JP2011089865A - ヘテロダイン干渉計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ヘテロダイン干渉計測装置は、光照射部から照射された光が物体で回折又は反射することで発生した互いに周波数が異なる複数の光を光電変換する複数の受光素子を含み、該受光素子から出力された信号を用いて、物体に関する物理量を示す情報を生成するための2つの周期信号を生成する。信号生成部は、2つの受光素子から出力された第1および第2の信号に対してそれぞれ位相が90°ずれた第3および第4の信号を生成し、第1および第2の信号を乗算して得た信号と第3および第4の信号を乗算して得た信号とを加算して第1の周期信号を生成し、第1および第3の信号を乗算して得た信号と第2および第4の信号を乗算して得た信号とを減算して第2の周期信号を生成する。
【選択図】図1
Description
ヘテロダイン干渉計測装置の代表例として、変調周波数信号(ヘテロダイン信号)と基準周波数信号の差分をカウンタで計数する方式のマイケルソン干渉測長装置がある。この装置では、レーザ光源からの光束を、音響光学素子を用いて、周波数と偏光方位とが互いに異なる2つの光束(以下、2周波光束という)に変換し、これら2周波光束を同軸に合成する。なお、基準周波数信号は音響光学素子への印加信号がそのまま基準周波数信号になる。
また、2周波光束は、偏光ビームスプリッタにて、互いに周波数が異なるP偏光とS偏光に分離される。P偏光は、移動物体に設けられた移動コーナーキューブミラーにて反射されて偏光ビームスプリッタに戻され、S偏光は、固定された基準コーナーキューブミラーにて反射されて偏光ビームスプリッタに戻される。そして、これらのP偏光とS偏光は偏光ビームスプリッタにより再合成されて、偏光透過軸方位が45°の偏光板(混合偏波器)を通過することで互いに干渉し、受光素子にて光電変換される。これにより、変調周波数信号が得られる。
変調周波数信号の周波数は、移動コーナーキューブミラーの移動速度が零であれば、基準周波数信号の周波数(基準周波数)と同じになる。移動物体が偏光ビームスプリッタから遠ざかる方向に移動すると、変調周波数信号の周波数が下がり、移動物体が偏光ビームスプリッタに近づく方向に移動すると、該周波数が上がる。
変調周波数信号から移動物体の移動情報を得るために、特許文献1では、基準周波数信号と変調周波数信号との差分を位相メータ/アキュムレータで計数して、移動情報として出力する方式が開示されている。
分解能を向上させるために、変調周期信号および基準周波数信号をそれぞれN倍に逓倍し、その差分を移動情報として出力する方法も考案されている。しかし、カウンタ(位相メータ/アキュムレータ)で計数する周波数がN倍になるため、扱う周波数が高くなりすぎ、カウンタおよび信号処理部の回路設計が困難となったり、複雑な信号処理アルゴリズムが必要となったり、回路からの発熱量が増加したりするおそれがある。
さらに、数MHz程度の信号を直接ADコンバータでデジタル信号に変換し、FPGAやCPUにより構成される信号処理ユニットで位相演算することで位置情報や速度情報を得る方法も知られている。しかし、一般的に、数10MHz程度以上のヘテロダイン信号の処理は困難である。
本発明は、回路設計が容易であり、複雑な信号処理アルゴリズムを必要とすることなく、高い分解能が得られるヘテロダイン干渉計測装置を提供する。
本発明の他の一側面としてのヘテロダイン干渉計測装置は、物体に光を照射する光照射部と、該光が物体で回折又は反射することで発生した光および基準周波数を有する光を光電変換する複数の受光素子を含み、該受光素子から出力された信号を用いて、互いに位相差を有し、物体に関する物理量を示す情報を生成するために用いられる第1の周期信号および第2の周期信号を生成する信号生成部とを有する。信号生成部は、複数の受光素子のうち第1の受光素子および第2の受光素子からそれぞれ出力された第1の信号および第2の信号に対してそれぞれ位相が90°ずれた第3の信号および第4の信号を生成する。そして、第1の信号および第2の信号を乗算して得た信号と第3の信号および第4の信号を乗算して得た信号とを加算又は減算することで第1の周期信号を生成し、第1の信号および第3の信号を乗算して得た信号と第2の信号および第4の信号を乗算して得た信号とを減算又は加算することで第2の周期信号を生成することを特徴とする。
レーザ光源LSから射出した0°方位の直線偏光の平行光束(周波数ν0)は、ビームスプリッタNBS00にて2分割される。ビームスプリッタNBS00での反射光束は、光音響光学素子AOM1にて、周波数がν1=ν0+320MHzの光束に変換され、ビームスプリッタNBS00での透過光束は、光音響光学素子AOM2にて、周波数ν2=ν0+300MHzの光束に変換される。ν0はレーザ光源LSの周波数(元の周波数)であり、例えば850nmのレーザ光源であれば、ν0=299792458/850×10−9 =352.6THzになる。
