JP2012174791A - 配線基板およびその製造方法ならびに半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インターポーザ30は、ベースとなる樹脂製の基板32と、基板32上に形成された配線パターン50と、配線パターン50の一部を被覆する絶縁層40とを有している。配線パターン50上の所定位置には、銅を主成分とした金属から構成され、半導体チップと接続されるポスト60が立設され、ポスト60が基板32を貫通した状態で配線パターン50上に立設されている。
【選択図】図3
Description
たとえば、このような半導体装置の一形態として、複数枚の半導体チップをそれぞれ1つの基板にワイヤーボンディングで接続して積層させ、パッケージ化することがおこなわれている(特許文献1参照)。
ベースとなる樹脂製の基板と、
前記基板上に形成された配線パターンと、
前記配線パターンの一部を被覆する絶縁層とを有し、
前記配線パターン上の所定位置には、銅を主成分とした金属から構成され、半導体チップと接続されるポストが立設され、
前記ポストが前記基板を貫通した状態で前記配線パターン上に立設されていることを特徴とする配線基板が提供される。
ベースとなる樹脂製の基板と、
前記基板上に形成された配線パターンと、
前記配線パターンの一部を被覆する絶縁層とを有し、
前記配線パターン上の所定位置には、銅を主成分とした金属から構成され、半導体チップと接続されるポストが立設され、
前記ポストが前記絶縁層を貫通した状態で前記配線パターン上に立設されていることを特徴とする配線基板が提供される。
樹脂製の基板の所定位置に第1の貫通孔を形成する工程と、
前記基板に第1の金属下地層を形成する工程と、
前記基板の一面側の前記第1の金属下地層を所定パターンの第1の樹脂層で被覆する工程と、
前記第1の樹脂層から露出している前記第1の金属下地層に銅を主成分とする第1の金属層を形成するとともに、前記第1の貫通孔に銅を主成分とする第2の金属層を充填する工程と、
前記基板の前記第1の樹脂層が形成された面の反対面に形成された前記第1の金属下地層および前記第1の金属層を除去し、前記第2の金属層から構成されるポストを形成する工程と、
前記第1の樹脂層を除去する工程と、
前記第1の樹脂層で被覆されていた部分の前記第1の金属下地層を除去し、前記第1の金属層から構成される配線パターンの一部を形成する工程と、
前記配線パターンの一部を被覆する第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第1の絶縁層の所定位置に前記配線パターンの一部が露出するまで第2の貫通孔を形成する工程と、
前記第1の絶縁層に第2の金属下地層を形成する工程と、
前記第2の金属下地層を所定パターンの第2の樹脂層で被覆する工程と、
前記第2の樹脂層から露出している前記第2の金属下地層に銅を主成分とする第3の金属層を形成する工程と、
前記第2の樹脂層を除去する工程と、
前記第2の樹脂層で被覆されていた部分の前記第2の金属下地層を除去し、前記第3の金属層から構成される配線パターンの残り部分を形成する工程と、
前記配線パターンの残り部分を第2の絶縁層で被覆する工程と、
を有することを特徴とする配線基板の製造方法が提供される。
樹脂製の基板の所定位置に第1の貫通孔を形成する工程と、
前記基板に第1の金属下地層を形成する工程と、
前記第1の金属下地層に銅を主成分とする所定パターンの第1の金属層を形成する工程と、
前記第1の金属層から露出した前記第1の金属下地層を除去し、前記第1の金属層から構成される配線パターンを形成する工程と、
前記基板の両面に絶縁層をそれぞれ形成し、前記配線パターンを第1の絶縁層と第2の絶縁層とで被覆する工程と、
前記第1の絶縁層の所定位置に前記配線パターンが露出するまで第2の貫通孔を形成する工程と、
前記第1の絶縁層と前記第2の貫通孔とに第2の金属下地層を形成する工程と、
前記第2の金属下地層に銅を主成分とする第2の金属層を形成するとともに、前記第2の貫通孔に銅を主成分とする第3の金属層を充填する工程と、
前記第1の絶縁層上の前記第2の金属下地層および第2の金属層を除去し、前記第3の金属層から構成されるポストを形成する工程と、
を有することを特徴とする配線基板の製造方法が提供される。
貫通電極を有する複数枚の半導体チップを、請求項1〜7のいずれか1項に記載の配線基板上に積層した半導体装置において、
前記半導体チップには前記配線基板と接続される電極が形成され、
前記配線基板のポストの高さと前記半導体チップの電極の高さとの合計が35μm以上であることを特徴とする半導体装置が提供される。
複数枚の半導体チップを、1枚ごとに、請求項1〜7のいずれか1項に記載の配線基板に実装した半導体装置において、
前記半導体チップには前記配線基板と接続される電極が形成され、
前記配線基板のポストの高さと前記半導体チップの電極の高さとの合計が35μm以上であることを特徴とする半導体装置が提供される。
半導体装置(100)は、いわゆるTSV(Through Silicon Via)構造を有する半導体パッケージであり、図1に示すとおり、主に半導体チップ積層体10、コントローラ20およびインターポーザ30から構成されている。
