JP2011091091A - 電子部品の実装構造及び実装方法 - Google Patents

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

【課題】 コストを抑えつつ、電子部品と実装基板との間に十分なクリアランスを確保し、信頼性を向上させる。
【解決手段】 実装基板2の表面には、配線層4a,4bが形成され、配線層4aが、ソルダーレジスト層5によって覆われ、電子部品1が接続される配線層4bは、ソルダーレジスト層5によって覆われず、配線層4bの配置箇所においては、開口5aが形成されている。配線層4b上には、メッキ層6が形成され、メッキ層6には対応するバンプ3が接合している。ここで、メッキ層6の厚さは、クリアランスLを確保するために十分な厚さとされる。
【選択図】 図1

Description

この発明は、半導体等の電子部品を、プリント配線板等からなる実装基板に、バンプを介してフリップチップ実装するための電子部品の実装構造及び実装方法に関する。
従来より、例えば、ベアチップ半導体や、CSP(Chip Size Package)といった半導体パッケージ等の電子部品を、プリント配線板等の実装基板に、フリップチップ実装する際には、所定のクリアランス(電子部品と実装基板との間の離隔)が確保されるように、バンプを介して接合される(例えば、特許文献1等参照。)。
このクリアランスは、接続用のバンプのサイズや、実装基板のソルダーレジスト層の厚さ、電子部品及び実装基板の平坦度等によって決まり、一般的には、数十μmである。
しかしながら、実装基板として比較的柔らかい樹脂基板(FR−4等)を用いた場合は、フリップチップ実装時の加熱加圧により、実装基板の変形や、電子部品及び実装基板の平坦度の不良のために、十分なクリアランスが確保されずに、電子部品と実装基板とが接触してしまうことがある。
ところで、実装基板において、一部の配線層が、ソルダーレジスト層によって被覆される場合は、このソルダーレジスト層と電子部品との間の離隔が、上記クリアランスとなるが、配線層上のソルダーレジストの厚さのために、クリアランスにさらに、余裕がなくなる。
例えば、図5に示すように、電子部品101は、実装基板102に、多数のバンプ103,103,…を介して接合されて実装される。ここで、実装基板102の表面には、配線層104a,104b,…が形成されている。これらの配線層104a,104b,…のうち、配線層104aは、ソルダーレジスト層105によって覆われる。
また、電子部品101が接続されるランドとしての配線層104bは、ソルダーレジスト層105によって覆われず、配線層104bの形成箇所においては、開口105aが設けられている。ソルダーレジスト層105と電子部品101との間には、上述したクリアランスM1が設けられる。
ここで、図6に示すように、配線層104aの厚さ(実装基板102の表面からの高さ)M3が、略30μmで、配線層104a上のソルダーレジストの厚さ(ソルダーレジスト層105の上面の配線層104aの上面からの高さ)M2が、10μm〜30μm(例えば、15μm)の場合、バンプ103のサイズM4が、60μmとしても、ソルダーレジストによって、クリアランスM1は、略45μmとなり、余裕がなくなることがわかる。実際には、実装基板102の変形により、20μm以下となり、さらには、接触してしまうことがある。バンプ103のサイズが小さくなる(例えば、20μm等)と、さらに余裕がなくなる。
このため、図7に示すように、電子部品201を、実装基板202に、多数のバンプ203,203,…を介して接合して実装する場合に、実装基板202の表面に、配線層204a,204bを形成した後に、配線層204a,204b上に、それぞれメッキ層206a,206bを形成して、嵩上げすることも考えられる。ここで、電子部品201が接続されるランドとしての配線層204bは、ソルダーレジスト層205によって覆われず、配線層204bの形成箇所においては、開口205aが設けられる。
しかしながら、メッキ層206a,206bの形成後、ソルダーレジスト層205を形成するので、メッキ層206aの上のソルダーレジストの厚みは変わらす、結局、クリアランスNは、上述したクリアランスM1と同等となり、クリアランスの増加には繋がらない。すなわちこれは、配線層204aが電子部品201の直下に存在しない場合においてのみ、有効である。
また、簡便にクリアランスを確保する方法として、図8に示すように、電子部品301の裏面に金属製の柱状のポスト部303を設けて、実装基板302に接続する技術が提案されている。ここで、実装基板302の表面には、配線層304a,304b,…が形成されている。このうち、ランドとしての配線層304bに、半田305を介して対応するポスト部303を接合させる。
特開2007−141887号公報
上記従来技術では、電子部品のポスト部を、半導体装置製造工程で形成するため、工程が追加されることにより初期費用が嵩み、特に、少量生産には向かないという問題がある。
この発明は、前記の課題を解決し、コストを抑えつつ、電子部品と実装基板との間に十分なクリアランスを確保し、信頼性を向上させることができる電子部品の実装構造及び実装方法を提供することを目的としている。
前記の課題を解決するために、請求項1の発明は、裏面に複数のバンプが配置された電子部品が、実装基板に、前記バンプを介して、接続された電子部品の実装構造であって、前記実装基板の表面には、前記電子部品が接続される配線層と、絶縁層とが形成され、前記配線層における前記バンプの接続箇所の上には、前記絶縁層は形成されず、所定の厚さのメッキ層が形成され、前記メッキ層には対応する前記バンプが接合し、前記メッキ層の所定の厚さは、前記電子部品と前記実装基板との間の所定のクリアランスを確保するために十分な厚さとされていることを特徴としている。
請求項2の発明は、請求項1に記載の電子部品の実装構造であって、前記絶縁層は、ソルダーレジスト層からなることを特徴としている。
請求項3の発明は、請求項1又は2に記載の電子部品の実装構造であって、前記メッキ層は、その上面が、前記絶縁層の上面の位置以上の高さとなるように形成されていることを特徴としている。