これらの2つの光束のうち一方の光束は、1/2波長板HWPにて偏光面が90°回転される。そして、該2つの光束は、互いに偏光面が直交した状態で偏光ビームスプリッタPBS00にて同軸に合成され、レンズLNS1を介して偏波面保持ファイバPMFに入射する。レーザ光源LS、ビームスプリッタNBS00、光音響光学素子AOM1,AOM2、1/2波長板HWPおよび偏光ビームスプリッタPBS00により2周波光源が構成される。
偏波面保持ファイバPMFに入射した同軸の2光束のうち、光束ν1はP偏光光束として、その偏光方向が偏波面保持ファイバPMFのf(fast)軸に合った状態で該偏波面保持ファイバPMFにより伝送される。また、光束ν2はS偏光光束として、その偏光方向が偏波面保持ファイバPMFのs(slow)軸に合った状態で該偏波面保持ファイバPMFにより伝送される。偏波面保持ファイバPMFを伝送した2光束は、検出ヘッド(光照射部)HDに設けられたレンズLNS2にて平行光束にされ、不図示の移動物体に固定されたスケールSCL上の回折格子GTに照射される。
2光束が回折格子GTに照射されて回折することで発生した2つの+1次回折光は、それら周波数がν1+Δνとν2+Δνとなって、レンズと反射ミラーとを組み合わせて構成されたキャッツアイCYE1にて反射されて元の方位の光路に戻される。そして、再度、回折格子GTにて+1次回折し、さらに周波数がν1+2Δνとν2+2Δνとなるように変調されて、偏波面保持ファイバPMFに入射する。周波数ν1+2Δνの光束はP偏光であり、該光束はその偏光方向が上記f軸に合うように偏波面保持ファイバPMFに入射する。また、周波数ν2+2Δνの光束はS偏光として、その偏光方向が上記s軸に合うように該偏波面保持ファイバPMFに入射する。
一方、2光束が回折格子GTに照射されて回折することで発生した2つの−1次回折光は、それらの周波数がν1−Δνとν2−Δνとなり、1/4波長板QWPを透過した後、キャッツアイCYE2にて反射されて元の方位の光路へ戻される。そして、再度、1/4波長板QWPを透過して、再度、回折格子GTにて−1次回折し、さらに周波数がν1−2Δνとν2−2Δνとなるように変調されて、偏波面保持ファイバPMFに入射する。周波数ν1−2Δνの光束はS偏光として、その偏光方向が上記f軸に合うように偏波面保持ファイバPMFに入射する。また、周波数ν2−2Δνの光束はP偏光として、その偏光方向が上記s軸に合うように該偏波面保持ファイバPMFに入射する。
これら4つの光束のうち周波数がν1+2Δνとν2−2Δνである2つのP偏光光束は互いに干渉して第1のヘテロダイン干渉周波数ν1−ν2+4Δνを有する1つの光束(第1の光)となる。そして、該光束は、偏光方向がs軸に合った状態で偏波面保持ファイバPMFにより伝送される。また、周波数がν2+2Δνとν1−2Δνである2つのS偏光光束は互いに干渉して第2のヘテロダイン干渉周波数ν1−ν2−4Δνを持つ1つの光束(第2の光)となる。そして、該光束は、偏光方向がf軸に合った状態で偏波面保持ファイバPMFにより伝送される。これら2つ(複数)の周波数が互いに異なる光束は、偏波面保持ファイバPMF内では独立に伝送されて、偏波面保持ファイバPMFの光源側の端面から射出し、非偏光ビームスプリッタNBS01にて反射されて、以下の信号生成部に入射する。
信号生成部に入射した2つの周波数が互いに異なる光束は、偏光ビームスプリッタPBS01にて偏光成分ごとに分割される。偏光ビームスプリッタPBS01を透過した光束は、周波数ν1−ν2+4Δνを持つ干渉光束であり、複数(2つ)の受光素子のうち一方の受光素子(第1の受光素子)PD1にて光電変換(検出)される。該干渉光束の周波数、すなわち受光素子PD1から出力される信号の周波数は、スケールSCLが図中の矢印方向に移動したときに上がる。
偏光ビームスプリッタPBS01で反射する光束は、周波数ν1−ν2−4Δνを持つ干渉光束であり、複数の受光素子のうち他方の受光素子(第2の受光素子)PD2にて光電変換(検出)される。該干渉光束の周波数、すなわち受光素子PD2から出力される信号の周波数は、スケールSCLが図中の矢印方向に移動したときに下がる。
受光素子PD1からの出力信号(第1のヘテロダイン信号)および受光素子PD2からの出力信号(第2のヘテロダイン信号)をそれぞれオートゲインコントロール回路AGCを経由させて、それら信号の正弦波信号振幅を規格化する。これにより得られるヘテロダイン信号V1(t)、V2(t)はそれぞれ以下のように記述することができる。
