ３１に戻して、再度、複数の試験ユニット２０のそれぞれに確認情報を送信して、複数の試験ユニット２０のそれぞれから状態情報を取得する。

以上のように、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０のそれぞれから受信した状態情報に示された予測時間のうち最も短い予測時間に応じたタイミングにおいて、複数の試験ユニット２０のそれぞれに確認要求を再度送信する。これにより、制御装置１４は、複数の試験ユニット２０に要求した処理のうちの何れか１つが完了したことを条件として次の処理を実行する場合において、効率良くポーリングを実行することができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

例えば、以上の実施形態においては、試験装置における制御装置と試験ユニットとの間のポーリングに適用した例を示したが、例えば、一般的なコンピュータシステムに適用してもよい。例えば、コンピュータシステムにおける、ＣＰＵまたはＭＰＵ等の制御部と、記憶装置および外部デバイス等のリソースとの間のポーリングに適用してもよい。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０試験装置、１２本体部、１４制御装置、１６試験モジュール、２０試験ユニット、３２インターフェイス部、３４試験部、３６状態情報レジスタ、３８管理部、４０送信部

Claims

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験する試験ユニットと、
前記試験ユニットに対して処理の実行を要求する制御装置と、
を備え、
前記試験ユニットは、前記制御装置から要求された処理を完了するまでの予測時間を示す状態情報を前記制御装置に送信する
試験装置。
前記制御装置は、前記試験ユニットから受信した前記状態情報に示された予測時間に基づいて、前記処理の完了を前記試験ユニットに確認するタイミングを決定する請求項１に記載の試験装置。
前記試験ユニットは、前記制御装置から前記処理の完了を確認する確認要求を受信したことに応じて前記状態情報を送信し、
前記制御装置は、前記予測時間を示す前記状態情報を受信した場合に前記予測時間に応じたタイミングにおいて前記確認要求を再度送信し、前記処理が完了したことを示す前記状態情報を受信した場合に次の処理を実行する
請求項１または２に記載の試験装置。
前記試験ユニットは、前記処理が完了したことを示す前記状態情報として、予測時間が０を示す状態情報を前記制御装置に送信する
請求項３に記載の試験装置。
前記制御装置は、前記予測時間を示す前記状態情報を受信してから、前記予測時間に応じたタイミングにおいて前記確認要求を再度送信するまでの期間において、他の処理を実行する
請求項３または４に記載の試験装置。
前記試験ユニットは、
前記状態情報を格納する状態情報レジスタと、
処理の実行を指示する命令を前記制御装置から受信したことに応じて、当該命令により実行を指示された処理に対応する予測時間を示す前記状態情報を前記状態情報レジスタに書き込む管理部と、
前記制御装置から前記処理の完了を確認する確認要求を受信したことに応じて、前記状態情報レジスタに格納された状態情報を送信する送信部と、
を有する
請求項１から５の何れかに記載の試験装置。
前記試験ユニットは、複数の処理の実行の要求を受けた場合、要求された複数の処理の全てが完了するまでの予測時間を示す前記状態情報を前記制御装置に送信する
請求項１から６の何れかに記載の試験装置。
前記試験ユニットは、処理が少なくとも完了しない期間を前記予測時間として示す前記状態情報を前記制御装置に送信する
請求項１から６の何れかに記載の試験装置。
当該試験装置は、複数の前記試験ユニットを備え、
前記制御装置は、前記複数の試験ユニットのそれぞれから受信した前記状態情報に示された予測時間のうち最も長い予測時間に応じたタイミングにおいて、前記複数の試験ユニットのそれぞれに処理の完了を確認する確認要求を再度送信する
請求項１から８の何れかに記載の試験装置。
当該試験装置は、複数の前記試験ユニットを備え、
前記制御装置は、前記複数の試験ユニットのそれぞれから受信した前記状態情報に示された予測時間のうち最も短い予測時間に応じたタイミングにおいて、前記複数の試験ユニットのそれぞれに処理の完了を確認する確認要求を再度送信する
請求項１から８の何れかに記載の試験装置。
請求項１から１０の何れかに記載の試験装置に用いられる少なくとも１つの前記試験ユニットを有する試験モジュール。