請求項4の発明は、裏面に複数のバンプが配置された電子部品を、実装基板に、前記バンプを介して、接続するための電子部品の実装方法であって、前記実装基板の表面に、前記電子部品が接続される配線層を形成し、前記配線層における前記バンプの接続箇所と重なる領域が生じないように絶縁層を形成し、前記配線層における前記バンプの接続箇所の上に、所定の厚さのメッキ層を形成し、前記メッキ層に対応する前記バンプを接合し、前記メッキ層を、前記所定の厚さが、前記電子部品と前記実装基板との間の所定のクリアランスを確保するために十分な厚さとなるように形成することを特徴としている。
本発明によれば、電子部品が接続される配線層上には、所定の厚さのメッキ層が形成され、メッキ層には対応するバンプが接合し、メッキ層の厚さは、クリアランスを確保するために十分な厚さとされるので、コストを抑えつつ、電子部品と実装基板との間に十分なクリアランスを確保し、信頼性を向上させることができる。
この発明の一実施の形態である電子部品の実装構造を示す断面図である。 同電子部品の実装方法を説明するための断面図である。 同電子部品の実装方法を説明するための断面図である。 同電子部品の実装方法を説明するための断面図である。 第1の従来技術を説明するための断面図である。 同従来技術を説明するための部分拡大断面図である。 第2の従来技術を説明するための断面図である。 第3の従来技術を説明するための断面図である。
次に、この発明の実施の形態について、図面を用いて詳しく説明する。
図1は、この発明の一実施の形態である電子部品の実装構造を示す断面図、図2乃至図4は、同電子部品の実装方法を説明するための断面図である。図1に示すように、この実施の形態の電子部品の実装構造は、電子部品1が、実装基板2に、多数の接続用のバンプ3,3,…を介して、所定のクリアランスLが確保された状態で実装されて概略構成されている。
電子部品1は、例えば、ICやSAWフィルタ等を含むフリップチップ実装デバイスから構成される。また、電子部品1の裏面に形成されるバンプ3としては、例えば、金バンプが用いられる。また、実装基板2は、プリント配線板等から構成される。プリント配線板としては、例えば、ガラス基材銅張積層板(例えば、NEMA(National Electrical Manufactures Association)等級FR−4。)等が用いられる。
この実施の形態の実装基板2には、その表面の配線層4a,4b,…を含む複数層の配線層が形成されている。配線層4a,4b,…のうち、コーティングする必要がある配線層4aは、ソルダーレジスト層5によって覆われ、電子部品1が接続されるランドとしての配線層4bは、ソルダーレジスト層5によって覆われず、配線層4bの形成箇所においては、開口5aが設けられている。
また、配線層4b上には、嵩上げ用のメッキ層6が形成され、メッキ層6には対応するバンプ3が接合している。ここで、メッキ層6の厚さは、クリアランスLを確保するために十分な厚さとされる。メッキ層6は、例えば、その上面が、ソルダーレジスト層5の上面に略等しい位置か、又はこの位置を越える高さとなるように形成される。メッキ層6は、例えば、ニッケルメッキと金メッキとによって形成される。これにより、この実施の形態では、例えば、クリアランスLは、略60μmとされる。
次に、電子部品の実装基板への実装方法について述べる。図2に示すように、基板本体2aには、その表面の配線層4a,4b,…を含む複数層の配線層が形成される。次に、図3に示すように、配線層4aを、ソルダーレジスト層5で覆う。ここで、電子部品1が接続されるランドとしての配線層4bは、ソルダーレジスト層5によって覆わず、配線層4bの形成箇所においては、開口5aを設ける。
次に、図4に示すように、配線層4b上に、嵩上げ用のメッキ層6を形成する。この実施の形態では、通常の表面処理工程で行われるメッキ処理において、メッキ層の厚さを十分に厚くする。すなわち、メッキ層6は、例えば、その上面が、ソルダーレジスト層5の上面に略等しい位置か、又はこの位置を越える高さとなるように形成される。メッキ層6は、例えば、ニッケルメッキと金メッキとによって形成される。こうして、ソルダーレジスト層形成後に、表面処理工程が実施され、開口5a箇所の配線層4bにのみにメッキ層6が形成される。
次に、裏面の所定の箇所にバンプ3,3,…が形成された電子部品1を、実装基板2に載置し、バンプ3を対応するメッキ層6に圧接接合させる。なお、バンプ3としての金バンプは、電解メッキ法や、転写バンプ法、ボールボンディング方式等で形成される。金バンプは、所定の圧力(例えば、5kgf〜30kgf)と温度(例えば、100℃〜300℃)とを加えることによって行われ、これにより、図1に示すような電子部品の実装構造が得られる。
こうして、この実施の形態の構成によれば、電子部品1が接続されるランドとしての配線層4b上には、嵩上げ用のメッキ層6が形成され、メッキ層6には対応するバンプ3が接合し、メッキ層6の厚さは、クリアランスLを確保するために十分な厚さとされるので、電子部品1と実装基板2との間のクリアランスを十分に確保し、信頼性を向上させることができる。
また、クリアランス確保のためのメッキ層6の形成は、通常の表面処理工程で行われるメッキ処理において、厚さを設定するために条件を変更するのみで対応でき、新たな工程の追加も、設備の追加も不要であるので、コストを抑えることができ、特に少量生産時に適用して好適である。ここで、ソルダーレジスト層5の形成後に、表面処理工程が実施され、ソルダーレジスト層5の非被覆箇所としての開口5aに形成されている配線層4bにのみに選択的にメッキ層6が形成される。
以上、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施の形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、バンプとして、金バンプを用いる場合に適用して好適であるが、金バンプのほかに半田バンプ等を用いる場合にも適用できる。また、フリップチップ実装デバイス等の電子部品の裏面(実装基板側)に、チップ部品やSAWデバイス等の構成部品が搭載されている場合にも適用できる。また、プリント配線板としては、ガラス基材銅張積層板のほか、紙基材銅張積層板や、コンポジット銅張積層板等を用いても良い。
プリント配線板として、ビルドアップ基板を含む場合に適用できる。
1 電子部品
2 実装基板
3 バンプ
4a,4b 配線層
5 ソルダーレジスト層(絶縁層)
5a 開口
6 メッキ層
L クリアランス