V1(t)=sin{(ωc+ωs)・t}
V2(t)=sin{(ωc−ωs)・t}
但し、ωcは、周波数ν1とν2の差に対応する角速度で、
ωc=2π・(ν1−ν2)
である。
また、「+ωs」は、+1次回折を2回行ったことに対応する角速度の変動量であり、「−ωs」は、−1次回折を2回行ったことに対応する角速度の変動量である。
ωs=2π・(4・Δν)
である。
また、変調周波数Δνは以下のように記述できる。
Δν=v/PT
但し、vはスケールSCLの移動速度であり、PTは回折格子GTのピッチである。
これらの関係式は、2つのヘテロダイン信号V1(t),V2(t)を位置情報や速度情報に換算する際に使用されるので、以下の説明では、数式を簡単にするために、角速度ωc,ωsを用いて説明する。
V3(t)=sin{(ωc+ωs)・t+π/2}
が生成される。
V4(t)=sin{(ωc−ωs)・t+π/2}
が生成される。
第1の周期信号VAは、乗算器MIXER1,MIXER2および加算器ADDにより、
VA={V1(t)×V2(t)}+{V3(t)×V4(t)}
=cos(2・ωs・t)
として生成される。
第2の周期信号VBは、乗算器MIXER3,MIXER4および減算器DEFにより、
VB={V2(t)×V3(t)}−{V4(t)×V1(t)}
=sin(2・ωs・t)
として生成される。
すなわち、第1のヘテロダイン信号および第3のヘテロダイン信号を乗算して得た信号と第2のヘテロダイン信号および第4のヘテロダイン信号を乗算して得た信号とを減算(加算でもよい)することで第2の周期信号VBが生成される。
なお、2つの+90°移相器による移相に誤差があると2つの周期信号VA,VBにヘテロダイン信号の周波数の2倍の周波数成分が微量残るため、本実施例では、高精度計測を確実に行うために該周期信号VA,VBをフィルターFTRを通過させている。
このようにして、互いに位相差90°を有する2つの正弦波信号である第1および第2の周期信号VA,VBが得られる。これらの周期信号VA,VBは、以下のように展開できる。
=cos{8・2π・v/PT・t}
=cos{8・2π・x/PT}
VB=sin(2・2π・(4・Δν)・t)
=sin{8・2π・v/PT・t}
=sin{8・2π・x/PT}
但し、xは変位量であり、x=v・tである。
これら2つの周期信号VA,VBは、従来の格子干渉エンコーダにより得られる2相信号と等価な信号である。但し、回折格子GTの1ピッチに相当する変位xに対して正弦波8周期分の信号となるため、分解能は2倍高い。
周期信号VA,VBは、クロック回路CLKからのクロック信号によるタイミング制御がなされながら第1および第2のアナログ−デジタル変換器A/Dによってそれぞれデジタル信号に変換され、演算処理ユニットFPGAに入力される。演算処理ユニットFPGAは、該2つのデジタル信号を用いて、移動物体の位置を示す高精度な位置情報PSを生成して出力する。
本実施例によれば、2つのヘテロダイン信号(第1および第2の信号)から、移相器、乗算器、加算器および減算器を用いて、従来の格子干渉エンコーダからの信号と等価であるがより高い変位分解能を持った2相信号(第1および第2の周期信号)を生成できる。言い替えれば、簡単な回路構成で、複雑な信号処理アルゴリズムを用いなくても、高い分解能を有する2相信号が得られる。このため、物体に関する物理量である位置情報や速度情報を高精度に得ることができる。
実施例1と同様に構成されたレーザ光源LSおよび光音響光学素子AOM1,AOM2等を含む2周波光源から射出した光束の一部が、非偏光ビームスプリッタNBS01にて反射されて取り出される。取り出された光束(第2の光)は、信号生成部に入射し、45°方位の偏光板POL0を介して受光素子(第2の受光素子)PD0にて光電変換(検出)される。この光束および受光素子PD0からの出力信号(基準周波数信号)は、2周波光源の周波数差(ν1−ν2)と同じ基準周波数を有する。
一方、非偏光ビームスプリッタNBS01を透過した光束は、偏波面保持ファイバPMFを介して検出ヘッド(光照射部)HD内のファラデー素子FRに入射し、その偏光方向が45°回転される。ファラデー素子FRから射出した光束は、偏光ビームスプリッタPBSにて周波数ν1の光束と周波数ν2の光束とに分離される。