パッケージサイズ(インターポーザ30)は、11mm×15mmである。
チップサイズ(半導体チップ12)は、7mm×8mmである。
貫通電極16の直径aは、20μmである。
貫通電極16間のピッチbは、35μmである。
貫通電極26の直径cは、20μmである。
貫通電極26間のピッチdは、70μmである。
ポスト60の直径eは、ほぼ20μmである。
半田バンプ62間のピッチfは、70μmである。
外部接続電極(半田ボール)間のピッチgは、800μmである。
半田バンプ62の高さhは、5μmである。
ポスト60の高さiは、35μmである。
基板32の厚みjは、25μmである。
配線パターン50の連結配線部54の高さkは、38μmである。
インターポーザ30は、所定のロールに巻かれた長尺の基板32が別のロールに巻き取られるように搬送され、その搬送過程で配線パターン30などが形成されるロールツーロール方式により、製造される。
以上のS1〜S17の処理を経てインターポーザ30を製造することができる。
第2の実施形態は、インターポーザの構成において第1の実施形態と異なるものであり、それ他の構成については、第1の実施形態と同様である。
はじめに、図8に示すとおり、レーザを用いて基板32の所定位置に貫通孔210を形成し、そのスミア(削りかす)を除去する(S21)。その後、基板32に金属をスパッタリングして金属下地層212を形成する(S22)。
以上のS21〜S33の処理を経てインターポーザ200を製造することができる。
第3の実施形態は、主に下記の点で第1の実施形態と異なっており、それ他の構成は第1の実施形態と同様の構成を有している。
はじめに、図14に示すとおり、基板32を準備し(S41)、基板32の側縁部に対して搬送用ローラに係止するための孔420をパンチングにより所定間隔で開ける(S42)。
以上のS41〜S53の処理を経てインターポーザ400を製造することができる。
図2と同様の構成を有する半導体装置(TSV構造)と、図12と同様の構成を有する半導体装置(DPP構造)とを製造して、これらをサンプルとした。
(2.1)リフロークラック試験
各サンプルをリフロー処理し、リフロー処理後のクラックの有無を観察した。
観察結果を表1および表2に示す。
表1および表2中、○、△、×の基準は、下記のとおりである。
「○」…5mm角,10mm角ともにクラックがない
「△」…5mm角ではクラックはないが、10mm角では1個以上のパッケージでクラックが発生している
「×」…5mm角,10mm角ともに1個以上のパッケージでクラックが発生している
各サンプルにおいて、初期状態と一定環境(110℃,85%RH,1.95V,500時間)に放置した後とで、抵抗値を測定した。抵抗値の増加が10%以内であれば「○」と、10%を上回った場合は「×」と評価した。
評価結果を表1および表2に示す。
表1および表2に示すとおり、サンプル1〜16とサンプル17〜22とを比較すると、インターポーザ側にポストを形成したサンプル1〜16では、長期信頼性試験において良好な結果が得られており、長期信頼性の向上のためには、インターポーザにポストを形成するのが有用であることがわかる。
12…半導体チップ
14…貫通孔
16…貫通電極
20…コントローラ
22…半導体チップ
24…貫通孔
26…貫通電極
28…アンダーフィル
30…インターポーザ
32…基板
34…絶縁層
36…接着剤層
38…補強フィルム
40…絶縁層
42…開口部
50…配線パターン
52…下部配線部
54…連結配線部
56…上部配線部
60…ポスト
62…半田バンプ
64…頂部
66…基部
70…ドライフィルム
72…貫通孔
74…金属下地層
76…ドライフィルム
78,79…金属層
80,82…ドライフィルム
84…貫通孔
86…金属下地層
88,90…ドライフィルム
92…金属層
100…半導体装置
200…インターポーザ
210…貫通孔
212…金属下地層
214,216…金属層
218…ドライフィルム
220…貫通孔
222,224…金属下地層
226…ドライフィルム
228,230…金属層
232…ドライフィルム
240…インターポーザ
242…絶縁層
250…インターポーザ
300…半導体装置
310…半導体チップ
312…電極
320…プリント基板
322…ボンディングパッド
324…電極パッド
326…半田ボール
330,340…接着剤層
350…ボンディングワイヤ
360…封止樹脂
400…インターポーザ
410…絶縁層
412…金属層
420…孔
422…貫通孔
424…金属下地層
426,428…ドライフィルム
430,432…金属層
434…ドライフィルム
Claims (12)
- ベースとなる樹脂製の基板と、
前記基板上に形成された配線パターンと、
前記配線パターンの一部を被覆する絶縁層とを有し、
前記配線パターン上の所定位置には、銅を主成分とした金属から構成され、半導体チップと接続されるポストが立設され、
前記ポストが、前記基板を貫通した状態で前記配線パターン上に立設されていることを特徴とする配線基板。 - ベースとなる樹脂製の基板と、