Claims (4)

  1. 裏面に複数のバンプが配置された電子部品が、実装基板に、前記バンプを介して、接続された電子部品の実装構造であって、
    前記実装基板の表面には、前記電子部品が接続される配線層と、絶縁層とが形成され、前記配線層における前記バンプの接続箇所の上には、前記絶縁層は形成されず、所定の厚さのメッキ層が形成され、前記メッキ層には対応する前記バンプが接合し、前記メッキ層の所定の厚さは、前記電子部品と前記実装基板との間の所定のクリアランスを確保するために十分な厚さとされていることを特徴とする電子部品の実装構造。
  2. 前記絶縁層は、ソルダーレジスト層からなることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装構造。
  3. 前記メッキ層は、その上面が、前記絶縁層の上面の位置以上の高さとなるように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品の実装構造。
  4. 裏面に複数のバンプが配置された電子部品を、実装基板に、前記バンプを介して、接続するための電子部品の実装方法であって、
    前記実装基板の表面に、前記電子部品が接続される配線層を形成し、前記配線層における前記バンプの接続箇所と重なる領域が生じないように絶縁層を形成し、前記配線層における前記バンプの接続箇所の上に、所定の厚さのメッキ層を形成し、前記メッキ層に対応する前記バンプを接合し、前記メッキ層を、前記所定の厚さが、前記電子部品と前記実装基板との間の所定のクリアランスを確保するために十分な厚さとなるように形成することを特徴とする電子部品の実装方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013004756A (ja) * 2011-06-17 2013-01-07 Citizen Electronics Co Ltd 素子実装用基板
JP2017028228A (ja) * 2015-07-28 2017-02-02 ローム株式会社 マルチチップモジュールおよびその製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008141109A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Kyocer Slc Technologies Corp 配線基板およびその製造方法
JP2009177118A (ja) * 2008-01-22 2009-08-06 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd ポストバンプ及びその形成方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008141109A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Kyocer Slc Technologies Corp 配線基板およびその製造方法
JP2009177118A (ja) * 2008-01-22 2009-08-06 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd ポストバンプ及びその形成方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013004756A (ja) * 2011-06-17 2013-01-07 Citizen Electronics Co Ltd 素子実装用基板
JP2017028228A (ja) * 2015-07-28 2017-02-02 ローム株式会社 マルチチップモジュールおよびその製造方法
US10804190B2 (en) 2015-07-28 2020-10-13 Rohm Co., Ltd. Multi-chip module and method for manufacturing same

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