周波数ν1の光束が検出ヘッドHDに対して移動する物体OBJの表面にて反射されることで、周波数がν1+Δνの光束が発生する。また、周波数ν2の光束は、検出ヘッドHDに設けられた基準反射面(固定面)にて反射される。そして、周波数ν1+Δνの光束と基準反射面での反射光束(周波数ν2)とが偏光ビームスプリッタPBSにて再合成され、ファラデー素子FRに再入射して、偏光方向が更に45°回転される。ファラデー素子FRから射出した光束は、偏波面保持ファイバPMFを逆向きに伝送する。
偏波面保持ファイバPMFから射出した光束(第1の光)は、非偏光ビームスプリッタNBS01にて反射されて、信号生成部に入射する。該光束は、45°方位の偏光板POL1を介して受光素子(第1の受光素子)PD1にて光電変換(検出)される。偏波面保持ファイバPMFから射出した光束および受光素子PD1からの出力信号は、2周波光源の周波数差(ν1−ν2)に対してΔνだけずれた周波数を有する。
受光素子PD1からオートゲインコントロール回路AGC1に入力され、その振幅が規格化されたヘテロダイン信号(第1の信号)をV1(t)とする。また、受光素子PD0からオートゲインコントロール回路AGC2に入力され、その振幅が規格化された信号(第2の信号)をV2(t)とする。このとき、
V1(t)=sin{(ωc+ωs)・t}
V2(t)=sin(ωc・t)
である。
V3(t)=sin{(ωc+ωs)・t+π/2}
V4(t)=sin(ωc・t+π/2)
さらに、実施例1と同様に、乗算器MIXER1,MIXER2、加算器ADDおよび減算器DEFを用いた以下の演算により、第1および第2の周期信号VA,VBが生成される。
=cos(ωs・t)
VB={V2(t)×V3(t)}−{V4(t)×V1(t)}
=sin(ωs・t)
このようにして、互いに位相差90°を有する2つの正弦波信号としての第1および第2の周期信号VA,VBが得られる。第1および第2の周期信号VA,VBは、以下のように展開できる。
=cos{2π・2・v/λ・t}
=cos{2・2π・z/λ}
VB=sin(ωs・t)
=sin{2π・2・v/λ・t}
=sin{2・2π・z/λ}
但し、zは変位量であり、z=v・tである。
これら2つの周期信号VA,VBは、従来のマイケルソン干渉測長計により得られる2相信号と等価な信号である。但し、波長λに相当する変位zに対して正弦波2周期分の信号となるため、分解能は2倍高い。
周期信号VA,VBは、実施例1と同様に、フィルターFTRを介して第1および第2のアナログ−デジタル変換器A/Dに入力されてデジタル信号に変換され、演算処理ユニットFPGAに入力される。演算処理ユニットFPGAは、該2つのデジタル信号を用いて、移動する物体OBJの位置を示す高精度な位置情報PSを生成して出力する。
本実施例によれば、1つのヘテロダイン信号(第1の信号)と基準周波数信号(第2の信号)から移相器、乗算器、加算器および減算器を用いて、従来のマイケルソン干渉測長計からの信号と等価であるがより高い変位分解能を持った2相信号を生成できる。言い替えれば、簡単な回路構成で、複雑な信号処理アルゴリズムを用いなくても、高い分解能を有する2相信号が得られる。このため、物体OBJに関する物理量である位置情報や速度情報を高精度に得ることができる。
通常、アナログ回路を用いた90°移相器では、入力される信号の周波数が変化すると位相誤差が生じ、その結果、最終的に得られる正弦波信号にヘテロダイン周波数の2倍の周波数成分が混入しやすい。
そこで、本実施例では、元の位相0°の信号を移相器(shifter1,2)でθ≒90°だけ移相して移相信号を生成する。そして、位相0°信号と移相信号とを加算した信号と、位相0°信号と移相信号とを減算した信号とを生成する。これら加算後および減算後の信号は互いに正確に90°の位相差を有する。このため、この方法で合成した信号V1’,V2’,V3’,V4’を、実施例1,2における信号V1,V2,V3,V4として扱えば位相差が正確に保持され、正弦波波形が歪むことを回避することができる。
実施例1と同様に構成されたレーザ光源LSおよび光音響光学素子AOM1,AOM2等を含む2周波光源から射出した光束の一部が、非偏光ビームスプリッタNBS01にて反射されて取り出される。取り出された光束は、1/4波長板QWP0を透過して、非偏光ビームスプリッタNBS0にて透過光束と反射光束とに分割される。
これら透過光束(第2の光)および反射光束(第4の光)はそれぞれ、信号生成部に入射する。そして、45°方位の偏光板POL0Aおよび0°方位の偏光板POL0Bを透過して受光素子(第2の受光素子)PD0Aおよび受光素子(第4の光検出部)PD0Bにて光電変換(検出)される。透過光束および反射光束、つまりは受光素子PD0A,PD0Bから出力される2つの信号は2周波光源の周波数差(ν1−ν2)と同じ基準周波数を有し、互いに位相が90°ずれている。これら2つの信号を、オートゲインコントロール回路AGCにより規格化した信号をV2(t)(第2の信号)およびV4(t)(第4の信号)とする。