前記基板上に形成された配線パターンと、
前記配線パターンの一部を被覆する絶縁層とを有し、
前記配線パターン上の所定位置には、銅を主成分とした金属から構成され、半導体チップと接続されるポストが立設され、
前記ポストが、前記絶縁層を貫通した状態で前記配線パターン上に立設されていることを特徴とする配線基板。 - 前記ポストは、高さが35μm以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板。
- 前記ポストは、半導体チップと接続される頂部から前記配線パターンと接続された基部に向けて先細の逆テーパ状を呈していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の配線基板。
- 前記基板が、前記ポストの側面を被覆する保護層として機能していることを特徴とする請求項1、3または4のいずれか1項に記載の配線基板。
- 前記絶縁層が、前記ポストの側面を被覆する保護層として機能していることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の配線基板。
- 前記ポストの頂部には、半田バンプが設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の配線基板。
- 樹脂製の基板の所定位置に第1の貫通孔を形成する工程と、
前記基板に第1の金属下地層を形成する工程と、
前記基板の一面側の前記第1の金属下地層を、所定パターンの第1の樹脂層で被覆する工程と、
前記第1の樹脂層から露出している前記第1の金属下地層に銅を主成分とする第1の金属層を形成するとともに、前記第1の貫通孔に銅を主成分とする第2の金属層を充填する工程と、
前記基板の前記第1の樹脂層が形成された面の反対面に形成された前記第1の金属下地層および前記第1の金属層を除去し、前記第2の金属層から構成されるポストを形成する工程と、
前記第1の樹脂層を除去する工程と、
前記第1の樹脂層で被覆されていた部分の前記第1の金属下地層を除去し、前記第1の金属層から構成される配線パターンの一部を形成する工程と、
前記配線パターンの一部を被覆する第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第1の絶縁層の所定位置に前記配線パターンの一部が露出するまで第2の貫通孔を形成する工程と、
前記第1の絶縁層に第2の金属下地層を形成する工程と、
前記第2の金属下地層を所定パターンの第2の樹脂層で被覆する工程と、
前記第2の樹脂層から露出している前記第2の金属下地層に銅を主成分とする第3の金属層を形成する工程と、
前記第2の樹脂層を除去する工程と、
前記第2の樹脂層で被覆されていた部分の前記第2の金属下地層を除去し、前記第3の金属層から構成される配線パターンの残り部分を形成する工程と、
前記配線パターンの残り部分を第2の絶縁層で被覆する工程と、
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 樹脂製の基板の所定位置に第1の貫通孔を形成する工程と、
前記基板に第1の金属下地層を形成する工程と、
前記第1の金属下地層に銅を主成分とする所定パターンの第1の金属層を形成する工程と、
前記第1の金属層から露出した前記第1の金属下地層を除去し、前記第1の金属層から構成される配線パターンを形成する工程と、
前記基板の両面に絶縁層をそれぞれ形成し、前記配線パターンを第1の絶縁層と第2の絶縁層とで被覆する工程と、
前記第1の絶縁層の所定位置に前記配線パターンが露出するまで第2の貫通孔を形成する工程と、
前記第1の絶縁層と前記第2の貫通孔とに第2の金属下地層を形成する工程と、
前記第2の金属下地層に銅を主成分とする第2の金属層を形成するとともに、前記第2の貫通孔に銅を主成分とする第3の金属層を充填する工程と、
前記第1の絶縁層上の前記第2の金属下地層および第2の金属層を除去し、前記第3の金属層から構成されるポストを形成する工程と、
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記第3の金属層から構成されるポストを形成する工程の後に、前記第1の絶縁層を剥離する工程を有することを特徴とする請求項9に記載の配線基板の製造方法。
- 貫通電極を有する複数枚の半導体チップを、請求項1〜7のいずれか1項に記載の配線基板上に積層した半導体装置において、
前記半導体チップには前記配線基板と接続される電極が形成され、
前記配線基板のポストの高さと前記半導体チップの電極の高さとの合計が35μm以上であることを特徴とする半導体装置。 - 複数枚の半導体チップを、1枚ごとに、請求項1〜7のいずれか1項に記載の配線基板に実装した半導体装置において、
前記半導体チップには前記配線基板と接続される電極が形成され、
前記配線基板のポストの高さと前記半導体チップの電極の高さとの合計が35μm以上であることを特徴とする半導体装置。
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