一方、非偏光ビームスプリッタNBS01を透過した光束は、偏光ビームスプリッタPBSにて周波数ν1の光束と周波数ν2の光束とに分離される。周波数ν1の光束は、移動する物体OBJの表面にて反射されて周波数ν1+Δνを有する光束に変換される。また、周波数ν2の光束は、基準反射面CCR0にて反射される。そして、周波数ν1+Δνの光束と基準反射面CCR0にて反射した光束とが偏光ビームスプリッタPBSにて再合成され、信号生成部に入射し、1/4波長板QWP1を透過して非偏光ビームスプリッタNBS1にて透過光束と反射光束とに分割される。
これら透過光束(第1の光)および反射光束(第3の光)はそれぞれ、45°方位の偏光板POL1Aおよび0°方位の偏光板POL1Bを透過して受光素子(第1の受光素子)PD1Aおよび受光素子(第3の受光素子)PD1Bにて光電変換(検出)される。透過光束および反射光束、つまりは受光素子PD1A(第1の光検出部)およびPD1B(第3の光検出部)から出力される2つの信号は周波数ν1−ν2+Δνを有し、互いに位相が90°ずれている。これら2つの信号を、オートゲインコントロール回路AGCにより規格化した信号をV1(t)(第1の信号)およびV3(t)(第3の信号)とする。
そして、実施例2と同様に、以下の演算により互いに位相差90°を有する正弦波信号としての第1および第2の周期信号VA,VBを生成する。
VA=V1(t)×V2(t)+V3(t)×V4(t)
=cos(ωs・t)
VB=V2(t)×V3(t)−V4(t)×V1(t)
=sin(ωs・t)
本実施例は、電子回路としての移相器を用いた実施例2に比べて、信号V1(t)とV3(t)との位相差および信号V2(t)とV4(t)の位相差を正確かつ安定的に設定することができる。位相差は、偏光板POL0A,POL0B,POL1A,POL1Bの空間配置の精度のみで決定され、物体の移動によるヘテロダイン信号の変動によって変化することが原理的にないため、移相器を用いた実施例2に比べて高精度な計測を行うことができる。
実施例1と同様に構成されたレーザ光源LSおよび光音響光学素子AOM1,AOM2等を含む2周波光源から射出した光束は、不図示の物体に固定されたスケールSCL上の回折格子GTに照射される。
回折格子GTでの回折により発生した+1次回折光は、周波数ν1+Δν,ν2+Δνの光束となって偏光ビームスプリッタPBSに入射する。周波数ν1+Δνの光束はP偏光光束であり、周波数ν2+Δνの光束はS偏光光束である。
一方、回折格子GTでの回折により発生した−1次回折光は、周波数ν1−Δν,ν2−Δνの光束となって、上記偏光ビームスプリッタPBSに入射する。スケールSCLと偏光ビームスプリッタPBSとの間に配置された1/2波長板HWP1の作用によって、周波数ν1−Δνの光束はP偏光光束として、周波数ν2−Δνの光束はS偏光光束でそれぞれ偏光ビームスプリッタPBSに入射する。
偏光ビームスプリッタPBSは、これら4つの光束を2つの光束に合成して、以下の信号生成部に入射させる。
第1の合成光束は、周波数ν1+Δν(P偏光)の光束と周波数ν2−Δν(S偏光)との合成光束である。第1の合成光束は、1/4波長板QWP1にて回転偏光光束に変換され、非偏光ビームスプリッタNBS1にて2つに分割される。該2つの分割光束(第1および第3の光)はそれぞれ、45°方位の偏光板POL1Aおよび0°方位の偏光板POL1Bを透過して受光素子(第1および第3の受光素子)PD1A,PD1Bにて光電変換(検出)される。
受光素子PD1A,PD1Bに入射した2つの分割光束および受光素子PD1A,PD1Bからの出力信号は、互いに90°の位相差を有する正弦波信号となる。そして、これら出力信号の周波数は、スケールSCLが図中の矢印方向に移動したときに上がる。これらの2つの出力信号をオートゲインコントロール回路AGCにより規格化した信号を、以下のように記述できるV1(t)(第1の信号)およびV3(t)(第3の信号)とする。
V1(t)=sin{(ωc+ωs)・t}
V3(t)=sin{(ωc+ωs)・t+π/2}
第2の合成光束は、周波数ν1−Δν(P偏光)の光束と周波数ν2+Δν(S偏光)との合成光束である。この第2の合成光束は、1/4波長板QWP2にて回転偏光光束に変換され、非偏光ビームスプリッタNBS2にて2つに分割される。該2つの分割光束(第2および第4の光)はそれぞれ、45°方位の偏光板POL2Aおよび0°方位の偏光板POL2Bを透過して受光素子(第2および第4の受光素子)PD2A,PD2Bにて光電変換(検出)される。
受光素子PD2A,PD2Bに入射した2つの分割光束および受光素子PD2A,PD2Bからの出力信号は、互いに90°の位相差を有する正弦波信号となる。そして、これら出力信号の周波数は、スケールSCLが図中の矢印方向に移動したときに下がる。これらの2つの出力信号をオートゲインコントロール回路AGCにより規格化した信号を、以下のように記述できるV2(t)(第2の信号)およびV3(t)(第4の信号)とする。
V2(t)=sin{(ωc−ωs)・t}
V4(t)=sin{(ωc−ωs)・t+π/2}
そして、実施例1と同様に、以下の演算により互いに位相差90°を有する正弦波信号としての第1および第2の周期信号VA,VBを生成する。
VA=V1(t)×V2(t)+V3(t)×V4(t)
=cos(2・ωs・t)
VB=V2(t)×V3(t)−V4(t)×V1(t)
=sin(2・ωs・t)
本実施例は、電子回路としての移相器を用いた実施例1に比べて、信号V1(t)とV3(t)との位相差および信号V2(t)とV4(t)の位相差を正確かつ安定的に設定することができる。位相差は、偏光板POL0A,POL0B,POL1A,POL1Bの空間配置の精度のみで決定され、物体の移動によるヘテロダイン信号の変動によって変化することが原理的にないため、移相器を用いた実施例1に比べて高精度な計測を行うことができる。
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記実施例では、ヘテロダイン干渉計測装置の例としてマイケルソン干渉測長計および格子干渉エンコーダについて説明したが、本発明は他のヘテロダイン干渉計測装置にも適用することができる。
また、上記各実施例にて説明した移相器や加減算および乗算を行うアナログ回路を、A/D変換器、FPGAやCPU等のデジタル信号処理回路に置き換えてもよい。
また、光源として、レーザ以外にスーパールミネセントダイオード(SLD)や発光ダイオード(LED)を使用してもよい。また、各実施例において使用した2周波光源は、光音響光学素子を用いる構成以外の構成を有してもよい。
また、実施例4,5にて説明した光学的に90°の位相差を有する信号を生成する手段として、他の偏光光学構成を有する手段や空間干渉縞走査を用いた手段に置き換えてもよい。
さらに、各実施例で説明した和演算と差演算は、ヘテロダイン信号間またはヘテロダイン信号と基準周波数信号間での位相の設定の仕方によって逆としてもよい。
SCL スケール
PD0,PD1,PD2,PD1A,PD1B,PD0A,PD0B 受光素子
ADD 加算器
DEF 減算器
MIXER 乗算器
Claims (3)
- 物体に光を照射する光照射部と、
前記光が前記物体で回折又は反射することで発生した互いに周波数が異なる複数の光を光電変換する複数の受光素子を含み、該受光素子から出力された信号を用いて、互いに位相差を有し、前記物体に関する物理量を示す情報を生成するために用いられる第1の周期信号および第2の周期信号を生成する信号生成部とを有し、
前記信号生成部は、
前記複数の受光素子のうち第1の受光素子および第2の受光素子から出力された第1の信号および第2の信号に対してそれぞれ位相が90°ずれた第3の信号および第4の信号を生成し、
前記第1の信号および前記第2の信号を乗算して得た信号と前記第3の信号および前記第4の信号を乗算して得た信号とを加算又は減算することで前記第1の周期信号を生成し、
前記第1の信号および前記第3の信号を乗算して得た信号と前記第2の信号および前記第4の信号を乗算して得た信号とを減算又は加算することで前記第2の周期信号を生成することを特徴とするヘテロダイン干渉計測装置。 - 物体に光を照射する光照射部と、
前記光が前記物体で回折又は反射することで発生した光および基準周波数を有する光を光電変換する複数の受光素子を含み、該受光素子から出力された信号を用いて、互いに位相差を有し、前記物体に関する物理量を示す情報を生成するために用いられる第1の周期信号および第2の周期信号を生成する信号生成部とを有し、
前記信号生成部は、
前記複数の受光素子のうち第1の受光素子および第2の受光素子からそれぞれ出力された第1の信号および第2の信号に対してそれぞれ位相が90°ずれた第3の信号および第4の信号を生成し、
前記第1の信号および前記第2の信号を乗算して得た信号と前記第3の信号および前記第4の信号を乗算して得た信号とを加算又は減算することで前記第1の周期信号を生成し、
前記第1の信号および前記第3の信号を乗算して得た信号と前記第2の信号および前記第4の信号を乗算して得た信号とを減算又は加算することで前記第2の周期信号を生成することを特徴とするヘテロダイン干渉計測装置。 - 前記信号生成部は、前記第1の受光素子および前記第2の受光素子に入射する2つの光のそれぞれに対して位相が90°ずれた2つの光を生成し、該生成した2つの光を前記複数の受光素子のうち第3の受光素子および第4の受光素子によりそれぞれ光電変換することで前記第3の信号および前記第4の信号を生成することを特徴とする請求項1又は2に記載のヘテロダイン干渉計測装置。
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CN103292914B (zh) * | 2013-05-11 | 2015-10-07 | 哈尔滨工业大学 | 基于双频激光无偏分光的光电接收器时间稳定性测试方法 |
JP2015125424A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | キヤノン株式会社 | 光学装置、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法 |
CN103759657B (zh) * | 2014-01-23 | 2017-02-08 | 清华大学 | 基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 |
CN103759656B (zh) * | 2014-01-23 | 2017-01-18 | 清华大学 | 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 |
CN103759655B (zh) * | 2014-01-23 | 2016-08-17 | 清华大学 | 基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6024404B2 (ja) * | 1978-01-13 | 1985-06-12 | ナシヨナル・リサ−チ・デイベロツプメント・コ−ポレイシヨン | 干渉計システム |
JPS6385302A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-15 | Hoya Corp | 光路長差測定装置 |
JPH02298804A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-11 | Canon Inc | 干渉計測装置 |
JPH05180667A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-07-23 | Canon Inc | エンコーダ |
JPH09119810A (ja) * | 1995-10-26 | 1997-05-06 | Yokogawa Electric Corp | レーザ測長器 |
JP2000258188A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Mitsutoyo Corp | 絶対変位測定装置 |
JP2003227704A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Canon Inc | 多波長光ヘテロダイン干渉測定方法および装置 |
JP2005018972A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 光ピックアップ用アクチュエータの副共振測定装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2240968A1 (de) * | 1972-08-21 | 1974-03-07 | Leitz Ernst Gmbh | Optisches verfahren zur messung der relativen verschiebung eines beugungsgitters sowie einrichtungen zu seiner durchfuehrung |
US4172382A (en) * | 1978-10-03 | 1979-10-30 | The Johns Hopkins University Applied Physics Laboratory | Laser interferometry detection method/apparatus for buried structure |
US4558925A (en) * | 1984-08-02 | 1985-12-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Multi-function acousto-optic signal processor |
FR2615281B1 (fr) * | 1987-05-11 | 1996-08-23 | Canon Kk | Dispositif de mesure d'une distance en mouvement relatif de deux objets mobiles l'un par rapport a l'autre |
US5067813A (en) * | 1988-04-06 | 1991-11-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical apparatus for measuring displacement of an object |
JPH01167607U (ja) * | 1988-05-16 | 1989-11-24 | ||
GB2256476B (en) * | 1991-05-30 | 1995-09-27 | Rank Taylor Hobson Ltd | Positional measurement |
US5436724A (en) * | 1991-10-03 | 1995-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for measuring relative movement using a diffraction grating having an orthogonally polarized input beam |
GB2261299B (en) * | 1991-11-08 | 1995-06-21 | British Tech Group | Measuring instruments |
US5249030A (en) | 1991-12-06 | 1993-09-28 | Zygo Corporation | Method and apparatus for determining the position of a moving body and the time of the position measurement |
JP3012439B2 (ja) * | 1992-12-28 | 2000-02-21 | シャープ株式会社 | 光ヘテロダイン検波方式および検波装置 |
JPH085314A (ja) * | 1994-06-20 | 1996-01-12 | Canon Inc | 変位測定方法及び変位測定装置 |
US7428685B2 (en) * | 2002-07-08 | 2008-09-23 | Zygo Corporation | Cyclic error compensation in interferometry systems |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6024404B2 (ja) * | 1978-01-13 | 1985-06-12 | ナシヨナル・リサ−チ・デイベロツプメント・コ−ポレイシヨン | 干渉計システム |
JPS6385302A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-15 | Hoya Corp | 光路長差測定装置 |
JPH02298804A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-11 | Canon Inc | 干渉計測装置 |
JPH05180667A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-07-23 | Canon Inc | エンコーダ |
JPH09119810A (ja) * | 1995-10-26 | 1997-05-06 | Yokogawa Electric Corp | レーザ測長器 |
JP2000258188A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Mitsutoyo Corp | 絶対変位測定装置 |
JP2003227704A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Canon Inc | 多波長光ヘテロダイン干渉測定方法および装置 |
JP2005018972A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 光ピックアップ用アクチュエータの副共振測定装置 |
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